专利汇可以提供微型制造的弹性体的阀和泵系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种制造弹性体结构的方法,它包括:在第一微型制造的模具的顶上形成一第一弹性体层,第一微型切削加工的模具具有一凸起的第一突部,该突部形成了沿第一弹性体层的底面延伸的一第一凹部;在第二微型制造的模具的顶上形成一第二弹性体层,第二微型切削加工的模具具有一第二凸起的突部,该突部形成了沿第二弹性体层的底面延伸的一第二凹部;将第二弹性体层的底面粘合在第一弹性体层的顶面上,这样一控制槽形成在第一和第二弹性体层之间的第二凹部中;以及将第一弹性体层 定位 在一平面的基底的顶上,这样一流动槽形成在第一弹性体和平面的基底之间的第一凹部中。,下面是微型制造的弹性体的阀和泵系统专利的具体信息内容。
1.一种微型制造的弹性体结构,它包括:
一弹性体块,它其中形成有微型制造的凹部,当弹性体块的一部分被致动时, 这部分可偏转。
2.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的宽 度范围在0.01微米到1000微米之间。
3.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的宽 度范围在0.2微米到500微米之间。
4.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的宽 度范围在10微米到200微米之间。
5.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的深 度与高度之间的比率约在0.1∶1与100∶1之间。
6.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的深 度与高度之间的比率约在1∶1与50∶1之间。
7.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的深 度与高度之间的比率约在2∶1与20∶1之间。
8.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的深 度约在0.01微米和1000微米之间。
9.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的深 度约在0.2微米和250微米之间。
10.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,凹部具有的 深度约在2微米和20微米之间。
11.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,该部分具有 的厚度约在0.01微米和1000微米之间。
12.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,该部分具有 的厚度约在0.2微米和250微米之间。
13.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,该部分具有 的厚度约在2微米和50微米之间。
14.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,该部分线性 地响应施加的致动力。
15.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,该部分以100Hz 或更高的速度被致动。
16.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当该部分被 致动时,结构基本不包含无用容积。
17.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
凹部包括一第一微型制造槽以及一第二微型制造槽;以及
该部分包括一弹性体膜片,当膜片被致动时,它可偏转入第一或第二微型制 造槽中之一。
18.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
凹部包括一个第一微型制造的槽以及一个第一微型制造的凹部;以及
该部分包括一弹性体膜片,当膜片被致动时,它可偏转入第一微型制造槽中。
19.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一微型制 造的凹部包括一个第二微型制造槽。
20.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当第一微型 制造的凹部被施压时,膜片可偏转入第一槽。
21.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当膜片被静 电地致动时,膜片可偏转入第一槽中。
22.如权利要求21所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
在膜片中设置有一第一传导部分;以及
在第一槽与第一传导部分相对的一侧上设置有第二传导部分。
23.如权利要求22所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一和第二 传导部分至少其中之一包括一内在传导的弹性体。
24.如权利要求22所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一和第二 传导部分至少其中之一包括一搀杂有传导材料的弹性体。
25.如权利要求24所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,传材料包括 细小的金属微粒。
26.如权利要求24所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,传导材料包 括碳。
27.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当膜片被磁 性致动时,膜片可偏转入第一槽中。
28.如权利要求27所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
在膜片中设有一磁性部分;以及
在第一槽的与磁性部分相对的一侧上设置有用于施加磁场的装置。
29.如权利要求27所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
在膜片中设置有一磁性部分;以及
在第一槽的与磁性部分同一侧上设置有用于施加磁场的装置。
30.如权利要求28所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,用于施加磁 场的装置包括一磁铁。
31.如权利要求28所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,用于施加磁 场的装置包括一磁性线圈。
32.如权利要求28所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,用于施加磁 场的装置包括一微型制造的磁性线圈。
33.如权利要求28所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,磁性部分包 括一内在的磁性弹性体。
34.如权利要求28所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,磁性部分包 括搀杂有磁性材料的一弹性体。
35.如权利要求34所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,搀杂物包括 可磁性极化的材料。
