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图像显示装置及其拆解处理方法和元件回收方法

阅读：791发布：2022-03-27

专利汇可以提供图像显示装置及其拆解处理方法和元件回收方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且为再利用平板显示器所用玻璃,必须实现例如分离铅成分的处理等有益于全球环境的处理方法。用于具有主要含玻璃的面板和 背板 通过 框架 由熔结玻璃气密结合的结构的平板显示器的拆解处理方法,其特征在于,包括分离用熔结玻璃结合的面板和背面的步骤。分离步骤的特征在于,通过切割、溶解或 熔化 ,分离面板和背板。，下面是图像显示装置及其拆解处理方法和元件回收方法专利的具体信息内容。

1、一种用于平板显示器(FPD)的平板显示器拆解处理方法， 所说平板显示器具有以下结构，主要含玻璃的面板和背板利用熔结 玻璃通过框架气密地结合在一起，其特征在于，包括：
分离利用熔结玻璃结合的面板和背板的步骤。
2、根据权利要求1的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 分离步骤包括通过切割分离面板和背板。
3、根据权利要求1的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 分离步骤包括通过溶解分离面板和背板。
4、根据权利要求1的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 分离步骤包括通过熔化分离面板和背板。
5、一种用于平板显示器的平板显示器拆解处理方法，所说平板 显示器具有以下结构，主要含玻璃的面板和背板利用熔结玻璃通过 框架气密地结合在一起，其特征在于，包括从利用熔结玻璃结合到 框架的部分处的其余部分分离面板和背板的步骤。
6、根据权利要求5的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 所说平板显示器引入分隔件，面板的内表面具有荧光屏，当从利用 熔结玻璃结合到框架的部分处的其余部分分离面板和背板时，分隔 件和荧光屏留在从结合到框架的部分分离的部分处。
7、根据权利要求5或6的平板显示器拆解处理方法，其特征在 于，通过切割部分面板和背板，从其余部分上分离用熔结玻璃结合 的一部分框架。
8、根据权利要求7的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 利用决定切割位置的装置，进行用熔结玻璃结合的框架部分位置的 探测。
9、根据权利要求8的平板显示器拆解处理方法，其特征在于， 决定切割位置的装置包括视频摄像机。
10、一种用于平板显示器的平板显示器拆解处理方法，所说平 板显示器具有以下结构，主要含玻璃的面板和背板利用熔结玻璃通 过框架气密地结合在一起，其特征在于，包括利用硝酸溶解熔结玻 璃的步骤。
11、根据权利要求10的平板显示器拆解处理方法，其中所说平 板显示器引入了分隔件。
12、根据权利要求10或11的平板显示器拆解处理方法，其中 熔结玻璃含铅。
13、根据权利要求10-12中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中用硝酸溶解熔结玻璃的步骤包括将整个平板显示器浸泡在 硝酸中，以分离面板、框架、背板和分隔件的各部分。
14、根据权利要求10-13中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中在硝酸中浸泡平板显示器的步骤包括只浸泡背板和框架间 的结合部分，以便再利用带有框架的面板。
15、根据权利要求10-14中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中在硝酸中浸泡平板显示器的步骤包括只浸泡面板和框架间 的结合部分，以便再利用带有框架的背板。
16、根据权利要求10-13中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中在硝酸中浸泡平板显示器的步骤包括溶解背板或面板和框 架间的结合部分中一个或两个，从而再利用分隔件。
17、根据权利要求10-16中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中分离和回收熔结玻璃中的铅的方法包括电解法或沉积法。
18、根据权利要求10-17中任一项的平板显示器拆解处理方 法，其中回收和再利用平板显示器中所用的贵金属元素和稀土元 素。
19、一种用于图像显示装置的背板循环方法，其中所说图像显 示装置至少由背板、面板和支撑框架构成，所说背板具有多个由一 对元件电极和导电膜构成的电子发射元件，所说面板具有图像形成 部件，图像通过电子发射元件发射的电子形成在图像形成部件上， 所说支撑框架连接背板和面板，用于保持内部压力，在报废通过用 熔结玻璃焊接面板、背板和支撑框架构成的图像显示装置时，回收 和再利用所说背板，其特征在于，包括：
将焊接部分浸在硝酸溶液中，溶解熔结玻璃，从而回收面板； 及
利用喷墨法在回收的背板上形成导电膜。
20、根据权利要求19的用于图像显示装置的背板循环方法，其 中图像显示装置引入了用作耐大气压结构部件的分隔件。
21、根据权利要求19或20的用于图像显示装置的背板循环方 法，其中背板的基板包括玻璃。
22、根据权利要求19-21中任一项的用于图像显示装置的背板 循环方法，其中熔结玻璃含氧化铅。
23、根据权利要求19-22中任一项的用于图像显示装置的背板 循环方法，其中导电膜利用喷泡法形成。
24、根据权利要求19-23中任一项的用于图像显示装置的背板 循环方法，在将焊接部分浸在硝酸溶液中以溶解熔结玻璃的步骤 后，还包括去掉导电膜的步骤。
25、一种平板显示器中分隔件的回收方法，所说平板显示器至 少具有背板、面板、框架部分和分隔件，所说背板具有多个电子发 射元件，面板设置成面对背板并具有图像显示部分，分隔件用于保 持背板和面板间的间隔以抗大气压，背板、面板、框架部分和分隔 件利用熔结玻璃焊接在一起，其特征在于，当在硝酸溶液中浸泡分 隔件与背板或面板间的焊接部分以溶解熔结玻璃时，采用分隔件回 收夹具，以避免各分隔件间或分隔件与周围部件间的接触。
26、根据权利要求25的分隔件回收方法，其中分隔件为板形， 厚度不大于300微米。
27、根据权利要求25的分隔件回收方法，其中分隔件回收夹具 包括具有能够存放分隔件的一个或多个凹槽的平板。
28、根据权利要求25的分隔件回收方法，其中分隔件回收夹具 包括具有能够夹紧和固定各分隔件的末端和能够使所说末端在任意 方向移动的臂的夹具。
29、根据权利要求25-28中任一项的分隔件回收方法，其中分 隔件回收夹具的部分或全部由氟塑料形成。
30、根据权利要求25-28中任一项的分隔件回收方法，其中分 隔件的基板包括玻璃。
31、根据权利要求25的分隔件回收方法，其中熔结玻璃含氧化 铅。
32、根据权利要求25的分隔件回收方法，其中通过切割或熔结 玻璃溶解，分离背板、面板和框架。
33、一种用于平板显示器的分隔件回收装置，所说平板显示器 至少具有带多个电子发射元件的背板、面板、框架部分和分隔件， 其特征在于，包括：
用于溶解分隔件和背板或面板间焊接部分的硝酸溶液槽；及用 于防止分隔件和外围部件间接触的分隔件回收夹具。
34、一种从显示装置中回收荧光物质的方法，在所说显示装置 中，荧光物质涂敷在基板上，引起发光以实施显示，其特征在于， 利用刷子和抽吸单元回收涂敷到基板上的荧光物质。
35、根据权利要求34的回收荧光物质的方法，其特征在于，从 其上回收荧光物质的基板包括从由面板、框架部分和背板构成的平 板显示器装置上分离和回收的面板。
36、根据权利要求35的回收荧光物质的方法，其特征在于，分 隔件插在面板和背板之间。
37、根据权利要求34的回收荧光物质的方法，其特征在于，从 其上回收荧光物质的基板包括从由面板和锥体构成的CRT上分离和 回收的屏板。
38、根据权利要求34-37中任一项的回收荧光物质的方法，其 特征在于，刷子包括旋转刷，利用该旋转刷使涂有荧光物质的基板 的表面光洁。
39、一种显示装置制造方法，其特征在于，包括：把利用权利 要求34-37限定的从显示装置中回收荧光物质的方法去除了荧光物 质的基板，再用于显示装置。
40、一种图像显示装置，其特征在于，包括用于显示图像的显 示装置、气密容器和根据需要用于使所说气密容器的内部逐步改变 为接近所说气密容器外压力的装置。
41、一种根据权利要求40的图像显示装置，其特征在于，所说 装置还包括排气装置，所说用于使所说气密容器的内部逐步改变为 接近所说气密容器外压力的装置，设置在所说气密容器上与所说排 气装置相连的装置不同的位置。
42、根据权利要求40或41的图像显示装置，其特征在于，使 所说气密容器内部变到接近气密容器外压力的装置包括必需的过滤 器。
43、根据权利要求40-42中任一项的图像显示装置，其中所说 气密容器引入了耐大气压结构部件，耐大气压结构部件包括分隔 件。
44、根据权利要求40或41的图像显示装置，其特征在于，使 所说气密容器内部变到接近气密容器外压力的装置包括采用慢泄漏 阀、设置对应于一定规格的细长管和采用多孔材料中的任一种。
45、一种图像显示装置，其特征在于，包括显示图像的显示装 置、用于保持外部压力的气密容器、所说气密容器内的耐大气压结 构部件、与排气装置连接用于抽空所说气密容器内部的装置、及根 据需要使所说气密容器内部逐步改变为接近所说气密容器外压力的 装置。
46、一种平板显示器，至少具有背板、面板、支撑框架和分隔 件，所说背板具有多个电子发射元件，面板设置成与背板面对并具 有图像显示部分，分隔件用于保持背板和面板间的间隔，背板、面 板、支撑框架和分隔件利用熔结玻璃焊接在一起，其特征在于，
背板与支撑框架的结合和面板与支撑框架的结合采用具有不同 软化温度的熔结玻璃，分隔件和基板间的结合采用软化温度不低于 所说两种熔结玻璃中较高软化温度的熔结玻璃。
47、根据权利要求46的平板显示器，其特征在于，分隔件与背 板和面板之一结合。
48、根据权利要求46的平板显示器，其特征在于，具有不同软 化温度的多种熔结玻璃中的每种，具有与其余熔结玻璃的软化温度 至少为20℃的软化温度差。
49、一种平板显示器拆解方法，其特征在于，在拆解权利要求 46-48中限定的平板显示器的过程中，包括：将平板显示器屏板加 热到不低于所用熔结玻璃中具有最低软化温度的熔结玻璃的软化温 度和不高于其余熔结玻璃的软化温度，仅使具有最低软化温度的熔 结玻璃熔化，选择性仅分离用该熔结玻璃结合的结合部分，重复相 同的过程，然后从利用具有较低软化温度的熔结玻璃的结合部分上 分离平板显示器屏板。
50、根据权利要求49的平板显示器拆解方法，其特征在于，分 离利用具有最高软化温度的熔结玻璃结合的结合部分的方法，包括 将熔结玻璃加热到不低于熔化该熔结玻璃的软化温度，从而分离该 结合部分的方法。
51、根据权利要求49的平板显示器拆解方法，其特征在于，分 离利用具有最高软化温度的熔结玻璃结合的结合部分的方法，包括 用合适的溶剂溶解该熔结玻璃，分离结合部分的方法。
52、根据权利要求51的平板显示器拆解方法，其特征在于，熔 结玻璃含氧化铅。
53、根据权利要求51的平板显示器拆解方法，其特征在于，熔 结玻璃的溶剂包括硝酸。
54、一种平板显示器，具有至少存储一个带有多个电子发射元 件的基板和设置成与所说基板面对并具有图像显示部分的基板的气 密容器，其特征在于，两基板与气密容器间的结合部分利用具有相 应于拆解顺序的不同软化温度的熔结玻璃结合。
55、一种平板显示器，具有至少一个背板、一个面板和一个支 撑框架作构件，所说背板具有多个电子发射元件，所说面板设置成 面对所说背板并具有图像显示部分，所说支撑框架用于支撑各基 板，各构件用熔结玻璃焊接，其特征在于，背板和支撑框架的结合 与面板和支撑框架的结合采用具有不同软化温度的熔结玻璃。
56、一种平板显示器，具有存放电子发射元件的外壳，其特征 在于，构成外壳的背板和支撑框架间的结合部分和面板与支撑框架 间的结合部分采用两种具有不同软化温度的熔结玻璃，用于保持各 基板间的间隔的分隔件与至少一个基板间的结合部分采用软化温度 高于两种熔结玻璃的软化温度或等于任一种熔结玻璃的软化温度的 熔结玻璃结合。
57、一种平板显示器拆解方法，其特征在于，包括：在拆解权 利要求56所限定的平板显示器时，逐步加热平板显示器，然后熔化 和从利用具有较低软化温度的熔结玻璃的结合部分分离平板显示 器，从而拆解平板显示器。
58、一种有害金属残留量检测装置，用于检测例如用于循环利 用的拆解和分解的部件或废物等检测物体中所含如铅等有害金属的 量，其特征在于，包括：第一洗出装置，在用于浸泡检测物体的槽 中，具有用于洗出检测物质中所含有害金属的酸溶液；清洗装置， 用于在利用第一洗出装置洗出后，清洗检测物体；第二洗出装置， 在用于浸泡利用清洗装置清洗过的检测物质的槽中，具有用于洗出 留在检测物体上的有害金属的酸溶液；及定量检测装置，用于定量 检测第二洗出装置的酸溶液中洗出的有害金属量。
59、根据权利要求58的有害金属残留量检测装置，其特征在于， 所说定量检测装置包括利用吸收法定量检测有害金属量的定量检测 装置。
60、根据权利要求58的有害金属残留量检测装置，其特征在于， 所说定量检测装置包括利用等离子发射谱分析方法定量检测有害金 属量的定量检测装置。
61、根据权利要求58-60中任一项的有害金属残留量检测装 置，其特征在于，检测物体包括构成平板显示器等的玻璃部件。
62、根据权利要求58-61中任一项的有害金属残留量检测装 置，其特征在于，利用所说定量检测装置定量检测的有害金属包括 铅。
63、根据权利要求58-62中任一项的有害金属残留量检测装 置，其特征在于，所说第一洗出装置或所说第二洗出装置所用酸溶 液包括硝酸溶液。
64、根据权利要求59的有害金属残留量检测装置，其特征在于， 吸收法包括在硝酸溶液中的铅离子中加入碘化物以显出颜色，然后 测量吸收，从而从吸收值中得到铅离子浓度。
65、根据权利要求60的有害金属残留量检测装置，其特征在于， 等离子发射谱分析法包括取得铅离子在硝酸溶液中的浓度。
66、一种平板显示器拆解装置，用于拆解和循环利用平板显示 器，所说平板显示器中，框架部分插在背板和面板间，构成扁平真 空容器，用于保持两板间间隙抗大气压的分隔件固定在两板上或两 板之一上，其特征在于，包括：
第一支撑装置，用于对固定于分隔件上的板加上拉力支撑该 板，以便进行从真空容器上分离框架的步骤；第二支撑装置，用于 在框架分离后容纳和支撑固定于分隔件上的板的一个边缘；分隔件 回收装置，用于进行从利用第二支撑部件容纳和支撑的板上分离分 隔件。
67、根据权利要求66的平板显示器拆解装置，其特征在于，所 说第一支撑装置包括抽空装置，用于通过从抽空装置的抽吸力产生 提拉力来支撑板。
68、根据权利要求66的平板显示器拆解装置，其特征在于，所 说第一支撑装置包括抽吸装置，用于从抽吸器的抽吸力产生提拉力 来支撑板。
69、根据权利要求66-68中任一项的平板显示器拆解装置，其 特征在于，所说分隔件回收装置包括酸溶液浸泡槽，用于通过在酸 溶液中浸泡所说第二支撑装置，从被容纳/支撑的板上分离分隔件。
70、根据权利要求66-68中任一项的平板显示器拆解装置，其 特征在于，所说分隔件回收装置包括加热炉，用于通过加热所说第 二支撑装置，从被容纳/支撑的板上分离分隔件。
71、根据权利要求66-70中任一项的平板显示器拆解装置，其 特征在于，还包括传送装置，用于在从真空容器上分离了框架部件 的步骤后，容纳来自第一支撑装置的支撑板，容纳和支撑该板的一 个边缘，并将该板传送到所说第二支撑装置。
72、根据权利要求71的平板显示器拆解装置，其特征在于，所 说传送装置具有防止固定到分隔件上的板的负载加于分隔件上的结 构。
73、一种用于平板显示器的报废平板显示器拆解处理方法，所 说平板显示器具有这样的结构，其中两基板即主要含玻璃的面板和 背板通过框架利用含铅熔结玻璃被气密结合，所说方法的特征在 于，包括以下步骤：从将报废的平板显示器上分离和取出包括面板 的一部分和包括背板的一部分；分别收集多个包括面板的取出部分 和包括背板的取出部分，分别同时将这些部分放入处理槽中，进行 浸泡处理。
74、根据权利要求73的报废平板显示器拆解处理方法，其特征 在于，浸泡处理包括利用酸或碱的水溶液处理。
75、根据权利要求73的报废平板显示器拆解处理方法，其特征 在于，浸泡处理包括利用酸或碱的水溶液处理，和随后用水或有机 溶剂清洗。
76、根据权利要求73-75中任一项的报废平板显示器拆解处理 方法，其特征在于，通过使处理槽中的处理溶液流动进行浸泡处理。
77、根据权利要求73-76中任一项的报废平板显示器拆解处理 方法，其特征在于，通过使处理溶液在处理槽和外界间循环，进行 浸泡处理。
78、根据权利要求73-77中任一项的报废平板显示器拆解处理 方法，其特征在于，通过加热处理溶液进行浸泡处理。
79、根据权利要求73-78中任一项的报废平板显示器拆解处理 方法，其特征在于，通过对要处理物体传播振动或超声波，进行浸 泡处理。
80、一种平板主体固体装置，用于固定通过框架结合一对彼此 面对的屏板得到的平板主体，其特征在于，包括：
设置成相对于平板主体可收缩以便包围设于基座上的平板主体 的固定夹具，其中固定夹具摆动，并从平板主体周围与平板主体接 触，从而固定平板主体。
81、根据权利要求80的平板主体固定装置，其特征在于，还包 括：
用于相对于平板主体来回移动固定夹具的驱动机构；
用于根据固定夹具的移动量检测所说固定夹具位置的位置检测 装置；及
用于控制所说驱动机构的控制器，
平板主体的尺寸由利用所说位置检测装置得到的所说固定夹具 的位置信息来检测。
82、根据权利要求80或81的平板主体固定装置，其特征在于， 还包括用于通过形成于基座中的吸持孔吸持和固定平板主体的吸持 装置。
83、一种平板显示器荧光物质回收装置，用于回收平板显示器 中的荧光物质，所说平板显示器包括面板、背板和框架，该平板显 示器由于电子辐射涂敷于面板上的荧光物质而发光，其特征在于， 包括：
在权利要求80-82中任一项权利要求限定的所说固定装置，所 说面板由所说固定夹具从四个方向被固定。
84、根据权利要求83的平板示器荧光物质回收装置，其特征在 于，所说装置包括多个用于从由所说固定装置固定的面板回收荧光 物质的处理装置，所说处理装置由所说控制器根据所说位置检测装 置得到的位置信息进行驱动。
85、根据权利要求84的平板显示器荧光物质回收装置，其特征 在于，所说处理装置包括：用于分离面板与背板的切割装置；和用 于扫掉和抽吸面板上的荧光物质的回收装置。
86、根据权利要求85的平板显示器荧光物质回收装置，其特征 在于，所说切割装置的切割器和回收装置的回收刷的处理操作受所 说控制器的控制，从而在预定处理范围内进行处理。
87、根据权利要求85或86的平板显示荧光物质回收装置，其 特征在于，还包括用于检测留在面板上的荧光物质量的荧光物质检 测装置，所说回收装置的动作根据所说荧光物质检测装置所得到的 荧光物质量信息而受控制。
88、根据权利要求87的平板显示荧光物质回收装置，其特征在 于，荧光物质量信息由透过面板的可见光的透射率或吸收率限定。
89、根据权利要求87的平板显示荧光物质回收装置，其特征在 于，荧光物质量信息由利用紫外线或可见光辐射面板的内表面产生 的荧光强度限定。
90、根据权利要求87-89中任一项的平板显示荧光物质回收装 置，其特征在于，所说荧光物质检测装置在所说回收装置的回收刷 的工作范围内移动。
91、一种平板显示器荧光物质回收方法，用于回收平板显示器 中的荧光物质，其中平板显示器包括面板、背板和框架，并通过用 电子辐射涂敷于面板上的荧光物质而发光，所说方法的特征在于， 包括以下步骤：
摆动固定夹具，从设置于基座上的平板显示器的四个方向固定 平板显示器；
分离固定的平板显示器的面板和背板；及
扫除和抽吸面板的荧光物质的回收步骤。
92、根据权利要求91的平板显示器荧光物质回收方法，其特征 在于，还包括以下步骤：根据用于固定平板显示器的固定夹具的移 动量检测固定夹具的位置。
93、根据权利要求91或92的平板显示器荧光物质回收方法， 其特征在于，还包括以下步骤：通过形成于基座中的吸持孔，吸持 和固定平板显示器。
94、根据权利要求91-93中任一项的平板显示器荧光物质回收 方法，其特征在于，控制利用切割器的切割工作，以便在分离面板 和背板期间，根据固定夹具的位置信息，匹配面板的尺寸。
95、根据权利要求91-94中任一项的平板显示器荧光物质回收 方法，其特征在于，控制利用回收刷的回收工作，以便在回收面板 的荧光物质期间，根据固定夹具的位置信息，匹配面板的尺寸。
96、根据权利要求95的平板显示器荧光物质回收方法，其特征 在于，还包括以下步骤：检测面板上留下的荧光物质量，并根据所 检测荧光物质量的信息控制所说回收刷的工作。
97、根据权利要求95或96的平板显示器荧光物质回收方法， 其特征在于，还包括以下步骤：控制回收刷，使之在回收刷工作范 围内移动。
98、一种基板处理方法，用于拆解主要由通过框架气密结合的 一对玻璃基板构成的基板，其特征在于，包括以下步骤：
分离该对结合的基板；
保持多个分离的基板以预定间隙彼此平行；
同时传送多个保持的基板，进行预定处理。
99、根据权利要求98的基板处理方法，其特征在于，固定各基 板，使各基板的表面基本上垂直站立。
100、根据权利要求98或99的基板处理方法，其特征在于，通 过线性接触各基板的预定部分支撑各基板。
101、一种基板处理装置，用于拆解主要由通过框架气密结合的 一对玻璃基板构成的基板，其特征在于，包括：以预定间隙彼此平 行设置的多个支撑部件，分离的各基板固定在各支撑部件之间，以 便基本上垂直站立。
102、根据权利要求101的基板处理装置，其特征在于，至少与 各基板接触的支撑部件部分是圆形或弧形。
103、一种用于平板显示器的平板显示器拆解处理方法，所说平 板显示器具有这样的结构，其中由一对主要含玻璃的基板构成的面 板和背板，利用含铅熔结玻璃，通过框架气密结合，所说方法的特 征在于，在传送从要拆解的平板显示器取出的玻璃基板，并进行浸 泡处理时，利用权利要求98-100中任一项限定的基板处理方法处 理面板或背板。
104、根据权利要求103的平板显示器拆解处理方法，其特征在 于，包括采用权利要求101或102中的基板处理装置。
105、一种玻璃基板处理方法，检测玻璃基板的表面状态并根据 检测结果处理基板表面，其特征在于，包括：
检测步骤，用一次X射线辐射玻璃基板表面，检测所产生的荧 光X射线，以检测玻璃基板表面上存在的元素；
去除步骤，根据检测步骤的检测结果，从玻璃基板表面上去除 玻璃构成元素之外的元素。
106、根据权利要求105的玻璃基板处理方法，其特征在于，检 测玻璃基板表面上存在的元素的检测步骤，包括根据玻璃基板的尺 寸改变玻璃基板与荧光X射线检测仪的相对位置。
107、根据权利要求105的玻璃基板处理方法，其特征在于，荧 光X射线检测仪用一次X射线辐射比可以检测到荧光X射线的区域 更宽的区域。
108、根据权利要求105的玻璃基板处理方法，其特征在于，在 一次X射线入射到玻璃基板上时的入射角不大于一次X射线的临界 角。
109、根据权利要求105的玻璃基板处理方法，其特征在于，通 过抛光玻璃基板表面，进行用于玻璃基板表面的去除步骤。
110、根据权利要求105-109中任一项的玻璃基板处理方法， 其特征在于，重复进行用于玻璃基板表面的检测步骤和去除步骤。
111、一种平板显示器的玻璃基板循环处理方法，所说平板显示 器包括背板、面板和支撑框架，所说背板具有形成于玻璃基板上的 多个电子发射元件，所说面板具有形成于玻璃基板上的图像显示部 分，所说支撑框架结合各板，使它们彼此面对，所说方法的特征在 于，在背板和面板分离和取出后，权利要求105-110中任一项限定 的处理方法应用于背板或面板的基板表面。
112、根据权利要求111的平板显示器玻璃基板循环处理方法， 其特征在于，在背板的玻璃基板上形成主要含Ag的布线。
113、根据权利要求111的平板显示器玻璃基板循环处理方法， 其特征在于，在构成背板的玻璃基板表面上，形成含玻璃构成元素 之外的元素的薄膜。
114、根据权利要求111的平板显示器玻璃基板循环处理方法， 其特征在于，溶解结合背板、面板和框架的熔结玻璃来分离背板、 面板和框架。
115、一种平板显示器玻璃基板循环处理装置，所说平板显示器 包括背板、面板和支撑框架，所说背板具有形成于玻璃基板上的多 个电子发射元件，所说面板具有形成于玻璃基板上的图像显示部 分，所说支撑框架结合各板，使它们彼此面对，所说装置的特征在 于，包括：
用X射线辐射构成分离/取出的背板或面板的玻璃基板的表面， 并检测所产生的荧光X射线，以检测存在于玻璃基板表面上的元素 的机构；从玻璃基板表面去除玻璃构成元素之外的元素的机构。

说明书全文

本发明涉及为保护全球环境用于使通过利用熔结玻璃用框架将 两基板气密结合在一起构成的平板显示器报废的拆解方法，所说两 基板即主要含玻璃的面板(正面玻璃基板)和背板(背面玻璃基板)， 还涉及再利用平板显示器、分离和回收用于平板显示器的金属元素 中的作为有害金属元素的铅、并有效地再利用其它贵金属元素和稀 土元素的方法，还涉及拆解用熔结玻璃焊接的图像形成装置并回收 其面板和背板的方法，还涉及回收和再利用分隔件的方法，从用于 通过利用电子束或紫外线辐射涂敷了荧光物质部分发光的平板显示 装置或CRT(阴极射线管)回收荧光物质的方法，显示装置的制造 方法，适于拆除、拆解和再利用的图像显示装置，用于检测废料等 中所含有害金属量的有害金属量检测装置，用于平板显示屏板中的 荧光物质回收方法和装置。

