技术领域
[0001] 本
发明涉及
光刻机设备领域，且特别涉及一种用于搬运高精度工件的运输推车。
背景技术
[0002] 在
光刻机整机集成中，工件台分系统与
框架分系统分别集成，工件台分系统集成完毕后，将会整体搬运并安装到整机框架分系统内。由于工件台的
质量较大，且内部安装有大量精密、易损零部件，工件台如何安全且准确的搬运到
指定安装
位置，一直是整机集成过程中比较难解决的问题。为了将工件台安全且准确的搬运到指定安装位置，需要推车满足如下要求：
[0003] 1.搬运推车的升降高度可调，推车必须牢固，载重量大；
[0004] 2.搬运推车能有效防止工件台装载到推车过程中的碰撞。
[0005] 3.搬运推车能隔离推车在移动过程中产生的震动，且有自
锁功能。
[0006] 4.搬运推车能快速与框架系统对接，方便、稳定、可靠的将工件台移动至指定安装位置。以便后续安装工作。
[0007] 目前公知的用于运送工件的推车在运输过程中的防震效果主要是通过
脚轮的
橡胶或额外的橡胶垫来实现的。其效果对于高精度零件，特别是含有光学零部件等易损的工件来说是相当有限的。当遇到地面不平整的时候，很难保证小车减震功能。工件在推车
定位过程、工件移出推车过程中保护不足，或根本没有保护，也时常造成工件的震动，碰撞等损害。在工件台搬运的装载、平移、卸载的整个过程中，减震性、安全性、安装精确度以及使用方便性方面均不理想。
发明内容
[0008] 本发明提出一种用于搬运高精度工件的运输推车，能安全可靠、方便快速的将大型精密部件装载、卸载并准确安放到指定的安装位置，能有效的防止全过程中可能产生的磕碰及震动。
[0009] 为了达到上述目的，本发明提出一种用于搬运高精度工件的运输推车，包括：
[0010] 底座；
[0011] 脚轮，安装在所述底座底部；
[0012] 固定
支撑脚，安装在所述底座上，包括锁紧机构，用于记录所述支撑脚的高度；
[0013] 升降锁紧机构，安装在所述底座顶部；
[0014] 托板，与所述升降锁紧机构连接，并设置在所述升降锁紧机构的上方，由所述升降锁紧机构调整所述托板的高度；
[0015] 气囊支座，连接在所述托板侧面，并固定；
[0016] 气浮支座，固定连接于被运输工件上；以及
[0017] 夹紧工装，设置于所述底座上，使所述托板的侧面与所述被运输工件的安装面侧面贴合；
[0018] 所述气囊支座上设有垂直安装的气囊，所述垂直安装的气囊安装于所述被运输工件的侧面，一端固定在所述气囊支座上，另一端安装有滚轮机构；
[0020] 进一步的，所述夹紧工装包括：连接在所述底座上的安装底座、一端与所述安装底座活动连接的
连杆、中部与所述连杆另一端活动连接的挂杆、中部与所述挂杆尾端的活动连接
手柄、连接于所述挂杆前端的调整螺杆以及工装固定块；所述手柄的前端与所述安装底座活动连接；所述工装固定块安装于所述安装面所在的框架上；所述调整螺杆与工装固定块配合。
[0021] 进一步的，还包括支撑
底板，固定连接在所述托板底部；所述支撑底板上安装有气囊，支撑所述被运输工件底部，所述气囊高出所述托板。
[0022] 进一步的，还包括限位机构，设置于所述底座上，由限位座、限位螺钉和限位块块组成，所述限位机构位于所述夹紧工装的下方，调整使所述托板的侧面与所述被运输工件的安装面侧面紧密贴合。
[0023] 进一步的，所述滚轮机构包括：滚轮座、插入所述滚轮座的滚轮轴、套设在所述滚轮轴上的
轴承、包裹在所述轴套外的滚轮、一端抵设于所述轴承的轴套，设置于所述轴套另一端的锁紧
螺母；旋紧所述锁紧螺母轴向锁定所述滚轮轴。
[0024] 本发明提出一种用于搬运高精度工件的运输推车，通过合理采用11个气囊分布于工件四周，全方位的保护工件在装载、运输以及卸载过程中免受震动及碰撞；通过预调定位机构及锁紧夹具。实际搬运时，仅需锁紧锁紧夹具、提升支撑脚两步即可快速定位、可靠锁紧其卸载位置，减少了装载状态下的调整环节；有效提高搬运效率及使用方便性；通过采用可拆卸的气浮装置，使安装工件更加精确、可靠及方便。
附图说明
[0025] 图1为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳
实施例的正视图。
[0026] 图2为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的右视图。
[0027] 图3为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的左视图。
[0028] 图4为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的俯视图。
[0029] 图5为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的夹紧工装的结构示意图。
[0030] 图6为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的滚轮机构的结构示意图。
[0031] 图7为图6的C-C向剖视图。