36.如权利要求34所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,搀杂物包括 永久磁化的材料。
37.如权利要求27所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一永久磁化的部分设置在膜片中;以及
用于施加磁场的装置置于第一槽上与永久磁化部分相同的一侧上。
38.如权利要求27所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一永久磁化的部分设置在膜片中;以及
用于施加磁场的装置置于第一槽上与永久磁化部分相对的一侧上。
39.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一和第二 微型制造槽相互横越,但不相交。
40.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一和第二 微型制造槽相互间呈一角度设置,但相互不接触。
41.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一和第二 微型制造槽两者穿过弹性体结构。
42.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第二微型制 造槽穿过弹性体结构,而第一微型制造槽沿弹性体结构表面通过。
43.如权利要求42所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,它还包括:
一平坦的基底,它沿第一微型制造槽通过的方向相邻于弹性体结构的表面定 位。
44.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,它还包括:
第二与第三凹部,它们分别通过第二与第三膜片与第一槽分离开,它们可偏 转入第一槽内。
45.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,它还包括:
第三与第四槽,它们平行于第二槽设置,其中第二、第三与第四槽分别通过 第一、第二和第三膜片与第一槽分隔开,它们可偏转入第一槽内。
46.如权利要求45所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当第二、第 三和第四槽分别被施压时,第一、第二和第三膜片可偏转入第一槽内。
47.如权利要求44所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当膜片被静 电致动时,第一、第二和第三膜片可偏转入第一槽中。
48.如权利要求47所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
第一、第二和第三传导部分设置在相应的膜片中;以及
第四、第五和第六传导部分分别相对于第一、第二和第三传导部分设置,这 样第一和第四、第二和第五以及第三和第六传导部分设置在第一槽的相对两侧上。
49.如权利要求44所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当膜片被磁 性致动时,这些膜片可偏转入第一槽中。
50.如权利要求49所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
第一、第二和第三磁性部分设置在相应的第一、第二和第三膜片中;以及
用于施加磁场的装置设置在第一槽中与磁性部分相对的一侧上。
51.如权利要求49所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
第一、第二和第三永久磁化部分设置在相应的第一、第二和第三膜片中;以 及
用于施加磁场的装置设置在第一槽中与磁性部分相同的一侧上。
52.如权利要求49所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
第一、第二和第三永久磁化部分设置在相应的第一、第二和第三膜片中;以 及
用于施加磁场的装置设置在第一槽中与磁性部分相对的一侧上。
53.如权利要求19所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,还包括与第 一槽平行的一第三微型制造槽,第二槽具有沿它的长度设置的宽的部分和窄的部 分,其中宽的部分相邻于第一槽设置而窄的部分相邻于第三槽设置。
54.如权利要求53所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
对第二槽施压使得膜片将第二槽与第一槽分离,并偏转入第一槽内,但不会 使膜片将第三槽与第二槽分离而偏转入第三槽内。
55.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,膜片具有一 弯曲的底面,这样第一槽的顶部是弯曲的。
56.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,膜片的底面 与第一槽的顶面其中至少一个带有突部。
57.一种微型制造的弹性体结构,它包括:
一弹性体块;
一第一槽和一第二槽,它们由弹性体结构的一分离部分分开;以及
一微型制造的凹部,它位于弹性体块内且与分离部分相邻,这样分离部分可 以被致动以偏转入微型制造的凹部。
58.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,微型制造的 凹部受到一减小的压力,该压力使得分隔部分偏转入微型制造的凹部。
59.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当分隔部分 被静电致动时,分隔部分可偏转入微型制造的凹部。
60.如权利要求59所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一第一传导部分设置在分隔部分中;以及
一第二传导部分设置在微型制造的凹部中与第一传导部分相对的一侧上。
61.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,当分隔部分 被磁性致动时,分隔部分可偏转入第一槽中。
62.如权利要求61所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一第一磁性部分设置在分隔部分中;以及
用于产生磁场的装置设置在微型制造的凹部中与第一磁性部分相对的一侧 上。
63.如权利要求61所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一第一永久磁化部分设置在分隔部分中;以及
用于产生磁场的装置设置在微型制造的凹部中与第一永久磁化部分相对的一 侧上。
64.如权利要求61所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
一第一永久磁化部分设置在分隔部分中;以及
用于产生磁场的装置设置在微型制造的凹部中与第一永久磁化部分相同的一 侧上。
65.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,还包括一平 面的基底,它沿第一和第二槽通过方向、相邻于弹性体结构的表面定位。
66.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,分隔部分的 偏转在第一和第二槽之间打开一通道。
