涡轮分子泵装置
阅读：224发布：2020-05-16
专利汇可以提供涡轮分子泵装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 的课题在于使一体地安装在 涡轮 分子 泵 上的控制单元小型化、或者降低制造成本。上壳体(12)通过插入到 法兰 盘(12a)的贯通孔(51)中的紧固部件(61)而紧固在外部装置的第一安装部件(91)上。紧固在上壳体(12)上的第一 基座 (14)通过插入到法兰盘(14b)的贯通孔(52)中的紧固部件(63)而紧固在外部装置的第二安装部件(92)上。控制单元(70)通过紧固部件(65)而紧固在第二基座(15)上。由于 转子 (30)破坏时的 扭矩 不作用在紧固部件(65)上，所以可使紧固部件(65)及控制单元(70)的壳体的强度较小。，下面是涡轮分子泵装置专利的具体信息内容。
1.一种涡轮分子泵装置，其特征在于包括：
涡轮分子泵，包含壳体部件、收纳在所述壳体部件内的转子，使所述转子高速旋转而将气体分子从所述壳体部件的进风口输送到出风口；及
控制单元，驱动控制所述涡轮分子泵；且
在所述壳体部件中形成着设置在所述进风口的一侧且用来安装在外部装置上的第一安装部、与设置在所述出风口的一侧且用来安装在外部装置上的第二安装部；
所述涡轮分子泵和所述控制单元是通过紧固部件而固定。
2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵装置，其特征在于：
所述转子包含转子翼片和转子圆筒部，所述壳体部件包含上壳体和基座，所述上壳体覆盖所述转子翼片的外周且在内周侧配置着定子翼片，所述基座覆盖所述转子圆筒部的外周、且在周缘部紧固在所述上壳体上，所述第二安装部包含设置在所述基座的周缘部、且向外周侧伸出的法兰盘。
3.根据权利要求2所述的涡轮分子泵装置，其特征在于：
所述基座包括，第一基座，具有所述第二安装部；及第二基座，安装在所述第一基座上，且具有用于安装所述控制单元的安装部。
4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵装置，其特征在于：
所述转子包含转子翼片和转子圆筒部，所述壳体部件包含上壳体和基座，所述上壳体覆盖所述转子翼片的外周且在内周侧配置着定子翼片，所述基座覆盖所述转子圆筒部的外周、且在周缘部紧固在所述上壳体上，所述第二安装部设置在所述基座的底部上的周缘部，且所述控制单元位于所述基座的底部。
涡轮分子泵装置
技术领域
背景技术
[0002] 涡轮分子泵装置安装在半导体装置、液晶等的制造装置中，使内置的转子高速旋转，而将气体分子从进风口引入，并从出风口排出，从而使制造装置内部高真空。涡轮分子泵装置中有具有如下一体型构造的装置：在内置着转子的涡轮分子泵上利用紧固部件而固定着驱动控制该涡轮分子泵的控制单元(电源装置)。如果使控制单元与涡轮分子泵一体化，那么与涡轮分子泵的电动机、或磁性轴承连接的电缆的引导会变得简单，从而提高连接作业的效率。因此，这种使涡轮分子泵和控制单元一体化的涡轮分子泵装置尤其优选地用于需要多个涡轮分子泵装置的大型制造装置中。
[0003] 由于涡轮分子泵的转子以高速旋转，所以存在因干扰等导致转子破坏的情况。如果转子受到破坏，那么转子的碎片会碰撞到壳体部件上，而对壳体部件赋予大的破坏扭矩(急停止扭矩)。在涡轮分子泵的进风口的周缘部设置着法兰盘，利用紧固部件将该法兰盘紧固在制造装置上，从而将涡轮分子泵固定在制造装置上。
[0004] 控制单元是利用紧固部件而紧固并固定在制造装置上所固定的涡轮分子泵上。在转子受到破坏的情况下，由转子的碎片导致对壳体部件赋予的破坏扭矩也会被传递给控制单元。
[0005] 为了使紧固控制单元和涡轮分子泵的紧固部件的强度能够承受破坏扭矩，而必须使紧固部件的尺寸较大，由此，会使控制单元大型化。
[0006] 因此，已知有如下涡轮分子泵装置：在涡轮分子泵的壳体的底面形成着八边形的环状凹部，且在控制单元的壳体上设置着嵌合于环状凹部的环状凸部(例如，参照专利文献1)。在该涡轮分子泵装置中，通过使两壳体以环状凹部和环状凸部的角部接触而吸收破坏扭矩。
[0007] 背景技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1：日本专利特开2010-236469号公报