通常，多数报废民用装置都被粉碎，例如金属等有价值的物质 被回收，其余物质作为工业废物被清除到“最低控制的掩埋点”， 在此这种废物仅仅被掩埋在地下挖的洞中。

近年来，清除点容量的不足成为严重问题，有害物质造成环境 污染也成为严重问题。例如，电视机的阴极射线管使用了大量含铅 玻璃。根据环境机构的试验计算，报废阴极射线管中所含铅量每年 达20000t，多数铅被掩埋在最低控制的掩埋点。然而，雨水自然渗 透到最低控制的掩埋点，这些点未装备任何排水装置。已认识到作 为有害物质的铅会扩散。

这种情况下，必须重新考虑常规的处理方法。关于电视机的阴 极射线管，民用电子装置协会已在将阴极射线管玻璃粉碎成碎玻璃 (小玻璃片)并再将它们应用于阴极射线管方面进行了研究。其中， 已开发出从电视机主体中取出阴极射线管，并将阴极射线管粉碎成 玻璃碎片的系统(例如，见“Electrotechnology”1997年1月)。

例如日本公开专利申请61-50688中公开了一种回收作为碎片 的玻璃的方法。还已知有将阴极射线管玻璃粉碎成碎片(小玻璃 片)，并将它们再应用于阴极射线管的方法(例如，日本公开专利 申请9-193762)。例如日本公开专利申请05-185064中公开了一 种根据材料将阴极射线管分离成面板和锥体，并将它们粉碎成碎片 的方法。另外，日本公开专利申请7-037509中公开了一种将阴极 射线管分离成面板和锥体、从面板上剥离荧光物质和黑底(black mask)、再利用面板的方法。

为再利用阴极射线管玻璃，这种玻璃必须分离成屏板玻璃和含 铅锥体玻璃。这是由于，如果预定量以上的铅混在屏板玻璃中，将 会发生变暗现象，含铅玻璃不能再用作屏板的原材料。为此，要将 阴极射线管分离成屏板和锥体。因此，提出了限定切割阴极射线管 的位置的方法(日本公开专利申请9-115449)，和熔化结合屏板和 锥体的熔结玻璃，由此分开屏板和锥体的方法(日本公开专利申请7 -45198)。

关于分离用熔结玻璃焊接的锥体和屏板的技术，已知有日本公 开专利申请5-151898、7-029496、9-200654和9-200657中公开 的利用热处理中的热变形分离屏板和锥体的技术。

近年来，人们非常热衷于应用冷阴极元件的研究。冷阴极元件 的例子有表面传导型电子发射元件、场发射型电子发射元件、金属/ 绝缘体/金属型电子发射元件。与热阴极元件相比，冷阴极元件可以 在低温下发射电子。冷阴极元件不需要任何加热器，结构上比热阴 极元件简单，可以构成较小元件。既便基板上高密度设置许多元件， 也几乎不会发生例如基板的热熔化等问题。此外，由于热阴极元件 在利用加热器加热的条件下工作，所以响应速率低，而冷阴极元件 的响应速度高。

冷阴极元件中，表面传导型电子发射元件具有简单的结构，容 易制造，允许在大面积上形成大量元件。如本申请人所申请的日本 公开专利申请64-31332中所公开的，已开发出一种设置和驱动大 量元件的方法。

关于表面传导型电子发射元件的应用，例如，如图像显示装置 和图像记录装置等图像形成装置，已开发出电荷束源等。

特别是关于在图像显示装置中的应用，如美国专利US5066883 和日本公开专利申请2-257551和4-28137中所公开的，已开发出 一种采用表面传导型电子发射元件和利用电子束辐射发光的荧光物 质组合的图像显示装置。预计采用表面传导型电子发射元件和荧光 物质组合的该图像显示装置，将表现出比常规其它类型图像显示装 置更优异的特性。例如，由于这种图像显示装置是自发射型，不需 要任何背光，视角宽，所以优于近年来流行的液晶显示装置。

例如美国专利US4904895中公开了一种驱动并排设置的许多场 发射型电子发射元件的方法。已知FE型电子发射元件在图像显示装 置中的应用是R.Meyer等人报道的平板显示器(R.Meyer:“Recent Development on Micro-tips Display at LETI”,Tech.Digest of 4th Int.Vacuum Micro-electronics Conf.,Nagahama,pp.6-9(1991))。

日本公开专利申请3-55738中公开了一种许多并排设置的金属 /绝缘体/金属型电子发射元件在图像显示装置中的应用。

在采用电子发射元件的图像形成装置中，薄平板显示器节省空 间且重量轻，作为阴极射线管型图像显示装置的替代品引起了人注 的极大关注。

图像形成装置中气密容器内部保持在约10-6乇的真空。由于图 像显示装置的显示面积增大，所以气密容器需要防止背板和面板由 于气密容器内外压力差造成的变形或破坏。如果背板和面板制造得 较厚，会增加图像显示装置的重量，从对角线看时，会产生图像失 真和不一致。于是，气密容器一般采用分隔件，每个分隔件都由较 薄玻璃板构成，其表面上覆盖有抗静电膜。

除场上述发射型电子源显示器(FED)和MIM型显示器外，包 括真空荧光显示器(VFD)、等离子显示器(PDP)和表面传导型 电子源显示器(SED)等平板显示器都能节省空间且重量轻，作为 阴极射线管型显示装置的替代品引起了人们的关注。已研制和开发 了许多平板显示器。

例如，本申请人提出了数种关于通过在基板上设置许多作为一 种类型的冷阴格电子发射元件的表面传导型电子发射元件构成电子 源和利用这种电子源的图像显示装置的建议。

例如日本公开专利申请7-235255中具体介绍了表面传导型电 子发射元件的结构、及利用它的图像显示装置的结构等，下面将作 简单介绍。

图68A和68B示出了表面传导型电子发射元件的结构。参考数 字411表示基板，412和413是一对元件电极，414是局具有电子发 射部分415的导电膜。基板411、元件电极412和413、导电膜414 及电子发射部分415构成电子发射元件416。

关于形成电子发射部分415的方法，是在一对元件电极412和 413之间加电压，使导电膜变形、改变导电膜特性或破坏导电膜的一 部分，从而增大电阻。这称为“起电成形加工”。为利用该方法形 成具有良好电子发射特性的电子发射部分，导电膜较好是由细导电 颗粒构成。其材料的一个例子是细PdO颗粒。用于起电成形加工的 电压较好是脉冲电压。该加工技术可采用一种如图69A所示施加具 有预定峰值的脉冲的方法或一种如图69B所示施加其峰值逐渐增大 的脉冲的方法。

为形成细导电颗粒膜，细导电颗粒可利用气体淀积直接淀积。 由于不需要真空器件，所以也可以用涂敷含导电膜成分元素的化合 物溶液，并将涂层退火形成希望的导电膜的方法，制造成本低，并 可以形成大电子源。关于涂敷有机金属化合物溶液的方法，由于该 方法不需要任何构图导电膜的额外步骤，所以希望采用喷墨装置仅 在需要部位涂敷溶液的方法。

形成电子发射部分后，在含有机物质的合适气氛中，在元件电 极间加脉冲电压(这将称为“激活加工”)。然后，在电子发射部 分及其附近形成主要含碳的淀积膜，以增大流过元件的电流，并提 高电子发射特性。

然后，较好是实施所谓的“稳定化处理”步骤。该处理步骤中， 在加热真空容器和电子发射元件的同时，保持排空真空容器，以充 分去除有机物质等，从而稳定电子发射元件的特性。

日本公开专利申请8-273529中公开了一种采用喷墨装置，利 用表面传导型电子发射元件形成电子源的导电膜的方法。

下面将简单介绍一下喷墨装置。从喷墨装置排出墨的方法大致 分为两种类型。根据第一种方法，利用设置在喷嘴处的压电元件的 收缩压力，将液体作为液滴排出。该方法称为压电喷射法。该方法 中，导电膜材料存储在墨盒中，预定电压加于电信号输入端，使圆 柱形压电元件收缩，从而将液体作为液滴排出。

根据第二种方法，利用加热电阻器加热液体，使之起泡，排出 液滴。该方法称为汽泡喷射法。在汽泡喷射型喷墨装置中，加热电 阻器产生热量，以使液体起泡，从而从喷嘴排出液滴。

利用这种喷墨装置，仅在预定位置作为液滴涂敷有机金属化合 物溶液。溶液干燥后，通过加热处理，使有机金属化合物热分解， 由金属或金属氧化物小颗粒形成导电膜。

图1示出了图像显示装置的结构。图1中，参考数字1表示背 板，2是具有形成在基板2a的内表面上的荧光膜2b、金属敷层2c 等的面板，3是支撑框架。背板1、支撑框架3和面板2利用熔结玻 璃结合并气密密封，构成图像显示装置15。

希望急剧增大具有这种结构的平板显示器尺寸和产量。在这些 平板显示器中，用于密封的熔结玻璃含铅。作用图像形成部件的荧 光物质2b、分隔件4等属高成本部件。与阴极射线管玻璃类似，就 “无害加工技术”、“体积减小”及“再利用”而言，回收系统的 建立变为重要问题。

下面将按以下顺序介绍本发明所解决的问题，并按该顺序介绍 解决问题的例子和实施例。

(问题1)FPD具有不同于阴极射线管的结构，需要其它加工方 法。即，FPD通过利用熔结玻璃，通过框架气密结合两基板即主要 含玻璃的面板和背面构成。一般说，采用含大量铅成分以便能进行 低温焙烧的熔结玻璃。

与阴极射线管相同的理由，FPD也必须被分离成不含任何铅的 玻璃和含铅玻璃，以便再利有玻璃。在再利用除玻璃外的部件时， 必须除去铅。

本发明解决了上述问题，其目的是提供一种容易再利用报废 FPD的处理方法。

(问题2)本发明另一目的是提供一种拆解处理方法，包括作为 有害金属的铅的分离/回收方法和例如贵金属元件和稀土元素等烯 有元件的回收/再利用方法。

(问题3)在平板显示器由于制造期间或使用寿命完结产生缺陷 而报废时，整个显示器被粉碎和报废，增加了废品量。近年来，产 生了将随着工业活动产生的废物减至最少的社会需要，部件的再利 用变成了迫在眉睫的问题。

在构成材料含有有害元素等时，必须分离有害元素。具有决定 图像显示装置性能的电子发射元件的背板常采用高成本基板，在便 实现一致的元件特性。特别是，首先形成于背板上的元件电极常由 可以耐受随后步骤的强材料构成。

本发明解决了这个问题，其目的是提供一种容易将背板再用作 已报废图像显示装置的重要构成成分的方法，提供一种用于例如构 成材料中含铅的元件的分离/回收方法，并有效地形成包括将要形成 的多个电子发射元件的电子发射部分的导电膜。

(问题4)在平板显示器由于制造期间或使用寿命完结产生缺陷 而报废时，整个显示器被粉碎和报废，由于构成材料含较高成本材 料，所以从经济角度出发是不希望这样的。尤其是，屏板采用许多 分隔件，由于玻璃必须形成为薄片，并必须形成导电膜，所以分隔 件的制造需要高制造成本和长时间周期。甚至在显示器由于任何原 因报废时，分隔件有问题很少成为原因，分隔件往往没有任何问题 可以再利用。

为此，在报废平板显示器中，希望将分隔件与其它部件分离、 回收和再利用。

如上所述，分隔件是薄板，且由玻璃基板制成，在拆除显示器 时，分隔件会被损坏。所以，希望研究一种能够没有任何损伤地回 收分隔件的方法。

(问题5)一般说，烯土元素几乎无法从使用后报废物的显示装 置中回收。

这是由于(1)每个显示装置中所用的稀土元素非常少，回收非 常困难，(2)稀土元素不作为单质使用，而是作为化合物或合金使 用，所以分离成本高，(3)在非常希望的情况下，可以低成本得到 较低成本的不重要的稀土元素。

然而，从环境保持和稳定稀土元素源供应的角度出发，希望促 进这些材料的回收。从工业产品中回收稀土元素的方法成为重要问 题。注意，稀土元素主要包含在荧光物质中。

荧光物质还含有铬和硫元件，从环境保持角度出发，也希望回 收这些元素。

另一方面，从中回收荧光物质的面板的内表面光洁度几乎完全 丧失。为些，这种面板一般被粉碎成碎片，掩埋在最低控制的掩埋 点，或再用作玻璃材料。近年来，代替将面板粉碎成碎片，提出了 一种利用酸处理使内表面光洁度复原并再利用面板的方法。然而， 由于最低控制的掩埋点已趋于饱和，所以该方法不再有效。另外， 酸处理是湿法处理，就成本和处理环境而言，不希望这样。

考虑到上述状况做出了本发明，其目的是提供一种有效回收显 示装置中所含荧光物质、在保持或使其内表面光洁度复原的同时回 收并再利用面板的方法。

(问题6)

为了拆除、拆解和再利用具有保持在低于大气压的压力下的气 密容器的图像显示装置，必须使气密容器内部恢复到大气压。在恢 复大气压时，由于与气密容器内压的压差较大，所以例如空气等大 量气体常常会突然流入气密容器内，造成对气密容器内部的损伤或 破坏气密容器。从安全角度出发，不希望将气密容器破坏成散射碎 片。在CRT被粉碎成碎片并再用作玻璃材料时，这会造成严重问题。 然而，为最大限度再利用图像显示装置的每个部件，应资源保持而 言，这种破坏不仅增加了例如垃圾等废物，而且会浪费能量和劳动。 特别是在FPD中，容器中引入许多例如分隔件等耐大气压构件。这 种破坏会严重损伤耐大气压构件，被破坏的部件会损害和破坏图像 显示装置气密容器内部，妨碍这些部分的再利用。由于分隔件侧面 形状制造得均匀或分隔件上均匀涂有具有与图像显示装置的规格相 适应的导电性的膜，以防止图像失真，所以分隔件需要比其它部件 更高的成本。

本发明解决了上述问题，其目的是通过顺利地将图像显示装置 排空的气密容器的内部恢复到外压，再利用拆除和拆解的部件。

(问题7)在平板显示器由于制造期间或使用寿命完结产生缺陷 而报废时，整个显示器被粉碎和报废，会造成环境问题，由于元件 的构成材料包括较高成本材料，从经济角度考虑也是不好的。例如， 屏板采用许多分隔件。由于必须将玻璃粉碎成薄片，并必须形成导 电膜，所以分隔件需要高制造成本和长时间周期。另外，适当处理 了这种状态下需要修复的部分后，可以再利用背板、面板和支撑框 架。

为此，需要没有任何损伤地回收和再利用各部件，且在拆除由 于制造或使用寿命完结而产生缺陷的平板显示器时有效地回收资 源。

本发明还一目的一提供一种安全、容易地将平板显示器拆成各 构件的方法和适于这种拆解的平板显示器。

(问题8)在拆解和分解阴极射线管、平板显示器等时，对于回 收了再利用的各分解部件后留下来的废物，必须定量地探测有害金 属量，并且不管残留量是否在允许值以下，必须检测并证实残留量， 以防止环境污染/破坏。至于再利用的各分解部件，希望根据存在/ 不存在铅，定量探测分解的铅(有害金属)残留量。

为探测部件中的铅，已有有采用荧光X射线等的检测方法。然 而，这种方法必须扫描被检测部件的整个表面，对于例如玻璃碎片 等被许多检测物体来说，会变得比较麻烦。检测物体受限，不可能 进行定量检测，难以实施该方法。

本发明解决了该常规问题，其目的是提供一种有害金属残留量 检测装置，能够定量检测留在例如分解的玻璃部件或废物等检测物 体中的例如铅等有害金属的量，在不特别限制检测物体的情况下能 够进行检测，并且容易在拆解和分解平板显示器屏板等时没有任何 麻烦操作的情况下，能够定量检测有害金属量。

(问题9)用于再利用平板显示器屏板的拆解处理技术正在开发 之中，不能直接采用常规相关技术。例如，如果采用日本公开专利 申请9-193762中公开的阴极射线管玻璃拆解处理技术，则背板或 面板的重量会加到分隔件4上，在分离分隔件4时会毁坏之。这种 技术不能应用于平板显示器屏板的拆解。

本发明解决了该常规问题，其目的是提供一种平板显示器拆解 装置，能够利用合适的步骤进行拆解处理，能够在没在任何损伤的 情况下，回收直接可利用构件，并且能够再利用已回收部件。

(问题10)FPD的结构不同于阴极射线管的结构，需要其它处 理方法。FPD通过利用熔结玻璃，通过框架气密结合两基板即主要 含玻璃的面板和背面构成。一般说，采用含大量铅成分成便能进行 低温焙烧的熔结玻璃。在某些情况下，除熔结玻璃外，布线材料和 面板的构成材料也含铅。与阴极射线管相同的理由，必须将FPD分 离成不合任何馈的玻璃和含铅玻璃，以便再利用玻璃。另外，在再 利用除玻璃外的部件时，也必须除去铅。

为除去铅，利用酸或碱的水溶液选择性溶解和分离铅成分的方 法是有效的。然而，大规模实施该方法时需要大量溶解铅的水溶液， 随后清洗步骤需要大量水。为加热和使溶液流动，必须用大量能量。 提高了处理成本。

本发明解决了上述问题，其目的是提供一种低成本处理报废 FPD的方法。

(问题11)稀土元素几乎无法从使用后报废的显示器中回收。 是由于(1)每个显示装置中所用的稀土元素非常少，回收非常困难， 且无法自动化，(2)稀土元素不作为单质使用，而是作为化合物或 合金使用，所以分离成本高，(3)在非常希望的情况下，可以低成 本得到较低成本的不重要的稀土元素。

然而，从环境保持和稳定稀土元素源供应的角度出发，希望促 进这些材料的回收。从工业产品中回收稀土元素的方法成为重要问 题。某些民用产品制造者开始了CRTs的回收生意，因而希望立即 促进平板显示器的回收工作。

考虑到上述问题做出了本发明，其目的是提供一种荧光物质回 收方法及装置，能够有效且容易地拆除平板显示器屏板，特别是有 效地回收荧光物质。

(问题12)FPD(平板显示器)具有不同于阴极射线管的结构， 需要其它处理方法。FPD通过利用熔结玻璃，通过框架气密结合两 基板即主要含玻璃的面板和背面构成。一般说，采用含大量铅成分 成便能进行低温焙烧的熔结玻璃。在某些情况下，除熔结玻璃外， 布线材料和面板的构成材料也含铅。与阴极射线管相同的理由，必 须将FPD分离成不含任何铅的玻璃和含铅玻璃，以便再利用玻璃。 另外，在再利用除玻璃外的部件时，也必须除去铅。

为除去铅，利用酸或碱的水溶液选择性溶解和分离铅成分的方 法是有效的。然而，大规模实施该方法时需要大量溶解铅的水溶液， 必须制备用于随后清洗步骤的大量水。另外，为加热和使溶液流动， 必须用大量能量。为抑制成本，在短时间内完成处理，必须通过将 它们立即放入浸泡处理槽中处理拆解报废FPD得到的许多玻璃板。 此外，在处理槽之间快速传送玻璃板需要即时传送大量玻璃板的传 送机构，

考虑到上述问题做出了本发明，其目的是提供一种实现有效且 适当浸泡处理的基板处理方法及装置。

(问题13)在再利用基板玻璃时，要从其它部件上分离背板1 和面板2，去除形成于基板上的布线、元件等，以得到单个玻璃件。 玻璃件可以再用作基板，或可以粉碎成碎片，并重新用作玻璃基板 或其它产品的材料。

然而，在玻璃基板上形成布线、电子发射元件、熔结玻璃，并 用钠钙玻璃作基板时，可以预先在表面上形成薄膜。某些材料地会 与玻璃基板紧密接触，或某些元素会逐渐扩散到扩散基板中。所以， 难以将薄膜从基板玻璃上完全分离下来。

在将所用玻璃粉碎成碎片并再利用它们时，如果除构成元素外 的元素混入玻璃碎片中，则混入的元素会影响玻璃的物理性质和颜 色。含杂质元素的玻璃无法再利用。甚至在玻璃再用作基板时，也 希望这种玻璃尽可能恢复到原始玻璃基板状态。

考虑到上述问题做出了本发明，其目的是提供一种玻璃基板处 理方法，实现基板玻璃的实际有效再利用。

下面将按利用上述本发明解决相应问题的顺序介绍本发明解决 问题的方案。

(解决方案1)为实现上述目的，根据本发明，一种用于FPD 的拆解处理方法，所说FPD具有两基板即主要含玻璃的面板和背板 利用熔结玻璃通过框架气密结合的结构，所说方法的特征在于，从 其余部分上分离用熔线玻璃结合的框架的一部分。

根据本发明，用于引入了分隔件且在面板的内表面上具有荧光 屏的FPD的拆解处理方法，其特征在于，包括在分离用熔结玻璃结 合的框架的一部分时，留下其余部分处的分隔件和荧光屏。

本发明的特征在于，切割面板和背板的一部分，从其余部分上 分离用熔结玻璃结合的框架的一部分。

在本发明中，确定切割位置的方法包括探测用熔结玻璃结合的 框的位置的方法(视频摄像机)。

(解决方案2)为实现上述目的，根据本发明一种具有以下结构 的FPD，所说FPD具有两基板即利用熔结玻璃通过框架气密结合的 主要含玻璃的面板和背板，其特征在于，包括用硝酸溶解结合部， 剥离面板与背板。在本发明中，FPD中可以引入利用熔结玻璃结合 的分隔件。

关于用硝酸溶解熔结玻璃的方法，由于硝酸必须深深透入到熔 结结合部分，所以在硝酸中浸泡结合部分的方法是安全的。本发明 采用这种方法，但也可以采用例如从喷嘴向结合部分喷射硝酸的方 法。

要用硝酸溶解的熔结结合部分可以采用(1)将所有结合部分全 部浸入硝酸以溶解和剥离它们，并分离、粉碎和再利用各部分的方 法，(2)要再利用的一部分保留，使之不被酸腐蚀，而其余部分浸 入硝酸中溶解、剥离、并粉碎它们。任一种方法都可以仅分离用硝 酸溶解的金属成分中的有害铅成分，并可以循环再利用其余元素。

(解决方案3)为实现上述目的，根据本发明，背板循环方法包 括以下步骤：在报废图像显示装置期间，将焊接部分浸在硝酸溶液 中，溶解熔结玻璃；利用喷墨法形成导电膜；所说图像显示装置至 少由背板、面板和支撑框架构成，背板具有多个电子发射元件，每 个电子发射元件都由一对元件电极和导电膜构成，面板具有图像形 成部件，电子发射元件发射的电子发生碰撞在图像形成部件上形成 图像，支撑框架连接背板和面板，保持内压，背板、面板和支撑框 架利用熔结玻璃焊接在一起。

根据本发明，通过化学溶解熔结玻璃，而不是机械切割等方法 拆除背板。于是，可以在不损伤背板基板和元件电极的情况下，回 收和再利用背板。废物可以减少，可有效地利用资源，并可以降低 成本。例如Pb等元素在浸泡硝酸溶液中被洗出，于是可以容易回收 它们。在回收面板时，利用喷墨法形成导电膜。由于导电膜形成材 料仅用在必要部分，所以导电膜材料的量可以减小。甚至在导电形 成后发现缺陷时，也可仅再形成缺陷部分。

(解决方案4)考虑到上述问题做出了本发明。根据本发明，提 供一种平板显示器中分隔件的回收方法，平板显示器至少具有背 板、面板框架和分隔件，所说背面具有多个电子发射元件，面板设 置成面对背板，具有图像显示部分，分隔件用于保持背板和面板间 的间隔，抗大气压，背板、面板、框架和分隔件利用熔结玻璃焊接 在一起，其特征在于，当在硝酸溶液中浸泡分隔件与背板或面板间 的焊接部分以溶解熔结玻璃时，采用分隔件回收夹具，以避免分各 隔件间或分隔件与周围部件间的接触。

本发明的该方案中采用的分隔件回收夹具包括具有能够存放分 隔件的一个或多个凹槽的平板。另一方案中的分隔件回收夹具包括 具有能够紧压和固定各分隔件的末端和能够使所说末端在任意方向 移动的臂的夹具。

根据本发明，由于在拆除平板显示器时，可以几乎没有损伤地 回收分隔件，所以可以容易地再利用它们，可以有效地利用资源， 降低成本。此外，由于回收步骤不需要任何细致的人工加工，所以 可以安全地回收分隔件。

(解决方案5)根据本发明，一种从荧光物质涂敷在基板上并引 起发光以实施显示的显示装置中回收荧光物质的方法，其特征在 于，利用刷子和抽吸单元回收涂敷到基板上的荧光物质。

根据本发明的显示装置制造方法，其特征在于，将从其上利用 本发明的从显示装置上回收荧光物质的方法去除上荧光物质的基板 再用于显示装置。

本发明可有效地用于回收荧光物质和例如来自如CRT或平板显 示装置等显示装置的面板等基板，所说显示装置中，荧光物质涂敷 到例如面板等基板上，并因电子束或紫外线的辐射而发光。用刷子 刷扫涂有荧光物质的基板表面，以扫掉荧光物质，或荧光物质和黑 底成分。在能保持或不损害基板表面光洁度的情况下，基板可以再 利用，荧光物质和黑底成分被抽吸装置扫掉和吸起。荧光物质和黑 底被进一步转移到荧光物质分离工艺。在保持或不损害表面光洁度 的同时，从该步骤取出例如面板等基板，然后，基板直接再用作例 如面板等基板。

关于用于通过使荧光物质发光进行显示的平板显示装置，用电 子束辐射荧光物质的装置包括利用电子发射元件(以后将介绍的) 和利用低速电子束发光的真空荧光显示管的显示装置。利用紫外线 的装置包括等离子显示装置。在从背面用电子束或紫外线辐射荧光 物质时，可从正面发出可见光，荧光物质涂敷到平板显示装置的面 板上。在从利用低速电子束辐射荧光物质的表面上发出可见光时， 像真空荧光管，荧光物质涂敷到背板上。

(解决方案6)根据本发明，为了实现上述目的，一种图像显示 装置的特征在于，包括显示图像的显示装置、气密容器和用于根据 需要将气密容器内逐渐变到接近气密容器外压力的装置。

本发明的特征在于，图像显示装置还包括排气装置，用于将气 密容器内部变为接近气密容器外的压力的装置设置在气密容器上与 连接排气装置的装置不同的位置。将气密容器内部变到接近气密容 器外压力的装置的特征在于，包括必需的过滤器。

本发明的特征在于，包括用于显示图像的显示装置、保持外部 压力的气密容器、气密容器内耐大气压结构部件、与用于排空气密 容器内的排气装置连接的装置、及用于根据需要将气密容器内部逐 渐变到接近气密容器外压力的装置。

由于具有这种结构的图像显示装置具有逐渐将气密容器内部压 力变为接近大气压的装置，所以气密容器的内部部件几乎不受任何 由于拆除和拆解期间压力改变造成的应力。

所以，部件很少被破坏，可以防止被破坏部件片造成的二次损 伤。

(解决方案7)根据本发明，一种平板显示器，至少具有背板、 面板、支撑框架、分隔件，所说背板具有多个电子发射元件，面板 设置成与背板面对，具有图像显示部分，分隔件用于保持背板和面 板间的间隔抗大气压，背板、面板、支撑框架和分隔件利用熔结玻 璃焊接在一起，其特征在于，背板与支撑框架的结合和面板与支撑 框架的结合采用具有不同软化温度的熔结玻璃，分隔件和基板间的 结合采用具有不低于所说两种熔结玻璃中较高软化温度的软化温度 的熔结玻璃。