67.如权利要求57所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,第一凹部具 有与该部分相邻设置的一宽段。
68.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,弹性体结构 包括从组群中选择的材料,该组群包括:
聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯)、 聚氨酯以及硅树脂。
69.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,弹性体结构 包括从组群中选择的材料,该组群包括:
聚(二(含氟烷氧基)膦腈)(PNF,Eypel-F),聚(碳硼烷-硅氧烷)(Dexsil), 聚(丙烯腈-丁二烯)(丁腈橡胶),聚(1-丁烯),聚(三氟氯乙烯-二氟乙烯) 共聚物(Kel-F),聚(乙基乙烯基醚),聚(二氟乙烯),聚(二氟乙烯-六氟丙烯) 共聚物(Viton)。
70.如权利要求1所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,弹性体结构 包括从组群中选择的材料,该组群包括:
聚氯乙烯(PVC),聚砜,聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚四氟乙 烯(特氟隆)的弹性体成分。
71.如权利要求68所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,弹性体结构 包括从组群中选择的材料,该组群包括:
如通用电气公司生产的RTV615、陶氏化学公司生产的Sylgard 182,184或186 之类的聚二甲基硅氧烷(PDMS),以及由UCB Chemicals公司生产的Ebecryl 270或 Irr 245之类的脂肪族类的二丙烯酸尿烷酯。
72.如权利要求43所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,平面的基底 为玻璃。
73.如权利要求43所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于,平面的基底 为弹性体材料。
74.如权利要求18所述的微型制造的弹性体结构,其特征在于:
第一微型槽为T型,以及包括与第一分支与第二分支流体连通的主干;
弹性体薄片覆盖并偏转入第一分支;以及
弹性结构还包括覆盖在第二分支上的一第二凹部,这样当膜片被致动时,第 二弹性体膜片可偏转入第二分支,从而通过分别致动第二弹性体膜片与第一弹性体 膜片,进入主干的流体流可以被引导入第一分支与第二分支的其中一分支中。
致动的方法
75.一种致动弹性体结构的方法,它包括:
设置一个其中形成有第一和第二微型制造的凹部的弹性体块,第一和第二微 型制造的凹部由弹性体块的一膜片部分分隔开,该膜片部分响应一致动力可偏转入 第一和第二凹部的其中之一;以及
对膜片部分施加一致动力,这样膜片部分被偏转入第一和第二凹部的其中之 一。
76.如权利要求75所述的方法,其特征在于,施加致动力的步骤包括对第二 微型制造的凹部施加一压力,使膜片部分偏转入第一微型制造的凹部。
77.如权利要求75所述的方法,其特征在于,施加致动力的步骤包括施加一 电场,从而将膜片的传导部分吸引入第一微型制造的凹部。
78.如权利要求75所述的方法,其特征在于,施加致动力的步骤包括施加一 磁场,从而将膜片的磁性极化的部分吸引入第一微型制造的凹部。
79.如权利要求75所述的方法,其特征在于,施加致动力的步骤包括施加一 磁场,从而将膜片的永久磁化部分吸引入第一微型制造的凹部。
80.如权利要求75所述的方法,其特征在于,施加致动力的步骤包括施加一 磁场,从而将膜片的永久磁化部分进入第一微型制造的凹部。
81.一种控制流体流或气流通过一弹性体结构的方法,它包括:
设置一具有一个第一微型制造槽和一个第一微型制造的凹部的一个弹性体结 构,第一微型制造槽和第一微型制造的凹部通过一可偏转入第一槽的膜片分隔开;
使一流体流或气流通过第一槽;以及
使膜片偏转入第一槽。
82.如权利要求81所述的方法,其特征在于,通过在微型制造的凹部内增压, 膜片被偏转入第一槽中。
83.如权利要求82所述的方法,其特征在于,通过在第一微型制造的凹部中 发生一化学反应,在第一微型制造的凹部中增加压力。
84.如权利要求83所述的方法,其特征在于,化学反应为电解。
85.如权利要求82所述的方法,其特征在于,增加的压力是由一风箱结构的 静电致动引起的,该风箱结构与第一微型制造的凹部是可流体连通的。
86.如权利要求83所述的方法,其特征在于,增加的压力是由一风箱结构的 磁性致动引起的,该风箱结构与第一微型制造的凹部是可流体连通的。
87.如权利要求82所述的方法,其特征在于,在第一微型制造的凹部中的增 加的压力是由于在第一微型制造的凹部内的动电流引起的。
88.如权利要求81所述的方法,其特征在于,还包括:
在膜片内设置一第一传导部分;
设置一第二传导部分,这样第一和第二传导部分置于第一槽的相对的两侧上; 以及
对第一和第二传导部分施加一电压,这样通过一吸引的静电力,膜片被偏转 入第一槽中。
89.如权利要求81所述的方法,它还包括:
在膜片内设置一可磁性极化的部分;以及
施加一穿过第一槽的磁场,这样由于吸引的磁力膜片被偏转入第一槽内。
90.如权利要求81所述的方法,它还包括:
在膜片内设置一永久磁化的部分;以及
施加一穿过第一槽的磁场,这样由于吸引的磁力膜片被偏转入第一槽内。
91.如权利要求81所述的方法,它还包括:
在膜片内设置一永久磁化的部分;以及
施加一磁场,这样由于排斥的磁力膜片被偏转入第一槽内。
92.一种控制液体流或气流通过一弹性体结构的方法,它包括:
设置一弹性体块,该弹性体块具有第一、第二和第三微型制造的凹部,以及 弹性体具有在其中穿过的一第一微型制造的槽,第一、第二和第三微型制造的凹部 通过相应的可偏转入第一槽的第一、第二和第三膜片与第一槽分隔开;以及
使第一、第二和第三膜片以重复的顺序偏转入第一槽中,以蠕动地泵送一流 体流通过第一槽。
93.如权利要求92所述的方法,其特征在于,通过在第一、第二和第三槽内 增压使第一、第二和第三膜片偏转入第一槽内。
94.如权利要求92所述的方法,其特征在于,它还包括:
在相应的第一、第二和第三膜片内设置第一、第二和第三传导部分;
相对于相应的第一、第二和第三传导部分设置一第四、第五和第六传导部分, 这样第一和第四、第二和第五以及第三和第六传导部分置于第一槽的相对的两侧 上;以及
对第一和第四、第二和第五以及第三和第六传导部分以重复的顺序施加电压, 这样通过一吸引的静电力,膜片被偏转入第一槽中。
95.如权利要求92所述的方法,它还包括:
分别在第一、第二和第三膜片中设置第一、第二和第三可磁性极化部分;
以重复的顺序对第一、第二和第三可磁性极化部分施加一磁场,这样通过一 吸引的磁力第一、和二和第三膜片被偏转入第一槽中。
96.如权利要求92所述的方法,它还包括:
分别在第一、第二和第三膜片中设置第一、第二和第三永久磁化部分;
以重复的顺序对第一、第二和第三永久磁化部分施加一磁场,这样通过一吸 引的磁力第一、和二和第三膜片被偏转入第一槽中。
97.如权利要求92所述的方法,它还包括:
分别在第一、第二和第三膜片中设置第一、第二和第三永久磁化部分;
以重复的顺序对第一、第二和第三永久磁化部分施加一磁场,这样通过一排 斥的磁力第一、和二和第三膜片被偏转入第一槽中。
98.一种控制流体流或气流通过弹性体的方法,它包括:
设置一弹性体块,它具有一第一微型构造的槽和一第二微型构造的槽,它们 由一分隔部分分隔开,第一微型制造的凹部与分隔部分相邻;
使液体流或气流通过第一槽;以及
使分隔部分偏转入第一微型制造的凹部,由此在第一微型制造的槽和第二微 型制造的槽之间产生一通道。