[0010] 在将控制单元紧固在涡轮分子泵上的构造中，转子的破坏扭矩也会被传递给控制单元。因此，在专利文献1所示的利用涡轮分子泵和控制单元的壳体来吸收转子的破坏扭矩的构造的情况下，控制单元的壳体必须具有能够承受破坏扭矩的强度。因此，必须使控制单元的壳体的壁厚增大，或由强度较大的材料形成壳体，而成为使装置大型化、或制造成本上升的主要原因。
发明内容
[0011] 本发明的目的在于，克服现有的涡轮分子泵装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的涡轮分子泵装置，所要解决的技术问题是使其作用在壳体部件上的破坏扭矩从壳体部件的第一、第二安装部传递给外部装置，由此可使紧固涡轮分子泵和控制单元的紧固部件及控制单元的壳体的强度变小，从而可使控制单元小型化，及/或使制造成本降低，非常适于实用。
[0012] 本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。为达到上述目的，依据本发明的涡轮分子泵装置的特征在于包括：涡轮分子泵，包含壳体部件、与收纳在壳体部件内的转子，使转子高速旋转而将气体分子从壳体部件的进风口输送到出风口；及控制单元，驱动控制涡轮分子泵；且在壳体部件中形成着设置在进风口的一侧且用来安装在外部装置上的第一安装部、与设置在出风口的一侧且用来安装在外部装置上的第二安装部；涡轮分子泵和控制单元是通过紧固部件而固定。外部装置其上安装了第一安装部与外部装置其上安装了第二安装部可以是同一个外部装置，也可以是不同的外部装置。
[0013] 本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明涡轮分子泵装置至少具有下列优点及有益效果：根据本发明，作用在壳体部件上的破坏扭矩从壳体部件的第一、第二安装部传递给外部装置。因此，可使紧固涡轮分子泵和控制单元的紧固部件及控制单元的壳体的强度变小，从而可使控制单元小型化，及/或使制造成本降低。
[0014] 综上所述，本发明的课题在于使一体地安装在涡轮分子泵上的控制单元小型化、或者降低制造成本。上壳体(12)通过插入到法兰盘(12a)的贯通孔(51)中的紧固部件(61)而紧固在外部装置的第一安装部件(91)上。紧固在上壳体(12)上的第一基座(14)通过插入到法兰盘(14b)的贯通孔(52)中的紧固部件(63)而紧固在外部装置的第二安装部件(92)上。控制单元(70)通过紧固部件(65)而紧固在第二基座(15)上。由于转子(30)破坏时的扭矩不作用在紧固部件(65)上，所以可使紧固部件(65)及控制单元(70)的壳体的强度较小。
[0015] 上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
[0016] 图1是表示本发明的涡轮分子泵装置的一实施方式的剖视图。
[0017] 图2是本发明的涡轮分子泵装置的实施方式2的剖视图。
[0018] 图3是本发明的涡轮分子泵装置的实施方式3的剖视图。
[0019] 1：涡轮分子泵装置 2：翼片排气部
[0020] 3：螺杆槽排气部 5：转子轴
[0021] 6：转子翼片 7：定子翼片
[0022] 8：螺杆定子 8a：螺旋状突部
[0023] 8b：螺杆槽部 9：转子圆筒部
[0024] 10：涡轮分子泵 11：壳体部件
[0025] 12：上壳体 12a：第一法兰盘
[0026] 12b：第二法兰盘 13：基座
[0027] 13a：基座上部 13b：基座下部
[0028] 14：第一基座 14a：第三法兰盘
[0029] 14b：第四法兰盘 15：第二基座
[0030] 15a：第五法兰盘 21：间隔片
[0031] 25：进风口 30：转子
[0032] 31：径向方向的磁性轴承 32：轴向方向的磁性轴承
[0034] 34、36：机械轴承 35：电动机
[0035] 38：转子圆盘 41：螺钉
[0036] 42：密封部件 45：出风口
[0037] 51、52、53、92a、92b：贯通孔 54：槽
[0038] 61～68：紧固部件 70：控制单元
[0039] 91：第一安装部件 92：第二安装部件
具体实施方式
[0040] (实施方式1)
[0041] 以下，参照附图对本发明的涡轮分子泵装置的一实施方式进行说明。
[0042] 图1是表示本发明的涡轮分子泵装置的一实施方式的剖视图。
[0043] 图1中所图示的涡轮分子泵装置1包括涡轮分子泵10、与安装在该涡轮分子泵10的底部的控制单元70。
[0044] 涡轮分子泵10包括包含上壳体12和基座13的壳体部件11。上壳体12和基座13具有经由密封部件42而紧密地固定、且从外部密封的构造。
