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真空 泵

阅读：851发布：2023-01-21

专利汇可以提供真空泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明的一个方式所涉及的真空泵具备第一单元和第二单元。第一单元具有转子铁心、支承所述转子铁心并沿一个轴向延伸的第一旋转轴、以及收容第一旋转轴的泵壳。第二单元具有圆筒部件、定子铁心、电动机壳、密封环以及限制部件。圆筒部件具有开口端部和闭塞端部，并收容转子铁心。定子铁心配置于圆筒部件的周围。电动机壳收容圆筒部件和定子铁心，并与泵壳结合。密封环配置于圆筒部件与电动机壳之间。限制部件安装于电动机壳，并在上述一个轴向上与圆筒部件的开口端部对置。，下面是真空泵专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种真空泵，具备第一单元和第二单元，
所述第一单元具有：转子铁心；第一旋转轴，其支承所述转子铁心并沿一个轴向延伸；
以及泵壳，其收容所述第一旋转轴，
所述第二单元具有：圆筒部件，其具有开口端部和闭塞端部并收容所述转子铁心；定子铁心，其配置于所述圆筒部件的周围；电动机壳，其收容所述圆筒部件和所述定子铁心并与所述泵壳结合；密封环，其配置于所述圆筒部件与所述电动机壳之间；以及限制部件，其安装于所述电动机壳并在所述一个轴向上与所述圆筒部件的所述开口端部对置。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
所述电动机壳具有支承所述密封环的安装部，
所述圆筒部件还具有：
第一圆筒部，其包括所述开口端部，并与所述密封环接触；
第二圆筒部，其包括所述闭塞端部，并具有小于所述第一圆筒部的外径；以及台阶部，其设置于所述第一圆筒部与所述第二圆筒部之间，所述台阶部的外径从所述第一圆筒部朝向所述第二圆筒部连续性地或阶段性地缩小。
3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，
所述第一单元还具有第二旋转轴、以及安装于所述第一旋转轴并使所述第二旋转轴旋转的同步齿轮，
所述电动机壳具有收容所述定子铁心的电动机室、以及收容所述同步齿轮的齿轮室。
4.根据权利要求3所述的真空泵，其中，
所述第一旋转轴及第二旋转轴为一对螺杆轴。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其中，
所述圆筒部件由合成树脂材料构成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空泵，其中，
所述闭塞端部具有圆顶形状。
7.一种真空泵的组装方法，其包括如下步骤：
准备第一单元，所述第一单元在泵壳装入支承转子铁心的第一旋转轴；
准备第二单元，所述第二单元在电动机壳装入圆筒部件、配置于圆筒部件的周围的定子铁心、配置于所述圆筒部件的外周面与所述电动机壳的内周部之间的密封环、以及与所述圆筒部件的开口端部对置的限制部件；以及
将所述转子铁心收容于所述圆筒部件，并将所述泵壳与所述电动机壳相互结合。

说明书全文

真空 泵

技术领域

[0001] 本发明涉及一种具有密封式电动机的真空泵。

背景技术

[0002] 作为变容干式真空泵，例如已知双轴型螺杆泵。这种螺杆泵构成为具备：具有吸入口和排出口的壳体；以及收容于壳体的一对螺杆轴，通过使上述一对螺杆轴旋转，由此从吸入口向排出口输送气体。

[0003] 另一方面，在这种真空泵中，作为使各螺杆轴旋转的驱动源，广泛使用密封式电动机。密封式电动机具有插入到转子铁心与定子铁心之间的间隙的圆筒状的密封壳(can)。由于转子铁心被密封壳密封，因此防止了经由轴承部侵入到转子铁心内的气体向大气(外部空气)侧的漏出。

[0004] 例如，在专利文献1中公开了一种密封式电动机，该密封式电动机构成为密封壳的开口部形成为凸缘形状，通过沿着该凸缘形状的开口部的周缘配置的密封环将转子和定子铁心气密地隔离。现有技术文献
专利文献

[0005] 专利文献1：日本特开2014-39366号公报

发明内容

发明所要解决的课题

[0006] 在具备密封式电动机的真空泵中，典型地，在密封壳经由密封环安装于定子铁心侧之后，将转子铁心装入密封壳的内部。此时，由于转子铁心与定子铁心之间的磁性相互作用，转子铁心与密封壳的内周面接触，定子铁心与密封壳的相对位置发生变化，从而存在密封环的安装位置产生偏移、或者密封环脱落的情况。