99.如权利要求98所述的方法,其特征在于,通过在第一微型制造的凹部内 减少压力,分隔部分被偏转入第一微型制造的凹部。
100.如权利要求98所述的方法,其特征在于,它还包括:
在分隔部分内设置一第一传导部分;
设置一第二传导部分,这样第一和第二传导部分被置于第一微型制造的凹部 的相对的两侧上;以及
对第一和第二传导部分施加一电压,使得分隔部分由一吸引的静电力偏转入 第一微型制造的凹部。
101.如权利要求98所述的方法,它包括:
在分隔部分内设置一可磁性极化部分;以及
施加一穿过第一微型制造的凹部的磁场,这样由于一吸引的磁力,膜片被偏 转入第一微型制造的凹部中。
102.如权利要求98所述的方法,它还包括:
在分隔部分内设置一永久磁化的部分;以及
施加一穿过第一微型制造的凹部的磁场,使得通过一吸引的磁力,膜片被偏 转入第一微型制造的凹部内。
103.如权利要求98所述的方法,它还包括:
在膜片内设置一永久磁化的部分;以及
施加一磁场,使得通过一排斥的磁力,膜片被偏转入第一微型制造的凹部内。
104.一种致动微型制造的弹性体结构的方法,它包括:
设置具有第一和第二微型制造的传导部分的一弹性体结构,当对两微型制造 的传导部分施加一电荷时,第一和第二微型制造的传导部分的至少其中一部分可偏 转;以及
对两微型制造的传导部分施加一电压,由此在它们之间产生一吸引力,使得 至少一个微型制造部分偏转。
105.一种致动微型制造的弹性体结构的方法,它包括:
设置一弹性体,它具有当施加磁场时可偏转的磁性部分;以及
对磁性部分施加一磁场,由此在磁性部分上产生一致动力,使得磁性部分偏 转。
106.使用一可偏转的膜片以在弹性体结构的微型制造的槽中控制流体流。
107.使用若干弹性体层以制造含有一微型制造的活动部分的一微型制造的弹 性体装置。
108.使用一种弹性体材料以制造一微型制造的阀或泵。
109.微型制造一弹性体结构的方法,它包括:
微型制造一第一弹性体层;
微型制造一第二弹性体层;
将第二弹性体层定位在第一弹性体层的顶上;以及
将第二弹性体层的底面粘合至第一弹性体层的顶面上。
110.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层通过复 制模塑而被微型制造。
111.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层通过激 光切削而被微型制造。
112.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层通过化 学蚀刻法而被微型制造。
113.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层通过牺 牲层的方法而被微型制造。
114.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层通过注 模而被微型制造。
115.如权利要求109所述的方法,其特征在于:
第一弹性体层在一第一微型切削加工的模具上制造,该模具具有至少一个凸 起的突部,该突部形成了第一弹性体层的底部中的至少一个凹部;以及
第二弹性体层在一第二微型切削加工的模具上制造,该模具具有至少一个凸 起的突部,该突部形成了第二弹性体层的底部中的至少一个凹部。
116.如权利要求115所述的方法,其特征在于,第一微型切削加工的模具具 有至少一个第一凸起的突部,它在第一弹性体层的底面中形成至少一个第一槽。
117.如权利要求116所述的方法,其特征在于,第二微型切削加工的模具具 有至少一个第二凸起的突部,它在第二弹性体层的底面中形成至少一个第二槽。
118.如权利要求117所述的方法,其特征在于,第二弹性体层的底面粘合在 第一弹性体层的顶面上,使得至少一个第二槽被包围在第一与第二弹性体层之间。
119.如权利要求116所述的方法,其特征在于,它还包括将第一弹性体层定 位在平面的基底的顶上,这样至少一个第一槽被包围在第一弹性体层和平面基底之 间。
120.如权利要求116所述的方法,其特征在于,在第一层的底部与平面的基 底的顶部之间形成一气密封。
121.如权利要求116所述的方法,其特征在于,它还包括:
微型制造一第n层的弹性体层;以及
将第(n-1)层的弹性体层的底面粘合到第n层的弹性体层的一顶面上。
122.如权利要求109所述的方法,其特征在于,它还包括:
连续地增加更多的弹性体层,由此每一层通过下列方法添加:
微型制造一顺序的弹性体层;以及
将顺序的弹性体层的底面粘合到弹性体结构的顶面上。
123.一种微型制造一弹性体结构的方法,它包括:
设置一第一微型制造的弹性体结构;
设置一第二微型制造的弹性体结构;以及
将第一弹性体结构的表面粘合到第二弹性体结构的表面上。
124.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层的至少其中一层由从组群中选择的材料制造,该组群包括:
聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯乙烯、聚异丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙 烯)、聚氨酯以及硅树脂的弹性体的成分。
125.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层的至少其中一层由从组群中选择的材料制造,该组群包括:
聚(二(含氟烷氧基)膦腈)(PNF,Eypel-F),聚(碳硼烷-硅氧烷)(Dexsil), 聚(丙烯腈-丁二烯)(丁腈橡胶),聚(1-丁烯),聚(三氟氯乙烯-二氟乙烯) 共聚物(Kel-F),聚(乙基乙烯基醚),聚(二氟乙烯),聚(二氟乙烯-六氟丙烯) 共聚物(Viton)。
126.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层的至少其中一层由从组群中选择的成分制造,该组群包括:
聚氯乙烯(PVC),聚砜,聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚四氟乙 烯(特氟隆)。
127.如权利要求124所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层的至少其中一层由从组群中选择的材料制造,该组群包括如通用电气公司生产的 RTV615、陶氏化学公司生产的Sylgard 182,184或186之类的聚二甲基硅氧烷 (PDMS),以及由UCB Chemicals公司生产的Ebecryl 270或Irr 245之类的脂肪族 类的二丙烯酸尿烷酯。
128.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一弹性体层具有过量的第 一化学物质,而第二弹性体层具有过量的第二化学物质。
129.如权利要求128所述的方法,其特征在于,诸弹性体层包括诸热固弹性 体,通过加热至第一和第二弹性体层至少其中之一的弹性/塑料转化温度以上,使 这些层粘结在一起。
130.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包含不 同的分子。
131.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包括不 同的聚合体链。
132.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包括在同 样类型的聚合链上的不同的侧基。
133.如权利要求128所述的方法,其特征在于,当至少一种化学物质被激活 时,第一化学物质形成与第二化学物质的粘合。