多种熔结玻璃中的每种的特征在于，具有与其余熔结玻璃的软 化温度差至少20℃的软化温度差。

本发明中的分隔件的特征在于，与背板和面板中任一个结合。

根据本发明的平板显示器拆解方法的特征在于，包括将平板显 示器加热到不低于具有最低软化温度的熔结玻璃的软化温度和不高 于其余熔结玻璃的软化温度，仅使具有最低软化温度的熔结玻璃熔 化，选择性仅分离用该熔结玻璃结合的结合部分，重复相同的过程， 然后从利用具有较低软化温度的熔结玻璃的结合部分上分离平板显 示器屏板。

分离用具有最高软化温度的熔结玻璃结合的结合部分的方法， 包括加热熔结玻璃到不低于熔化该熔结玻璃的软化温度，从而分离 该结合部分的方法，或或以包括用合适的溶剂溶解该熔结玻璃，分 离结合部分的方法。

一种具有气密容器的平板显示器，所说气密容器内至少存放一 个具有多个电子发射元件的基板和一个设置成面对所说基板并具有 图像显示部分的基板，其特征在于，各基板与气密容器间的结合部 分利用具有对应不同拆解顺序的软化温度的熔结玻璃结合。

一种平板显示器，具有至少一个背板、一个面板和一个支撑框 架作构件，所说背板具有多个电子发射元件，所说面板设置成面对 所说背板，并具有图像显示部分，所说支撑框架用于支撑各基板， 各构件用熔结玻璃焊接，其特征在于，背板和支撑框架的结合及面 板和支撑框架的结合采用具有不同软化温度的熔结玻璃。

具有存放电子发射元件的外壳的平板显示器，其特征在于，构 成外壳的背板和支撑框架间的结合和面板与支撑框架间的结合采用 两种具有不同软化温度的熔结玻璃，用于保持各基板间的间隔的分 隔件与至少一个基板间的结合部分采用软化温度高于两种熔结玻璃 的软化温度或等于任一种熔结玻璃的软化温度的熔结玻璃结合。

一种平板显示器拆解方法，其特征在于，包括在拆解平板显示 器时，逐步加热平板显示器，然后熔化和从利用具有较低熔结玻璃 的熔结玻璃的结合部分分离平板显示器，从而拆解平板显示器。

在根据本发明的平板显示器中，可以依次分离构成外壳的部 件，所以可以在拆解期间不损伤外壳和内部部件的情况下，利用安 全且简单的方法回收各部件。因此，各部件可以作为再利用部件回 收，有效利用了资源，降低了成本。

(解决方案8)为实现上述目的，用于检测例如为循环而拆解和 分解的部件或废物等检测物体中所含如铅等有害金属的量的有害金 属残留量检测装置，包括：第一洗出装置，在用于浸泡检测物体的 槽中具有用于洗出检测物体中所含有害金属的酸溶液；清洗装置， 用于在利用第一洗出装置洗出后，清洗检测物体；第二洗出装置， 在用于浸泡利用清洗装置清洗过的检测物质的槽中，具有用于洗出 留在检测物体上的有害金属的酸溶液；及定量检测装置，用于定量 检测第二洗出装置的酸溶液中洗出的有害金属量。

在本发明的有害金属残留量检测装置中，检测物体浸泡在第一 洗出装置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出检测物体中含有的有害 金属。然后，检测物体被转移到清洗装置，在此进行清洗。然后， 检测物质浸泡在第二洗出装置的槽中，以利用槽中的酸溶液洗出留 在检测物体上的有害金属。这种洗出溶液提供到定量检测装置，在 此定量检测洗出溶液中所含有害金属的量。

因此，在拆解和分解平板显示器等时，可以定量检测例如铅等 留在如分解玻璃部件等检测物体上的有害金属的量。

(解决方案9)根据本发明，一种平板显示器拆解装置，用于拆 解和回收平板显示器，所说平板显示器中，框架部件插在背板和面 板间，构面扁平真空容器，用于保持两板间间隙抗大气压的分隔件 固定在两板上或两板之一上，所说平板显示器拆解装置包括：第一 支撑装置，用于在固定于支撑该板的分隔件上的板上加拉力，以便 进行从真空容器上分离框架的步骤；第二支撑装置，用于在框架分 离后容纳和支撑固定于分隔件上的板的一个边缘；分隔件回收装 置，用于进行从利用第二支撑部件容纳和支撑的板上分离分隔件。

根据本发明的平板显示器拆解装置，还包括传送装置，用于在 从真空容器上分离了框架部件的步骤后，容纳来自第一支撑装置的 支撑板，容纳和支撑该板的一个边缘，并将该板传送到第二支撑装 置。

在根据本发明的平板显示器拆解装置中，传送装置具有防止固 定到分隔件上的板的负载加于分隔件上的结构。

在根据本发明的具有这种设置的平板显示器拆解装置中，第一 支撑装置通过在从真空容器上分离框架部件的步骤中施加拉力，支 撑固定于分隔件上的板。分隔件是悬空的，不受固定板的重量作用， 可以在不对分隔件施加任何负载的情况下分离框架部件。

框架分离后，第二支撑装置容纳和支撑固定到分隔件上的板的 边缘。此时，分隔件是悬空的，不受固定板的重量作用。从第二支 撑装置容纳和支撑的板上分离分隔件的步骤，在保持板被容纳和支 撑的同时，由分隔件回收装置进行。另外，在分隔件分离/回收步骤， 分隔件不受额外的重量作用，可以防止损伤。

(解决方案10)

根据本发明，一种用于平板显示器的平板显示器拆解处理方 法，所说平板显示器具有这样的结构，其中两基板即主要含玻璃的 面板和背板通过框架利用含铅熔结玻璃被气密结合，所说方法的特 征在于，包括以下步骤：从将报废的平板显示器上分离和取出包括 面板的部分和包括背板的部分；分别收集多个包括面板的取出部分 和包括背板的取出部分，分别立刻将这些部分放入处理槽中，进行 浸泡处理。

本发明还包括以下特征：

“浸泡处理包括利用酸或碱的水溶液处理；”

“浸泡处理包括利用酸或碱的水溶液处理，和随后用水或有机 溶剂清洗；”

“通过使处理槽中的处理溶液流动进行浸泡处理；”

“通过使处理溶液在处理槽和外界间循环，进行浸泡处理；”

“通过加热处理溶液进行浸泡处理；”及

“通过对要处理物体施加振动或超声波，进行浸泡处理。”

(解决方案11)根据本发明，一种用于固定通过框架结合一对 彼此面对的屏板得到的平板主体的平板主体固体装置，包括设置成 相对于平板主体可收缩以便包围设于基座上的平板主体的固定夹 具，其中固定夹摆动，并从平板主体周围与平板主体接触，从而固 定平板主体。

根据本发明的平板主体固定装置，其特征在于，还包括：用于 相对于平板主体来回移动固定夹具的驱动机构；用于根据固定夹具 的移动量检测固定夹具的位置的位置检测装置；及用于控制驱动机 构的控制器，平板主体的尺寸由利用位置检测装置得到的固定夹具 的位置信息检测。

根据本发明的平板主体固定装置，其特征在于，还包括用于通 过形成于基座中的吸持孔吸持和固定平板主体的吸持装置。

根据本发明，一种用于回收平板显示器中的荧光物质的平板显 示器荧光物质回收装置，所说平板显示器包括面板、背板和框架， 该平板显示器由于电子辐射涂敷于面板上的荧光物质而发光，所说 装置的特征在于，包括上述固定装置，面板由固定夹具从四个方向 被固定。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置，其特征在于，该 装置包括多个用于从由固定装置固定的面板回收荧光物质的处理装 置，所说处理装置由控制器根据位置检测装置得到的位置信息进行 驱动。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置，其特征在于，处 理装置包括：用于分离面板与背板的切割装置；和用于扫掉和抽吸 面板上的荧光物质的回收装置。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置，其特征在于，切 割装置的切割器和回收装置的回收刷的处理操作受所说控制器的控 制，从而在预定加工范围内进行加工。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置还包括用于检测留 在面板上的荧光物质的量的荧光物质检测装置，回收装置的动作根 据荧光物质检测装置所得到的荧光物质量信息而受控制。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置，其特征在于，荧 光物质量信息由透射过面板的可见光的透射率或吸收限定。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收装置，其特征在于，荧 光物质量信息由用紫外线或可见光辐射面板的内表面产生的荧光强 度限定。

根据本发明的平板显示荧光物质回收装置，其特征在于，荧光 物质检测装置在回收装置的回收刷的工作范围内移动。

根据本发明，一种回收平板显示器中荧光物质的平板显示器荧 光物质回收方法，其中平板显示器包括面板、背板和框架，并通过 用电子辐射涂敷于面板上的荧光物质而发光，所说方法的特征在 于，包括以下步骤：摆动固定夹具，从设置于基座上的平板显示器 的四个方向固定平板显示器；分离固定的平板显示器的面板和背 板；及扫除和抽吸面板的荧光物质的回收步骤。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，还 包括以下步骤：根据用于固定平板显示器的固定夹具的移动量，检 测固定夹具的位置。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，还 包括以下步骤：通过形成于基座中的吸持孔，吸持和固定平板显示 器。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，控 制利用切割器的切割工作，以便在分离面板和背板期间，根据固定 夹具的位置信息，匹配面板的尺寸。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，控 制利用回收刷的回收工作，以便在回收面板的荧光物质期间，根据 固定夹具的位置信息，匹配面板的尺寸。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，还 包括以下步骤：检测面板上留下的荧光物质的量，并根据所检测荧 光物质量信息控制所说回收刷的工作。

根据本发明的平板显示器荧光物质回收方法，其特征在于，还 包括以下步骤：控制收刷，使之在回收刷工作范围内移动。

根据本发明，基座上的平板显示器通过摆动固定夹具，由固定 夹具从平板显示器的四个方向固定。此时，根据固定夹具的移动量， 检测移固定夹具的位置，该位置信息可有效地应用于随后的加工步 骤。即，在驱动用于分离面板和背板的切割器时，利用固定夹具的 位置信息，控制用于扫除和抽吸面板上的荧光物质的回收刷、切割 器和回收刷的工作范围。

结果，可以有效且可靠地回收面板上的荧光物质。固定夹具可 有效地随平板显示器的屏板尺寸而改变，所以非常实用。

(解决方案12)根据本发明，一种拆解主要由通过框架气密结 合的一对玻璃基板构成的基板的基板处理方法，其特征在于，包括 以下步骤：分离该对结合的基板；保持多个分离的基板以预定间隙 彼此平行；立即传送多个固定的基板，进行预定处理。

根据本发明的基板处理方法，其特征在于，固定各基板，使各 基板的表面基本上垂直站立。

根据本发明的基板处理方法，其特征在于，通过线性接触各基 板的预定部分支撑各基板。

根据本发明，一种拆解主要由通过框架气密结合的一对玻璃基 板构成的基板的基板处理方法，其特征在于，包括以预定间隙彼此 平行设置有多个支撑部件，分离的各基板固定在各支撑部件之间， 以便基本上垂直站立。

根据本发明的基板处理方法，其特征在于，至少与各基板接触 的支撑部件部分是圆形或弧形。

根据本发明，一种用于平板显示器的平板显示器拆解处理方 法，所说平板显示器具有这样的结构，其中由一对主要含玻璃的基 板构成的面板和背面，利用含铅熔结玻璃，通过框架气密结合，所 方法的特征在于，包括在传送从要拆解的平板显示器取出的玻璃基 板，并进行浸泡处理时，利用上述基板处理方法之一处理面板或背 板。

根据本发明的平板显示器拆解处理方法，其特征在于，包括采 用上述基板处理装置。

本发明包括用于固定玻璃板以便立即传送许多拆解报废的FPDs 得到的玻璃板，并进行浸泡处理的装置。由于较好是立即固定许多 基板，本发明可以实现低成本处理报废FPDs的方法。

(解决方案13)根据本发明，一种检测玻璃基板的表面状态并 根据检测结构处理基板表面的玻璃基板处理方法，其特征在于，包 括：检测步骤，用一次X射线辐射玻璃基板表面，检测所产生的荧 光X射线，以检测玻璃基板表面上存在的元素；去除步骤，根据检 测步骤的检测结果，去除玻璃基板表面上除玻璃构成元素外的元 素。

根据本发明的玻璃基板处理方法，其特征在于，检测玻璃基板 表面上存在的元素的检测步骤，包括根据玻璃基板的尺寸改变玻璃 基板与荧光X射线检测仪的相对位置。

根据本发明的玻璃基板处理方法，其特征在于，荧光X射线检 测仪用一次X射线辐射比荧光X射线可以检测的区域更宽的区域。

根据本发明的玻璃基板处理方法，其特征在于，在一次X射线 入射到玻璃基板上时的入射角不大于一次X射线的临界角。此外， 根据本发明的玻璃基板处理方法，其特征在于，通过抛光玻璃基板 表面，进行用于玻璃基板表面的去除步骤。

根据本发明的玻璃基板处理方法，其特征在于，重复进行用于 玻璃基板表面的检测步骤和去除步骤。

根据本发明，一种平板显示器的玻璃基板循环处理方法，所说 平板显示器包括背板、面板和支撑框架，所说背面具有形成于玻璃 基板上的多个电子发射元件，所说面板具有形成于玻璃基板上的图 像显示部分，所说支撑框架结合各板，使它们彼此面对，所说方法 的特征在于，包括在背板和面板分离和取出后，对背板或面板的基 板表面进行上述处理方法。

根据本发明的平板显示器玻璃基板回收处理方法，其特征在 于，在背板的玻璃基板上形成主要含Ag的布线。

根据本发明的平板显示器玻璃基板回收处理方法，其特征在 于，在构成背板的玻璃基板表面上，形成含除玻璃构成元素外的元 素的薄膜。

根据本发明的玻璃基板回收处理方法，其特征在于，熔化结合 背板、面板和框架的熔结玻璃，分离背板、面板和框架。

根据本发明，一种平板显示器玻璃基板回收处理装置，所说平 板显示器包括背板、面板和支撑框架，所说背面具有形成于玻璃基 板上的多个电子发射元件，所说面板具有形成于玻璃基板上的图像 显示部分，所说支撑框架结合各板，使它们彼此面对，所说装置的 特征在于，包括：用X射辐射构成分离/取出的背板或面板的玻璃基 板的表面，并检测所产生荧光X射线，以检测存在于玻璃基板表面 上的元素的机构；去除玻璃基板表面上除玻璃构成元素外的元素的 机构。

根据本发明，利用简单的方法便可以检测玻璃基板表面上的残 留物，在处理所用基板玻璃的步骤中，可以去掉除玻璃构成元素外 的所有元素。因而，可以没有浪费地有效再利用玻璃。

图1A是展示利用根据本发明的拆解处理方法处理过的平板显 示器的例子的局部切除透视图；

图1B是图1A所示平板显示器的剖面图；

图2是展示根据本发明的平板显示器中表面传导型电子源显示 器的示意图；

图3A是展示在根据本发明的平板显示器处理方法中平板切割 位置的平面图；

图3B是图3A所示平板的剖面图；

图4是展示根据本发明的FPD拆解处理方法的流程图；

图5是展示根据本发明的报废平板显示器拆解方法的各步骤的 流程图；

图6A是展示利用本发明的方法同时拆解整个屏板的状态的放 大示图；

图6B是分离图6A所示屏板的各部分的状态的示图；

图7A是展示在本发明的方法中拆解屏板同时留下其某部分的 示图；

图7B是展示提拉图7A所示配有分隔件的面板的状态的示图；

图8A是展示在本发明的方法中，拆解屏板同时留下其某部分的 示图；

图8B是展示提拉图8A所示背板的状态的示图；

图9是示意性展示将利用本发明的方法拆解的作为FPD的表面 传导型电子源显示器(SED)的透视图；

图10是展示具有将根据本发明循环的背板的图像显示装置的例 子的局部切除透视图；

图11A是展示根据本发明的背板回收/循环方法的各步骤的介绍 图；

图11B是展示剥离图11A中的背板的状态的示图；

图12是展示利用本发明的循环方法清洗的背板基板的例子的透 视图；

图13A-13E是介绍在背板上形成电子发射元件的各步骤的示 意图；

图14是展示利用本发明的循环方法清洗的背板基板的另一例子 的透视图；

图15是展示根据本发明的分隔件回收方法的实施例的示图；

图16A是展示本发明方法所用分隔件回收容器的平面图；

图16B是展示图16A中的分隔件回收容器的剖面图；

图17A是展示本发明方法所用另一分隔件回收容器的平面图；

图17B是展示图17A中的分隔件回收容器的剖面图；

图18是展示根据本发明的分隔件回收方法的另一实施例示图；

图19A和19B是展示本发明中的分隔件的示图；

图20A-20E是根据本发明回收分隔件时各步骤的例子的示 图；

图21是展示本发明的平板显示器屏板切割方法的示图；

图22a-22D是展示本发明的回收分隔件时各步骤的另一例子的 示图；

图23A-23E是展示本发明的回收分隔件时各步骤的再一例子 的示图；

图24A-24C是展示本发明的回收分隔件时各步骤的又一例子 的示图；

图25是展示根据本发明从显示装置回收荧光物质的各步骤的流 程图；

图26是展示旋转运动型刷子的操作的示图；

图27是展示杵捣运动型刷子的操作的示图；

图28A和28B分别是展示刷子和抽吸单元的不同结构的示图；

图29是展示利用分隔件的显示装置的透视图；

图30是展示本发明的图像显示装置的结构的示意图；

图31是展示根据本发明作为图像显示装置的一个例子的FPD的 透视图；

图32是展示根据本发明作为图像显示装置的另一个例子的SED 的透视图；

图33A和33B分别是展示本发明的平板显示器的实施例的剖面 图和平面图；

图34A-34D是展示本发明平板显示器拆解方法的一个实施例 的示图；

图35A-35C是展示本发明平板显示器拆解方法的另一实施例 的示图；

图36A-36E是展示本发明平板显示器拆解方法的再一实施例 的示图；

图37A是展示根据本发明的电子发射元件的一个例子的示图；

图37B是展示图37A中电子发射元件的剖面图；

图38A-38C是展示根据本发明的平板显示器制造方法的一个 实施例的示图；

图39A-39C是展示根据本发明的平板显示器制造方法的另一 实施例的示图；

图40A-40C是展示根据本发明的平板显示器制造方法的再一 实施例的示图；

图41是展示根据本发明一个实施例的有害金属残留量检测装置 的设置的示图；

图42是依次介绍利用图41所示有害金属残留量检测装置的检 测处理的流程图；

图43A是展示平板显示器的局部切除透视图；

图43B是展示图43A中平板显示器的剖面图；

图44A是展示根据本发明第一实施例的平板显示器拆解装置的 设置的透视图；

图44B是展示图44A中的拆解装置的平面图；

图45是图44A和44B中工作台和支撑装置的侧示图；

图46A是展示图44中传送装置的正视图；

图46B是展示图44中传送装置的侧示图；

图47A是展示图44A和44B中传送装置的另一例子的正视图；

图47B是展示图44A和44B中传送装置的侧示图；

图48是展示图44A和44B中分隔件回收夹具的侧视图；

图49是展示图44A和44B中分隔件回收夹具的另一例子的侧视 图；

图50是依次介绍利用图44A和44B中所示平板显示器拆解装置 的拆解步骤的流程图；

图51A是展示根据本发明第二实施例的平板显示器拆解装置的 设置的透视图；

图51B是展示图51A中拆解装置的平面图；

图52是展示根据本发明FPD拆解处理方法中液体处理槽的设置 的示意图；

图53是介绍根据本发明的FPD拆解处理方法的流程图；

图54是展示根据本发明的荧光物质回收处理的基本步骤的流程 图；

图55A是展示根据本发明的可移动停止型固定夹具有设置的平 面图；

图55B是展示图55A中可移动停止型夹具的侧示图；

图56是展示根据本发明面板和背板的分离步骤的透视图；

图57是展示根据本发明回收刷的结构和操作的示图；

图58是展示根据本发明从平板显示器回收荧光物质的各步骤的 示图；

图59示出了根据本发明的FPD拆解处理方法的玻璃板支撑机 构。

图60是展示根据本发明的FPD拆解处理方法的液体处理槽的设 置的示图。

图61是展示根据本发明的FPD拆解处理方法的各步骤的一个例 子的流程图；

图62是展示根据本发明的平板显示器拆解处理步骤的流程图；

图63是展示根据本发明用于检测玻璃基板表面上存在的元素的 荧光X射线分析装置的示图；

图64A和64B是展示根据本发明在全反射型荧光X射线分析装 置中改变样品和检测仪的相对位置的状态的示意图；

图65是展示根据本发明的全反射型荧光X射线分析装置中一次 X射线的辐射区的示意图；

图66A和66B是展示根据本发明的全反反射型荧光X射线分析 装置中荧光X射线的检测区的示意图；

图67是展示根据本发明的玻璃基板表面抛光装置的示意图；

图68A是展示可用于本发明的电子发射元件的平面图；

图68B是展示图68A中电子发射元件的剖面图；

图69A和69B是展示形成用于本发明的电子发射元件时施加电 压的波形顺序图。

下面将结合附图具体介绍本发明的各实施例。各实施例和实例 的数量对应于上述问题和解决方案的数量。

(实施例1)

下面将结合附图具体介绍本发明的实施例1。该实施例将例示用 于FPD的拆解处理，所说FPD中引入了分隔件，并在面板的内表 面上具有荧光屏，如图1A、1B和2所示。

图1A和1B中，参考数字1表示背板，2是面板，3是框架，4 是分隔件。含铅熔结玻璃5用于图1A和1B中黑色部分所示的背板 1、面板和框架3之间的结合部分。

分隔件4利用熔结玻璃等，结合到面板侧和背板侧的任一个上 或这两侧上。该实施例中，分隔件4仅结合到面板侧。背板、面板 和框架材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量杂质的玻璃、 钠-钙玻璃和在钠钙玻璃上层叠二氧化硅层制备的玻璃。在面板 上，在玻璃板2a的内表面上形成有荧光膜2b，在荧光膜的内表面上 形成有含Al的金属敷层2c。分隔件基本由玻璃构成。分隔件的表面 可以涂敷抗静电膜。

此外，用于排空FPD的排气管(未示出)一般固定在FPD上。 一般说，排气管由含铅低熔点玻璃构成。

图2示出了作为FPD的一个例子的表面传导型电子源显示器 (SED)、图2中，表面传导型电子源11及用于驱动电子源的布线 12和13形成在背板上。布线12和13是X方向(Dox1,Dox2…, Doxm)和Y方向(Doy1,Doy2…,Doyn)元素布线，由Ag、Pd等构成。X方向布线和Y方向布线通过至少在它们交叉点处的绝缘 层绝缘。绝缘层由含大量铅的玻璃构成。

如上所述，FPD的各部分采用含铅材料。这些部分中，框架上 的熔结玻璃含大量铅。本发明的特征在于，与其余部分分开处理框 架。即，如图3A和3B所示，根据本发明的FPD拆解处理方法，在 切割线A-A、A’-A’、B-B、B’-B’切割FPD。

图4是展示介绍本发明该实施例的FPD器件拆解处理方法的各 步骤的流程图。作为该方法前半部分的步骤(1)-(3)是预定处 理步骤，包括从FPD器件的外壳中取出FPD，并去除附属布线和端 子。在步骤(4)-(6)，利用适当的方法，释放FPD中的真空， 然后拆下排气管，由于排气管含铅，所以处理之，并再用作含铅玻 璃。

在步骤(7)测量FPD，取得关于用熔结玻璃密封框架的区域的 面积的，信息确定切割位置。一般说，熔结玻璃是黑的，它的存在 可以通过玻璃基板光学探测。更具体说，通过利用视频摄像机图像 探测FPD，可以测量用熔结玻璃密封框架的区域的面积，并对所得 视频图像进行图像分析。这种情况下，切割线设在用熔结玻璃密封 框架的区域内。在已知框架的位置和宽度落入预定范围时，简单地 检测FPD的边缘，设定离开边缘一定距离的线为切割线。

步骤(8)是框架和其余部分的分离步骤。沿步骤(7)设定的 切割线切割框架。切割方法可以是切割玻璃的一般方法。切割方法 包括(1)用硬金属辊刻划玻璃，并在报废部分上施加热应力，(2) 金刚石切割据，(3)金刚石轮，(4)激光处理，(5)超声处理。 利用该步骤，将刻划的FPD分成四部分，即框架(9)、内屏板部 件(11)、面板(13)和背板部分(20)。下面将介绍各部件的处 理方法。

粉碎框架(9)，并再用作含铅玻璃(10)。

如果步骤(11)中存在作为内屏板部件的分隔件(玻璃制的)、 栅(金属制的)等，则回收并再利用它们(步骤(12))。

关于步骤(13)中的面板，在步骤(14)去除荧光物质，在步 骤(15)回收之。步骤(16)是去除残留熔结玻璃的步骤。该步骤 中回收了残留熔结玻璃中的铅后，在步骤(18)将玻璃基板粉碎成 玻璃碎片。步骤(19)可以再用这些玻璃碎片作面板和背板基板。

关于步骤(20)中的背板，在步骤(2¨去掉布线，回收布线 中含有金属(Ag、Pb等)，并在步骤(23)将玻璃基板粉碎成玻璃 碎片。步骤(24)可以再用这些玻璃碎片作面板和背板基板。

(例1)

下面将结合图1A和1B-4采用例1具体介绍本发明。

(例1-1)

拆解图2所示矩阵驱动方式的表面传导型电子源显示器 (SED)。该SED具有图1所示含分隔件的屏板结构。

根据图4中FPD器件的拆解处理流程，从SED器件的外壳中取 出SED，去掉附属布线和端子。然后，取消SED中的真空，去掉排 气管。处理排气管，并再用作含铅玻璃。

用视频摄像机图像探测该SED，利用图像处理装置获取其图 像。可以把施加熔结玻璃的图像区域识别为比其余部分暗的区域。 图像被二进制化(binarized)，以便测量施加熔结玻璃区域的面积。

执行拆解预处理步骤(1)-(5)。从平板显示装置中取出平 板显示器，并装载所得平板显示装置(步骤(1)和(2))。去除 附属布线和端子(步骤(3))。利用适当的处理例如解除排气管安 装部分的密封，取消真空容器的真空。真空容器的内部恢复到大气 压(步骤(4))。然后，拆下排气管(步骤(5))。回收并再利 用排气管(步骤(6))。测量平板显示器的尺寸，确定其切割线(步 骤(7))。