[0007] 鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种真空泵，其能够防止密封环的位置偏移从而实现组装作业性的提高。用于解决课题的技术方案

[0008] 为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的真空泵具备第一单元和第二单元。上述第一单元具有转子铁心、支承上述转子铁心并沿一个轴向延伸的第一旋转轴、以及收容上述第一旋转轴的泵壳。
上述第二单元具有圆筒部件、定子铁心、电动机壳、密封环以及限制部件。上述圆筒部件具有开口端部和闭塞端部，并收容上述转子铁心。上述定子铁心配置于上述圆筒部件的周围。上述电动机壳收容上述圆筒部件和上述定子铁心，并与上述泵壳结合。上述密封环配置于上述圆筒部件与上述电动机壳之间。上述限制部件安装于上述电动机壳，并在上述一个轴向上与上述圆筒部件的上述开口端部对置。

[0009] 根据上述真空泵，通过限制部件，能够抑制第二单元中的圆筒部件的位置偏移。由此，在组装第一及第二单元时，能够防止第二单元中的密封环的位置偏移、脱落，从而实现组装作业性的提高。

[0010] 上述电动机壳可以具有支承上述密封环的安装部，上述圆筒部件还可以具有第一圆筒部、第二圆筒部以及台阶部。上述第一圆筒部包括上述开口端部，并与上述密封环接触。上述第二圆筒部包括上述闭塞端部，并具有小于上述第一圆筒部的外径。上述台阶部设置于上述第一圆筒部与上述第二圆筒部之间，外径从上述第一圆筒部朝向上述第二圆筒部连续性地或阶段性地缩小。
由此，在向定子铁心组装圆筒部件时，能够防止支承于安装部的密封环的位置偏移。

[0011] 上述第一单元还可以具有第二旋转轴、以及安装于上述第一旋转轴并使上述第二旋转轴旋转的正时齿轮，上述电动机壳可以具有收容上述定子铁心的电动机室、以及收容上述正时齿轮的齿轮室。由此，不需要用于形成齿轮室的另外的壳体，能够实现组装作业性的进一步提高。

[0012] 上述圆筒部件的闭塞端部可以具有圆顶形状。由此，能够实现圆筒部件的强度提高。

[0013] 本发明的一个方式所涉及的真空泵的组装方法包括准备第一单元，所述第一单元在泵壳装入支承转子铁心的第一旋转轴。准备第二单元，所述第二单元在电动机壳装入圆筒部件、配置于圆筒部件的周围的定子铁心、配置于上述圆筒部件的外周面与上述电动机壳的内周部之间的密封环、以及与上述圆筒部件的开口端部对置的限制部件。
上述转子铁心收容于上述圆筒部件，上述泵壳与上述电动机壳相互结合。
发明效果

[0014] 如上所述，根据本发明，能够防止密封环的位置偏移，从而实现组装作业性的提高。附图说明

[0015] 图1是本发明的一个实施方式所涉及的真空泵的横剖视图。图2是将上述真空泵中的第一及第二单元分开表示的真空泵的横剖视图。
图3是构成上述第二单元的圆筒部件的放大剖视图。
图4是对上述圆筒部件的作用进行说明的上述第二单元的主要部分的概略剖视图。
图5是表示对比例所涉及的密封式电动机的一个结构例的概略剖视图。

具体实施方式

[0016] 下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

[0017] [真空泵的结构]图1是本发明的一个实施方式所涉及的真空泵的横剖视图。
在图中，X轴、Y轴及Z轴表示相互正交的3个轴向，Z轴相当于高度方向。

[0018] 本实施方式的真空泵100由螺杆泵构成。真空泵100具备第一单元U1和第二单元U2。图2是将第一单元U1和第二单元U2分开表示的真空泵100的横剖视图。

[0019] (第一单元)第一单元U1构成真空泵100的泵主体。第一单元U1具有泵壳11、第一及第二螺杆轴21、
22(第一及第二旋转轴)。

[0020] 泵壳11具有第一壳体部111和第二壳体部112。第一及第二壳体部111、112由铝合金、不锈钢等金属材料构成，并经由定位销P1及环状的密封部件S1相互连结。定位销P1分别设置于密封部件S1的外周侧的多个位置。

[0021] 第一壳体部111具有：泵室13，其将第一及第二螺杆轴21、22以能够旋转的方式进行收容；以及进气口14，其与未图示的真空室的排气配管连接。第二壳体部112具有：一对贯通孔H，其供第一及第二螺杆轴21、22贯通；以及排气口15，其与泵室13连通。也可以在排气口15连接例如消音器、废气的无害化装置。