134.如权利要求133所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过光被 激活。
135.如权利要求133所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过热被 激活。
136.如权利要求133所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过添加 一第三化学物质而激活。
137.如权利要求136所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过弹性 体结构扩散。
138.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由不同 的弹性体材料形成。
139.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层起初由 同种弹性体材料构成,而附加的弹性体材料被添加到第一和第二层之一中。
140.如权利要求128所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由相同 成分材料构成,但混合在一起的成分材料中的比率不同。
141.如权利要求140所述的方法,其特征在于,每一层弹性体层两部分硅树 脂制成。
142.如权利要求141所述的方法,其特征在于,每一层弹性体层包括一附加 固化弹性体系统。
143.如权利要求141所述的方法,其特征在于,硅树脂包括两种不同的反应 的基团以及一种催化剂。
144.如权利要求143所述的方法,其特征在于,第一反应基团包括氢化硅部 分,第二反应基团包括乙烯基部分,以及催化剂包括铂。
145.如权利要求144所述的方法,其特征在于,每一层弹性体层包括G.E. RTV615。
146.如权利要求145所述的方法,其特征在于,第一弹性体层以小于10A∶ 1B的比率混合(Si-H基团过量),而第二弹性体层以大于10A∶1B的比率混合(乙 烯基团过量)。
147.如权利要求146所述的方法,其特征在于,第一弹性体层具有的比率为 3A∶1B(Si-H基团过量),而第二弹性体层具有的比率为30A∶1B(乙烯基团过量)。
148.如权利要求128所述的方法,其特征在于,每一层弹性体层由聚氨酯制 成。
149.如权利要求148所述的方法,其特征在于,聚氨酯包括由UCB Chemicals 公司生产的Ebecryl 270或Irr 245。
150.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由相同 的材料制成。
151.如权利要求150所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层的其中 至少一层是不完全固化的。
152.如权利要求150所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层两者匀 包括一交联剂。
153.如权利要求152所述的方法,其特征在于,交联剂为由光激活的。
154.如权利要求152所述的方法,其特征在于,交联剂为由热激活的。
155.如权利要求152所述的方法,其特征在于,交联剂为由附加的化学物质 激活的。
156.如权利要求150述的方法,其特征在于,弹性体层包括热固的弹性体, 通过将它们加热到超过第一和第二弹性体层其中至少一层的弹性的/塑料的换化温 度以上的温度使热固的弹性体粘合在一起。
157.如权利要求109所述的方法,其特征在于,第一和第二层通过一层粘合 剂粘合在一起。
158.如权利要求157所述的方法,其特征在于,粘合剂包括未固化的弹性体, 它固化后可将第一和第二弹性体层粘合在一起。
159.如权利要求158所述的方法,其特征在于,粘合剂包括如第一或第二弹 性体层其中至少一层相同的材料。
160.如权利要求109所述的方法,其特征在于,至少一层弹性体层还包括一 传导部分。
161.如权利要求160所述的方法,其特征在于,传导部分由金属附着制成。
162.如权利要求161所述的方法,其特征在于,传导部分通过喷镀制成。
163.如权利要求161所述的方法,其特征在于,传导部分通过蒸发作用制成。
164.如权利要求161所述的方法,其特征在于,传导部分通过电镀法制成。
165.如权利要求161所述的方法,其特征在于,传导部分通过化学镀法制成。
166.如权利要求161所述的方法,其特征在于,传导部分通过化学外延法制 成。
167.如权利要求160所述的方法,其特征在于,传导部分通过碳附着法制成。
168.如权利要求167所述的方法,其特征在于,传导部分通过机械地摩擦材 料直接地使它沾到弹性体层上而制造。
169.如权利要求167所述的方法,其特征在于,传导部分通过将弹性体暴露 在对碳微粒具有溶解能力的溶液中而制成。
170.如权利要求169所述的方法,其特征在于,溶液使弹性体膨胀。
171.如权利要求169所述的方法,其特征在于,弹性体包括硅树脂,而溶液 包括氯化的溶液。
172.如权利要求167所述的方法,其特征在于,传导部分通过静电附着制成。
173.如权利要求167所述的方法,其特征在于,传导部分通过产生碳的化学 反应而制成。
174.如权利要求160所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤制成, 它们是:
在一平坦的基底上形成一金属薄层的图案;
将弹性体层粘附到平坦的基底上;以及
从平坦的基底上剥离弹性体层,这样金属就从平坦的基底上脱离而粘到弹性 体层上。
175.如权利要求174所述的方法,其特征在于,金属到平坦的基底上的粘着 力比金属到弹性体上的粘着力弱。
176.如权利要求160所述的方法,其特征在于,传导部分成形为一定的图案。
177.如权利要求176所述的方法,其特征在于,通过在传导部分的一表面掩 盖一层形成一定图案的牺牲材料,而使传导部分形成一定的图案。
178.如权利要求176所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定图案,它们是:
在一层弹性体层上附着一层牺牲的材料,
使这层牺牲的材料形成一定的图案,
在其上附着一薄包覆层的传导材料,以及
去除牺牲的材料。
179.如权利要求176所述的方法,其特征在于,通过在表面上掩盖一层荫罩, 从而使传导部分形成一定的图案。
180.如权利要求179所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定的图案,它们是:
将荫罩相邻于一弹性体层定位;
通过在荫罩中的若干孔附着一薄包覆层的传导材料;以及
去除荫罩。
181.如权利要求176所述的方法,其特征在于,传导部分通过蚀刻形成一定 的图案。
182.如权利要求181所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定的图案,它们是:
在一层弹性体层上附着一层掩盖层;
使掩盖层形成一定的图案;
通过掩盖层中的若干孔蚀刻传导部分;
去除掩盖层。
183.如权利要求160所述的方法,其特征在于,通过将弹性体层中搀杂传导 材料而生产传导部分。
184.如权利要求183所述的方法,其特征在于,传导材料包括金属。
185.如权利要求183所述的方法,其特征在于,传导材料包括碳。
186.如权利要求183所述的方法,其特征在于,传导材料包括传导聚合物。
187.如权利要求183所述的方法,其特征在于,所使用的弹性体其本身是传 导的。
188.如权利要求160所述的方法,其特征在于,还包括将微型制造的弹性体 结构密封到平坦的基底上,平坦的基底包括至少一传导部分。