然后，从平板显示器20上分离框架部件3(步骤(8))。这种 分离采用将楔形刀具压进框架部分3与两板1和2之间的结合部分 以便分离它们的方法或喷涂硝酸溶液的方法。

粉碎在步骤(7)分离的框架部件3(步骤(9))，并再用作循 环使用的新玻璃材料(步骤(10))。

回收分隔件4(步骤(11))。此时，分离并回收分隔件4(步 骤(12))。

回收了分隔件4后，如果板部件是面板2(步骤(13))，则从 面板2上回收荧光物质2b(步骤(14))，并粉碎面板2。同时， 去除铅成分，将面板2再用作循环再利用的新玻璃材料(步骤(15))。 然后，去除残留的熔结玻璃(步骤(16))。粉碎玻璃基板(步骤 (18))，并再用作基板玻璃(步骤(19))。

如果板部件是背板1(步骤(20))，则从背板1上去除布线(步 骤(21))。粉碎背板1(步骤(23))，并再用作循环再利用的新 玻璃材料(步骤(24))。

根据测量结果，在用熔结玻璃密封框架的区域内，设定切割线 A-A、A’-A’、B-B、B’-B’。在施加研磨溶液的同时，用金刚石切割 锯沿切割线切割SED。

通过切割，将SED分成框架部分3、面板2、和背板1。切割中 某些分隔件4脱落，某些分隔件4保持与面板2的粘附。人工回收 所有分隔件4，筛选并再利用可再利用的分隔件4。

粉碎框架部件3，并再用作含铅玻璃材料。从面板2上去除了荧 光物质后，用硝酸去除残留的熔结玻璃，粉碎并再利用玻璃基板。 从背板1上去掉布线后，粉碎并再利用玻璃基板。

(例1-2)

拆解图2所示矩阵驱动方式的表面传导型电子源显示器 (SED)。到设定切割线A-A、A’-A’、B-B、B’-B’的步骤为止与例1 -1中的相同。用硬金属辊沿SED的切割线刻划SED。然后，用气 体燃烧器加热刻划的部分，气体燃烧器中在城市气(city gas)中加 入氧。结果，沿切割线切割玻璃，将SED分成框架部分3、面板2 和背板1。随后的步骤与例1-1相同。

由于例1-2不采用任何研磨溶液，所以可以容易地回收和再利 用各部件。

(实施例2)

下结合附图具体介绍本发明的实施例2。

图5是展示根据本发明的本实施例的FPD拆解处理方法的流程 图。该实施例将例示如图1所示具有分隔件的FPD的拆解处理。

图1中，参考数字1表示背板；2是面板；3是框架；4是分隔 件。含铅熔结玻璃5用作图1A、1B和2中黑色表示的每个结合部分。 分隔件4结合到面板2和背板1的任一个上或两者之上。该实施例 中，分隔件4仅结合到面板1上。

背板1、面板2和框架3材料的例子有二氧化硅玻璃、含少量 如Na等杂质的玻璃、钠钙玻璃和通过在钠钙玻璃上如溅射淀积SiO2制备的玻璃。在面板2上，在玻璃基板2a的内表面上，形成有含包 括如Y等稀土元素的荧光物质的荧光膜2b，荧光膜的内表面上形成 有金属敷层2c。

分隔件4基本上由玻璃构成。分隔件的表面涂有抗静电膜。导 电膜材料的例子有如Cr、Ni和Cu等金属的氧化物、Al和过渡金属 合金的氮化物和碳。

关于熔结玻璃5的材料，采用含大量铅成分以便能够进行低温 焙烧的熔结玻璃，主要含PbO。

根据本发明，用在结合部分的熔结玻璃5中的铅(Pb)溶解于 硝酸，在结合部分剥离各部件，以拆解显示器。本发明采用的硝酸 浓度在0.1N(当量浓度)-几N，较好是0.1N-2N。浸泡时间在几小 时-几十小时，较好是10小时-24小时。

下面根据图5的流程图结合图6具体介绍该拆解方法。

(1)拆除外壳，拆掉容器的外部端子，仅取出显示器(S1-S3)。

(2)关于真空系统，泄漏真空(S4)。

(3)将整个显示器浸入充有硝酸的槽中(S5)。此时，为防止 玻璃被划伤，在槽22中沉入由特弗隆树脂构成的网状笼21。显示器 50沉入网状笼21中(图6A)。

(4)提拉网状笼21，回收从熔结结合部分剥离的部件(S6和 S7)。将各部件转移到纯水25的清洗槽中(S8)，然后，分成可再 利用部件和报废部件(图6B)(S9和S10)。

(5)过滤硝酸溶液(S11)，将之分离为滤液和不可溶物(S12 和S13)。

此时，不可溶物是熔结成分和分隔件涂敷成分的硝酸不溶物中 不溶于硝酸的东西。在滤液中(S13)，溶解了铅、贵金属元素和稀 土元素(S14和S16)。

(6)利用电解法，将滤液中的金属分离成铅和其它金属。

此时，铅作为PbO2沉积在阴极上，而含贵金属的其它金属沉积 在阳极上。

(7)回收沉积在阴极上的PbO2，并实施有害废物的清除(S15)。

(8)贵金属等沉积在阳极上，回收并再利用(S16)。

(9)如果混有稀土金属(S19)，将溶液的pH值调节为等于0， 并加入草酸，使之作为草酸盐沉积。过滤该溶液，回收草酸盐。

根据该方法，也可以回收贵金属。关于另一方法。在滤液(6) 中加入硫酸离子，产生铅成分的沉积物(PbSO4)，分离铅。这种情 况下，贵金属元素也沉积，难以回收。当贵金属元素的量小，且不 需要回收时或不含贵金属时，该方法简单方便。

根据上述方法，将整个屏板浸入硝酸中。留下可再利用部件并 仅将基余部件浸入硝酸的方法也基本上依据该方法。

下面结合图7A、7B、8A和8B介绍在硝酸中局部浸泡屏板并处 理的步骤。

图7A、7B、8A和8B示出了仅在硝酸中浸泡背板1和面板2(图 7A和8A)，并拉出和再利用带有框架的面板2和带有框架3的背 板1(图7B和8B)的方法。硝酸溶液的处理类似于浸泡整个显示器 的方法。

这种情况下，必须精确控制浸在硝酸中的部件的位置。该方法 可以根据经验实施。此时，方便的是设置特弗隆台31。在具有分隔 件的显示器中，当分隔件将被再利用时，可以采用浸泡整个显示器 的方法和仅浸泡熔结部分的方法，它们基本上与上述方法相同。

(例2)

下面通过例示例2介绍本发明。

(例2-1)

-在硝酸中浸泡整个显示器的方法-

将结合图5、6A、6B和9介绍例2-1。

图9是展示用于例2-1的FPD的示意图。与图1中相同的参考 数字表示相同的部件。该显示器是在玻璃背板上具有电极、布线、 绝缘层、电子发射元件等的表面传导型电子源显示器(SED)。背 板1上在钠钙玻璃上涂有SiO2。在SiO2涂层上形成为彼此面对的元 件电极由Pt构成，每个形成在两电极间的电子发射元件11由Pd构 成。另外，形成由Ag、Pb、B等构成的上布线13和下布线12，及 绝缘这些上下布线的PbO绝缘层。框架3也由钠钙玻璃构成。参考 符号Dx01-Dx0m和Dy01-Dy0n表示容器的外部端子。

在面板12上，在钠钙玻璃基板2a的内表面上，形成有由黑条 和荧光物质构成的荧光膜2b,Al金属敷层2c形成在荧光膜的内表 面上。黑条由PbO和C(碳)构成，而荧光物质由ZnS和YS构成。 分隔件4利用玻璃熔结结合到显示器的内表面上。

分隔件4由玻璃基板构成，其表面涂有导电陶瓷。

如下拆解该屏板。

(1)从外壳中仅取出显示器，并拆掉容器的外部端子。

(2)泄漏真空，使之恢复到大气压。

(3)将整个显示器浸入1.2N的硝酸槽中24小时。此时，为防 止玻璃被划伤，在硝酸槽中沉入由特弗隆树脂构成的网状笼21。显 示器沉入网状笼21中(图6A)。

(4)从硝酸溶液中拉上从熔结结合部分剥离的背板、面板、框 架和分隔件，并将它们转移到纯水清洗槽中，然后，分成可再利用 部件和报废部件(图6B)。

(5)拉上各部件后，过滤硝酸溶液，将之分离为滤液和不可溶 物。

(6)除熔结玻璃中的铅之外，电子发射元件膜中的部分Pd和 布线中的部分Ag等溶于该滤液。为分离和回收这些金属，如下实施 电解法。

参考银/氯化银标准电极，滤液设定在+1.4-1.7V的电位。回收和 再利用沉积在阴极上的Pd和Ag，并实施有害废物的清除。

(7)由于用于荧光物质的Y(钇)溶解在滤液中，所以将滤液 调节到pH=0，以便回收Y。然后，加入草酸，沉积和回收作为 Y2(C2O4)3的Y。

(例2-2)

-在硝酸中浸泡除面板外(带有框架和分隔件)的显示器的方 法-

下面结合图5、7A和7B介绍例2-2。

如下拆解与例2-1中相同的FPD。

(1)进行与例2-1中(1)和(2)相同的工艺。

(2)在与硝酸液面平行的两个部位标记显示器的框架。显示器 设置在特弗隆台31上，并被调节到使液面在面板侧的标记之下，以 便仅在硝酸中浸泡框架和背板的结合部分。这种状态下，在1.2N的 硝酸槽中浸泡显示器24小时(图7A)。

(3)拉上带有框架和分隔件的面板，并转移到纯水清洗槽中， 清洗浸在硝酸中的部分，并再利用(图7B)。

(4)与例2-1中(5)和(6)类似的方法处理硝酸溶液。

(例2-3)

-在硝酸中浸泡除背板(带有框架)外的显示器的方法-

下面结合图5、8A和8B介绍例2-3。

如下拆解与图2-1相同的FPD。

(1)进行与例2-1中(1)和(2)相同的工艺。

(2)与例2-2类似，标记框架。与例2-2类似，在1.2N的硝 酸槽中浸泡显示器24小时，以便仅在硝酸中浸泡框架与背板间的结 合部分(图8A)。

(3)与例2-2类似，拉上带有框架的背板，清洗并再利用(图 8B)。

(4)过滤硝酸溶液，并在滤液中加入硫酸，产生PbSO4沉积物。 通过过滤分离该沉积物，并实施有害废物清除。

(5)由于硝酸溶液含荧光物质中的Y，所以将溶液调节到pH =0。加入草酸，沉积并回收作为Y2(C2O4)3的Y。

(比较例2)

为报废或再利用与例2-1中相同的FPD，通过加热熔化并剥离 熔结玻璃部分，作为从结合部分剥离部件的方法。

然而，为熔化作为熔结玻璃成分的PbO，熔点必须设为高至约 900℃以上。在将熔结结合部分局部设定在谝高温下时，在某些条件 下，玻璃基板变形或龟裂。难以设定再利用基板的条件。

(实施例3)

下面通过例示更优选的另一实施例，具体介绍本发明。

更具体说，一种回收图像显示装置的背板以便回收和再利用废 弃的图像显示装置中的背板的方法，所说图像显示装置由背板1、面 板2和支撑框架3构成，所说背板1具有多个电子发射元件，每个 电子发射元件由一对电子发射元件的元件电极和与所说元件电极对 连接的导电膜构成，并在导电膜的部分处具有电子发射部分，所说 面板2具有图像形成部件，在与电子发射元件发射的电子碰撞时形 成图像，所说支撑框架3与背板和面板连接，保持内压，背板1、面 板2和框架3利用熔结玻璃5焊接在一起，所说方法包括以下步骤： 在硝酸溶液中浸泡焊接部分，溶解熔结玻璃5；利用喷墨法形成导电 膜。

图10是展示图像显示装置的结构的示图。图10中，背板1包括 多个电子发射元件11。面板2包括与电子发射元件11发射的电子碰 撞形成图像的图像形成部件。支撑框架3与背板1和面板2连接， 保持内部压力。参考数字4表示密封背板1、面板2和支撑框架3 的熔结玻璃。这些构成元件构成图像显示装置15。

如图11所示，在内压低时，泄漏从其上拆掉了容器的外部端子 等的图像显示装置15。然后，将图像显示装置15浸泡在装有硝酸的 硝酸溶液槽6内(图11A)。在某些情况下，图像显示装置15引入 分隔件作耐大气压支撑部件。在浸泡在硝酸中时，根据需要调节硝 酸溶液的量，从而容易剥离背板1，工作台(未示出)设置在硝酸溶 液槽6内，以便从图像显示装置15上取下背板1(图11B)。这种 情况下，涂到背板附近的熔结玻璃4溶解。或者，整个图像显示装 置15可以浸泡到装有硝酸的硝酸溶液槽6，以便将装置15分离成各 构件，从而取出背板1。此时的硝酸浓度为0.1N(当量浓度)-几N， 较好是0.1-2N。

浸泡时间较好为几小时到几十小时，更好是为10小时-24小 时。将取出的背板1转移到纯水清洗槽，清洗并干燥。为防止干燥 时的不均匀，根据需要，可以用例如酮或醇等溶剂清洗背板1。可以 用导电膜形成液滴(以后将介绍的)清洗背板1，以便在再利用时有 助于形成导电膜。图12示出了以此方式取出和清洗的背板1的情 况。参考数字41表示背板基板，42和43是元件电极。清洗后，去 除导电膜和印刷布线，元件电极42和43留在背板基板41上。

用于背板1的基板41的材料的例子有二氧化硅玻璃、含少量如 Na等杂质的玻璃、钠钙玻璃、通过利用溅射、CVD或液相外延在钠 钙玻璃上淀积SiO2制备的玻璃基板、及其上淀积P掺杂SiO2的玻璃 基板。对元件电极的电极材料没的特别限制，只要材料导电便可。 在元件电极由例如Pt或Au等其特性在硝酸中不会变化的贵金属构 成，元件电极留在清洗的背板基板上，并可以再利用。在元件电极 由其特性在硝酸溶液中会改变的材料构成时，元件电极溶解在硝酸 溶液中，于是只再利用背板基板。

图12中，与元件电极42和43电连接以驱动它们的上布线和下 布线溶解在硝酸溶液中。然而，由于元件电极和下布线中的一个可 以由相同材料同时形成，所以包括元件电极的下布线可以留在背板 基板上。关于用于结合部分的熔结玻璃，采用含大量铅成分的熔结 玻璃以便可以低温焙烧，并主要含PbO。熔结玻璃中的铅成分溶解 于硝酸溶液中，可以通过电解法沉积或作为酸/碱反应的沉积物回 收。

背板1利用具有元件电极42和43的背面基板41制造。例如Y 方向布线13形成于元件电极42上，形成刻槽46，并形成X方向布 线12。布线和层间绝缘层可利用印刷等方法形成。然后，利用通过 喷墨法排放导电溶液的喷墨装置形成用作导电膜前体的膜。干燥了 溶剂后，热处理所得结构，形成导电膜49。以此方式，便可以再利 用图像显示装置15的背板1。

(例3)

下面利用例3具体介绍本发明。

(例3-1)

下面结合图10-13E介绍例3-1。

图10示出了根据例3-1的图像显示装置的结构。图10中，参 考数字1表示背板；2是在基板2a的内表面上具有荧光膜2b、金属 敷层2c等的面板；3是支撑框架。背板1、支撑框架3和面板2利 用熔结玻璃密封，构成图像显示装置15。参考符号Dox1,Dox2…, Dox(m-1),Doxm和Doy1,Doy2…,Doy(n-1),Doyn表示容器的外 部端子。

图10中，参考数字11表示表面传导型电子发射元件。在图12 中，参考数字42和43表示与图13A-13E中的表面传导电子发射元 件的一对元件电极连接的Y方向布线13和X方向布线12。

背板基板41在钠钙玻璃上涂有SiO2。元件电极42和43由Pt构成。Y方向布线13和X方向布线12由Ag膏构成，层间绝缘层 45由PbO玻璃膏构成；导电膜49由Pd构成。

图11A和11B是展示根据本发明的背板回收/循环方法的示意 图。图11A和11B中，参考数字1表示具有多个电子发射元件的背 板；2表示具有通过与电子发射元件11发射的电子碰撞形成图像的 图像形成部件的面板；3是连接背板1和面板2并保持内压的支撑框 架；4是用于密封背板1、面板2和支撑框架3的熔结玻璃。这些构 件构成图像显示装置15。

由于低内压和被浸泡在装有1.2N硝酸的硝酸溶液槽6中，泄漏 了从其上拆掉了容器的外部端子等的图像显示装置15。图11A示出 了该状态。在浸泡在硝酸中时，硝酸的量调节到容易剥离背板1，并 从图像显示装置15取出背板1(图11B)。将取出的背板1转移到 纯水清洗槽中以清洗背板1，用再酮或异丙醇清洗并干燥。

图12示出了以此方式取出和清洗的背板。参考数字41表示背 板基板；42和43表示元件电极。清洗后，去除导电膜和印刷布线， 元件电极42和43留在背板基板41上。

过滤硝酸溶液，如下电解滤液。

相对于银/氯化银标准电极，滤液设定在+1.4-1.7V的电位。于 是，Pd和Ag沉积在阳极上，PbO2沉积在阴极上。回收这些金属。 再利用Pd和Ag，对PbO2实施废物清除处理。

利用具有元件电极42和43的背板基板41制造背板1。图13A -13E是展示制造背板1的各步骤的示图。

Ag膏以预定形状丝网印刷在具有元件电极42和43的背板基板 41(图13A)上，并被加热和焙烧，形成Y方向布线13。注意，Y 方向布线厚约20微米，宽度100微米(图13B)。

玻璃膏印刷成预定形状，并被加热和焙烧，形成层间绝缘层45。 此时，刻槽46形成为不覆盖元件电极43。层间绝缘层的宽度为约 250微米，在层间绝缘层与Y方向布线重叠的部分厚约20微米，在 其余部件厚约35微米(图13C)。

然后，在层间绝缘层45上印刷Ag膏，并加热和焙烧，形成X 方向布线12。注意，X方向布线的宽度约200微米，厚约15微米， (图13D)。

压电喷射型喷墨装置施加有机钯-乙醇胺配合物的溶液的液 滴，从而形成作为导电膜前体的膜。干燥了溶剂后，在300℃加热约 10分钟，将前体膜变成由细PdO颗粒构成的导电膜49。导电膜大 致具有圆柱形，直径为40微米，膜厚为15微米(图13E)。

以此方式，回收背板1。用熔结玻璃焊接背板1与面板和支撑框 架。令人满意地排空容器，并进行成形处理和激活处理，构成图10 所示的图像显示装置15。

所制造的图像显示装置没有任何图像方面明显的缺陷或亮度偏 差。

(例3-2)

除下点之外，例3-2涉及与例3-1相同的循环方法。

在例3-1中，Y方向布线13是印刷电极。相反，在例3-2中， Y方向布线13由Pt构成，与元件电极42和43同时形成，与元件电 极42连接。如图14所示，在浸泡在硝酸溶液中并被清洗后，元件 电极和与元件电极之一连接的Y方向布线13留在背板上。

例3-1中用于施加液滴的喷墨装置是压电喷射型。例3-2不 用这种喷射装置，而用喷泡型装置。用这种装置，可以牡循环利用 用于图像显示装置15的背板1。

(实施例4)

下面更具体地介绍本发明。

本发明的特征在于，通过利用在拆解平板显示器时没有任何损 伤的简单方法回收分隔件，再利用之。

根据本发明的分隔件回收方法，用熔结玻璃焊接分隔件和平板 或基板的部分，浸泡在硝酸溶液中，以溶解焊接部分，从而只分离 分隔件。此时，采用存放或支撑分隔件的夹具，避免与其它分隔件 或外围部件接触造成的任何损伤。

图15是展示本发明的分隔件回收方法和回收装置的示意图。图 15中，参考数字151表示硝酸溶液槽；153表示硝酸溶液，153是背 板或面板；154是分隔件；155是分隔件容器；156是用于背板或面 板的支撑件；157是熔结玻璃。

分隔件154可焊接到面板、背板或两块板上。这种情况下，分 隔件154焊接到面板上。

在面板与分隔件保持由熔结玻璃焊接的同时，分离背板、面板 和框架。分离背板、面板和框架的方法包括切割法、通过在各部分 焊接的熔结玻璃部件喷涂硝酸溶液溶解熔结玻璃或在硝酸溶液中浸 泡熔结玻璃部分的方法、通过加热溶解熔结玻璃的方法。由于用硝 酸溶解的方法不会损伤分隔件，所以希望采用该方法。

然后，将分隔件和面板浸泡在硝酸溶液中。在由支撑件156支 撑面板153，并且分隔件154面向下的同时，浸泡分隔件和面板，如 图15所示。

分隔件154和面板153间的熔结玻璃157溶解，分离它们。此时， 图16A和16B所示的容器155用于防止分隔件157落入硝酸溶液容 器151，与其它分隔件或外围部件接触被损伤。

容器155的尺寸几乎与面板153相同，根据分隔件154的布局， 具有凹槽148。容器155由例如相对于硝酸稳定的氟塑料等材料制 造，不会损伤分隔件。为防止溶液留在所说凹槽，整个容器或凹槽 的底部可以是网状的。容器155设置在分隔件154以下，以存放从 凹槽148中的面板153上分离的分隔件154，从而防止各分隔件154 间接触。

去掉面板153后，从硝酸溶液容器151中拉上容器155。然后， 在存放在该容器中的同时，对分隔件进行随后的清洗步骤和干燥步 骤。

注意，分隔件容器155的形状不限于以上述情况。图16A和16B 所示的形状仅是容器形状的例子。如图17所示，可以采用每个稍大 于分隔件154的许多凹下容器149，并设置在分隔件之下，以存放从 面板153上分离的分隔件154。当采用该方法时，从硝酸溶液容器 151拉上来的容器149可以集中在窄范围内。于是，可以减小随后清 洗槽和干燥槽的尺寸。

图18是展示根据本发明的分隔件回收方法和回收装置的另一实 施例的示图。图18中，参考数字151表示硝酸溶液槽；152是硝酸 溶液；153是背板或面板；154是分隔件；157是熔结玻璃；158是 背板或面板的工作台；159是分隔件支撑臂，160是各臂的末端。

分离背板、面板和框架，拆解成分隔件154保持利用熔结玻璃 焊接在背板上的状态。然后，将分隔件154浸泡在硝酸溶液槽151 中。

分隔件154可以焊接在面板、基板或两个板上。尽管本发明可 应用于任何情况，但假定分隔件154焊接在面板上。

根据浸泡法，面板153设在工作台158上，分隔件154面朝下。 然后，用相应臂159的末端160夹紧各分隔件154的末端。工作台 158向下移动，以便将面板153和焊接部分157浸泡在硝酸溶液152 中。由于预先固定了分隔件154，以防止从面板153上分离的分隔件 154落下。这可以防止分隔件受损伤。注意，臂159和其末端160必 须由例如相对于硝酸稳定的氟基化合物等材料构成。

在利用末端160固定的同时，可以对分隔件154进行随后清洗 步骤和干燥步骤。在清洗步骤中，留在分隔件154上的熔结玻璃157 溶解，并去除从面板153和基板上溶解的再附着物质。清洗步骤一 般在新硝酸溶液槽中进行。然后，将分隔件154转移到纯水槽中， 在此最后清洗分隔件154。

干燥步骤可以采用任何方法，只要纯水蒸发便可。例如，可利 用热气干燥分隔件54。

在再利用干燥分隔件时，必须检测它们是否被损伤。可以采用 合适的检测方法。例如，可以采用肉眼证实缺陷的存在与否的方法， 或通过加热检测是否存在龟裂的方法。

图19A和19B是展示分隔件154的示图。一般说，分隔件154 具有薄板形状，其长度和宽度为几十mm，厚度为300微米以下， 通过在绝缘基板161的表面上形成各向异性导电膜162构成。为达 此目的而需要的大量分隔件154以需要的间隔排列，并用熔结玻璃 固定到面板153的内表面或基板的表面上。在分隔件154固定到背 板上时，以与分隔件154固定到面板上的情况相同的方式处理它们。

导电膜材料的例子有例如铬、镍和铜等金属的氧化物、铝和过 渡金属合金的氮化物和碳。

分隔件154的绝缘基板161材料的例子有二氧化硅玻璃、含少 量如Na等杂质的玻璃、钠钙玻璃和通过在上述各基板上层叠SiO2绝缘层制备的基板。

如上所述，导电膜162形成在分隔件的表面上。根据材料，导 电膜162可以相对于硝酸稳定或溶解。在导电膜162由相对于硝酸 稳定的材料构成时，清洗、干燥和检测步骤后，可再利用分隔件。 在导电膜162由溶于硝酸的材料构成时，在进行了膜充分溶解于硝 酸溶液、清洗、干燥和检测步骤，并再形成导电膜后，可以再利用 分隔件。

(例4)    

下面利用例4具体介绍本发明。

(例4-1)

利用图15所示的根据本发明的分隔件回收装置回收分隔件。图 15中的装置溶解面板153和分隔件153间的结合部分的熔结玻璃 157，分离面板153与分隔件154。图15中，参考数字151表示硝酸 溶液槽；152是硝酸溶液；153是面板；154是分隔件；155是分隔 件容器；156是面板支撑件；157是熔结玻璃。

图20是展示根据本发明的分隔件回收方法的各步骤状态的示意 图。图20A示出了分离基板、面板和框架的步骤。图20B示出了分 离面板与分隔件的步骤，图20C和20D示出了分隔件清洗步骤，图 20E示出了分隔件干燥步骤。

例4-1采用25个分隔件154焊接到由尺寸为300mm×250mm ×2.8mm的钠钙玻璃构成的面板153上，。每个分隔件154通过在 高为2.8mm、厚为200微米和长度为40mm的钠钙玻璃基板上形成 氮化膜作导电膜形成。

下面结合图15、16A、16B和20A-20E具体介绍例4-1。

(1)拆解外壳，取出由利用熔结玻璃157焊接的背板163、面 板153和框架164构成的单元。

(2)在焊接部分上喷涂0.2N的硝酸溶液，以逐渐溶解它们。在 溶解了几乎所有熔结玻璃后，利用支撑件156将面板153拉上来， 并与框架分离(图20A)。

(3)存放分隔件的容器155沉在长400mm、宽350mm的硝酸 溶液槽151中，溶液槽中含0.2N的硝酸溶液。如图16所示，该容 器为长300mm×宽250mm×高10mm，根据分隔件的分布，具有25 个凹槽(长：50mm，宽：5mm，深度：4mm)。该容器由相对于 硝酸稳定的氟塑料构成，不会损伤分隔件。各凹槽都是网状，不能 存任何溶液。

将分隔件154焊接于其上的面板153浸泡在硝酸溶液槽151中， 分隔件154面向下。分隔件154和面板153间的熔结玻璃溶解，以 分离它们。每个分隔件154落在容器155的相应凹槽中。