[0022] 第一及第二螺杆轴21、22分别具有与Y轴方向平行的轴心，并在X轴方向上相互相邻地配置于泵室13。第一螺杆轴21具有螺旋状的齿21s，第二螺杆轴22具有与齿21s啮合的螺旋状的齿22s。第一及第二螺杆轴21、22均由一条螺杆构成。

[0023] 除扭转方向为彼此相反的方向之外，齿21s、22s分别具有大致相同的形状。齿21s、22s以一方的齿位于另一方的齿之间(槽)的方式隔开微小的间隙地相互啮合。齿21s的外周面与泵室13的内壁面及第二螺杆轴22的轴部的外周面(齿22s间的槽的底部)隔开微小的间隙地对置。另一方面，齿22s的外周面与泵室13的内壁面及第一螺杆轴21的轴部的外周面(齿21s间的槽的底部)隔开微小的间隙地对置。

[0024] 进气口14及排气口15经由泵室13相互连通。进气口14设置于第一及第二螺杆轴21、22的吸入端侧，排气口15设置于它们的排出端侧。第一及第二螺杆轴21、22经由设置于它们的吸入端侧及排出端侧的轴承B1、B2旋转自如地配置于泵室13内。

[0025] 进气口14及排气口15的位置不限于上述例子，可适当变更。例如，排气口15也可以设置于第一壳体部111。泵壳11也不限于组合第一及第二壳体部111、112而构成的情况，可以由单个壳体部件构成，也可以组合3个以上的壳体部件而构成。在泵壳11为组合3个以上的壳体部件而构成的情况下，进气口14例如设置于位于最靠近进气侧的壳体部。

[0026] 第一螺杆轴21与真空泵100的驱动源即电动机40连接。在第一螺杆轴21安装有同步齿轮23，该同步齿轮23与安装于第二螺杆轴22的排出端侧轴部的同步齿轮24啮合，经由同步齿轮23、24向第二螺杆轴22传递电动机40对第一螺杆轴21的旋转驱动力。电动机40使第一及第二螺杆轴21、22旋转，以朝向排气口15输送从进气口14吸入的上述真空室内的气体。

[0027] 第一单元U1还具有电动机40的一个构成要素即转子铁心41。转子铁心41支承(压入)于第一螺杆轴21的前端部(排出端侧轴部的前端部)21a。电动机40可以是DC(Direct Current：直流)电动机，也可以是AC(Alternating Current：交流)电动机。在本实施方式中，转子铁心41由在周向上交替排列有N极与S极的圆筒形状的永磁铁材料构成，但也可以由电磁铁构成。

[0028] (第二单元)接下来，对第二单元U2进行说明。

[0029] 第二单元U2构成为驱动泵主体的电动机单元。第二单元U2具有：电动机壳31；圆筒部件32；电动机40的一个构成要素即定子铁心42；配置于电动机壳31与圆筒部件32之间的密封环S3；以及限制部件34。

[0030] 电动机壳31由铝合金、不锈钢等金属材料构成，并经由定位销P2及环状的密封部件S2与泵壳11(第二壳体部112)连结。定位销P2分别设置于密封部件S2的外周侧的多个位置。在电动机壳31设置有供冷却水等冷却介质循环的内部通路313。

[0031] 电动机壳31具有：电动机室311，其保持定子铁心42；以及齿轮室312，其收容同步齿轮23、24。

[0032] 电动机室311由大致圆筒状的空间部形成。电动机室311的与齿轮室312相反的一侧的开口端部由保护板33覆盖，所述保护板33经由多个螺钉N1安装于电动机壳31的前端部。保护板33例如由栅格板、冲孔金属板那样的具有开口的板材构成，电动机室311经由该开口与外部空气(大气)连通。由此，电动机室的散热效果得到提高。

[0033] 齿轮室312被划分在电动机壳31与泵壳11(第二壳体部112)之间，构成为能够贮存对同步齿轮23、24及轴承B2进行润滑的润滑油(省略图示)。齿轮室312构成为能够经由轴承B2及泵壳11的贯通孔H与泵室13连通。在贯通孔H可以设置将泵室13与齿轮室312分隔的接触式或者非接触式的密封件。