189.如权利要求188所述的方法,其特征在于,平坦的基底覆盖一层绝缘层。
190.如权利要求54所述的方法,其特征在于,第一或第二弹性体层其中至 少一层包括一磁性部分。
191.如权利要求190所述的方法,其特征在于,磁性部分由一种固有磁性的 弹性体构成。
192.如权利要求190所述的方法,其特征在于,磁性部分通过在弹性体中搀 杂磁性材料构成。
193.如权利要求192所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物是一种可磁性极 化的材料。
194.如权利要求193所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物为细小的铁的微 粒。
195.如权利要求192所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物为永久磁化的材 料。
196.如权利要求195所述的方法,其特征在于,永久磁化材料为通过暴露在 强磁场中而磁化的NdFeB或SmCo。
197.如权利要求190所述的方法,其特征在于,磁性材料件比与弹性体结 合的磁性部分的尺寸相对较大。
198.如权利要求197所述的方法,其特征在于,磁性材料为一种可磁性极化 的材料。
199.如权利要求198所述的方法,其特征在于,磁性材料为铁。
200.如权利要求197所述的方法,其特征在于,磁性材料为永久磁化的。
201.如权利要求200所述的方法,其特征在于,永久磁化材料为通过暴露在 强磁场中而磁化的NdFeB或SmCo。
202.如权利要求190所述的方法,其特征在于,它还包括设置一能产生一可 换向的磁场的结构,它相邻于所述磁性部分安置,这样所述磁场对弹性体结构的作 用使得在磁性部分上产生一个力。
203.如权利要求202所述的方法,其特征在于,产生磁场的结构为一电磁线 圈。
204.如权利要求202所述的方法,其特征在于,产生磁场的结构为其上至少 设置有一个微型制造的电磁线圈的基底。
205.一种微型制造弹性体结构的方法,它包括:
在基底上形成一第一弹性体层;
使第一弹性体层固化;
在第一弹性体层上形成一定的图案的第一牺牲的层;
在第二弹性体层上形成第一弹性体层,由此第一形成一定图案的牺牲的层密 封在第一和第二弹性体层之间;
使第二弹性体层固化;以及
将第一形成一定图案的牺牲层可选择地移动到第一弹性体层和第二弹性体 层,由此在弹性体的第一和第二层之间形成至少一第一凹部。
206.如权利要求205所述的方法,其特征在于,它还包括在形成第一弹性体 层之前,在基底上形成一定图案的一第二牺牲层,这样在去除第一形成一定图案的 牺牲层以沿第一弹性体层的底部形成至少一凹部的过程中,去除第二形成一定图案 的牺牲层。
207.如权利要求205所述的方法,其特征在于,它还包括:
在第二弹性体层上形成一定图案的一第二牺牲层;
在第二弹性体层上形成一第三弹性体层,由此第二形成一定图案的牺牲层密 封在第二和第三弹性体层之间;以及
使第三弹性体层固化,这样在去除第一形成一定图案的牺牲层的过程中,第 二形成一定图案的牺牲层被去除,从而在第二和第三弹性体层之间形成一凹部。
208.如权利要求205所述的方法,其特征在于,它还包括:
在第n层弹性体层上形成一定图案的第(n-1)层的牺牲层;
在第(n-1)层形成一定图案的牺牲层上形成一第(n+1)层弹性体层;以 及
将第(n-1)层弹性体层的底面粘合到第n层弹性体层的顶面上,由此使第 (n-1)层形成一定图案的牺牲层密封在第n层和第(n+1)弹性体层之间;以及
使第(n+1)弹性体层固化,这样在第一层形成一定图案的牺牲层去除的过程 中,第(n-1)层形成一定图案的牺牲层被去除,从而在第n层和第(n+1)弹性 体层之间形成一凹部。
209.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一层形成一定图案的牺牲 层包括光致抗蚀剂。
210.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层其中至 少一层通过旋涂法成形。
211.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一凹部包括一槽。
212.如权利要求205所述的方法,其特征在于,它还包括将第一弹性体层与 第二弹性体层粘合。
213.如权利要求207所述的方法,其特征在于,它还包括:
将第一弹性体层与第二弹性体层粘合;以及
将第三弹性体层与第二弹性体层粘合。
214.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一弹性体层与第二弹性体 层其中至少一层由从组群中选择的材料形成,该组群包括:
聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯), 聚氨酯以及硅树脂。
215.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层其中至少一层由从组群中选择的材料形成,该组群包括:
聚(二(含氟烷氧基)膦腈)(PNF,Eypel-F),聚(碳硼烷-硅氧烷)(Dexsil), 聚(丙烯腈-丁二烯)(丁腈橡胶),聚(1-丁烯),聚(三氟氯乙烯-二氟乙烯) 共聚物(Kel-F),聚(乙基乙烯基醚),聚(二氟乙烯),聚(二氟乙烯-六氟丙烯) 共聚物(Viton)。
216.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 结构其中至少一层由从组群中选择的材料制成,该组群包括:
聚氯乙烯(PVC),聚砜,聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚四氟乙 烯(特氟隆)的弹性体成分。
217.如权利要求214所述的方法,其特征在于,弹性体结构由从组群中选择 的材料制成,该组群包括:
如通用电气公司生产的RTV615、陶氏化学公司生产的Sylgard 182,184或186 之类的聚二甲基硅氧烷(PDMS),以及由UCB Chemicals公司生产的Ebecryl 270或 Irr 245之类的脂肪族类的二丙烯酸尿烷酯。
218.如权利要求212所述的方法,其特征在于,粘合通过未固化的弹性体的 聚合物链与固化的弹性体的聚合物链的相互渗透与反应而发生。
219.如权利要求212所述的方法,其特征在于,第一弹性体层具有过量的第 一化学物质,而第二弹性体层具有过量的第二化学物质。
220.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包括不 同的分子。
221.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包括不 同的聚合物链。
222.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二化学物质包括同 一类型的聚合物链上的不同侧基。
223.如权利要求219所述的方法,其特征在于,当至少一种化学物质被激活 时,第一和第二化学物质与第二化学物质形成粘合。
224.如权利要求223所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质由光激活。
225.如权利要求223所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质由热激活。
226.如权利要求223所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过附加 第三种化学物质被激活。
