专利汇可以提供喷涂式聚合体去除设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 喷涂 式聚合体去除设备,包括用于盛放药液的容器、 泵 、药液 过滤器 、集 流管 、设备腔体以及位于该设备腔体内的药液 喷嘴 ,泵将药液从容器内 抽取 经过药液过滤器过滤,再经过集流管控制药液流量,然后到设备腔体并从药液喷嘴以喷涂方式喷出,完成清洗 硅 片 并去除聚合体;所述泵的最大驱动流量大于6L/min,所述集流管的口径大于3/8英寸,所述的药液喷嘴大于9连,所述药液喷嘴的张合 角 度为110度-130度。本发明能大幅度提高机台的药液流量,从而改善和抑制Cu金属颗粒的析出状况,改善聚合体的去除效果。,下面是喷涂式聚合体去除设备专利的具体信息内容。
本发明涉及一种集成电路的制造设备,具体涉及一种金属配线工程聚 合体去除设备,尤其涉及一种喷涂式聚合体去除设备。
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