[0045] 在壳体部件11的中心轴上配置着转子轴5。在转子轴5上配置着以与转子轴5为同轴的方式而安装的转子30。转子轴5和转子30是通过螺钉等紧固部件68而牢固地固定着。
[0046] 转子轴5是利用径向(radial)方向的磁性轴承31(2个部位)及轴向(thrust)方向的磁性轴承32(上下一对)而非接触地受到支撑。转子轴5的悬浮位置由径向位移传感器33a、33b及轴向位移传感器33c来检测。利用磁性轴承31、32而旋转自如地磁性悬浮着的转子轴5由电动机35高速地旋转驱动。
[0047] 在转子轴5的下面透过机械轴承(mechanical bearing)34安装着转子圆盘38。另外，在转子轴5的上部侧设置着机械轴承36。机械轴承34、36是在紧急情况下使用的机械轴承，当磁性轴承31、32不进行动作时利用机械轴承34、36来支撑转子轴5。
[0048] 转子30具有上部侧和下部侧的二段构造，在上部侧设置着多段的转子翼片6。从最下段的转子翼片6起下方设为下段侧，在下段侧设置着转子圆筒部9。
[0049] 转子30的上部侧由上壳体12覆盖。在上壳体12的与转子30的上部侧相对应的内面交替地配置着定子翼片7和间隔片21。转子翼片6和定子翼片7是将环状的间隔片21夹在中间，而转子翼片6和定子翼片7沿泵的轴向交替地积层。在上壳体12的内面，如果在基座13的上表面上交替地积层间隔片21和定子翼片7，并将上壳体12从上方盖住并固定在基座13上，那么定子翼片7和转子翼片6沿着泵的轴向交替地配置。
[0050] 在转子30的转子圆筒部9的外周侧，利用螺钉41将环状的螺杆定子8固定在基座13上。螺杆定子8具有螺旋状突部8a，在螺旋状突部8a间形成着螺杆槽部8b。在转子30的转子圆筒部9的外周面与螺杆定子8的内周面之间设置着如可在转子30高速旋转时将气体分子从上方输送到下方的间隙。
[0051] 在上壳体12的上表面设置着进风口25。
[0052] 在基座13上设置着出风口45，该出风口45连接着后泵(back pump)。使转子30磁性悬浮，且在该状态下利用电动机35高速地旋转驱动转子30，由此将进风口25侧的气体分子排向出风口45侧。
[0053] 该涡轮分子泵10中，在上壳体12的内部空间具有翼片排气部2，在基座13的内部空间具有螺杆槽排气部3。翼片排气部2由多段的转子翼片6和多段的定子翼片7构成，螺杆槽排气部3由转子圆筒部9和螺杆定子8构成。
[0054] 如果利用电动机35来旋转驱动转子30，则半导体制造装置等外部装置的真空腔室内的气体分子会从进风口25流入。从进风口25流入的气体分子在翼片排气部2中被击溅到下游侧。虽然未图示，但转子翼片6和定子翼片7形成为翼片的倾斜方向相反，且倾斜角度变为使气体分子从高真空侧即前段侧朝向下游侧即后段侧而难以逆行的角度。气体分子在翼片排气部2中被压缩后向图示下方的螺杆槽排气部3输送。
[0055] 在螺杆槽排气部3中，如果转子圆筒部9相对于螺杆定子8高速旋转，那么会产生利用黏性流的排气功能，从而将从翼片排气部2输送到螺杆槽排气部3的气体压缩，并且向出风口45输送而排出。
[0056] 基座13包含第一基座14和第二基座15。在上壳体12上固定着第一基座14，在第一基座14上固定着第二基座15。
[0057] 第一基座14具有包围螺杆定子8的外周的大致圆筒形状，且在底部的中央部具有贯通孔。第二基座15包含筒部和平坦部，且截面大致形成为倒T字形状，所述筒部具有收纳转子轴5、及配置在转子轴5周围的电动机35、磁性轴承31、32、径向·轴向位移传感器33a～33c、机械轴承34、36及转子圆盘38等的中空部，所述平坦部与第一基座14的底部相对应。第二基座15的筒部贯通设置在第一基座14的底部的中央部的贯通孔而配置在转子轴5和转子圆筒部9之间的空间内。
[0058] 第一基座14及第二基座15的筒部的中心与转子轴5的中心同轴。
[0059] 上壳体12中，在进风口25侧(亦即上部)形成着从周缘部向外周侧伸出的第一法兰盘12a(第一安装部)，在下部侧形成着从周缘部向外周侧伸出的第二法兰盘12b。在第一法兰盘12a上形成着多个贯通孔51。在第一法兰盘12a的贯通孔51中插入螺钉等紧固部件61，并将紧固部件61紧固，由此将上壳体12安装在以二点链线进行图示的半导体制造装置等外部装置的第一安装部件91上。