取出了从分隔件154上分离的面板153后，从硝酸溶液槽中将 容器155拉上来(图20B)。

(4)分隔件154与容器155一起沉到装有0.2N的硝酸溶液的清 洗硝酸溶液槽中。该步骤中，留在分隔件154上的熔结玻璃溶解， 并去除了从面板153和基板上溶解的再附着物质(图20C)。

(5)将分隔件与容器155一起转移到纯水槽中，在此用纯水165 最后清洗分隔件154。注意，硝酸清洗槽和纯水清洗槽大小与图20B 中的硝酸槽相等(图20D)。

(6)用热气166吹容器155中的分隔件154，干燥它们(图20E)。

(7)在再利用以此方式回收的分隔件时，检测分隔件154。关 于检测方法，用光学显微镜检测导电膜的剥离、是否存在划伤、沉 积物和其它污物。然后，通过加热检测是否存在龟裂，排除具有缺 陷玻璃基板的分隔件。在容纳于容器中的同时或一个一个取出后， 对分隔件进行这些检测。检测的结果是，约有10％分隔件因为缺陷 而被排除，多数分隔件可以再利用。直接利用无缺陷分隔件，组装 新显示器。

(例4-2)

例4-2采用具有与例4-1相同结构的显示器。除通过切割从 外壳分离框架、背板和面板外，采用与例4-1相同的方法回收分隔 件。

如图21所示，切割框架、基板和面板，分离四个焊接部分和存 在分隔件的周围区域。切割后的分隔件回收方法与例4-1中步骤 (3)-(6)相同。

检测的结果是，约15％的分隔件由于缺陷而被排除，多数分隔 件可以再利用。

(例4-3)

例4-3采用具有与例4-1相同结构的显示器。除在分离面板 和分隔件时采用图17A和17B所示容器外，利用与例4-1相同的方 法回收分隔件。

下面将结合图15、16A、16B、17A、17B和22a-22D介绍例4 -3。

面板与框架的分离采用与例4-1中的步骤(1)和(2)相同 的方法。

(3)在基座168上固定25个用于存放分隔件154的容器167， 数量与分隔件相等，并沉入装有0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽中。

每个容器具有矩形状，长60mm，宽10mm，高10mm。如图17A 和17B所示。长50mm、宽5mm，深8mm的凹槽形成在容器上面。 各凹槽成网状，不能存任何溶液，凹槽由相对于硝酸稳定的氟塑料 构成，不会损伤分隔件。这些容器固定到基座上，以便设在各分隔 件的正下方，并沉在硝酸溶液槽151中。

分隔件154焊接于其上的面板153浸泡在硝酸溶液槽151中，分 隔件154面向下。熔结玻璃157溶解，以分离面板153和分隔件154。 每个分隔件154落到相应容器的凹槽中。

移动从分隔件154上分离的面板153后，从硝酸溶液槽中，与 基座168一起将容器167拉上来(图22a)。

(4)彼此靠近再设置各容器后，将分隔件与各容器一起沉入装 有0.2N硝酸溶液的清洗硝酸溶液槽中。该步骤中，留在分隔件上的 熔结玻璃溶解，并去除从面板和基板上溶解的再附着物质(图22B)。

(5)利用与例4-1相同的方法，用纯水清洗分隔件、干燥并 检测。注意用于例4-3的清洗槽比用于例4-1的小，长度为 200mm，宽为150mm(图22C和22D)。

检测的结果是，约10％的分隔件由于缺陷而被排除，多数分隔 件可以再利用。

(例4-4)

在例4-4中，利用与例1-1相同的装置回收分隔件。例4-4 采用与例4-1中相同的25个分隔件焊接于其上的面板。每个分隔 件通过在二氧化硅玻璃基板上形成氧化镍(NiO2)膜作为导电膜而 制备。

用与例4-1中步骤(1)-(6)相同的方法分离、清洗并干燥 各分隔件。

检测以此方式回收的分隔件。关于检测的方法，可光学显微镜 证实沉积物、其它污物、导电膜的划伤和膜剥离。然后，通过加热 检测是否存在龟裂，以排除缺陷分隔件。检测的结果是，约10％的 分隔件由于缺陷而被排除，多数分隔件可以再利用。

(例4-5)

例4-5采用与例4-1相同结构的平板显示器。

关于分隔件回收装置，例4-5采用如图18所示装置。图18中， 参考数字151表示硝酸溶液槽；152是硝酸溶液；153是背板或面板； 154是分隔件；157是熔结玻璃；158是背板或面板的工作台；159 是分隔件支撑臂，160是各臂的末端。150是用氟塑料构成用于支撑 工作台的弹性部件。工作台158和臂159由相对于硝酸稳定的氟塑 料构成，末端160由不损伤分隔件的氟橡胶构成。

下面结合图18和23A-23E介绍例4-5。

面板与框架的分离采用与例4-1的步骤(1)和(2)相同的方 法。

(3)面板135设置在工作台158上，分隔件面朝上，然后，用 支撑臂59的末端160夹紧各分隔件154的末端(图23A)。工作台 158向下移动，从而在含0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽151中浸泡面 板153的焊接部分157。证实了熔结玻璃溶解，分离了分隔件154后， 从硝酸溶液槽中拉上分隔件154(图23B)。

(4)在分隔件用支撑部件夹紧的同时，将它们沉在装有0.2N 硝酸溶液的清洗硝酸溶液槽中。该步骤中，溶解留在分隔件上的熔 结玻璃，并去除从面板和基板上溶解的再附着物质(图23C)。

(5)将分隔件转移到纯水槽，在此进行最后清洗(图23D)。

(6)用热气干燥分隔件(图23E)。

(7)利用与例4-1相同的方法检测回收的分隔件，发现约10 ％的分隔件由于缺陷而被排除，多数分隔件可以再利用。

(例4-6)

除分隔件焊接到基板和面板上外，例4-6采用具有与例4-1 相同结构的显示器。

下面结合图15和24A-24C介绍例4-6。

(1)从外壳中取出由用熔结玻璃焊接的基板163、面板153和 框架164构成的单元。

(2)利用与例4-2中相同的方法，切割框架、基板和面板间 的焊接部分(图24A)。

(3)逐渐将该单元浸泡到含0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽151 中，基板面向下。在基板和分隔件间的焊接部分沉入溶液时，浸泡 单元过程停止(图24B)。

以此方式，仅溶解基板和分隔件间的熔结玻璃，从而将它们分 离(图24C)。

(4)从硝酸溶液槽中拉上基板后，利用与例4-1中步骤(3) -(7)相同的方法，从面板上分离且回收分隔件。

利用该方法回收后，约15％的分隔件由于缺陷而被排除，多数 分隔件可以再利用。

(实施例5)

图25是展示根据本发明从显示装置回收荧光物质的方法的各步 骤的流程图。下面结合图25介绍各回收步骤。

处理过的/报废的显示装置(S20)是面板上涂有荧光物质并通过 电子束或紫外线辐射荧光物质发光的显示器。这种显示的例子一般 有面板涂有荧光物质的CRTs和平板显示器。

在CRT或平板显示器从外壳中分离之前，利用传感器识别显示 装置的模式。从数据库读取用于随后步骤的数据(例如尺寸、显示 器拆解方法、适用于面板形状的刷尺寸、形状、抽吸单元的形状)。

根据识别步骤中得到的数据，从外壳中取出显示器，将显示器 固定到夹具上，以便容易从显示器上拆解面板。关于此时所用的夹 具，根据识别步骤所得到的数据，选用具有最佳形状的夹具。在塑 料和金属部件附着到显示器时，要求需要，要拆掉它们(S21)。

释放了固定到夹具上的显示器中的减压状态后，将显示器送入 下一步骤。

在面板分离(拆解)步骤(S22)，沿面板和CRT的锥体间或 面板与平板显示器的框架间的熔结玻璃部分，从显示器上拆下面 板。关于拆解方法，可以采用切割面板和锥体间的显示器的方法、 和用剥离溶液剥离密封面板与锥体的熔结玻璃部分的方法。关于 CRT拆解方法，可以采用用加热丝切割CRT的方法(日本公开专利 申请07-029496)、引起热变形拆解CRT的方法(日本公开专利申 请05-151898)、在加热的同时施加超声振动以拆解CRT的方法、 及用硝酸作剥离溶液的方法(日本公开专利申请07-045198)。由 于防止热变形产生的湿法处理需要很长时间和高成本，所以较好是 用金属丝锯的切割。利用抽吸单元抽吸此时产生的玻璃灰尘并去除 之。将锥体和背板粉碎成玻璃碎片。

拆除的面板固定到夹具上，内表面向上，并送到刷扫和抽吸步 骤(S28)。

如果仅回收荧光物质，则刷扫步骤可仅利用一个扫除操作完 成。为再利用面板，可以重复刷扫步骤，直到内表面满足规格要求 为止。这种情况下，可以采取用于镜面抛光内表面的抛光轮代替去 除荧光物质的刷扫。

关于本发明的刷扫步骤所用的刷子，对于一般的CRT，选择其 形状对应于面板内表面的R(曲度半径)的刷子。对于平板CRT或 平板显示器，选择与平板表面相适应的刷子。当采用杵捣运动处理 (以后介绍)时，甚至在考虑了杵捣运动后，也在平板的处理步骤 中采用随R弯曲的刷子。

对本发明所用刷子的运动没有特别限制，包括简单旋转运动和 在面板2表面上的往复旋转运动。如果刷子的运动采用引起刷子171 同时进行旋转运动和回转运动(图26)，或在绕一个点旋转轴的同 时绕中心线沿其轴旋转刷子的方法(图27)，则容易快速扫除荧光 物质，平面化内表面。

对本发明所用的抽吸单元的喷嘴形状和抽吸力没有限制，只要 抽吸单元可以抽吸和回收利用刷子扫掉的荧光物质2b和黑条便可。 抽吸单元可安装在刷子中，或设置在刷子周围，以防止荧光物质散 射。为令人满意地抽吸面板周围的荧光物质，抽吸单元较好是安装 在刷子内。

利用已知采用任意装置的方法分离和提纯本发明回收的荧光物 质2b和黑条。例如，可以用含NaOH、NaClO和H2O2的水溶液处 理回收的荧光物质，并用弱酸处理(日本公开专利申请06- 108047)。或者，可以利用弱酸处理回收的荧光物质，从而沥滤出 稀土元素，可以加入草酸，将稀土元素转化成草酸盐，然后，可以 焙烧草酸盐，以得到稀土氧化物(日本公开专利申请08-333641)。

关于平板显示器的例子，以下将介绍采用表面传导型电子发射 元件的平板显示装置的结构。图29是展示采用了分隔件的显示装置 的透视图，其中屏板被局部切除，以展示内部结构。

图29中，参考数字11表示电子发射元件；1是背板；3是侧壁 (框架)；2是面板。背板1、侧壁3和面板3构成气密容器(外壳 15)，以保持显示器屏板内部真空。如果需要设置分隔件4，以防止 外壳被大气压损害和变形。在组装气密容器时，必须密封各部件， 以得到足够的强度，保持气密状态。例如，在结合部位施加熔结玻 璃，并空气或氮气气氛中，在400-500℃下烧结10分钟以上，以密 封各部件。

基板41固定到背板1上，N×M个冷阴极型电子发射元件11形 成于基板41上(N和M=等于或大于2的正整数，可以根据希望的 显示像素数设定。例如，在高分辨率电视显示器的图像形成装置中， 希望设定N=3000以上，M=1000以上)。N×M个冷阴极型电子 发射元件11按简单矩阵形式排列，具有M条X方向布线12和N条 Y方向布线13。

该实施例中，多电子束源基板41固定于气密容器的背板1上。 然而，如果多电子束源的基板41具有足够的强度，则多电子束源的 基板41可以用作气密容器的背板1。

荧光膜2b形成于面板2的下表面上。对于彩色显示装置来说， 荧光膜2b涂敷有用于CRT领域的红、绿和蓝即三原色荧光物质。 黑条形成在各荧光物质之间。形成黑条的目的是防止即使电子束辐 射位置稍有偏移，无法识别显示器颜色。并通过防止外部光的反射， 防止显示器对比度的下降。

注意，在形成单色显示屏板时，可以在荧光膜2b上加单色荧光 材料，并不总是需要用黑条。

CRT领域已知的金属敷层2c形成于背板侧上的荧光膜2b的表 面上。形成金属敷层的2c的目的是利用荧光膜2b发射的光的镜面 反射部分改善光利用率，保护荧光膜2b不与负离子碰撞，采用金属 敷层2c作施加电子束加速电压的电极，并采用金属敷层2c作激发 荧光膜2b的电子的传导路径。金属敷层2c通过在面板基板2a上形 成荧光膜2b、使荧光膜表面光滑、并利用真空淀积在光滑表面上淀 积Al形成，注意，在用于低加速电压的荧光材料用作荧光膜2b时， 可以不用金属敷层2c。

为施加加速电压或改善荧光膜的传导性，可以在面板基板2a和 荧光膜2b间设置例如ITO等构成的透明电极。

参考符号Dx1-Dxm和Dy1-Dyn及Hv表示气密结构的电连接端 子，用于电连接显示屏板与电子电路(未示出)。Dx1-Dxm用于电 连接多电子束源的X方向布线；Dy1-Dyn用于电连接多电子束源的 Y方向布线，Hv用于电连接面板的金属黑底2c。

(例5)

下面结合附图具体介绍本发明的该实例。

(例5-1)

由面板、框架和背板构成，并采用表面传导型电子发射元件的 平板显示装置，固定到夹具上，面板面向下，具有橡胶吸嘴的加压 装置与背板紧密接触，以固定显示器。打破排气管的末端，释放显 示器中的真空状态，用能量切割器切割面板和框架间的熔结部件， 拆解该显示器。

去掉背板和框架。在用具有抽吸单元的旋转刷(见图27)刷扫 面板2的内表面以扫掉荧光物质(约20分钟)并进行杵捣运动的同 时，抽吸荧光物质2b和黑条，并从抽吸孔172回收它们。

完全回收了荧光物质2b后，抛光内表面30分钟，以实现镜面 抛光。

面板的内表面上的黑底部分和涂有荧光物质2b部分的波纹被抑 制到15微米以下，并证实面板可直接用作循环使用的面板。

(比较例5-1)

与例5-1类似，将拆解的面板浸泡在草酸水溶液中，去掉荧光 物质，然后用高压水去掉黑底。在涂荧光物质的部分和涂黑底的部 分观察到约85微米的波纹。

(例5-2)

从由外壳上分离下的CRT上切割电子枪和偏转线圈。CRT固定 在夹具上，面板面向下。具有橡胶吸嘴的加压装置与锥体紧密接触， 以固定CRT。剥离绕在CRT的熔结玻璃部位的防爆带，并通过研磨 操作去掉粘合剂。用能量切割器将CRT分成面板和锥体。

去掉锥体，用具有抽吸单元的回转运动刷(见图26,28A和28B) 刷扫面板的内表面，扫除荧光物质，同时抽吸和回收荧光物质和黑 底。

完全去除了荧光物质后，用抛光轮代替旋转刷。抛光内表面30 分钟，以实现镜面抛光。

面板的内表面上的黑底部分和涂有荧光物质2b部分的波纹被抑 制到15微米以下，并证实面板可直接用作循环使用的面板。

图28A和28B是展示刷子和抽吸单元的结构的剖面图。在图28A 中，抽吸孔形成于刷子171中，灰尘被抽吸机构173抽吸。在图28B 中，刷子171上覆盖有抽吸单元174，用于抽吸灰尘。此外，利用抽 吸的气流被蜗轮机175改变为旋转运动，并用作刷子171的驱动力。

(实施例6)

下面结合附图具体介绍本发明的实施例6。该实施例中，在回收 面板、背板、框架、分隔件等时，FPD中的气密容器必须恢复到标 准大气压，是由于气密容器处于低于约10-5pa的气压下。这种情况 下，如果在没使气密容器内部恢复到标准大气压的情况下，直接切 割、熔化等处理FPD，无法有效回收各部件。关于可再循环回收的 方法的一个步骤，将介绍将真空气密容器恢复到标准大气压的过 程。

图30是展示根据本发明的图像显示装置的实施例的示意图。图 30中，参考数字201表示图像显示器；202表示用于保持图像显示 装置压力的气密容器；203是引入气密容器、用于保持气密容器稳定 的耐大气部件；204是与排气装置连接以实现压力的装置；205是使 气密容器内部逐渐恢复大气压的装置。

图31是展示FPD作为根据本发明的图像显示装置的实施例的例 子的示意图。图31中，参考数字2表示用作图像显示器的面板，由 玻璃基板2a、荧光屏2b和金属敷层2c构成；1是背板；3是框架。 面板2、背板1和框架3构成气密容器202。气密容器202包括与排 气装置连接的装置204，和图30所示使气密容器内部恢复到大气压 的装置205。气密容器202包括分隔件4，作为耐大气压构件的一个 例子。

适用于本发明的图像显示装置是保持内部在低于大气压的压力 下的显示装置。这种显示装置的例子有如CRT、等离子显示屏板 (PDP)、包括表面传导型电子发射元件的平板图像显示装置、包 括场发射(FE)型电子发射元件的平板图像显示装置、包括金属/ 绝缘体/金属(MIM)型电子发射元件的平板图像显示装置、真空荧 光显示器、平板CRT及薄FPD等图像显示装置。

与液晶显示装置和电致发光屏板相比，例如CRT等图像显示装 置的图像显示器15保持在远低于标准大气压下的压力。这是由于电 子辐射细荧光物质等发光，光被控制为显示图像信息的缘故。换言 之，除非将压力减低到能设定能令人满意地消除作为与电子碰撞的 障碍物的气氛，否则无法控制电子轨道。可以控制电子轨道的压力 最好根据图像显示装置的结构选择，较好是10Pa以下，更好为1Pa 以下。

关于保持图像显示器15内部压力的气密容器的材料，面板2主 要由能够外部显示内部图像信息并强到足以保持内压力的透射可见 光的各种玻璃材料构成。面板2。框架3和背板1较好由热膨胀系数 几乎相同的材料构成，以保持内部气密，并可以用具有几乎相同热 膨胀系数的熔结玻璃等密封。

在内压力与外部大气压极为不同时，采用例如分隔件4等耐大 气压构件，以增加气密容器202的强度，防止气密容器202变形。 具体说，在大屏幕图像显示装置中，如果气密容器202制作得厚， 来增加容器的强度，则图像显示装置的重量加大，图像显示装置难 以用于民用。

为减小图像显示装置的重量，除气密容器202的外壁外，采用 耐大气压构件。在薄FPD中，用作构成气密容器202的屏板的内图 像显示部分的面板2和背板1间的间隔可以保持一致，从而在整个 图像显示装置的表面上获得一致的图像。为此，设置许多分隔件4 作为耐大气构件，保持面板2和用作气密容器202的屏板内的背板1 间的距离基本一致。

屏板变得较大时，必须在屏板内许多位置采用分隔件4，以抑制 面板2和背板1间的形变。分隔件4的形状和数量等根据面板2和 背板1的尺寸、强度和之间的距离、框架3的强度等决定。

由于具有以此方式构成的图像显示器的气密容器202具有与例 如真空泵等排气装置连接的装置204，可以降低气密容器202的内 压。将气密容器202抽空到充分的低压后，可以密封气密容器，以 保持气密容器202的内部在低压。然后，驱动图像显示装置的图像 显示。

气密容器202连接到使气密容器202的内部逐步恢复到大气压 的装置。一般说，泄漏时流动的气体的量Q由下式给出

Q=C(P1-P0)[Pa·m2/s]    …(1)

其中C：是传导率[m2/s]

P1：大气压[Pa]

P0：气密容器的内压[Pa]

P1-P0：大气压与气密容器内压间的差[Pa]

为防止对气密容器和内部构件的损害，必须防止气体突然流入 气密容器。为此目的，希望将气体的量Q抑制到约101Pa m2/s以下。 从方程(1)，将带有具有约10-4m2/s以下的传导率C的泄漏装置 的机构附着到气密容器202，作为使气密容器内部逐步恢复到大气压 的装置205。

关于使气密容器内部逐步恢复到大气压的装置205，给气密容器 提供慢泄漏阀、与其规格相适应的细长的管道或多孔材料。使气密 容器内部逐步恢复到大气压的装置205附着到装置205将气密容器 202与外部空气侧连接的位置。装置205还从外部空气侧连接到排气 装置，以密封气密容器。利用该结构，在气密容器202保持低压时， 气密容器202也与外部空气侧紧密封闭。在泄漏气密容器的内部以 便再利用图像显示装置时，取消外部空气侧上的密封接点，以使气 密容器的内压逐步恢复到大气压。

该实施例中，使气密容器内部逐步恢复到大气压的装置205附 着到气密容器202的侧面上。然而，装置205的位置不限于此，装 置205附着到例如拐角、下表面、或气密容器202的侧表面的位置 上，在此装置205不会妨碍图像显示部分的工作。

如果需要，可以设置过滤器等，并将之连接到逐步引入气体的 机构。

在再利用所用图像显示装置时，根据随后的处理，逐渐引入惰 性气体、氮、空气、没有湿汽的空气等。

在制造期间产生的缺陷需要修复时，合适地选择引入气体，以 便不影响随后的制造步骤，保持在低压的气密容器202逐步恢复到 大气压，拆解并修复图像显示器。

(例6)

下面利用例6具体介绍本发明。

(例6-1)

下面结合图30和31介绍例6-1。图30是展示本发明的图像显 示装置的结构的平面图。图31示出了FPD作为本发明图像显示装 置的例子。

作用耐大气压结构的分隔件214设置在用作图像显示器的气密 容器202中，图像显示器由面板2、背板1和框架3构成。气密容器 202与连接到排气装置的排气连接装置204连接。内部保持在低压 后，密封气密容器。在例6-1中，在排空到约5×10-2Pa后，密封 气密容器。气密容器202连接到大气压恢复装置205，用于使气密容 器内部逐步恢复到大气压。例6-1采用具有约10-7m2/s的传导率C 的慢泄漏阀。在空气侧也被排空到约5×10-2pa后，密封这种慢泄漏 阀。为拆解图像显示装置，用于使气密容器内部逐步恢复到大气压 的装置205的外部空气侧打开，使气密容器202泄漏。拆解和拆除 后，证实屏板内部没发现分隔件4被损害，特别是气密容器202内 部部件没有被划伤。

作为比较，打开与相同图像显示装置的排气装置连接的排气连 接装置204，泄漏气密容器202中的气体。屏板内部被快速向大气压 敞开。然而，内部分隔件4被损伤，碎片会在面板2、背板1和框架 3上产生许多划伤。

(例6-2)

例6-2将例示如图32所示用矩阵驱动方式的表面传导型电子 源显示器(SED)作为图像显示装置。用于驱动表面传导型电子源 的电子源的布线12和13形成于背板1。布线12和13是X方向 (Dox1,Dox2,…,Doxm)和Y方向(Doy1,Doy2,…,Doyn)元件布线。 SED具有包括分隔件4的结构，如图31所示。与例6-1类似，例6 -2也采用大气压恢复装置205，用于使气密容器的内部逐步恢复到 大气压。

屏板基本上完成后，发现部分屏板有缺陷。于是，用于使气密 容器的内部逐步恢复到大气压的大气压恢复装置205的外空气侧敞 开，使屏板泄漏，并修复缺陷。然后，排空屏板内部，并再利用与 排气装置连接的排气连接装置204再密封。同时，排空并密封用于 使气密容器的内部逐步恢复到大气压的大气压恢复装置205的外空 气侧，完成图像显示装置。在图像显示装置被驱动显示图像时，发 现已修复了缺陷，没有缺陷产生。

(实施例7)

下面结合附图介绍本发明的实施例7。

图33A是展示根据本发明的平板显示器的实施例剖面图，图33B 是图33A所示平板显示器的局部切掉的平面图。

本发明的平板显示器至少包括背板222、面板224、支撑框架225 和分隔架226，所说背板具有许多设置在玻璃基板上的电子发射元件 221，面板204设置成面对背板222，并具有图像显示部分223，分 隔件226用于保持背板222和面板224间的间隔抗大气压。背板222、 面板224、支撑框架225和分隔件226利用熔结玻璃229气密地结合， 构成平板显示器。熔结玻璃229一般是主要含氧化铅等的低熔点玻 璃。

在结合各部件时，分隔件和基板利用第一熔结玻璃结合，背板 和支撑框架利用第二熔线玻璃228结合，面板和支撑框架利用第三 熔结玻璃229结合。三种熔结玻璃中，熔结玻璃228和229具有不 同的软化温度。结合分隔件226的第一熔结玻璃227具有等于或高 于第二和第三熔结玻璃228和229中任一和中的较高软化温度。任 何软化温度都落在350℃-470℃，较好是与其余熔结玻璃的温度相 差20℃以上。

在多种熔结玻璃中，第二和第三熔结玻璃228和229中的任一 种具有根据工艺确定的较高软化温度。分隔件226结合到背板222 和面板224的任一种上，所结合的板可以任意确定。

在制造过程中，通过用熔结玻璃涂敷结合部分，并加热熔结玻 璃到其软化温度以上，结合各部件。在实际操作中，在约300℃下在 空气中进行加热处理，以去除熔结玻璃中所谓的粘合剂成分(该步 骤是所谓的煅烧)。然后，在400℃以上，在惰性气体Ar中，进行 加热处理，以焊接结合部分。对结合部件的过程没有特别限制。多 种熔结玻璃可以同时施加，并被加热到高于所有熔结玻璃的软化温 度的温度，从而立刻结合各部件。可以采用随后利用具有较高软化 温度的熔结玻璃结合各部分的方法。优选该方法的原因是可以以先 前结合部分的熔结玻璃不熔化的温度依次结合各部件。

本发明的软化温度对应于107.65dPa.s(泊)的熔结玻璃粘度。各 部件可以通过将熔结玻璃加热到高于软化温度的温度(焙烧温度) 结合。

分隔件一般具有薄板形，长度和宽度约为几十mm，厚为300 微米以下，并通过在绝缘基板的表面上形成抗静电膜构成。为此目 的需要的大量分隔件按需要的间隔排列。

分隔件的绝缘材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量杂 质的玻璃、钠-钙玻璃和在上述钠钙玻璃上层叠如二氧化硅层等制 备的基板。

导电膜材料的例子有例如铬、镍和铜等金属的氧化物、铝和过 渡金属合金的氮化物和碳。

下面将介绍面板224的结构。图33A和33B中，通过在玻璃基 板上形成荧光膜230和金属敷层231构成面板。该部分用作图像显 示区。关于单色图像显示装置，荧光膜230仅由荧光物质构成。为 显示彩色图像，由三原色即红、绿和蓝荧光物质形成图像形成部分 (此后也称作像素)，荧光物质用黑导电部件隔离。黑导电部件根 据其形状被称作黑条或黑底。金属敷层231由Al等导电薄膜形成。 金属敷层231通过反射荧光物质产生的光到玻璃基板增加亮度，光 向着由电子发射元件221构成的电子源前进。同时，金属敷层231 可以防止荧光物质因电子束电离留在屏板内的气体产生的离子轰击 而受损害。