227.如权利要求226所述的方法,其特征在于,至少一种化学物质通过弹性 体结构扩散。
228.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由不同 的弹性体层材料形成。
229.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层最初由 相同的弹性体层材料构成,而一种附加的弹性体材料被添加到第一和第二层其中之 一。
230.如权利要求219所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由相同 的成分的材料构成,但成分材料混合在一起的比率不同。
231.如权利要求230所述的方法,其特征在于,各弹性体层由二部分硅树脂 制成。
232.如权利要求231所述的方法,其特征在于,各弹性体层包括一附加固化 弹性体系统。
233.如权利要求231所述的方法,其特征在于,硅树脂包括两种不同的反应 基以及一种催化剂。
234.如权利要求233所述的方法,其特征在于,第一反应基包括氢化硅部分, 第二反应基包括乙烯基部分,而催化剂包括铂。
235.如权利要求234所述的方法,其特征在于,各弹性体层包括G.E.RTV 615。
236.如权利要求235所述的方法,其特征在于,第一弹性体层以小于10A∶ 1B的比率(Si-H基团过量)混合,而第二弹性体层以大于10A∶1B的比率(乙烯 基过量)混合。
237.如权利要求229所述的方法,其特征在于,第一弹性体层具有的比率为 3A∶1B(Si-H基团过量),而第二弹性体层具有的比率为30A∶1B(乙烯基过量)。
238.如权利要求219所述的方法,其特征在于,每一层弹性体层由聚氨酯制 成。
239.如权利要求238所述的方法,其特征在于,聚氨酯包括由UCB Chemicals 公司生产的Ebecryl 270或Irr 245。
240.如权利要求212所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层由相同 的材料制成。
241.如权利要求240所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层的其中 至少一层是不完全固化的。
242.如权利要求240所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层两者匀 包括一交联剂。
243.如权利要求242所述的方法,其特征在于,交联剂为由光激活。
244.如权利要求242所述的方法,其特征在于,交联剂为由热激活。
245.如权利要求242所述的方法,其特征在于,交联剂为由附加的化学物质 激活。
246.如权利要求212述的方法,其特征在于,弹性体层包括热固的弹性体, 通过将它们加热到超过第一和第二弹性体层其中至少一层的弹性的/塑料的换化温 度以上的温度使热固的弹性体粘合在一起。
247.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一弹性体层和第二弹性体 层其中至少一层还包括一传导部分。
248.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分由金属附着制成。
249.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分通过喷镀制成。
250.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分通过蒸发作用制成。
251.如权利要求248所述的方法,其特征在于,传导部分通过电镀法制成。
252.如权利要求248所述的方法,其特征在于,传导部分通过化学镀法制成。
253.如权利要求248所述的方法,其特征在于,传导部分通过化学外延法制 成。
254.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分通过碳附着法制成。
255.如权利要求254所述的方法,其特征在于,传导部分通过直接地机械地 摩擦材料使其沾到弹性体层上而制造。
256.如权利要求254所述的方法,其特征在于,传导部分通过将弹性体层暴 露在对碳微粒具有溶解能力的溶液中而制成。
257.如权利要求256所述的方法,其特征在于,溶液使弹性体膨胀。
258.如权利要求256所述的方法,其特征在于,弹性体包括硅树脂,而溶液 包括含氯的溶液。
259.如权利要求254所述的方法,其特征在于,传导部分通过静电附着制成。
260.如权利要求254所述的方法,其特征在于,传导部分通过产生碳的化学 反应而制成。
261.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤制成, 它们是:
在一平坦的基底上形成一金属薄层的图案;
将弹性体层粘附到平坦的基底上;以及
从平坦的基底上剥离弹性体层,这样金属就从平坦的基底上脱离而粘到弹性 体层上。
262.如权利要求261所述的方法,其特征在于,金属到平坦的基底上的粘着 力比金属到弹性体上的粘着力弱。
263.如权利要求247所述的方法,其特征在于,传导部分成形为一定的图案。
264.如权利要求262所述的方法,其特征在于,通过在传导部分的一表面掩 盖一层形成一定图案的牺牲材料,而使传导部分形成一定的图案。
265.如权利要求262所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定图案,它们是:
在一层弹性体层上附着一层牺牲的材料,
使这层牺牲的材料形成一定的图案,
在其上附着一薄包覆层的传导材料,以及
去除牺牲的材料。
266.如权利要求262所述的方法,其特征在于,通过在表面上掩盖一层荫罩, 从而使传导部分形成一定的图案。
267.如权利要求266所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定的图案,它们是:
将荫罩相邻于一弹性体层定位;
通过在荫罩中的若干孔附着一薄包覆层的传导材料;以及
去除荫罩。
268.如权利要求262所述的方法,其特征在于,传导部分通过蚀刻形成一定 的图案。
269.如权利要求268所述的方法,其特征在于,传导部分通过以下步骤形成 一定的图案,它们是:
在一层弹性体层上附着一层掩盖层;
使掩盖层形成一定的图案;
通过掩盖层中的若干孔蚀刻传导部分;
去除掩盖层。
270.如权利要求250所述的方法,其特征在于,通过将弹性体中搀杂传导材 料而产生传导部分。
271.如权利要求270所述的方法,其特征在于,传导材料包括金属。
272.如权利要求270所述的方法,其特征在于,传导材料包括碳。
273.如权利要求270所述的方法,其特征在于,传导材料包括传导聚合物。
274.如权利要求269所述的方法,其特征在于,弹性体其本身是传导的。
275.如权利要求247所述的方法,其特征在于,还包括将微型制造的弹性体 结构密封到平坦的基底上,平坦的基底包括至少一传导部分。
276.如权利要求275所述的方法,其特征在于,平坦的基底覆盖一层绝缘层。
277.如权利要求205所述的方法,其特征在于,第一或第二弹性体层其中至 少一层包括一磁性部分。
278.如权利要求277所述的方法,其特征在于,磁性部分由一种固有的磁性 的弹性体构成。
279.如权利要求277所述的方法,其特征在于,磁性部分通过在弹性体中搀 杂磁性材料构成。
280.如权利要求279所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物是一种可磁性极 化的材料。
281.如权利要求280所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物为细小的铁的微 粒。