[0060] 第一基座14中，在上部侧形成着从周缘部向外周侧伸出的第三法兰盘14a，在出风口侧(亦即下部)形成着从周缘部向外周侧伸出的第四法兰盘14b。在第四法兰盘14b(第二安装部)上形成着多个贯通孔52。在第四法兰盘14b的贯通孔52中插入螺钉等紧固部件62，并将紧固部件62紧固，由此将第一基座14安装在以二点链线进行图示的半导体制造装置等外部装置的第二安装部件92上。
[0061] 在第一基座14的第三法兰盘14a上形成着多个贯通孔53。在第三法兰盘14a的贯通孔53中插入螺钉等紧固部件63，并将紧固部件63紧固在形成于上壳体12的丝锥(tap)(未图示)上，由此固定第一基座14和上壳体12。
[0062] 在第二安装部件92中形成着贯通孔92a。第二基座15插入到第二安装部件92的贯通孔92a中。
[0063] 第二基座15中，在周缘部附近形成着多个槽54，在下部侧形成着从周缘部向外周侧伸出的第五法兰盘15a。在槽54中插入螺钉等紧固部件64，并将紧固部件64紧固在设置于第一基座14的丝锥(未图示)上，由此将第二基座15安装在第一基座14上。
[0064] 在第二基座15上安装着控制单元70。
[0065] 在第五法兰盘15a上形成着多个贯通孔(未图示)，在各贯通孔中插入螺钉等紧固部件65，并将紧固部件65紧固在形成于控制单元70的丝锥(未图示)上，由此将控制单元70固定在第二基座15上。
[0066] 控制单元70包括未图示的电源部和控制电路部、以及收纳这些部件的壳体。
[0067] 在电源部中，将从一次电源供给的交流电力利用交流(AC，Alternate Current)/直流(DC，Direct Current)转换器转换为直流电力。直流电力经由3相反相器和DC/DC转换器而被输入到控制电路部。控制单元70的控制电路部是经由连接器并通过电缆(均未图示)而连接于涡轮分子泵10内的电动机35及磁性轴承31、32等，从而驱动控制电动机35及磁性轴承31、32等。
[0068] 在涡轮分子泵10中，因由干扰导致转子翼片6与上壳体12接触、或转子翼片6受到破坏等若干主要原因而导致对壳体部件11赋予破坏扭矩。其中，在转子圆筒部9中产生龟裂，该龟裂被传递到转子翼片6而对转子圆筒部9及转子翼片6造成破坏，从而这些部件的碎片碰撞到壳体部件11时的破坏扭矩(急停止扭矩)成为非常大的值。
[0069] 如果转子圆筒部9及转子翼片6受到破坏，那么破坏产生的碎片会碰撞到壳体部件11上，而将碎片的旋转方向的冲击传递给壳体部件11。因此，与碎片的运动量相对应的扭矩作用在壳体部件11上。
[0070] 以前，涡轮分子泵10只在上壳体12的第一法兰盘12a(第一安装部)处安装于外部装置，且控制单元70只紧固在涡轮分子泵的基座上。
[0071] 因此，作用在壳体部件11上的转子破坏时的扭矩会作用于紧固在外部装置上的第一安装部，并且也作用于控制单元安装部。
[0072] 因此，当只利用紧固部件来进行壳体部件11和控制单元70的壳体的安装时，必须使紧固部件的强度具有能够承受由作用在壳体部件11上的转子破坏时的扭矩所赋予的剪断力的强度。因此，紧固部件的尺寸会变大，随之控制单元的尺寸变大。
[0073] 如果将壳体部件11和控制单元的壳体的安装设为如专利文献1般在一者及另一者中设置八边形的环状凹部、与嵌合在环状凹部中的环状凸部的构造，那么构造会变得复杂，且组装繁琐。
[0074] 另外，在利用紧固部件进行壳体部件11和控制单元70的壳体的安装及使两壳体的嵌合部为多边形状的任一种情况下，都会对控制单元70的壳体传递作用在壳体部件11上的转子破坏时的扭矩。因此，必须使控制单元70的壳体具有能够承受转子破坏时的扭矩的强度。为此必须使控制单元70的壳体的壁厚增大，或使用强度较大的高价的材料，而成为装置大型化、或使制造成本上升的主要原因。
[0075] 相对于此，在本发明的一实施方式中的涡轮分子泵装置1中，将上壳体12的第一法兰盘12a(第一安装部)安装在外部装置的第一安装部件91上，并且将第一基座14的第四法兰盘14b(第二安装部)安装在外部装置的第二安装部件92上。上壳体12和第一基座14在第三法兰盘14a和第四法兰盘14b处被固定。
[0076] 在该构造中，碰撞到上壳体12上的转子30的碎片的冲击主要是以传递到上壳体12，再传递到紧固第二、第三法兰盘12b、14a的紧固部件63，再传递到第一基座14，再传递到紧固第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件62的路径进行传递。