金属敷层231使面板224的图像显示区导电，以防止电荷累积， 并相对于电子源用作阳极。注意，金属敷层231电连接到高压端Hv， 并可以通过高压端Hv施加外部电压。

下面介绍根据本发明的平板显示器的拆解方法。

图34A-34D是展示根据本发明的拆解方法的实施例。图34A- 34D中，参考数字222表示背板；224表面面板；225是支撑框架； 226是分隔件；227是第一熔结玻璃；228是第二熔结玻璃；229是 第三熔结玻璃。在图34中，用于各结合部分的第一、第二和第三熔 结玻璃是三种具有不同软化温度的熔结玻璃(图34A)。例如，假 定较高软化温度顺序是第一熔结玻璃227＞第二熔结玻璃228＞第三 熔结玻璃229。

拆解过程如下。将屏板装入合适的加热炉中。加热屏板到等于 或高于第三熔结玻璃229的软化温度、并等于或低于其余熔结玻璃 的软化温度的温度，从而只熔化第三熔结玻璃229。在保持该温度的 同时，从支撑框架225上分离面板224(图34B)。加热温度升高到 等于或高于第二熔结玻璃228的软化温度且等于或低于第一熔结玻 璃227的软化温度的温度。在第二熔结玻璃228熔化时，支撑框架 225和背板222分离(图34C)。加热温度进一步升高，熔化第一熔 结玻璃227，从而分离分隔件226与背板222。

分离利用第一熔结玻璃227的结合部分的方法不限于加热方 法。例如，如图35所示，在分离屏板后到图34C所示状态，屏板可 以浸入熔结玻璃溶解溶液239中，以溶解熔结玻璃，分离分隔件226 和背板222。优选的溶液是硝酸溶液。

分离后，用硝酸等去除残留的熔结玻璃，并进行清洗步骤，回 收各部件。回收的各部件转移到再利用步骤或更精确的加收步骤。

图36是展示根据本发明的拆解方法的另一实施例的示意图。在 图36中，在各结合部分，采用三种具有不同软化温度的熔结玻璃(图 36A)。例如，假定较高软化温度的顺序是第一熔结玻璃227＞第三 熔结玻璃229＞第二熔结玻璃228。

拆解过程如下。将屏板装入合适的加热炉中。加热屏板到等于 或高于第二熔结玻璃228的软化温度、并等于或低于其余熔结玻璃 的软化温度的温度，从而只熔化第二熔结玻璃229。在在加热屏板的 同时，屏板分成面板224、支撑框架225、背板222和分隔件226(图 36B)。关于前一种情况，加热温度升高到等于或高于第二熔结玻璃 228的软化温度。由于第二熔结玻璃228熔化，支撑框架225和背板 222分离(图36C)。注意，背板222和分隔件226利用与第一实施 例相同的方法分离。

(例7)

下面利用例7具体介绍本发明。例7中，熔结玻璃从表1所列 的熔结玻璃中适当选择：

表1 熔结玻璃类型     主要成分     软化温度     Ⅰ     PbO·B2O3     365℃     Ⅱ     PbO·B2O3     390℃     Ⅲ     PbO·B2O3     410℃

(例7-1)

图33A是展示根据本发明的平板显示器的设置的剖面图，图33B 是图33A所示平板显示器的局部切割的平面图。本发明的平板显示 器至少包括背板222、面板224、支撑框架225和分隔件226，背板 222具有许多排列在玻璃基板上的电子发射元件221，面板204设置 成面对背板222，并具有图像显示部分223，分隔件226用于保持背 板222和面板224间的间隔抗大气压。背板222、面板224、支撑框 架225和分隔件226利用熔结玻璃229气密地结合，构成平板显示 器。

例7-1中，制造其中25个分隔件226焊接到由尺寸为300mm ×250mm×2.8mm的钠钙玻璃形成的背板222上。每个分隔件通过 在高度为2.8mm、厚度为200微米、长度为40mm的钠钙玻璃基板 上形成厚约100nm作为导电膜的氮化铝膜制备。

表1中的Ⅲ(软化温度：410℃)用作分隔件26和背板222间 的熔结玻璃227。表1中的Ⅱ(软化温度：390℃)用作背板222和 支撑框架225间的熔结玻璃228。表1中的Ⅰ(软化温度：365℃) 熔结玻璃229用作面板224和支撑框架225间的熔结玻璃229。

关于电子发射元件221，形成图37A和37B所示的表面传导型 电子发射元件。

下面结合图33A、33B、37A、37B、38A和38B介绍根据本发明 的例7-1的平板显示器。

(1)用钠钙玻璃作背板，利用Pt在基板上形成元件电极235 和236。此时，元件电极间隔L1设定为10微米；元件电极宽度W1 设定为500微米，元件电极厚度d设定为100nm。在包括元件电极 的希望的位置施加了有机含钯溶液后，在300℃进行加热处理10分 钟，由细钯氧化物(PdO)颗粒形成细颗粒膜234(平均直径：7nm)。

多个电子发射元件221形成于基板上，得到背板222。通过在玻 璃基板上涂敷荧光物质作图像显示部件223，制备面板。

(2)下面介绍例7-1中的密封方法。分隔件226利用熔结玻 璃Ⅲ(软化温度：410℃)焊接到背板222(图38A)。

(3)在背板222的外缘(图33B中涂熔结玻璃的部分240)涂 敷熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)。另外，在面板224上类似部位 上涂敷熔结玻璃(软化温度：365℃)。然后，在精确对准的同时， 重叠面板224、支撑框架225、和背板222(图38B)。面板224、支 撑框架225和背板222利用夹具固定在一起，从而使面板224和背 板222不移动，在400℃下，在炉中焙烧10分钟以上。

以此方式，结合面板、背板和支撑框架(图38C)。

(4)为排空上述步骤中制造的容器内部，在密封处理后，通过 附着在支撑框架225等上的排气管(未示出)排空容器。然后，密 封排气管。

(例7-2)

在例7-2中，制造具有与例7-1相同结构的显示器。在例7 -2中，利用熔结玻璃Ⅲ(软化温度：410℃)结合分隔件与背板。 利用熔结玻璃Ⅰ(软化温度365℃)结合背板222与支撑框架225， 利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合面板224与支撑框架225。

例7-2中平板显示器的制造采用与例7-1中相同的方法。

(例7-3)

在例7-3中，制造具有与例7-1相同结构的显示器。在例7 -3中，利用熔结玻璃Ⅳ(软化温度：450℃)结合分隔件226与背 板222。利用熔结玻璃Ⅲ(软化温度：410℃)结合背板222与支撑 框架225，利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合面板224与支 撑框架225。

例7-3中平板显示器的背板222和面板224的制造采用与例7 -1中的(1)相同的方法。

(2)下面介绍例7-3中的密封方法。利用熔结玻璃Ⅳ(软化 温度：450℃)焊接分隔件226与背板222(图38A)。

(3)熔结玻璃Ⅲ(软化温度：410℃)涂敷在背板222上的外 缘(图33B中涂有熔结玻璃的部分240)。另外，熔结玻璃Ⅱ(软 化温度：390℃)涂敷在面板224上的类似部位。然后，在精确对准 的同时，重叠面板224和支撑背板222(图33B)。面板224和背板 222利用夹具固定，以便不使它们移动，在420℃的炉中焙烧10分 钟以上。

结果，结合面板224、背板222和支撑框架225(图38C)。

(4)为排空上述步骤制造的容器的内部，在密封处理后，通过 附着在支撑框架225等上的排气管(未示出)排空容器。然后，密 封排气管。

(例7-4)

在例7-4中，制造具有与例7-1相同结构的显示器。在例7 -4中，利用熔结玻璃Ⅲ(软化温度：410℃)结合分隔件226与面 板224。利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合背板222与支撑 框架225，利用熔结玻璃Ⅰ(软化温度：365℃)结合面板224与支撑 框架225。

例7-4中平板显示器的背板22和面板224的制造采用与例7- 1中的(1)相同的方法。

(2)下面结合图39介绍例7-4中的密封方法。利用熔结玻璃 Ⅲ(软化温度：410℃)焊接分隔件226与面板224(图39A)。

(3)熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)涂敷在背板222上的外 缘上。另外，熔结玻璃Ⅰ(软化温度：365℃)涂敷在面板上的类似 部位。然后，在精确对准的同时，重叠面板224、支撑框架225和支 撑背板222(图39B)。面板224、支撑框架225和背板222利用夹 具固定，以便不使面板224和背板222移动，并在420℃的炉中焙烧 10分钟以上。

以此方式，结合面板224、背板222和支撑框架225(图39C)。

(4)为排空上述步骤制造的容器的内部，在密封处理后，通过 附着在支撑框架225等上的排气管(未示出)排空容器。然后，密 封排气管。

(例7-5)

在例7-5中，制造具有与例7-1相同结构的显示器。在例7 -5中，利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合分隔件226与背 板222。利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合背板222与支撑 框架225，利用熔结玻璃Ⅰ(软化温度：365℃)结合面板224与支撑 框架225。

例7-5中平板显示器的背板222和面板224的制造采用与例7 -1中的(1)相同的方法。

(2)下面结合图40A-40C介绍例7-5中的密封方法。利用熔 结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)焊接分隔件226和支撑框架225与背 板222(图40A)。

(3)熔结玻璃Ⅰ(软化温度：365℃)涂敷在面板224上的外缘 上。在精确对准的同时，重叠面板224和支撑框架225(图40B)。 面板224和支撑框架225利用夹具固定，以便不使它们移动，在420 ℃的炉中焙烧10分钟以上。

以此方式，结合面板224和支撑框架225(图40C)。

(4)为排空上述步骤制造的容器的内部，在密封处理后，通过 附着在支撑框架225等上的排气管(未示出)排空容器。然后，密 封排气管。

(例7-6)

例7-6涉及例7-1中所述的拆解平板显示器的方法。下面结 合图34A-34D介绍该拆解方法。

(1)解除对排气管的密封部分的密封，引入空气，从而消除容 器内的真空(未示出)。

(2)将显示器装入加热炉中，背板222和面板224利用合适的 夹具固定，然后，将显示器加热到380℃。在加热温度超过365℃时， 结合面板224与支撑框架225的熔结玻璃Ⅰ逐渐熔化。提拉固定面 板224的夹具，分离面板224与支撑框架225(图34A和34B)。

(3)用合适的夹具固定支撑框225后，加热温度升高到400℃。 在加热温度超过390℃时，结合背板222与支撑框架225的熔结玻璃 Ⅱ逐渐熔化。提拉固定支撑框架225的夹具，分离支撑框架225与 背板222(图34C)。

(4)用合适的夹具固定分隔件226后，加热温度升高到450℃。 在加热温度超过410℃时，结合背板222与分隔件226的熔结玻璃Ⅲ 逐渐熔化。提拉固定分隔件226的夹具，分离背板222与分隔件226 (图34D)。

用0.2N的硝酸溶液清洗每个回收的部件，去掉残留熔结玻璃， 然后清洗部件并干燥。通过检测步骤筛选分隔件和支撑框架，没有 缺陷的送到再利用步骤。背板和面板被送到用于形成于这些基板上 的资源的回收步骤、用于基板自身的再利用步骤等。在根据例7-6 拆解的平板显示器中，处理过程中，面板224、背板222、支撑框架 7-6和分隔件226几乎未受损伤。

(例7-7)

例7-7涉及例7-2中所述的平板显示器的拆解方法。下面结 合图36A-36E介绍该拆解方法。

(1)解除对排气管的密封部分的密封，引入空气，从而消除容 器内的真空(未示出)。

(2)将显示器装入加热炉中，背板222和面板224利用合适的 夹具固定，然后，将显示器加热到380℃。在加热温度超过365℃时， 结合面板224与支撑框架225的熔结玻璃Ⅰ逐渐熔化。提拉固定面 板224的夹具，分离两部件，即面板224与支撑框架225及背板222 和分隔件226(图36A、36B和36C)。

(3)在分离的两部件中，面板224和支撑框架225在炉中被加 热到410℃，以逐渐熔化熔结玻璃Ⅱ，提拉固定支撑框架225的夹具， 按与例7-6中类似的方法分离面板224与支撑框架225(图36E)。

(4)另一方面，用与例7-6中(4)相同的方法分离背板222 和分隔件226(图3D)。用0.2N的硝酸溶液清洗每个回收的部件， 去掉残留熔结玻璃，然后清洗部件并干燥。通过检测步骤筛选分隔 件226和支撑框架，没有缺陷的送到再利用步骤。背板222和面板 224被送到用于形成于这些基板上的资源的回收步骤、用于基板自身 的再利用步骤等。在根据例7-7拆解的平板显示器中，处理过程中， 面板、背板、支撑框架和分隔件几乎未受损伤。

(例7-8)

例7-8涉及例7-3中所述的平板显示器的拆解方法。下面结 合图34A-34D及35A-35C介绍该拆解方法。

利用例7-6中步骤(1)-(3)，从显示器上分离面板224和 支撑框架225直到图34C所示状态。

(4)背板用合适的夹具固定，并将背板222和分隔件226的结 合部分浸在装有0.2N的硝酸溶液239的溶液槽237中(图35A)。 溶液槽237中引入网状特弗隆容器238。在该结合部分浸入硝酸溶液 239中时，熔结玻璃Ⅳ熔解，分隔件226回收到容器238中。证实 了所有分隔件226被分离后，提拉背板222(图35B)。也从硝酸溶 液239中与容器238一起提拉分隔件226。

从每个回收部件上去除残留熔结玻璃，清洗部件并干燥。通过 检测步骤筛选每个部件，并送到再利用或更精确的回收步骤。在根 据例7-8拆解的平板显示器中，在处理过程中，面板、背板、支撑 框架和分隔件几乎未受损伤。

(例7-9)

例7-7涉及例7-4中所述的平板显示器的拆解方法。利用与 例7-7中所述的(1)-(2)相同的，将显示器加热到360℃，分 离两部件即背背222和支撑框架225及面板224和分隔件226。

在两分离的部件中，利用与例7-7中(3)相同的方法分离背 板225和支撑框架225。

利用与例7-6中(4)相同的方法分离面板224和分隔件226。

在根据例7-9拆解的平板显示器中，在处理过程中，面板、背 板、支撑框架和分隔件几乎未受损伤。

(例7-10)

例7-10涉及拆解例7-5所述平板显示器的方法。利用例7-6 中(1)和(2)从显示器上分离面板224直到图34B所示状态。

(3)用合适夹具同时固定支撑框架225和分隔件226后，加热 温度升高到410℃。在加热温度超过390℃时，结合背板222与支撑 框架225及背板与分隔件226的熔结玻璃Ⅱ逐渐熔化。提拉固定支 撑框架225与分隔件226的夹具，分离各部件。

在根据例7-10拆解的平板显示器中，在处理过程中，面板224、 背板222、支撑框架225和分隔件226几乎未受损伤。

(比较例7-1)

除分隔件226和背板222、背板222和支撑框架225及面板和支 撑框架225利用熔结玻璃Ⅱ(软化温度：390℃)结合外，比较例7 -1中拆解的平板显示器用与例7-1相同的方法制造。

如下拆解这种平板显示器。

排空容器后，将显示器装入加热炉中。背板222、面板224和支 撑框架225利用合适夹具固定后，显示器被加热到410℃。在加热温 度超过390℃时，熔结玻璃Ⅱ开始熔化。由于背板、框架和面板间 的结合部分同时熔化，尽管背板、框架和面板由夹具固定，但固定 状态变得不稳定。某些情况下，这些部件彼此接触或夹具与它们接 触，会损伤部件。具体说，损伤了具有薄板形的许多分隔件。

(实施例8)

下面结合附图介绍根据本发明有害金属残留量检测装置的实施 例。

图41是展示根据本发明有害金属残留量检测装置的示图。

如图41所示，该检测装置检测例如拆解和拆分用于再利用的部 件、废物等检测物体X中所含有害金属铅等的量。该检测装置主要 由用于洗出和回收铅的铅洗出/回收部130、清洗部分131、残留铅洗 出部分132和残留铅量检测部分133构成。

由于检测物体X包括拆解和拆分主要含玻璃部件的器件后得到 的部件或废物，所说玻璃部件例如为由背板1、面板2、框架3和分 隔件4构成的平板显示器或阴极射线管。如下所述，该检测装置利 用硝配洗出铅。因此，该装置可以检测对硝酸溶液的不溶性，检测 物体X不限于玻璃部件。

图41中，铅洗出/回收部分130在用于浸泡检测物体X的浸泡槽 100中充有酸溶液A，该部分洗出检测物体中所含的有害金属(铅)。 浸泡槽100与回收槽102通过管道101相连。铅洗出溶液通过开/关 阀103供应到回收槽102，溶液传送泵104设置在管道101的中间部 位。

传送器105的传送出口设在当浸泡槽100的上缘处，例如拆分 的部件等检测物体X从拆解处理部分(未示出)装载。浸泡槽100 中设置网状笼106。检测物体X从传送器105落到网状笼106中， 预定洗出时间过去后，通过提拉网状笼106的手柄，取出检测物体。

清洗部分131在用于浸泡检测物体X的清洗槽110中装有纯水 B，用于在利用铅洗出/回收部分130洗出后，清洗检测物体X。即， 从浸泡槽100中提拉的网状笼106放置在清洗槽110中。

残留铅洗出部分132在用于浸泡检测物体X的浸泡槽120中装 有酸溶液C，用于洗出留在利用清洗部分131清洗过的检测物体X 上的铅。浸泡槽120与开/关阀122、溶液输送泵123和转换阀124 通过管道121相连。残留铅洗出溶液供应到残留铅量检测部分133。 在浸泡槽120之下设置超声振动器125，在浸泡槽120中对酸溶液C 施加超声振动，以促进洗出。

转换阀124的另一端与延伸到浸泡槽100中的管道126相连。装 在浸泡槽120中的酸溶液C的残留物供应到浸泡槽100，在此再利 用该残留物。利用酸溶液C和再利用酸溶液C的酸溶液A是例如硝 酸溶液，硝酸溶液的浓度较好是0.1N(当量浓度)-1N。

残留铅量检测部分133采用定量检测(以后将介绍)的合适设 置，用于从所接受的洗出溶液中定量检测铅。

槽100、102、110和120的材料的优选例子有例如特弗隆等树脂 和不含铅的玻璃，必须耐存储和装在这些槽中的酸溶液A和C。类 似地，网状笼106的材料必须耐网状笼106浸入其中的酸溶液A和 C，优选例子是例如特弗隆等树脂。

更具体说，该检测装置中，检测物体X浸泡在浸泡槽100的酸 溶液A(硝酸溶液)中，以洗出检测物体X中所含的铅成分。然后， 用清洗槽110中的纯水B清洗检测物体X，并浸泡在浸泡槽120的 酸溶液C(新硝酸溶液)中洗出残留铅。利用残留铅量检测部分133， 进行铅量定量检测，以检测残留铅量。

图42是依次介绍利用图41所示有害金属残留量检测装置的检 测过程的流程图。下面介绍拆解图43所示平板显示器的情况。

进行拆解的预处理步骤(1)-(3)。从平板显示装置的外壳 上拆下例如端子等接点(步骤(1))，并仅取出显示器主体(步骤 (2))。取消构成显示器主体的气密容器中的真空，恢复到大气压 (步骤(3))。

用合适的装置拆解显示器主体，并拆分。拆分的各部件和其余 废物用作检测物体X。

用传送器105将这种检测物体X传送到铅洗出/回收部分130， 浸泡在浸泡槽100的酸溶液A(硝酸溶液)中(步骤(4))。

在预定时间过去后，提拉网状笼106，取出从熔结玻璃上剥离的 部件(步骤(5))。

提拉起来的网状笼被转移到清洗部分131，并沉入清洗槽110， 以便用纯水清洗附着到检测物体X上的硝酸溶液(步骤(6))。

清洗后，网状笼106被转移到残留铅洗出部分132，沉入浸泡槽 120，并浸泡在硝酸溶液C中(步骤(7))。此时，激发超声振动 器125，在浸泡槽120上加振动，从而提高洗出效率。

然后，开/关阀122工作，将浸泡槽120中的洗出溶液供应到残 留铅量检测部分133，在此取出供应的洗出溶液(步骤(8))。提 取量这几十cc。

残留铅量检测部分133在所接收的洗出溶液中加入碘化物，产 生颜色，并测量吸收(步骤(9))。测量波长较好是340nm左右， 以实现高分析精度。残留铅量检测部分133从所测吸收到得铅离子 浓度。

取得铅离子浓度，以便预先得到标准样品的铅离子浓度与吸收 间的关系(标准曲线)，标准曲线是指获得铅离子浓度的吸收。此 时，采用使用中的硝酸溶液中铅的定量值作参考值。

或者，残留铅量检测部分133可进行所接收洗出溶液的等离子 发射波谱分析(ICP)，以检测铅离子浓度。此时，就灵敏度而言， 测量波长较好是220.4nm。

利用吸收方法的铅量下限是约1ppm，而利用ICP法的铅量下限 下约为0.05ppm。

注意，通过操作转换阀124，为检测而取出的洗出溶液的残留硝 酸溶液供应到浸泡100，在此再利用硝酸溶液。这样可以有利地减少 浪费。

如果上述方式得到的铅离子浓度值等于或小于预定容差(例如 几十ppm)，认为检测物体X没有任何残留铅。对于铅离子浓度高 于容差的情况，处理返回到步骤(7)，在新硝酸溶液中再浸泡检测 物体X，并重复步骤(8)-(10)(步骤(10))。这种情况下， 在步骤(8)中的所有硝酸溶液排放掉后，浸泡槽120中可以装入新 硝酸溶液，或可提供大量浸泡槽120备用。由于铅离子浓度是根据 溶液量的增加/减少而改变的相对量，则为浸泡槽120准备的新硝酸 溶液必须保持该溶液量和浓度值恒定。

另一方面，步骤(4)后，通过操作开/关阀103，向回收槽102 供应浸泡槽100的硝酸溶液(步骤(11))。在回收槽102中额外 加入硫酸离子，使硝酸溶液中的铅与硫酸离子反应，从而沉积作为 硫酸铅的铅。过滤、回收所得溶液，并对含铅有害物质进行适当的 废物清除。

利用上述设置，在实施例8的有害金属残留量检测装置中，在 检测物体X浸泡在铅洗出/回收部分130的浸泡槽100中时，利用浸 泡槽100中的硝酸溶液(酸溶液)洗出检测物体X中所含铅(有害 金属)。检测物体X供应到清洗部分131，在此清洗检测物质X。 然后，检测物体X浸泡在残留铅洗出部分132的浸泡槽120中，以 便利用浸泡槽120中的硝酸溶液(酸溶液C)，洗出留在检测物体X 上的铅(有害金属)。洗出溶液供应到残留铅量检测部分133，定量 检测洗出溶液中所含铅离子浓度(有害金属量)。

因此，在拆解和拆分平板显示器等时，可以定量检测如铅等留 在如玻璃拆分件或废物等检测物体X上的有害金属。这种情况下， 检测物体简单地浸泡在装有酸溶液A和C的浸泡槽100和120中， 于是可以在不需要任何烦琐操作的情况下，容易定量检测有害金属 量。只要检测物体X不溶解于酸溶液A和C，便可以洗出例如铅等 有害金属。对检测物体X的材料、形状等没有特别限制，可以检测 各种部件。

(实施例9)

下面结合附图介绍根据本发明平板显示器屏板拆解装置的实施 例。

(实施例9-1)

图44A和44B-49示出了本发明的第一实施例。图44A是展示 平板显示器拆解装置的设置的透视图，图44B是其平面图。图45是 展示图44A和44B中工作台和支撑装置的平面图。图46A是展示图 44A和44B中传输装置的平面图，图46B是展示传输装置的侧示图。 图47A是展示图44A和44B中的传输装置的另一例子平面图，图47B 是展示该传输装置的侧视图。图48是展示图44A和44B中分隔件回 收夹具有侧视图。图49是展示图44A和44B中分隔件回收夹具的另 一例子的侧视图。

在图44A和44B中，参考数字50表示平板显示器；57是设置 平板显示器50的工作台；54是通过在平板显示器50上加拉力支撑 平板显示器50的支撑装置；55是在支撑装置54上产生拉力的控制 器；71(72)是分隔件回收夹具；300是传输装置。

要拆解的平板显示器50具有上述图43所示结构。平板显示器 50设置在工作台57上，板部件固定到面向上的分隔件4上。支撑装 置54与平板显示器50的上表面接触，在平板显示器50上施加预定 拉力，以固定之。图45示出了分隔件4固定到至少一个面板2上的 例子。当在其上设置平板显示器50时，工作台57可以垂直升高。

支撑装置54与控制器55相连。平板显示器50的类型是输入型， 控制器55使支撑装置54产生预定拉力，支撑上表面的重量。

利用支撑装置54产生拉力的装置采用例如抽空装置等装置，来 通过从抽空装置的抽空力产生提拉力支撑平板显示器50，或采用例 如抽吸装置等装置，用于通过从抽吸器的抽吸力产生拉力支撑平板 显示器50。实施例8采用抽空装置的设置，支撑装置54与抽空装置 56相连。注意，支撑装置54的拉力不设定为能够支撑设置于工作台 57上的平板显示器50的总重量的值，但设定到足以支撑从其上分离 了框架部件3的平板显示器50的重量的值，即，足以支撑固定到分 隔件4上的板部分的值。拉力较好设定为大于该重量1kg。

在框架部件3从平板显示器50上分离后，传输装置300将固定 到分隔件4上的板部件传输到分隔件回收单元73(74)。传送装置 300沿导轨100移动，以传输板部件。图46A和46B中所示装置用 于分隔件4固定到两个板1和2中任一个上的显示器。图47A和47B 所示装置用于分隔件4固定到两板1和2上的显示器。

传输装置300的柱61可以在工作台60上前后左右运动。柱61 装备有臂63，臂63的水平可以调节。臂63配有加压夹具62。

加压夹具62通过从两侧夹紧板部件将固定到分隔件4上的板部 件固定。更具体说，一对右和左吊柱321R和321L及322R和322L 附着到臂63的前后。吊柱321R、321L、322R和322L具有卡爪321R1 和321R2、321L1和321L2及322R1和322R2及322L1和322L2， 每对卡爪以垂直间隔d1隔开。垂直间隔d1设定为大到足以安装背 板1或面板2。附着到63臂上的加压夹具62的水平开口角和前/后 位置可以调节。

分隔件回收夹具71(72)容纳和支撑固定于分隔件4上的板的 边缘。具有图48所示设置的分隔件回收夹具71，用于分隔件4固定 到两板1和2中任一个上的显示器。具有图49所示设置的分隔件回 收夹具72，用于分隔件4固定到两板1和2上的显示器。