[0032] 图8为图3的F-F向剖视图。
[0033] 图9和图10为本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车较佳实施例的限位机构结构的放大示意图。
具体实施方式
[0034] 为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
[0035] 请参考图1～图4，本发明提出一种用于搬运高精度工件的运输推车，包括：底座1、安装在底座1底部的脚轮2、安装在所述底座1上固定支撑脚3、安装在底座1顶部的升降锁紧机构4、与升降锁紧机构4连接，并设置在升降锁紧机构4上方的托板5，固定连接于被运输工件上气浮支座6、连接并固定在托板5侧面的气囊支座8、设置于所述底座上的夹紧工装13；夹紧工装13使所述托板5的侧面与被运输工件的安装面侧面相贴合；托板5由升降锁紧机构4调整高度；气浮支座6上设有气浮块9；所述气囊支座8上设有垂直安装的气囊7，所述垂直安装的气囊7安装于所述被运输工件的侧面，一端固定在所述气囊支座8上，另一端安装有滚轮机构12。
[0036] 本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车实现工件的搬运一般包括下述几个阶段：第一、准备阶段，第二、装载阶段，第三、运输阶段，第四、卸载阶段。
[0037] 准备阶段，可预先调整好本发明推车与安装面所在的框架的相对位置，主要通过夹紧工装13完成。请参见图5所示，夹紧工装13包括：连接在底座1上的安装底座131、一端通过第一销轴133活动连接于安装底座131的连杆132、中部通过轴销活动连接于连杆132另一端的挂杆134、中部通过第二销轴135活动连接于挂杆134尾端的手柄136、连接于挂杆134前端的调整螺杆137以及工装固定块138；手柄136的前端通过轴销活动连接于安装底座131，工装固定块138安装于安装面所在的框架上；挂杆132可绕第一销轴133旋转；手柄136可绕第二销轴135旋转。
[0038] 结合图1至图5所示，当推动本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车至安装面所在的框架时，先使调整螺杆137与工装固定块138初步对准，压下手柄136至锁死位置，使本发明运输推车与安装面所在框架贴合，使托板5的侧面与被运输工件的安装面的侧面相贴合，同时旋转固定支撑脚3的锁紧机构，将本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车整体抬升一段距离，使滚轮2离地，使托板5的上表面与被运输工件的安装面相接合。紧固定支撑脚3的锁紧机构，记录支撑脚3提升的高度，以便重复使用。调整托板5下方的升降锁紧机构4精调托板5相对于安装面的位置。使其高度差＜0.05mm。以便气浮块9顺利通过交界。
[0039] 装载阶段
[0040] 固定支撑脚3升起，处于悬空状态。以便推车能自由移动。升降锁紧机构4处在中间位置，以便后期调整。用行车或其他起重提升设备将被运输工件
水平提升致高于本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车的高度，并保持位置。将本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车移动至被运输工件下方，调整本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车位置，使其与被运输工件相对应。缓慢放下被运输工件。将被运输工件安放至于托板5上表面，使被运输工件垂向固定。锁紧气囊支座8的安装螺钉，对垂直安装的气囊7加0.1MPa低压，将滚轮机构12固定到被运输工件侧面相应位置，使被运输工件水平向位置固定。
[0041] 请参见图6和图7所示，滚轮机构12包括滚轮座121、插入滚轮座121的滚轮轴122、套设在滚轮轴122上的轴承127、包裹在轴套127外的滚轮123、一端抵设于轴承127的轴套126，设置于轴套126另一端的锁紧螺母125；旋紧锁紧螺母125轴向锁定所述滚轮轴122，滚轮机构12的滚轮轴122抵住被运输工件侧面相应位置，使被运输工件水平向位置固定，然后将垂直安装气囊7的压
力增加至0.5±0.02MPa，结合包裹在滚轮123外部的橡胶层可防止运输过程中被运输工件侧面的所受到的碰撞及震动。
[0042] 运输阶段
[0043] 推动本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车靠近至安装面所在的框架。在此过程中在托板5的底部可连接支撑底板10，在支撑底板10上安装有气囊7，支撑所述被运输工件底部，结合垂直安装的气囊7隔离被运输工件在本平移过程中所受到的各个方向碰撞及震动，能将被运输工件在平移过程中由于路面不平或其他原因而可能受到的碰撞及震动降至最低。
[0044] 卸载阶段