[0077] 也就是说，壳体部件11所受到的转子30的碎片的冲击从紧固第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件62传递到外部装置的第二安装部件92而被吸收，所以基本上不会传递给控制单元70。
[0078] 即，基本上由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在将第二基座15紧固在第一基座14上的紧固部件64及将控制单元70紧固在第二基座15上的紧固部件65上。因此，紧固部件64只要具有能够承受第二基座15和控制单元70的合计的自重的强度便可，紧固部件65只要具有能够承受控制单元70的自重的强度便可。
[0079] 另外，因为由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在控制单元70上，所以控制单元70的壳体只要具有作为控制单元70单体所需的程度的强度便可。
[0080] 作为控制单元70的壳体的材料的一例，在涡轮分子泵和控制单元为不同类型的情况下，可使用通常所使用的铝铸造品(AC4C，aluminum casting)、铝压铸材(ADC12，aluminum die casting)等。另外，也可以使用聚碳酸酯等在耐冲击性、耐热性、阻燃性等方面显示较高的物性的工程塑胶(Engineering plastics)。
[0081] 这样一来，可使紧固部件64、65的强度比以前小，且可将控制单元70的壳体设为低价且壁厚较小的部件。
[0082] 由此，根据本发明的一实施方式，可使控制单元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。
[0083] (实施方式2)
[0084] 图2是本发明的涡轮分子泵装置的实施方式2的剖视图。
[0085] 实施方式2与实施方式1的不同方面在于，设为使实施方式1中的第一基座14和第二基座15在实施方式2中一体化而成的基座13。
[0086] 以下，以与实施方式1不同的方面为中心进行说明，对与实施方式1相同的部件附上相同的附图编号而省略说明。
[0087] 即，图2中所图示的基座13包含基座上部13a和基座下部13b，所述基座上部13a是包围转子轴5、电动机35等的外周的中央侧的圆筒部和包围螺杆定子8的外周的周缘侧的圆筒部连结而成，所述基座下部13b是一体地设置在该基座上部13a的下表面。
[0088] 在基座上部13a上形成着第四法兰盘14b，与实施方式1同样地，在形成于第四法兰盘14b的贯通孔52中插入紧固部件62，并利用紧固部件62将基座13紧固在外部装置的第二安装部件92上。
[0089] 另外，在基座下部13b上形成着法兰盘15a，与实施方式1同样地，在形成于法兰盘15a的贯通孔中插入紧固部件65，并利用紧固部件65将控制单元70紧固在基座13上。
[0090] 在实施方式2中，碰撞到上壳体12上的转子30的碎片的冲击主要是以传递到上壳体12，再传递到紧固第二、第三法兰盘12b、14a的紧固部件63，再传递到紧固基座13的第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件62的路径进行传递。
[0091] 在该构造中，壳体部件11受到的转子30的碎片的冲击也是从紧固第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件62传递到外部装置的第二安装部件92而被吸收，所以基本上不会传递给控制单元70。
[0092] 因此，基本上由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在将控制单元70紧固在壳体部件11上的紧固部件67上。因此，紧固部件67只要具有能够承受控制单元70的自重的强度便可。
[0093] 另外，因为由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在控制单元70上，所以控制单元70的壳体只要具有作为控制单元70单体所需的程度的强度即可。
[0094] 因此，与实施方式1同样地，可使控制单元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。
[0095] 另外，因为基座13为1个部件，所以与实施方式1相比可更有效地进行组装。
[0096] (实施方式3)
[0097] 图3是本发明的涡轮分子泵装置的实施方式3的剖视图。