容纳和支撑板部件的分隔件回收夹具71(72)存放在分隔件回 收单元73(74)中，在此分隔件4被分离和回收。

关于分隔件回收夹具71，沟槽深度d2设为等于或大于每个分隔 件4的高度，沟槽宽度d3设为等于或大于分隔件4的面积的距离， 接收开口d4设为等于或大于分隔件回收夹具71容纳和支撑的板部 件的宽度。对于分隔件回收夹具72来说，下沟槽深度d5设为等于 或大于板部件的厚度，支架厚度d6设为等于或小于背板1和面板2 间的间隔，即，在先前步骤中分离的框架部件3的厚度。负载避免 夹具70设置在分隔件回收夹具72的沟槽的底部，以防止任何负载 加于所容纳/支撑的板部件上的分隔件上。

分隔件回收单元73(74)存放容纳和支撑板部件的分隔件回收 夹具71(72)。在分隔件回收单元73(74)中，分离和回收分隔件 4。

为分离和回收分隔件4，将分隔件4浸泡在例如硝酸溶液等酸溶 液中或被加热。换言之，利用酸溶液浸泡槽73实现分隔件回收单元。 分隔件回收夹具71(72)浸泡在酸溶液中，以便从所容纳/支撑的板 部件上分离分隔件4，并回收集中在沟槽底部的分隔件4。另外，分 隔件回收单元利用加热炉74实现。分隔件回收夹具71(72)被加热， 以便从所容纳/支撑的板部件上分离分隔件4。分隔件夹具71(72) 被取出，以回收集中在沟槽底部的分隔件4。

酸溶液的一个例子是0.2N硝酸溶液。在分隔件回收夹具采用在 酸溶液中浸泡分隔件的配置时，分隔件回收夹具71(72)由如塑料 等耐酸材料构成。在分隔件回收夹具采用加热分隔件的配置时，分 隔件回收夹具71(72)由如金属等耐热材料构成。

图50示出了依次介绍利用图44A和44B所示平板显示器拆解装 置的拆解工艺的流程图。

进行拆解的预处理步骤(1)-(5)。从平板显示器装置的外 壳中拆掉平板显示器50(步骤(1))，并设置在工作台57上，板 部件固定到面向上的分隔件4上(步骤(2))。拆掉附属布线和端 子(步骤(3))。进行例如拆开排气管的附着部件的密封的合适处 理，从而使真空容器内部恢得到大气压(步骤(4))。然后，拆掉 排气管(步骤(5))。

如图45所示，支撑装置54与工作台57上的平板显示器50的上 表面接触，以利用预定拉力固定平板显示器50(步骤(6))。

然后从平板显示器50上分离框架部件3，分离采用简单切割平 板显示器50、在框架部件3和两板1和2间压插楔形工具或喷射硝 酸溶液的方法，以分离它们。

粉碎在步骤(7)分离的框架部件3(步骤(8))。同时，去除 铅成分，所得材料作为循环使用的新玻璃材料再利用(步骤(9))。

利用图46A和46B所示的传输装置300将固定到分隔件4上的 板部件固定(步骤(10))，没导轨100移动，并传输到分隔件回 收夹具71(72)。更具体说，调节吊柱321L和321R及322L和322R 的开口角度，并由卡爪321L1和321L2、321R1和321R2及322L1 和322L2、322R1和322R2夹紧、悬挂和支撑。工作台60沿导轨100 移动，利用与悬挂/支撑程序相反的程序，将板部件转移到分隔件回 收夹具71(72)上。

然后，回收分隔件4(步骤(12))。为此，容纳和支撑固定到 分隔件4上的板部件的分隔件回收夹具71(72)存放在分隔件回收 单元73(74)中，在此分离和回收分隔件4。

分隔件4回收后，在板部件是面板2(步骤(13))时，从面板 2上回收荧光物质(步骤(14))。粉碎面板2，去除铅成分，所得 材料再用作循环利用的新玻璃材料(步骤(15))。

在板部件是背板1(步骤(16))时，从背板1上去掉布线(步 骤(17))。粉碎背板1，去除铅成分，所得材料再用作循环利用的 新玻璃材料(步骤(18))。

利用上述装置，在实施例9的平板显示器拆解装置中，通过在 从显示主体(真空容器)分离框架部件3时，从支撑装置54施加拉 力，支撑固定到分隔件4上的板部件。分隔件4被悬挂，不承受所 固定板部件的重量，可以在不在分隔件4上施加任何负载情况下分 离框架3。这可以防止对分隔件4的任何损伤。

分离了框架部分3后，分隔件夹具71(72)容纳和支撑固定到 分隔件4的板的边缘。此时，分隔件4被悬挂，不承受所固定板部 件的重量。在分隔件回收单元73(74)容纳和支撑板部件的同时， 进行从被分隔件回收夹具71(72)容纳和支撑的板部件上分离分隔 件4的步骤。另外，在分隔件4的分离/回收步骤，分隔件4不承受 任何额外的重量，可以防止受损伤。

换言之，可以利用合适的步骤进行拆解处理，并可以在没有任 何损伤的情况下回收例如分隔件4等可直接再利用构件。结果，可 以有利地循环利用各构件。

(实施例9-2)

图51A和51B示出了本发明的实施例9-2。图51A是展示平板 显示器拆解装置的设置的透视图，图51B是其平面图。

在实施例9-2中，通过在平板显示器50的上表面上施加拉力， 支撑平板显示器50的支撑装置，由抽吸装置240实现，用于通过从 抽吸器的抽吸力产生拉力，支撑平板显示器50。传输装置301绕柱 61旋转附着到其上部的臂63。在臂63的旋转范围内，设置工作台 57、分隔件回收单元73(74)和分隔件回收夹具71(72)。注意， 与实施例9-1中相同的参考数字表示相同部件，将省略对它们的介 绍。

这种情况下的拆解工艺与实施例9-1中的相同。在每个步骤， 分隔4可以被悬挂。可以在不施加任何重量的情况下，分离和回收 分隔件4，并可防止其受损伤。可以拆解各部件，并将它们再用作循 环使用的新玻璃材料。即，拆解处理可利用合适的步骤进行，可有 利用地循环利用各构件。

(实施例10)

下面结合附图具体介绍本发明的实施例10。实施例10将例示引 入分隔件并在面板的内表面上具有荧光屏的FPD的拆解处理，如图 43A、43B和32所示。

图43A是展示FPD的局部切除透视图，图43B是剖面图。在图 43A和43B中，参考数字1表示背板；2是面板；3是框架；4是分 隔件。含铅熔结玻璃5用作图43A和43B中黑色表示的每个结合部 分。

背板1、面板2和框架3材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如 Na等少量杂质的玻璃、钠-钙玻璃和在钠钙玻璃上层叠二氧化硅层 制备的玻璃。

在面板2上，在玻璃板2a的内表面上形成有荧光膜2b，在荧光 膜的内表面上形成有含Al的金属敷层2c。

分隔件4与面板和背板中的任一个或两者结合。在该实施例中， 分隔件4仅与面板结合。分隔件4基本由玻璃构成。分隔件的表面 可以涂敷抗静电膜。

此外，用于抽空FPD的排气管(未示出)一般附着到FPD上。 一般说，排气管由含铅低熔点玻璃构成。

图32所示FPD是矩阵驱动方式的表面传导型电子源显示器的一 个例子。图32是展示FPD的局部切除的透视图。图32中，背板1 上形成有表面传导型电子源11及布线12和13，用于驱动电子源。 布线12和13是X方向(Dox1,Dox2,…Doxm)Y方向 (Doy1,Doy2,…Doyn)元件布线，由Ag、Pd等构成。X方向布线 12和Y方向布线13通过至少位于它们的交叉点处的绝缘层(未示 出)绝缘。该绝缘层由含大量铅的玻璃构成。

如上所述，FPD的各部分采用含铅材料。本发明的目标是通过 适用于要处理的部件的形状的方法，有效地进行去除铅的处理和将 玻璃等处理成可再利用状态。

图53是展解释本发明的实施例的FPD器件拆解方法的各步骤的 流程图。与该方法的前半部分一样，步骤(1)-(3)是预处理步 骤，包括从FPD器件的外壳中取出FPD，并去掉附属的布线和端子 的步骤。在步骤(4)-(6)，利用适当的方法取消FPD中的真空， 然后拆掉排气管。由于排气管含铅，所以处理之，并将之再用作含 铅玻璃。

在步骤(7)，通过切割框架，将屏板分离成各部件。或者，在 (8)，熔化结合部分的熔结玻璃，分离各部件。通过步骤(7)或 (8)，报废的FPD被分成框架、内屏板部件、面板和背板。下面 将介绍各部件的处理方法。

粉碎框架部分，并再用作含铅玻璃。

如果分隔件(玻璃制的)或栅极(金属制的)等作为内屏板部 件存在，则回收并再利用它们(步骤(9))。

关于面板，去掉(步骤(10))并回收(步骤(11))荧光物 质。在步骤(12)，将面板放入液体处理槽中，以去除残熔结玻璃。 图52是展示此时所用处理槽的设置的示意图。处理槽81可以同时 处理大量面板82。面板82借支撑框架(未示出)，以一定间距平行 设置于处理槽81中，以防止它们的表面间发生接触。面板82浸泡 在溶解熔结玻璃的液体83(例如稀硝酸)中。注意，处理槽81由例 如不锈钢等耐侵蚀材料制成。

为加速熔结玻璃溶解，适当的方法有：(1)使液体流动；(2) 在面板上施加振动或声波；或(3)通过加热机构升高液体温度。将 熔结玻璃洗出用的处理溶液从该处理槽81中引到处理溶液循环再利 用用装置86，在此回收铅和洗出物质(步骤(13))。结果，循环 再利用了处理溶液，并将它们返回处理槽81。通过利用处理溶液循 环机构，处理槽内部环境几乎可以保持恒定，可以连续进行从面板 82上去除残留熔结玻璃的处理。图52中的箭头示意性示出了处理溶 液的流动。

然后，将面板从处理槽转移到清洗槽，在此清洗面板(步骤 (14))。在清洗步骤中，清洗所用液体(例如水)用于去掉附着 到面板上的处理溶液。清洗槽的结构和作用基本上与图52所示的处 理槽的相同。已经过清洗步骤的玻璃，通过粉碎或再熔结步骤，可 再用作面板基板。

关于背板，在步骤(15)，将背板放入图52所示液体处理槽中， 以去掉布线。与面板类似，背板借支撑框架(未示出)，以一定间 隔平行设置于处理槽81中。背板浸泡在溶解布线材料的液体83(例 如稀硝酸)中，可以同时处理许多背板。背板处理槽的结构和作用 基本上与面板处理槽的相同。在该处理槽中去掉一布线后，回收布 线中所含金属(Ag、Pb等)(步骤(16))。

然后，将背板从处理槽转移到清洗槽，在此清洗背板(步骤 (17))。在清洗步骤中，清洗所用液体(例如水)用于去掉附着 到背板上的处理溶液。清洗槽的结构和作用基本上与上述处理槽的 相同。已经过清洗步骤的玻璃，通过粉碎或再熔化步骤，可再用作 背板基板。

(例10)

下面结合图32、43A、43B、52和53利用例10具体介绍本发明。

(例10-1)

(切割和分离后进行槽处理的方法)

拆解10个图32所示矩阵驱动模式的表面传导型电子源显示器 (SED)、每个SED具有包括分隔件的图43A和43B所示屏板结构。

根据图53中FPD器件的拆解处理流程，从SED器件的外壳中 取出SED，将去掉附属布线和端子。取消SED中的真空，拆掉排气 管。处理排气管，并再用作含铅玻璃。

切割线设定在施加熔结玻璃的SED屏板区内，并在施加研磨溶 液的同时，用金刚石切割锯，沿切割线切割SED。

对10个SEDs进行该操作。通过切割，每个SED被分成框架、 面板和背板。切割中某些分隔件脱落，某些分隔件仍与面板结合在 一起。人工回收所有分隔件，并筛选和再利用可循环分隔件。

粉碎框架部分，并再用作含铅玻璃材料。去除了金属敷层和荧 光物质后，将10个面板立刻放入液体处理槽。图52是展示此时所 用处理槽的设置的示意图。处理槽81中装有0.2-N的硝酸作为处理 溶液83。各面板82平行设置并浸泡在处理溶液83中。处理槽81中 引入支撑框架(未示出)，以使以一定间隔平行设置面板82。处理 溶液83在液体流动装置84的作用下，沿面板82的表面流动。同时， 在用加热器85将处理溶液加热到50℃的同时，处理面板82一小时。

同时，处理溶液83供应到处理溶液循环装置86，在此循环处理 溶液83，并使之返回到处理槽81。处理溶液循环装置86用过滤器 去掉固态成分，并利用电解法分离和回收溶解的成分。

将10个面板82立刻从处理槽81转移到清洗槽，在此进行清洗。 清洗槽的结构基本上与处理槽的相同。用水作清洗溶液，清洗面板 30分钟。粉碎或熔化已经过清洗步骤的玻璃，并再用作面板基板。

将10个背板放入图52所示的液体处理槽，以便去除残留熔结 玻璃和布线。处理溶液是0.2-N的硝酸。在将处理溶液加热到50℃ 的同时，利用超声波施加装置87，施加超声波，处理背板2小时。

将10个背板立刻从处理槽转移到清洗槽，在此进行清洗。清洗 槽的结构与处理槽的基本相同。用水作清洗溶液，清洗背板30分钟。 粉碎或熔化已经过清洗步骤的玻璃，并再用作背板基板。

(例10-2)

(溶解和分离后进行批处理的方法)

根据图53中FPD器件的拆解处理流程，从SED器件的外壳中 取出SED，将去掉附属布线和端子。取消SED中的真空，拆掉排气 管。处理排气管，并再用作含铅玻璃。

将每个SED屏板浸泡在硝酸溶液中，以溶解屏板结合部分的熔 结玻璃。结果，每个屏板被分成框架、面板和背板。

对10个SEDs进行该操作。

到面板和背板的清洗步骤都与例10-1相同。干燥已经过清洗 步骤的玻璃，并再用作面板或背板基板。

由于例10-2中不切割玻璃基板，所以可以直接将回收的玻璃 基板再用作SED部件。

(实施例11)

下面结合附图介绍根据本发明的平板显示器的荧光物质回收方 法和装置的优选实施例。

实施例11中，要处理的显示器是由面板、背板和框架制成的平 板显示器，其中荧光物质涂敷在面板的内表面上，并借电子束的辐 射发光。

本发明的荧光物质回收装置采用一固定装置，该装置具有设置 成相对于平板显示器可伸缩以便围绕设置在例如工作台或工作带上 等基座上的平板显示器的固定夹具，该固定装置通过摆动固定夹 具，使之从平板显示器的四个方向与平板显示器接触，来固定平板 显示器。

图54示出本发明中处理的各基本步骤。

图54中，从外壳中分离要处理/报废的显示器(S40)。这种情 况下，显示器设在工作台上，显示器的面板面向下。显示器的外围 暂时用本发明的可移动念型固定夹具固定。另外，附着到工作台上 的吸盘工作，以充分固定平板显示器。

根据移动距离检测所用固定夹具的位置，从该位置信息检测平 板显示器的尺寸信息(S41)。该信息被送到控制端(控制器)，该 控制端决定切割框(以后将介绍)时所用切割器的移动范围或随后 荧光物质回收刷(回收装置)的工作范围。橡胶或塑料密封件附着 到吸盘的吸附口周围，以更紧密地接触面板。

抽吸器向下移动，以抽吸上背板，并根据来自控制端的信息切 割框架(S44)。利用例如热熔化框架处的熔结玻璃的方法，分离面 板、背板、框架(S45和S49)。从面板上去掉了背板和框架(S45)。 去除了例如金、银和钯等贵金属元素(S47)后，将背板和框架转移 到碎片形成步骤(S48)。

关于面板，带有吸附机构的荧光物质回收刷多次向下移动到面 板，并在面板上多次做往复运动(S50)，从而回收荧光物质(S51)。 这种情况下，使用荧光物质检测装置，用于检测留在面板上的荧光 物质的量。根据荧光物质检测装置得到的荧光物质量信息，控制用 作回收装置的回收刷的操作。

关于根据本发明利用用荧光物质检测装置决定荧光物质回收工 作的终点的方法，例如可以在工作台上附着发射可见光并检测透射 率的装置来确定工作的终点。或者，可在回收刷后，设置荧光谱检 测单元，在荧光物质的荧光强度变为初始值的0.5％以下，或较好是 0.2％以下时，可以确定工作终点。

或者，背板和框架分离后，可以将面板与夹具一起反过来，可 以从面板下操作刷子，使荧光物质落下并回收之。这种方法不需要 任何刷子吸附机构的能量和回收管的布局，并可以更有效地工作。

利用蒸馏水或能够容易溶解荧光物质的例如草酸水溶液等水溶 液，对从其上去掉了多数荧光物质的面板进行清洗步骤。结果，可 以充分回收并去除荧光物质。考虑到随后草酸回收步骤的成本，希 望在刷扫步骤中令人满意地刷扫荧光物质，以便只用蒸馏水清洗面 板(S52)。

对已经过清洗步骤的面板进行干燥步骤，以便再用之作面板 (S53)，并将之送到面板制造步骤(S55)。在内表面未达到面板 标准时，将面板粉碎成碎片，熔化并再用作一般玻璃(S54)，或再 用作面板部件的一部分。

利用已知方法分离和提纯回收的荧光物质。对该方法没有特别 限制。例如，用含NaOH、NaCl和H2O2的水溶液处理回收的荧光 物质，并用弱酸处理(日本公开专利申请6-108047)。或者，可以 用弱酸处理回收的荧光物质，以沥滤稀土元素，可以加入草酸，将 稀土元素转变成草酸盐。然后焙烧草酸盐，得到稀土氧化物(日本 公开专利申请8-333641)。

这种情况下，根据预定程序，利用具有CPU的控制器，驱动和 控制本发明装置中所包括的固定装置、切割器或刷子等。即，控制 器通过根据固定夹具的位置信息和荧光物质检测装置的荧光物质量 信息，对相应的驱动机构发布合适的驱动指令控制处理工作，所说 指令是关于例如切割器或刷子等部件的移动量和ON/OFF操作的指 令。

(例11)

下面介绍本发明的具体例子。

(例11-1)

图58示出了根据例11-1从平板显示器回收荧光物质的各步 骤。

从平板显示器260上拆下外围屏板元件。用螺丝起子等起出显 示器外围的固定螺丝，以拆掉显示器外壳。拆掉电源电缆、高压功 率供应单元、调节器和柔性电缆，分别存放金属和塑料，仅留下屏 板。

如图55A、55B和56所示，将取出的屏板(平板显示器260) 设置在具有真空吸盘271的工作台上，同时面板2面向下。平板显 示器260由与控制端连接的可动停止型夹具270固定。如图55A所 示，固定屏板上下端的夹具270a和270b在垂直方向上逐步移动， 直到它们接触屏板。同时，固定屏板左右端的夹具270c和270d在 水平方向逐步移动，直到它们与屏板接触。即，夹具270移动，直 到它探测到屏板的上下端和左右端为止。

实际上，屏板的上下端的探测/移动和屏板的左右端的探测/移动 交替进行。这些操作交替进行，直到探测到任一端为止，探测到一 端后，没有探测到端部的方向上的探测/移动继续。观察夹具270的 移动，以便在逐渐减小间隔的同时，用夹具270固定屏板。夹具270 的位置信息送到控制端，控制端用于确定切割器(以后将介绍)的 移动范围和带有吸附机构的刷子的工作范围。

屏板通过形成于工作台261上的吸附孔262a，通过吸盘完全固 定到工作台261上。这种情况下，吸盘262的吸附口和其附近用密 封件263充分密封。

如图55A和55B所示，用具有四个外围部分270a,270b,270c,270d 的抽吸器270，按抽吸方式固定背板1。如图58所示，用其移动范 围受控制端控制的切割器272，在面板2和框架间切割和分离屏板。 背板1和框架3靠抽吸器移开，并被送到布线所用贵金属回收步骤。 背板主要作为玻璃碎片存储。

关于面板2，如图57所示，用刷子273刷扫荧光物质，并进行 吸附并回收。这种情况下，利用荧光光谱仪(未示出)证实面板2 上荧光物质的残留量，并用控制端处理该信息，以确定刷子273的 工作时间。在此阶段，可以去除制造时所用荧光物质的99.5％，并 可以回收99.2％。

回收已经过清洗步骤的面板2和作为粉尘留下的荧光物质。在 此阶段，面板2上不存在可检测到的荧光物质。此外，可以回收制 造时所用荧光物质的99.4％。检测面板2是否可以再用作面板，如 果面板2通过实验，则可以再利用。否则将面板2被送到将之粉碎 成玻璃碎片的步骤，并再用作玻璃来源。

(例11-2)

下面介绍例11-2。

在例11-2中，除背板1和框架3分离后面板2与夹具一起反过 来之外，与例11-1类似地回收荧光物质。

与你11-1类似，面板2上不存在可检测到的荧光物质。荧光 物质的回收率为99.6％。

(例11-3)

在例11-3中，除用可见光的透射率作为荧光物质检测手段外， 与例11-1类似地回收荧光物质。这种情况下，在透射率不改变时， 完成刷扫步骤。

处理步骤后，用荧光光谱仪测量残留荧光物质量，证实残留了 约1％的荧光物质。荧光物质的回收率为99.2％。

(实施例12)

下面结合附图介绍根据本发明的基板处理方法和装置的优选实 施例。

实施例12将例示引入了分隔件，且在面板内表面上具有荧光屏 的FPD的拆解处理，如图43A、43B和32所示。

在图43A和43B中，参考数字1表示背板；2是面板；3是框架； 4是分隔件。在图43A和43B中黑色表示的结合部分，用含铅熔结 玻璃5。

分隔件4与面板2和背板1中的一个或两个结合。该实施例中， 分隔件4仅结合到面板2上。背板1、面板2和框架3材料的例子有 二氧化硅玻璃、含例如Na等少量杂质的玻璃、钠-钙玻璃和在钠钙 玻璃上层叠二氧化硅层制备的玻璃。在面板2上，在玻璃板2a的内 表面上形成有荧光膜2b，在荧光膜2b的内表面上形成有含Al的金 属敷层2c。

分隔件4基本由玻璃构成。在某些情况下，分隔件4的表面可 以涂敷抗静电膜。除这些构件外，用于排空FPD的排气管(未示出) 一般固定在FPD上。一般说，排气管由含铅低熔点玻璃构成。

如图32所示，FPD的一个例子是矩阵驱动模式的表面传导型电 子源显示器(SED)。图32中，表面传导型电子源11及用于驱动 电子源的布线12和13形成在背板上。图32中布线12和13是X方 向(Dox1,Dox2…,Doxm)和Y方向(Doy1,Doy2…,Doym)元 件布线，由Ag、Pd等构成。X方向布线和Y方向布线通过至少在 它们交叉点处的绝缘层绝缘。绝缘层由含大量铅的玻璃构成。

如上所述，FPD的各部分采用含铅材料。根据本发明，利用适 于要处理部件的形状的方法进行有效处理，以去除铅，并将玻璃等 转变为可利用状态。

图61是展示介绍本发明该实施例的FPD器件拆解处理方法的各 步骤的流程图。

作为该方法前半部分的步骤(1)-(3)是预定处理步骤，包 括从FPD器件的外壳中取出FPD，并去除附属布线和端子。在步骤 (4)-(6)，利用适当的方法，取消FPD中的真空，然后拆下排 气管，由于排气管含铅，所以处理之，并再用作含铅玻璃。

在步骤(7)，通过切割框架，将屏板分离成各部件。或者，利 用溶解结合部分的熔结玻璃的步骤(8)将屏板分离成各部件。通过 步骤(7)或(8)，报废的FPD被分离成框架部分(9)、内屏板 部件(11)、面板(13)和背板(20)。下面介绍各部件的处理方 法。

粉碎框架部分(9)，并再用作含铅玻璃(步骤(10))。如果 分隔件(玻璃制)、栅极(金属制)等作为内屏板部件(11)存在， 则回收并再利用它们(步骤(12))。

关于面板，在步骤(14)去除荧光物质，在步骤(15)回收之。 在用作本发明的基板处理装置的玻璃板固定装置中存储作为面板基 板的玻璃板，并将它们放入液体处理槽中，以去除残留熔结玻璃(步 骤(16))。

图59A和59B是介绍此时所用玻璃板固定装置的设置的示图。 下面结合图59A和59B介绍该玻璃板固定装置的设置和作用。存储 在该装置中的多个玻璃板286以一定间隔保持平行。在溶液处理槽 中，这可以使处理溶液沿玻璃表面充分流动。为令人满意地去除溶 液，使从自处理槽中带走的处理溶液最少，玻璃板286较好是固定 为使玻璃板286的表面几乎垂直站立。如链线所示，玻璃板286可 以保持适当的倾斜。

与相应在玻璃板286接触的支撑件287一般具有柱形，由于与 基板接触的支撑部件287具有圆形或弧形，所以支撑部件287与玻 璃板286成线性接触，以固定之。这种结构也可以减少处理溶液的 带走量。

在这种玻璃板固定装置中，处理溶液的去除会由于支撑部件287 等的形状而改善，除此之外，可以用吹空气等方法从玻璃板上去除 处理溶液。在固定多个等尺寸玻璃板时，和固定不同尺寸的多个玻 璃板时，都可以采用固定装置。

在存储许多玻璃板286时，玻璃板固定装置必须在液体处理槽 之间迅速移动。为此，该装置作为一个整体必须非常牢固。此外。 该装置必须抗侵蚀，以便与利用酸和碱溶液的处理相适应。例如， 玻璃板固定装置可由例如不锈钢、特弗隆或聚丙烯等材料构成。

图60是展示此时所用处理槽的设置。在处理槽81中，玻璃板 利用固定装置以预定间隔平行设置，以便防止它们表面的任何接 触。玻璃板浸泡在溶解熔结玻璃的处理液83(例如稀硝酸)中。

为加速熔结玻璃的溶解，合适的方法有：(1)使处理液体83 流动；(2)在玻璃板上施加振动或超声波；或(3)通过加热机构 升高液体温度。将熔结玻璃洗出用的处理溶液从该处理槽81中取 出。在步骤(17)回收铅和洗出物质(见图61)。结果，循环再处 理溶液，并将它们返回处理槽81。通过利用处理溶液83的循环机 构，处理槽81的内部环境几乎可以保持恒定，可以连续进行从玻璃 板上去除残留熔结玻璃的处理。图60中的箭头示意性示出了处理溶 液83的流动。注意，处理槽81由例如不锈钢等耐侵蚀材料构成。

把作为面板2的玻璃板存储在玻璃板固定装置中，同时将它们 从处理槽81转移到清洗槽，在此清洗玻璃板(步骤(18))。在清 洗步骤，用于清洗的液体(例如水)用于去除处理溶液83。清洗槽 的结构和作用基本上与处理槽81的相同。已经过清洗步骤的玻璃， 通过粉碎或再熔化步骤，可再用作面板基板(步骤(19))。