[0045] 将本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车推动至安装面所在框架的位置。使调整螺杆137与工装固定块138对准，压下手柄136至锁死位置，使托板5的侧面与被运输工件的安装面的侧面相贴合，同时旋转固定支撑脚3的锁紧机构至准备阶段时记录的位置，使托板5的上表面与被运输工件的安装面相接合，锁紧固定支撑脚3的锁紧机构。降低垂直安装的气囊7的气压，并松开其滚轮机构12上与被运输工件相连的螺钉，使滚轮可以在工件台侧面任意滚动，作为被运输工件移动时的导向机构。降低侧面四个垂直安装的气囊7的压力至0.2MPa。配合水平仪等测量工具，调整托板5下方的升降锁紧机构4检验托板5相对于安装面的位置。保证其高度差＜0.05mm。以便气浮块9顺利通过交界。
[0046] 在此过程中为了使托板5的侧面与被运输工件的安装面的侧面贴合的更加紧密还可以使用限位机构15，请参见图8至图10，限位机构15由限位座151、限位螺钉152和限位块153、154组成，限位机构15位于所述夹紧工装13的下方，限位块153、154安装于安装面所在的框架上。将左侧限位螺钉152前端圆头与左侧限位块153、154粗略对齐即可使推车托板5与安装面侧面贴合更加紧密。
[0047] 本发明一种用于搬运高精度工件的运输推车的安装方法，请参见图1至图4所示，脚轮2利用内六
角圆柱头螺钉安装在底座1上，固定支撑脚3通过
螺纹安装在底座1上，升降锁紧机构4通过内六角圆柱头螺钉安装在底座1上，托板5利用内六角圆柱头螺钉与升降锁紧机构4连接。
[0048] 每块支撑底板10通过内六角圆柱头螺钉固定在托板5下方，而水平安装的气囊7共有6个，下部分别通过内六角圆柱头螺钉安装在支撑底板10之上。上部安装橡胶垫，防止刮伤工件台底部。充气后会将上半部分伸出托板5的上表面。并保证放置了被运输工件后，仍伸出托板5的上表面一定高度，以此可以隔离搬运过程中所产生的Z向震动。五个垂直安装气囊支座8分别用
转轴11连接在托板5侧面，并用内六角螺钉固定。5个气囊7分别垂直安装在被运输工件左、右以及后侧面上，运输过程中与被运输工件固联，以此可以隔离搬运过程中所产生的水平向震动。
[0049] 水平气囊7一端利用2个M8内六角圆柱头螺钉固定在水平气囊支座8上；另一端用2个M8内六角圆柱头螺钉安装滚轮机构12。
[0050] 将四个气浮块9分别用螺钉安装于四个气浮支座6之上。
[0051] 将四个已安装好气浮块9的气浮支座6分别放置在被运输工件前后两端，保证其底部的气浮块9均与托板5顶部表面紧密
接触。旋下气浮支座6顶部的2个限位螺钉，使两个
螺钉头顶住气浮支座6顶部平面。限制气浮支座6的z向以及Rx、Ry向
自由度。锁紧气浮支座6上的2个锁紧螺钉。限制其X，Rz向自由度，底座1的前端横杠上表面安装有2套夹紧工装13。
[0052] 请参考图5，夹紧工装13的工装固定块138由M8内六角圆柱头螺钉安装固定在安装面所在框架的相应位置上。
[0053] 锁紧夹具13包括：安装底座131、连杆132、第一销轴133、挂杆134、第二销轴135、手柄136、调整螺杆137、工装固定块138。调整螺杆137通过螺纹与挂杆134前端相连，并可由锁紧螺母锁紧其位置。整个锁紧夹具13构成一个4
连杆机构。其固定锁紧位置为连杆机构的死点，确保机构可以快速可靠的锁紧。
[0054] 连杆132通过第一销轴133与安装底座131相连，可绕第一销轴133轴向任意旋转角度。挂钩134中部通过第二销轴135与连杆132相连，并可绕第二销轴135轴向任意旋转。挂杆134尾部通过第二销轴135与手柄136相连。并可绕第二销轴135轴向旋转，可以在水平向定位锁紧后少量调整推车Z向高度而不受干扰，令调整更加方便。
[0055] 请参考图6和图7，滚轮机构12包括：滚轮座121、滚轮轴122、滚轮123、锁紧螺钉124、锁紧螺母125、轴套126、、轴承127。
[0056] 滚轮轴122从滚轮座121上的大轴孔插入，依次将轴承127、轴套126、第二个轴承127穿入滚轮轴122，套上滚轮123，最后旋紧锁紧螺母125将滚轮轴122轴向锁定。滚轮
123内层材质为45
钢，外层材质为尼龙。在装载过程中可利用锁紧螺钉124将5个滚轮机构12分别固定到被运输工件侧面相应位置；在卸载过程中，可卸除锁紧螺钉124，使滚轮可以在被运输工件侧面任意滚动。作为工件台移动时的导向机构。通过滚轮导向，确保被运输工件移出方向，以及在移出过程中两侧面的安全。
[0057] 请参考图8～图10，底座1的前端横杠前侧安装有2套限位机构15。用两个六角螺钉固定在横杠上。限位机构15由限位座151、限位螺钉152、左侧限位块153、右侧限位块154组成。左侧限位块153、右侧限位块154分别用螺钉安装在安装面所在的框架相应位置上。左侧限位块153为V型槽结构，与限位螺钉152前端圆头配合可对推车的Y向定位。右侧限位块154与限位螺钉152前端圆头接触面为平面。两组限位机构配合使用，可对推车的Y向，X向定位。
[0058] 虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视
权利要求书所界定者为准。