[0034] 电动机壳31还具有在电动机室311与齿轮室312之间形成的环状的支承壁部314(参照图2)。支承壁部314比电动机室311更向径向内侧突出，在其内周端部形成安装槽，在该安装槽安装与圆筒部件32的外周面接触的密封环S3。支承壁部314构成为支承密封环S3的安装部。

[0035] 定子铁心42收容于电动机室311。定子铁心42由形成为环状的多个磁性钢板的层叠体构成，并配置于圆筒部件32的周围。在定子铁心42卷绕有与电源(省略图示)连接的U、V及W各相的多个线圈43。

[0036] 定子铁心42的外周面固定于电动机室311的内周面。固定方法没有特别限定，在本实施方式中，通过烧嵌，将定子铁心42的外周面固定于电动机室311。定子铁心42的内周面隔着圆筒部件32与转子铁心41的外周面对置。

[0037] 圆筒部件32配置于转子铁心41与定子铁心42之间，并在内部收容转子铁心41。圆筒部件32具有与第一螺杆轴21同心的轴心，其轴向的长度(圆筒部件32的高度)与支承壁部314的厚度和电动机室311的轴向长度的总和大致一致。

[0038] 图3是圆筒部件32的放大剖视图。

[0039] 圆筒部件32由具有开口端部321和闭塞端部322的PPS(聚苯硫醚)等合成树脂材料的注射成型体构成。圆筒部件32由非磁性、非导电性的合成树脂材料构成，由此能够在不阻碍转子铁心41与定子铁心42之间的电磁相互作用的情况下确保所期望的电动机特性。

[0040] 圆筒部件32由阶梯形状的圆筒体构成，具有第一圆筒部323、第二圆筒部324以及台阶部325。

[0041] 第一圆筒部323包括开口端部321，并具有与密封环S3接触的外周面。第二圆筒部324包括闭塞端部322，并具有小于第一圆筒部323的外径。第二圆筒部324例如具有与定子铁心42的内径同等的外径。台阶部325的外径从第一圆筒部323朝向第二圆筒部324连续性地或阶段性地缩小。典型地，台阶部325包括锥面。并不限于此，台阶部325也可以构成为直径以阶梯状离散性地缩小。

[0042] 第一及第二圆筒部323、324均具有相同的内径。即，第一圆筒部323形成为比第二圆筒部324壁厚，实现了开口端部321侧的强度的提高。闭塞端部322也通过形成为比第二圆筒部324的其他区域壁厚，从而实现闭塞端部322的强度的提高。而且，由于闭塞端部322形成为圆顶状，因此能够分散伴随圆筒部件32的内压的变动而产生的应力。也可以在闭塞端部322的外表面设置用于提高强度的肋。

[0043] 并且，通过圆筒部件32具有台阶部325，在向电动机室311安装圆筒部件32时，能够防止密封环S3从支承壁部314(安装部)的脱落。而且，第二圆筒部324形成为薄壁，从而能够减小转子铁心41与定子铁心42之间的磁隙。

[0044] 例如，如图4A～4C所示，圆筒部件32从齿轮室312侧向电动机室311插入。此时，安装于支承壁部314的密封环S3经由圆筒部件32的台阶部325与第一圆筒部323的外周面滑动接触。如上所述台阶部325由锥面构成，因此密封环S3能够不从支承壁部314的安装槽脱落地越过台阶部325，而到达第一圆筒部323。

[0045] 圆筒部件32向电动机室311插入，直至台阶部325与定子铁心42的内周端部接触的位置为止。此时，圆筒部件32的开口端部321位于与支承壁部314的齿轮室312侧的开口面314a(参照图3)对齐的位置、或者比开口面314a靠电动机室311侧。圆筒部件32的闭塞端部
322可以与保护板33接触，也可以隔开给定的间隙与保护板33对置。

[0046] 限制部件34用于防止圆筒部件32从电动机室311的脱离。限制部件34经由多个螺钉部件N2安装于支承壁部314，并在Y轴方向上与圆筒部件32的开口端部321对置。限制部件34与圆筒部件32的开口端部321接触，并限制圆筒部件32相对于定子铁心42的沿轴向的移动。

[0047] 限制部件34由具有开口部341的板状部件构成。开口部341的大小形成为大于转子铁心41的外径且小于圆筒部件32的开口端部321的外径的任意大小。在本实施方式中，开口部341具有与圆筒部件32的开口端部321的内径同等的大小的开口直径。