在图61中的背板1(20)中，用作背板1的玻璃板存储在玻璃 板固定装置中，并被放在液体处理槽中，以去掉布线(步骤(16))。 玻璃板固定装置的结构和作用基本上与用于面板的装置相同。

玻璃板借玻璃板固定装置，以一定间隔平行设置在处理槽81 中，以防止它们表面间的任何接触。玻璃板浸泡在溶解布线材料的 液体(例如稀硝酸)中。背板处理槽的结构和作用基本上与面板处 理槽的结构相同，在步骤(21)中，在处理槽中去掉了布线后，回 收布线中所含的金属(Ag、Pb等)。

把作为背板1的玻璃板存储在玻璃板固定装置中，同时将它们 从处理槽81转移到清洗槽，在此清洗玻璃板。在清洗步骤(步骤 (23))，用于清洗的液体(例如水)用于去除处理溶液。清洗槽 的结构和作用基本上与上述处理槽的相同。已经过清洗步骤的玻 璃，通过粉碎或再熔化步骤，可再用作面板背板(步骤(24))。

(例12)

下面结合图43A、43B、32、59A和59B-61，介绍本发明的具 体例子。

(例12-1)

在本发明的例12-1中，存储在图59A和59B所示的玻璃板固 定装置的多个玻璃板286以一定间隙平行放置。每块玻璃板固定成 使玻璃板286的表面几乎垂直站立。

在例12-1中，可以存储10块厚3mm的玻璃板286。与相应的 玻璃板286接触的支撑部件287具有柱形，与玻璃板286成线性接 触，以固定之。与玻璃板286接触的该部件由特弗隆制成。

例12-1的玻璃板固定装置由不锈钢构成的许多横梁加固，以 便允许在存储10块玻璃板286时在液体处理槽间的快速移动。这些 横梁具有不妨碍液体处理槽中处理溶液流动的形状和布局。每根横 梁的水平面限制得很小，以便在从液体处理槽中提拉例12-1的玻 璃板固定装置时，带走的处理溶液最少。

(例12-2)

例12-2将例示如图32所示的矩阵驱动模式的10块表面传导型 电子源显示器的拆解处理。

该SED具有包括分隔件的屏板结构，如图43A和43B所示。根 据图61中FPD器件的拆解处理步骤，从SED器件的外壳中取出 SED，并去掉附属布线和端子。取消SED中的真空，拆掉排气管。 处理排气管，并再用作含铅玻璃。

切割线设定在施加熔结玻璃的SED屏板区内，并在施加研磨溶 液的同时，用金刚石切割锯，沿切割线切割SED。对10个SEDs进 行该操作。

通过切割，每个SED被分成框架、面板和背板。切割中某些分 隔件脱落，某些分隔件仍与面板结合在一起。人工回收所有分隔件， 并筛选和再利用可循环分隔件。粉碎框架部分，并再用作含铅玻璃 材料。去除了金属敷层和荧光物质后，将10个面板存储在如图59A 和59B所示的玻璃板固定装置282中。

为去除残留铅成分，将玻璃板固定282放入液体处理槽。图60 是展示此时所用处理槽的设置的示意图。处理槽中装有0.2-N的硝酸 作为处理溶液。处理溶液在液体流动装置84的作用下，沿面板的表 面流动。

在用加热器85将处理溶液加热到50℃的同时，处理面板一小 时。

同时，处理溶液供应到处理溶液循环装置，在此循环处理溶液， 并使之返回到处理槽。处理溶液循环装置用过滤器去掉固态成分， 并利用电解法分离和回收溶解的成分。然后，将例12-2的玻璃板 固定装置从处理槽转移到清洗槽，在此进行清洗。清洗槽的结构基 本上与处理槽的相同。用水作清洗溶液，清洗面板30分钟。从玻璃 板固定装置中取出已经过清洗步骤的玻璃，粉碎并再熔化之，并再 用作面板基板。

将10个背板存储在图59A和59B所示玻璃板固定装置282中。 将玻璃板固定装置282放入图60所示的液体处理槽，以便去除残留 熔结玻璃和布线。处理溶液是0.2-N的硝酸。在将处理溶液加热到 50℃的同时，利用超声波施加装置87，施加超声波，处理背板2小 时。

将存储10个背板的玻璃板固定装置282从处理槽转移到清洗 槽，在此进行清洗。清洗槽的结构与处理槽的基本相同。用水作清 洗溶液，清洗背板30分钟。从玻璃板固定装置282中取出已经过清 洗步骤的玻璃，粉碎或熔化之，并再用作背板基板。

下面将介绍具有许多表面传导型电子发射元件的电子源基板形 成于利用本发明的方法处理的玻璃板上，并利用该电子源基板制造 图像形成装置的情况。

通过真空膜形成和光刻，在循环使用的玻璃基板上，按矩阵形 式形成Pt电极。这种情况下，元件电极间的间隔是20微米；每个 元件电极的宽度是500微米；厚为100nm；元件的布局间距是1mm。 然后，通过印刷按矩阵形式形成Ag布线。

利用旋涂机，在元件电极间施加乙酸钯-乙醇胺的溶液，并在 270℃进行加热和焙烧10分钟，从而得到由细氧化钯(PdO)颗粒 构成的薄膜。通过光刻和于法腐蚀，将该膜加工成300微米宽的导 电薄膜。

在真空中，在元件电极间加电压，进行成形处理，从而在导电 膜中形成狭缝状电子发射部分。

对已经过电成形的元件进行激发处理。该实施例中，在真空中 引入乙烯气体，并在元件电极间重复加峰值为20V的脉冲30分钟。 通过该激发步骤，在电子发射部分附近，淀积约10nm的主要含碳 的化合物。

用具有许多表面传导电子发射元件的电子源基板作背板，该背 板与面板和支撑框架一起构成外壳。抽空外壳内部，并密封，得到 具有显示板和用于实现电视显示的驱动电路的图像形成装置。该图 像形成装置形成没有任何非发射部分(像素缺陷)的高质量图像。

(实施例13)

下面结合附图介绍本发明的优选实施例。实施例13将例示图29 所示平板显示器的拆解处理。

图62是展示根据实施例13拆解处理方法的各步骤的流程图。 将从外壳中取出(S60)的平板显示器的布线、端子等拆掉(S61) 后，取消平板显示器中的真空，拆掉排气管(S62)。将平板显示器 分离成各构件，即，面板(S64)、背板(S70)和框架等(S63)。 一般说，结合这些部件的熔结玻璃由主要含氧化铅的低熔点玻璃构 成。关于分离方法，可通过加热或用合适溶剂熔化熔结玻璃。

利用适当的方法(S65)，从分离的面板(S64)上去除了荧光 物质、黑物质和金属敷层后，用例如硝酸和水等溶剂，清洗面板， 以去掉残留的熔结玻璃。并清洗玻璃表面(S66)。另外，用合适的 溶剂和水(S71和S72)清洗分离的背板(S70)，去掉形成于基板 上的部分或所有构成材料。

检测已经过去除步骤的玻璃板的表面上存在的元素。

图63是展示用于检测玻璃表面上存在的元素的本发明荧光X射 线分析仪的示意图。图63中，参考数字301是用于玻璃板302的工 作台；302是作为样品的玻璃基板；303是X射线源；304是单色仪； 305是一次X射线；306是荧光X射线；307是半导体探测器；308 是冷却装置；309是预放大器；310是放大器；311是多信道分析仪； 312计算机。

通过以下程序检测元素。单色仪304将X射线源303发射的一 次X射线305单色化。并以θ角入射到工作台301上的玻璃基板302 的表面上。X射线源具有大到足以激发玻璃板302上存在的元素的 能量。例如，采用W-La射线、Au-La射线、Mo-Ka射线等。利用 一次X射线305辐射的玻璃基板302的表面产生荧光X射线，设置 在玻璃基板302上的半导体探测器307能够检测到该荧光X射线。 关于所说探测器，采用Si(Li)半导体探测器。通过预放大器309、 放大器310和多信道分析仪311，利用计算机312，处理来自半导体 探测器307的检测信号。计算机312得到对应于玻璃基板302的表 面上的元素的类型和浓度的信号强度。注意，半导体探测器307和 预放大器309由液氮冷却。

如果一次X射线305的入射角θ设定为全部反射X射线的角 度，即等于或小于全反射的临界角的小角度，则X射线只进入样品 表面约几nm，可有效地产生荧光X射线。由此，可以在样品表面上 几nm以下的区域中，以约109原子/cm2的低探测极限，进行敏感元 素分析。全反射的临界角可以由θc≌1.64×105×ρ1/2×λ(ρ：基板密 度(g/cm3),λ:X射线的波长(cm))。

该实施例中的大玻璃基板302具有几十厘米的侧边长度。本发 明目的是以低成本对这种大面积进行有效地元素分析。为利用该方 法，以高灵敏度测量元素，探测器一般较好尽可能接触样品表面。 这种情况下，分析区基本上取决于探测器的直径，该直径一般约为 几十mmφ。然而，在测量大面积时，样品和探测器彼此靠得非常近 时，必须在许多点扫描样品，得到数据，或必须设置许多探测器。 这样便造成了长时间周期和高安装成本。

为防止这样的事情发生，本发明采用一种根据基板的尺寸改变 样品表面和探测器相对位置，以便在不降低灵敏度的情况下，有效 地进行元素分析的方法。下面结合图64介绍本发明的改变相对位置 的方法。

图64A和64B中，参考数字310表示用于玻璃基板302的工作 台；302是作为样品的玻璃基板；307是半导体检探测器；314是半 导体元件；315是X射透射窗；316是准直仪。半导体探测器307具 有图64A和64B所示设置。半导体元件314可以接收来自虚线所表 示的区即具有由X射透射窗315的尺寸和与半导体元件314等的相 对位置及取决于半导体元件314自身的尺寸I的面积决定的角度φ的 区的X射线。

在半导体探测器307移动接近样品表面时，如图64A所示，分 析区变得几乎等于X射透射窗315的直径。与此相反，在半导体探 测器307远离样品表面移动到图64B所示状态时，可从单元面积检 测的X射线强度下降，但可探测区加宽。因此，在荧光X射将从具 有侧边长度L的玻璃基板302探测时，玻璃基板302和半导体探测 器307间的距离d设定为得到2d·tanφL。在一次X射线辐射玻璃基 板302的整个表面时，测量荧光X射线。结果，从整个玻璃基板302 上接收X射线，同时不会使灵敏度下降。

为用X射线辐射希望的区域，一次X射线的束直径a根据从要 辐射区W和一次X射线的入射角θ得到的W·sinθ决定，如图65所 示。注意，当玻璃基板302太大时，就安装来说，相应的距离d难 以确保，可以将玻璃基板302分成多个区和并重复测量。

半导体探测器307的X射线透射窗315较好是具有类似于玻璃 基板302的形状的矩形。例如，图66A和66B示出了X射透射窗315 具有圆形形状(见图66A)时和窗315具有类似于玻璃基板302的 形状(见图66B)时，荧光X射线的探测区间的差异。图66中，参 考数字302表示玻璃基板(平面图)，虚线或虚线区表示X射线探 测区。在X射线透射窗315是圆形是，其形状与玻璃基板302不一 致，所以探测效率总是不高。相反，图66B中，可有效地探测X射 线。尽管玻璃基板302的高宽比不恒定，但根据玻璃基板的类型和 要用玻璃基板的数量，选择合适的透射窗形状，可以实现更高效率 的探测步骤。通过利用该方法探测玻璃基板93表面产生的荧光X射 线，可以检测基板表面上的残留元素和扩散到基板中的元素的存在 与否，及形成于基板表面上的薄膜的存在与否。

当在上述步骤中检测到除玻璃构成元素外的元素时，进行去除 检测到的元素的步骤。尽管可以采用各种方法作去除方法，但尤其 优选玻璃基板302的表面抛光法。

图67是展示本发明的抛光装置的例子的示意图。在图67中， 参考数字327表示用于玻璃基板328的工作台；328是玻璃基板；329 是抛光头；330是旋转支撑棒；331是支撑臂；332是电机；333是 柱；334是抛光表面。要抛光的玻璃基板328放置在工作台327上， 抛光面面向上。抛光头329压到抛光表面上。电机332工作，使旋 转支撑棒和抛光头329旋转。同时，含例如氧化铯等抛光剂的浆料 供应到抛光表面334上，开始抛光玻璃基板表面334。

清洗抛光过的玻璃基板328，并再进行上述元素分析。重复元素 检测和对抛光表面334的抛光，直到除玻璃基板的玻璃构成元素外， 检测不到其它元素时为止。将已经过该步骤的玻璃基板328粉碎成 碎片，可以通过再熔化步骤再用作平板显示器基板或其它产品的材 料。

(例13)

下面利用例13更具体地介绍本发明。例13将介绍如图29所示 矩阵驱动模式的表面传导型电子源显示器的拆解处理。

(例13-1)

在13-1，面板2和背板基板由每块大小为800mm×800mm ×2.8mm的二氧化硅玻璃基板形成。通过在基板上形成主要含Pd的冷阴极元件11、主要含Ag、Pt电极的布线12等，构成背板。通 过在基板上形成荧光物质2b、黑物质、金属敷层2c等，形成面板2。 下面结合图63、64A、64B、67和29介绍具有该设置的显示器的拆 解方法。

(1)拆下外壳，取出由用熔结玻璃焊接在一起的背板1、面板2 和框架3构成的单元。

(2)背板1、面板2和框架3构成的单元浸入0.2N的硝酸溶液 中，逐渐溶解焊接部分，从而分离各部件。

(3)实际上报废了形成于背板1和面板2上的构件后，再将背 板1和面板2浸入0.2N的硝酸溶液中，并在其上施加超声振动。用 纯水清洗背板1和面板2，去掉基板上的熔结玻璃和其它溶解物质。

(4)如图63所示，利用荧光X射线分析仪检测每个基板表面 上存在的元素。用Aul-La射线(λ=0.12764nm)，作X射线源，基 板上的X射线入射角θ设定为全反射的临界角以上。为用X射线辐 射玻璃基板的整个表面，图65所示具有0.15mm以上束宽和80nm 以上深度的X射线辐射基板。X射线透射窗为方形，图64A和64B 所示玻璃基板和探测器间的距离d设定为40mm。

利用这些设定，在200秒时间内接收玻璃基板整个表面上产生 的荧光X射线，进行测量。结果，除作为基板元素的Si外，从背板 基板上检测到Pt和Ag，而除Si外，从面板上没有检测到其它元素。

(5)利用图67所示抛光装置，抛光从其上检测到Pt和Ag的 背板基板的表面。抛光头329压在基板的抛光表面上，在旋转抛光 头，并供应具有平均直径为10微米的氧化铯浆料的同时，抛光整个 基板5分钟。

(6)用纯水清洗抛光过的背板基板，并再进行元素分析。结果， 证实Pt和Ag已被去除到检测极限以下，去除了基板上的所有残留 物。

(7)不需要将背板粉碎成碎片，便可以将已经过上述步骤的背 板基板与不需要抛光步骤的面板一起再用作基板。

(例13-2)

在例13-2中，面板基板由每块大小为80mm×800mm×2.8mm 的钠钙玻璃基板形成，而背面基板由通过在钠钙玻璃基板上层叠大 小与背板基板相同的100nm的SiO2薄膜形成。通过在基板上形成主 要含Pd的冷阴极元件11、主要含Ag、Pt电极的布线12等，构成 背板。通过在基板上形成荧光物质、黑物质、金属敷层等，形成面 板。下面介绍介绍该显示器的拆解方法。

利用与例13-1中步骤(1)-(3)相同的方法，分离背板、 面板和框架，去除形成于基板上的元件的一些构成材料。

(4)然后，检测每个基板表面上存在的元素。在例13-2中， 用Au-La射线(λ=0.12764nm)，作X射线源，基板上的X射线入 射角θ设定为等于或小于全反射的临界角的0.1度。为用X射线辐射 玻璃基板的整个表面，图65所示具有0.15mm以上束宽和80nm以 上深度的X射线辐射基板。X射线透射窗为方形，图64A和64B所 示玻璃基板和探测器间的距离d设定为40mm。

利用这些设定，在200秒时间内接收玻璃基板整个表面上产生 的荧光X射线，进行元素测量。结果，除作为基板元素外，从背板 基板上检测到Pt、Ag和Pb，除构成元素外，从面板上检测到Pb。

(5)利用图67所示抛光装置，抛光背板和面板基板的表面。 抛光头329压在每个基板的抛光表面上。在旋转抛光头，并供应具 有平均直径为10微米的氧化铯浆料的同时，抛光整个基板5分钟。

(6)用纯水清洗抛光过的背板基板，并再进行元素分析。结果， 证实Pt和Ag已被去除到检测极限以下，而仍检测到具有低密度的 Ag，除基板构成元素外，从面板上没有检测其它元素。

(7)利用图67所示的抛光装置，再抛光背板基板的表面。利 用与步骤(5)相的方法，抛光整个基板15分钟。

(8)用纯水清洗抛光过的背板基板，并再进行元素分析。结果， 证实，除基板构成元素外，没有检测到其它元素，可以去除基板上 的残留物和扩散到基板内的元素。

(9)将已经过这些步骤的背板基板和面板基板粉碎成碎片，并 进行熔化步骤，再用作平板显示器基板。

(例13-3)

在例13-3中，面板和背板基板由每块大小为300mm×250mm ×2.8mm的二氧化硅玻璃基板形成。下面介绍具有除此之外与例13 -1相同设置的平板显示器的拆解处理方法。

利用与例13-1中步骤(1)-(3)相同的方法，分离背板、 面板和框架，用硝酸溶液，去除形成于基板上的一些元件构成材料。

(4)然后，如图63所示，利用全反射型荧光X射线分析仪检 测每个基板表面上存在的元素。在例13-3中，用Au-La射线(λ =0.12764nm)，作X射线源，基板上的X射线入射角θ设定为0.1 度。为用X射线辐射玻璃基板的整个表面，图65所示具有0.6mm 以上束宽和300mm以上深度的X射线辐射基板。X射线透射窗为方 形，图64A和64B所示玻璃基板和探测器间的距离d设定为150mm。

利用这些设定，在200秒时间内接收玻璃基板整个表面上产生 的荧光X射线，进行元素测量。结果，除作为基板元素的Si外，从 背板基板上检测到Pt和Ag。对面板基板，除Si外，没有检测到其 它元素。

利用与例13-1中步骤(5)-(7)相同的方法，抛光玻璃表 面，去除基板上所有残留物。将已经过上述各步骤的背板基板与不 需要抛光步骤的面板基板一起再用作基板，而不需要将背板基板粉 碎成碎片。

(例13-4)

在例13-4中，背板基板通过在每块大小为300mm×250mm× 2.8mm钠钙玻璃基板上层叠1微米厚的P掺杂SiO2薄膜形成。下面 介绍除此之外具有与例13-1相同设置的显示器的拆解方法。

利用与例13-1中步骤(1)-(3)相同的方法，分离背板、 面板和框架，去除形成于基板上的元件的一些构成材料。

(4)然后，如图63所示，利用全反射型荧光X射线分析仪检 测每个基板表面上存在的元素。用Ao-Ka射线(λ=0.07107nm)， 作X射线源，基板上的X射线入射角θ设定为0.1度。为用X射线辐 射玻璃基板的整个表面，图65所示具有0.6mm以上束宽和300mm 以上深度的X射线辐射基板。X射线透射窗为方形，图64A和64B 所示玻璃基板和探测器间的距离d设定为150mm。

利用这些设定，在200秒时间内接收玻璃基板整个表面上产生 的荧光X射线，进行元素测量。结果，从背板基板上检测到Si、P、 Pt、Ag和Pb，除基板构成元素外，从面板上检测到Pb。

(5)利用图67所示抛光装置，抛光背板和面板基板的表面。 抛光头329压在每个基板的抛光表面上，在旋转抛光头，并供应具 有平均直径为10微米的氧化铯浆料的同时，抛光整个基板5分钟。

(6)用纯水清洗抛光过的背板基板，并再进行元素分析。结果， 证实Pt、Ag和Pb已被去除到检测检限以下，只有Si和P仍能检测 到，除基板构成元素外，从面板上没有检测到其它元素。

(7)利用图67所示的抛光装置，再抛光背板基板的表面。利 用与步骤(5)相同的方法，抛光整个表面5分钟。

(8)用纯水清洗抛光过的背板基板，并再进行元素分析。结果， P去除到了检测极限以下，但仍能检测到作为玻璃构成元素的K、 Ca等。由此证实去除了P掺杂SiO2层，并去除了基板上所有残留 物。

(9)将已经过这些步骤的背板基板和面板基板粉碎成碎片，并 进行熔化步骤，再用作平板显示器基板。

下面介绍一种情况，即，利用本发明的方法在玻璃基板上形成 具有许多表面传导型电子发射元件的电子源基板，和利用该电子源 基板制造的图像形成装置。

通过真空膜形成和光刻，在循环使用的玻璃基板上，按矩阵形 式形成Pt电极。这种情况下，元件电极间的间隔是20微米；每个 元件电极的宽度是500微米；厚为100nm；元件的布局间距是1mm。 然后，通过印刷按矩阵形式形成Ag布线。

利用旋涂机，在元件电极间施加乙酸钯-乙醇胺的溶液，并在 270℃进行加热和焙烧10分钟，从而得到由细氧化钯(PdO)颗粒 构成的薄膜。通过光刻和干法腐蚀，将该膜加工成300微米宽的导 电薄膜。

在真空中，在元件电极间加电压，进行成形处理，从而在导电 膜中形成狭缝状电子发射部分。

对已经过电致成形的元件进行激发处理。该实施例中，在真空 中引入乙烯气体，并在元件电极间重复加峰值为20V的脉冲30分 钟。通过该激发步骤，在电子发射部分附近，淀积约10nm的主要 含碳的化合物。

用具有许多表面传导电子发射元件的电子源基板作背板，该背 板与面板和支撑框架一起构成外壳。抽空外壳内部，并密封，得到 具有显示板和用于实现电视显示的驱动电路的图像形成装置。该图 像形成装置形成没有任何任何非发射部分(像素缺陷)的高质量图 像。

下面将根据上述实施例和实例的数目列出本发明的效果。

(本发明的效果1)根据本发明，在拆解处理中，可以将报废 FPD分离成不含任何铅的玻璃和含铅玻璃，有助拆解和再利用。另 外，可以防止铅污染环境。

(本发明的效果2)本发明有助于FPD的报废和再利用需要的 拆解处理。

由于可分离和回收作为引起严重问题的有害金属的铅，所以可 以减少废品造成的环境负担。由于可以回收和再利用例如贵金属等 所用稀有元素和稀土元素，所以有效地节约了资源。

(本发明的效果3)根据本发明的再利用方法，可以再利用作为 报废屏板显示器的重要构件的背板，所以可有效利用资源，降低成 本。

(本发明的效果4)根据本发明，由于在拆掉平板显示器期间， 可以几乎没有损伤地回收和再利用分隔件，所以可有效利用资源， 降低成本。此外，由于回收步骤不需要任何精细人工加工，所以可 以安全回收分隔件。

(本发明的效果5)本发明可以提供一种方法，无论器件类型如 何，都能够从CRT和平板显示器有效回收荧光物质和几乎没有波纹 的可再利用面板。

(本发明的效果6)根据本发明的图像显示装置，包括：与保持 在低于大气压下的气密容器和排气装置连接的装置；用于逐步将所 说容器内部恢复到大气压的装置。在使气密容器恢复到大气压时， 基本上不会破坏和损伤耐大气压结构部件和图像显示装置。所以， 容易利用拆下后的部件。另外，容易修复制造期间产生的缺陷。

(本发明的效果7)在根据本发明的平板显示器中，可以依次分 离构成外壳的各部件，所以可以在拆解工艺期间不损伤外壳和内部 部件的情况下，利用简单的方法安全回收各部件。因此，可以将各 部件作为可再利用的部件回收，可以有效地利用资源，可以降低成 本。

(本发明的效果8)根据本发明的有害金属残留量检测装置表现 出以下优益效果。

在本发明的有害金属残留量检测装置中，检测物体浸泡在第一 洗出装置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出检测物体中所含的有害 金属。将检测物体转移到清洗装置中，在此进行清洗。然后，检测 物质浸泡第二洗出装置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出留在检测 物体上的有害金属。所说洗出溶液供应到定量检测装置中，定量检 测洗出溶液中所含的有害金属量。因此，在拆解和拆分平板显示器 等时，可以定量检测留在例如拆分玻璃部件或废物等检测物体上的 例如铅等有害金属的量。

这种情况下，检测物体简单地浸泡在装有酸溶液的浸泡槽中， 于是，在没有任何烦琐操作的条件下，可以定量检测其量。只要检 测物体不溶解于酸溶液中，便可以洗出检测物体中所含的例如铅等 有害金属。对检测的材料、形状等没有特别限制，可以检测各种部 件。

(本发明的效果9)根据本发明的平板显示器拆解装置表现出以 下优异效果。

在本发明的平板显示器拆解装置中，在从显示器主体(真空容 器)上分离框架部件的步骤中，第一支撑装置通过加拉力，支撑固 定到分隔件上的板。分隔件悬空，不受固定的板的重量，可以不在 分隔件上施加任何负载的条件下，分离框架部件。所以可以防止对 分隔件的任何损伤。

分离了框架后，第二支撑装置容纳和支撑固定到分隔上的板的 边缘。此时，分隔件悬空，不受固定的板的重量。在板被容纳和支 撑的同时，利用分隔件回收装置，从由第二支撑装置容纳和支撑的 板上分离分隔件的步骤。另外，在分隔件分离/回收步骤，分隔件不 受任何重量，可防止受损伤。

即，可以利用合适步骤进行拆解处理，可以没有任何损伤地回 收例如分隔件等可直接再利用的构件。结果，可以循环再利用各构 件。

(本发明的效果10)本发明可以在拆解报废FPD期间，在利用 浸泡处理从玻璃板上分离例如铅等成分的步骤中，即时处理大量玻 璃基板。因此，(1)处理溶液的需求量小，(2)处理所需要的能 量少，(3)可以在短时间内处理许多玻璃。因此，可以大大减少处 理报废FPD的成本。

(本发明的效果11)本发明改善了用于从该类平板显示器中回 收荧光物质的回收工作中的面板固定夹具和固定方法。此外，根据 固定夹具的位置信息，驱动用于回收荧光物质的刷子。可以有效且 可靠地回收荧光物质。

(本发明的效果12)本发明可以容易地在拆解报废FPD期间， 在利用浸泡处理从玻璃板上分离例如铅等成分的步骤中，即时处理 大量玻璃基板。本发明可以安全且快速地回收大量玻璃基板，容易 使处理自动化。因此，可以极大地降低处理报废FPD的成本。

(本发明的效果13)本发明可以利用简单地方法，检测基板表 面上的残留物及扩散到基板中的元素。同时，除玻璃构成元素外， 本发明可以去除所有元素。所以可以有效地再利用玻璃，不浪费报 废品。

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