一种侧向锁紧装置
专利汇可以提供一种侧向锁紧装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种侧向 锁 紧装置，用于 光刻 机 工件 台系统微动模 块 的装配，包括连接架，连接多个微动 电机 定子 与微动 底板 ；所述连接架中还包括若干 定位 柱，定位柱上端通过预紧装置与连接架固定，定位柱下端连接底部的定位销；定位柱中间开有横向贯通的孔； 水 平推板，安装在与微动底板连接的直线 导轨 上；水平推板的一端还包括一具有楔形导向部位的锁紧销，锁紧销水平插入所述定位柱的所述横向贯通的孔中；侧向锁紧 螺纹 件，通过在固定于微动底板的 螺母 座中的旋转运动，推动水平推板使锁紧销完成进给和锁定；以及长螺钉，螺纹部分水平插入水平推板的另一端，对锁紧螺纹件和螺母座进行防松锁定。本 发明 克服微动电机定子与微动底板在安装与拆卸过程中方位和空间的限制，方便微动模块的维修和维护。，下面是一种侧向锁紧装置专利的具体信息内容。
1.一种侧向锁紧装置，用于光刻机工件台系统微动模块的装配，其特征在于所述侧向锁紧装置包括：
连接架，连接多个微动电机定子与微动底板；所述连接架上端支撑微动电机定子，下端通过定位销与微动底板定位；所述连接架中还包括若干定位柱，定位柱上端通过预紧螺钉与连接架固定，定位柱下端连接底部的定位销；定位柱中间开有横向贯通的孔；
水平推板，安装在与微动底板连接的直线导轨上；水平推板的一端还包括一具有楔形导向部位的锁紧销，锁紧销水平插入所述定位柱的所述横向贯通的孔中，从而锁紧微动电机定子与微动底板；
侧向锁紧螺纹件，通过在固定于微动底板的螺母座中的旋转运动，推动水平推板使锁紧销完成进给和锁定；以及
长螺钉，螺纹部分水平插入水平推板的另一端，对锁紧螺纹件和螺母座进行防松锁定。
2.如权利要求1所述的侧向锁紧装置，其特征在于所述侧向锁紧装置还包括一系列预紧簧片，所述预紧簧片设置于所述预紧螺钉与连接架之间。
3.如权利要求1所述的侧向锁紧装置，其特征在于所述侧向锁紧装置还包括布置在所述水平推板两侧的限位销及限位凸起。
一种侧向锁紧装置
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
013的横向贯通的孔中，从而锁紧微动电机定子03b与微动底板002。还包括一侧向锁紧螺纹件004，锁紧件004与固定在微动底板002上的固定螺母座006形成螺纹副。螺纹件004的一端顶住水平推板008的一端，旋转锁紧螺纹件004后，推动水平推板008水平移动，具有楔形导向部位的锁紧销010完成对定位柱013的锁定后，拧入长螺钉005，进行对螺纹副的防松锁定。
004头部的六角区操作，可以使其推动推板008的进给或退出运动，由于导向销011和导向座012的导向作用，以及推板008下部的直线导轨009的副导向作用，推板008头部的锁紧销010也具有进给和退出的动作，该动作可以完成对微动电机定子003b的锁紧作用。其中，对锁紧销011进行导向作用的主要是011导向销，采用直线导轨009是作为辅助导向，并且可以防止推板008与微动底板002间接触而产生干摩擦。这对于设备的初装和调试阶段显得尤为重要，在该阶段总是会不断的对微动模块内部进行检查和维护，微动电机定子的接口必须具有一定的耐用性和可靠性。
在定子连接架016下方使用预紧螺钉014连接了定位柱013，定位柱013的底部固连了定位销017。定位销017主要用于配置连接架016与微动底板002水平(X|Y|Rz)向自由度，连接架016底部用于配置垂向(Z|Rx|Ry)向自由度。位于预紧螺钉014和连接架016之间的预紧簧片015可以为碟形簧片组，也可以为压缩弹簧的形式，主要用于对定位柱010进行预紧。
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