[0048] 典型地，限制部件34由金属板构成，但也可以由PPS等合成树脂材料构成。限制部件34的厚度没有特别限定，可以以能够弹性变形的厚度构成。

[0049] [真空泵的动作]接下来，对如上所述构成的本实施方式的真空泵100的动作进行说明。

[0050] 通过电动机40的驱动，第一螺杆轴21及第二螺杆轴22相对旋转。通过第一及第二螺杆轴21、22的旋转，与进气口14连接的真空室内的气体向排气口15输送。由此，上述真空室的内部被排气。

[0051] 转子铁心41被圆筒部件32密封。因此，阻止了从泵室13经由轴承B2侵入到齿轮室312及转子铁心41的气体向泵外部(大气)的漏出。并且，由于圆筒部件32的外侧向大气开放，因此定子铁心42的散热性得到提高，与在电动机壳31的内部通路313循环的冷却介质的冷却效果相结合，能够抑制高负荷时等的电动机40的特性劣化。

[0052] 并且，由于圆筒部件32的闭塞端部322具有圆顶形状，因此能够有效地分散由于圆筒部件32的内外的压力差而作用于闭塞端部322的应力。由此，能够提高圆筒部件32的强度。

[0053] 此外，圆筒部件32也可以构成为能够通过上述压力差在电动机室311内沿轴向移动给定量(例如，相当于限制部件34的弹性变形量的位移)。通过如上所述的构造，也能够实现作用于圆筒部件32的压力的缓和。

[0054] [真空泵的组装方法]接下来，对本实施方式的真空泵100的组装方法进行说明。

[0055] 本实施方式所涉及的真空泵100的组装方法包括：准备第一单元U1的工序；准备第二单元U2的工序；以及将第一及第二单元U1、U2相互结合的工序。

[0056] 如图2所示，第一单元U1通过在泵壳11装入支承转子铁心41的第一螺杆轴21和第二螺杆轴22而制作。

[0057] 在本实施方式中，在第一壳体部111装入第一及第二螺杆轴21、22之后，第二壳体部112经由多个定位销P1及密封部件S1与第一壳体部111结合。虽未图示，第一及第二壳体部111、112的结合使用多个螺栓。

[0058] 第二单元U2通过在电动机壳31装入圆筒部件32、配置于圆筒部件32的周围的定子铁心42、配置于圆筒部件32的外周面与电动机壳31的内周部之间的密封环S3、以及与圆筒部件32的开口端部321对置的限制部件34而制作。

[0059] 在本实施方式中，在电动机壳31的电动机室311固定定子铁心42及保护板33，在支承壁部314的安装槽安装密封环S3之后，在电动机室311内安装圆筒部件32。由于圆筒部件32具有台阶部325，因此能够在不使密封环S3从支承壁部314脱落的情况下，向电动机室311稳定地组装圆筒部件32(图4A～4C)。

[0060] 在组装圆筒部件32后，在电动机壳31(支承壁部314)组装与圆筒部件32的开口端部321对置的限制部件34。开口端部321可以与限制部件34接触，也可以隔开给定的间隙与限制部件34对置。

[0061] 在第一及第二单元U1、U2的结合工序中，在使第一及第二单元U1、U2沿Y轴方向对齐的状态下，泵壳11与电动机壳31经由多个定位销P2及密封部件S2相互结合。虽未图示，泵壳11及电动机壳31的结合使用多个螺栓。

[0062] 在第一及第二单元U1、U2结合时，转子铁心41进入到圆筒部件32的内部，直至泵壳11及电动机壳31相互接触的位置为止。由于圆筒部件32经由密封环S3固定于电动机壳31，因此收容于电动机室311内的转子铁心41被圆筒部件32密封。由此，构成密封式电动机。

[0063] 在此，在转子铁心41朝向电动机室311被装入时，由于与定子铁心42之间的磁性相互作用(磁力)，有时会与圆筒部件32的内周面接触。在本实施方式中，圆筒部件32以夹在定子铁心42与限制部件34之间的状态保持于电动机壳31的内部。因此，即使圆筒部件32由于转子铁心41而受到沿径向的接触压力，也能够阻止在电动机室311中的相对位置的变化，并且能够不使密封环S3的安装位置发生变动而稳定地装入转子铁心41，直至在周向上与定子铁心42对置的位置为止。

[0064] 例如，在图5中示出了对比例所涉及的密封式电动机500的结构。在该图中，收容转子铁心61的圆筒部件52具有凸缘形状的开口端部521，并经由沿着开口端部521的周缘配置的密封环80安装于电动机壳51。支承转子铁心61的旋转轴71经由轴承72与泵壳54连结。泵壳54经由环状的密封部件82与收容定子铁心62的电动机壳51结合。