[0098] 实施方式3中也是与实施方式1同样地，包含使第一、第二基座14、15一体化而成的基座13。实施方式3与实施方式2的不同方面在于，实施方式3中不具有在实施方式2中形成于基座上部13a的第四法兰盘14b。
[0099] 以下，以与实施方式2不同的方面为中心进行说明，对与实施方式2相同的部件附上相同的附图编号而省略说明。
[0100] 即，图3中所图示的基座13也包含基座上部13a和基座下部13b，所述基座上部13a连结包围转子轴5、电动机35等的外周的中央侧的圆筒部和包围螺杆定子8的外周的周缘侧的圆筒部，所述基座下部13b一体地设置在该基座上部13a的下表面。
[0101] 基座下部13b的宽度小于基座上部13a的底部的宽度，且在基座上部13a的底部的周缘部形成着多个丝锥(tap)(未图示)。
[0102] 基座下部13b中，在第二安装部件92的贯通孔92a的周围形成着与设置在基座上部13a的底部的周缘部的各丝锥相对应的贯通孔92b。将基座下部13b插入到第二安装部件92的贯通孔92a中，且在各贯通孔92b中插入紧固部件66而紧固在设置于基座上部13a的各丝锥上，由此将壳体部件11安装在外部装置的第二安装部件92上。控制单元70是通过将紧固部件67紧固在设置于基座下部13b的底面上的丝锥(未图示)上，而安装在基座13上。
[0103] 在实施方式3中，碰撞到上壳体12上的转子30的碎片的冲击主要是以传递到上壳体12，再传递到紧固第二、第三法兰盘12b、14a的紧固部件63，再传递到紧固基座13的第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件66的路径进行传递。
[0104] 在该构造中，壳体部件11受到的转子30的碎片的冲击是从紧固第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件66传递到外部装置的第二安装部件92而被吸收，所以基本上不会传递给控制单元70。
[0105] 因此，基本上由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在将控制单元70紧固在壳体部件11上的紧固部件67上。因此，紧固部件67只要具有能够承受控制单元70的自重的强度便可。
[0106] 另外，因为由转子30的碎片的冲击而导致壳体部件11受到的扭矩不作用在控制单元70上，所以控制单元70的壳体只有具有作为控制单元70单体所需的程度的强度便可。
[0107] 因此，与实施方式1同样地，可使控制单元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。
[0108] 另外，与实施方式2同样地，因为基座13为1个部件，所以与实施方式1相比可更有效地进行组装。
[0109] 如以上所说明般，根据本发明的涡轮分子泵装置的各实施方式，通过在基座13、14上设置向外部装置安装的第二安装部，而主要由紧固第四法兰盘14b和外部装置的第二安装部件92的紧固部件62、66来承受转子30破坏时的扭矩。
[0110] 也就是说，设为转子30破坏时的扭矩不作用在将控制单元70紧固在基座13上的紧固部件64、65上的构造。因此，可使紧固部件64、65的强度较小，另外，可将控制单元70的壳体设为低价且壁厚较小的部件。
[0111] 因此，发挥如下效果：可使控制单元70的尺寸小型化，及/或降低制造成本。
[0112] 此外，在所述各实施方式中，对使用螺钉作为紧固部件62、66的情况进行了例示。然而，也可以使用引脚作为紧固部件62、66，通过压入或铆接引脚头部而固定。
[0113] 另外，在所述各实施方式中，省略了对冷却涡轮分子泵的冷却装置的说明，但通常在基座13的下部安装着冷却装置，本发明当然可应用于包含冷却装置的涡轮分子泵装置。
[0114] 此外，本发明可在发明主旨的范围内进行各种变形而加以应用，要点在于只要为如下涡轮分子泵装置便可，即，包括：涡轮分子泵，包含壳体部件、与收纳在壳体部件内的转子，使转子高速旋转而将气体分子从壳体部件的进风口输送到出风口；及控制单元，驱动控制涡轮分子泵；在壳体部件中形成着设置在进风口的一侧且周来安装在外部装置上的第一安装部、与设置在出风口的一侧且用来安装在外部装置上的第二安装部，涡轮分子泵和控制单元是通过紧固部件而固定。
[0115] 以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
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