[0065] 此时，在由于转子铁心61与定子铁心62的磁性相互作用，转子铁心61相对于Y轴方向倾斜而与圆筒部件52的内周面接触时，存在圆筒部件52的姿态发生变化，或者由于圆筒部件52的姿态变化而在密封环80的安装位置产生偏移，或者密封环80脱落的可能。

[0066] 并且，由于密封环80配置于圆筒部件52的凸缘状的开口端部521的周围，因此在向电动机壳51安装圆筒部件52时，存在密封环80无法越过开口端部521而被向定子铁心62侧推开，或者安装位置部分地偏移的情况。在安装圆筒部件52后无法确认如上所述的密封环80的状态，因此有可能不会发现圆筒部件52的密封不良而组装密封式电动机500。

[0067] 与此相对，根据本实施方式的真空泵100，如图2所示，圆筒部件32以夹在定子铁心42与限制部件34之间的状态保持于电动机壳31的内部，因此电动机室311中的圆筒部件32的相对位置的变动得到限制。由此，即使由于转子铁心41而受到沿径向的接触压力，也能够防止圆筒部件32、密封环S3的安装位置的变动，从而组装作业变得容易。

[0068] 就对比例所涉及的密封式电动机500而言，由于圆筒部件52的开口端部521具有凸缘形状，因此根据圆筒部件52的内部的压力变化，在凸缘部与圆筒部之间的边界部容易反复发生应力集中，因此存在圆筒部件52容易损坏的问题。

[0069] 与此相对，在本实施方式中，由于圆筒部件32形成为在其开口端部321不具有凸缘部的直筒形状，因此能够由圆筒部件的内壁面整体承受伴随圆筒部件32的内部的压力变化而产生的应力。由此，即使在圆筒部件32由合成树脂等强度相对较低的材料构成的情况下，也能够可靠地防止由上述压力变化引起的圆筒部件32的损坏，从而提高真空泵100的耐久性。

[0070] 并且，根据本实施方式的真空泵100，由于在电动机室311中具备对圆筒部件32进行定位的限制部件34，因此与在圆筒部件32设置螺钉紧固部而向电动机室直接固定的情况等相比，能够防止由上述压力变化引起的圆筒部件32的局部变形。而且，由于经由密封环S3安装于支承壁部314的圆筒部件32的开口端部321形成为圆筒形状，因此能够在开口端部321的圆周方向上均匀地分散伴随上述压力变化而产生的应力，从而确保圆筒部件32的所期望的耐压特性。

[0071] 另一方面，根据本实施方式，由于在圆筒部件32的周面部设置有锥状的台阶部325，因此在向电动机壳31安装圆筒部件32时，密封环S3能够不使其安装位置发生变动而稳定地向第一圆筒部323侧跨越。由此，能够阻止由圆筒部件32的安装引起的密封环S3的意外的位置偏移，从而确保泵组装时的密封环S3的可靠性，并且能够实现组装作业性的提高。

[0072] 并且，根据本实施方式，电动机壳31不仅具有电动机室311，还具有齿轮室312，因此不需要用于形成齿轮室312的另外的壳体，从而能够实现组装作业性的进一步提高。

[0073] 以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限定于上述的实施方式，当然能够加以各种变更。

[0074] 例如，在以上的实施方式中，作为真空泵100，举出螺杆泵为例进行了说明，但并不限于此，本发明也能够应用于罗茨泵或机械增压泵等。

[0075] 另外，本发明也能够应用于具有单个旋转轴的旋转泵、涡旋泵。

[0076] 并且，圆筒部件32也可以不具有台阶部325而构成为直线状。在该情况下，例如，在维护时，能够将圆筒部件从安装保护板33的电动机壳31的前端侧拔出。标号说明

[0077] 11  泵壳13  泵室
14  进气口
15  排气口
21  第一螺杆轴
22  第二螺杆轴
23、24  同步齿轮
31  电动机壳
311  电动机室
312  齿轮室
314  支承壁部
32  圆筒部件
321  开口端部
322  闭塞端部
323  第一圆筒部
324  第二圆筒部
325  台阶部
34  限制部件
40  电动机
41  转子铁心
42  定子铁心
100  真空泵
B1、B2  轴承
S3  密封环
U1  第一单元
U2  第二单元

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