282.如权利要求279所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物被永久磁化。
283.如权利要求282所述的方法,其特征在于,磁性搀杂物为通过暴露在强 磁场中而磁化的NdFeB或SmCo。
284.如权利要求277所述的方法,其特征在于, 磁性材料件相比与弹性体 结合的磁性部分的尺寸相对较大。
285.如权利要求284所述的方法,其特征在于,磁性材料为一种可磁性极化 的材料。
286.如权利要求285所述的方法,其特征在于,磁性材料为铁。
287.如权利要求284所述的方法,其特征在于,磁性材料被永久磁化。
288.如权利要求287所述的方法,其特征在于,永久磁化材料为通过暴露在 强磁场中而磁化的NdFeB或SmCo。
289.如权利要求286所述的方法,其特征在于,它还包括设置一能产生一可 换向的磁场的结构,它相邻于所述磁性部分安置,这样所述磁场对弹性体结构的作 用使得在磁性部分上产生一个力。
290.如权利要求286所述的方法,其特征在于,产生磁场的结构为一电磁线 圈。
291.如权利要求286所述的方法,其特征在于,产生磁场的结构为其上至少 设置有一个微型制造的电磁线圈的基底。
292.一种制造弹性体结构的方法,它包括:
在一第一微型切削加工的模具的顶上形成一第一弹性体层,具有一第一凸起 的突部的第一微型切削加工的模具形成沿第一弹性体层的底面延伸的第一凹部;
在一第二微型切削加工的模具的顶上形成一第二弹性体层,具有一第二凸起 的突部的第二微型切削加工的模具形成沿第二弹性体层的底面延伸的第二凹部;
将第二弹性体层的底面粘合到第一弹性体层的顶面上,这样一控制槽形成在 第一和第二弹性体层之间的第二凹部中;以及
将第一弹性体层定位在平面的基底的顶上,这样一流动槽形成在第一弹性体 层和平面的基底之间的第一凹部内。
293.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层均被浇 铸在微型切削加工的模具的顶上。
294.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第一和第二凹部完全横过第 一和第二弹性体层的各自的底面延伸。
295.如权利要求292所述的方法,其特征在于,形成在第一和第二弹性体层 上的凹部具有的宽度与深度比为10∶1。
296.如权利要求295所述的方法,其特征在于,凹部具有的宽度约为100微 米,而深度约为10微米。
297.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第一弹性体层具有的厚度约 为40微米。
298.如权利要求292所述的方法,其特征在于,置于第一和第二凹部之间的 第一弹性体层的部分具有的厚度约为30微米。
299.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第二弹性体层具有的厚度约 为4毫米。
300.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第二弹性体层的厚度约为第 一弹性体层的厚度的100倍。
301.如权利要求412所述的方法,其特征在于,将第二弹性体层的底面粘合 到第一弹性体层的顶面上包括一软平版印刷的加工。
302.如权利要求412所述的方法,其特征在于,通过软平版印刷的加工将第 二弹性体层的底面粘合到第一弹性体层的顶面上包括两种成分附加固化的粘合。
303.如权利要求412所述的方法,其特征在于,第二弹性体层的底面与第一 弹性体层的顶面其中一者具有过量的粘合成分,而另一者具有的粘合成分不足。
304.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层为从材 料组群中选择的,该组群包括:硅橡胶、聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异 丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯),聚氨酯以及硅树脂。
305.如权利要求304所述的方法,其特征在于,第一和第二层为从材料组群 中选择的,该组群包括:聚氯乙烯(PVC),聚砜,聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 或聚四氟乙烯(特氟隆)。
306.如权利要求304所述的方法,其特征在于,第一和第二层为从材料组群 中选择的,该组群包括:通用电气公司生产的RTV615、例如陶氏化学公司生产的 Sylgard 182,184或186之类的聚二甲基硅氧烷(PDMS),以及例如由UCB Chemicals 公司生产的Ebecryl 270或Irr 245之类的脂肪族类的二丙烯酸尿烷酯。
307.如权利要求292所述的方法,其特征在于,第二弹性体层的底面粘合在 第一弹性体层的顶面上,这样在第一弹性体层上的第一凹部设置成与在第二弹性体 层上的第二凹部成一个角度。
308.如权利要求307所述的方法,其特征在于,该角度通常为垂直。
309.如权利要求329所述的方法,其特征在于,将第一层定位在一平面的基 底的顶上包括:
将第一层密封在平面的基底的顶上。
310.如权利要求329所述的方法,其特征在于,它还包括:
将金属粉末喷涂、蒸发或电镀到至少一层弹性体层上,从而在第二弹性体层 的一部分中形成一电极。
311.如权利要求310所述的方法,其特征在于,第一电极形成在置于第一凹 部上的第二弹性层的部分上。
312.如权利要求292所述的方法,其特征在于,
使金属粉末附着在平面的基底的一部分上,从而在平面的基底的一部分中形 成一电极。
313.如权利要求312所述的方法,其特征在于,平面的基底的部分置于第一 凹部之下。
314.如权利要求292所述的方法,其特征在于,它还包括:
使磁性材料附着到至少一层弹性体层中,从而使第二弹性体层的至少一部分 有磁性。
315.如权利要求314所述的方法,其特征在于,第一弹性体层的磁性部分置 于第一凹部上。
316.如权利要求292所述的方法,其特征在于,它还包括:
使金属粉末附着于平面的基底的一部分之上,从而使平面的基底的一部分有 磁性。
317.如权利要求316所述的方法,其特征在于,平面的基底的磁性部分设置 在第一凹部之下。
318.如权利要求292所述的方法,其特征在于,它还包括:
使至少一层弹性体层搀杂碳黑,从而使弹性体层的一部分导电。
319.一种控制流体或气体流过权利要求292的弹性体结构的方法,它包括:
使一流体流过一流动槽;以及
对控制槽加压,以致弹性体结构的一部分使控制槽从流动槽分离,弹性体结 构的一部分偏转入流动槽内,这样阻隔流体流通过流动槽。
320.如权利要求319所述的方法,其特征在于,控制槽通过气体加压。
321.如权利要求319所述的方法,其特征在于,控制槽通过液体加压。
322.一种制造一弹性体结构的方法,它包括:
在一第一微型切削加工的模具的顶上形成一第一弹性体层,具有多个第一凸 起的突部的第一微型切削加工的模具形成沿第一弹性体层的底面延伸的多个第一 凹部;
在一第二微型切削加工的模具的顶上形成一第二弹性体层,具有一第二凸起 的突部的第二微型切削加工的模具形成沿第二弹性体层的底面延伸的一第二凹部;
将第二弹性体层的底面粘合到第一弹性体层的顶面上,这样一控制槽形成在 第一和第二弹性体层之间的第二凹部中;以及
将第一弹性体层定位在平面的基底的顶上,这样多个流动槽形成在第一弹性 体层和平面的基底之间的多个第一凹部内。
323.如权利要求322所述的方法,其特征在于,多个第一凹部一般相互间是 平行的。
324.如权利要求322所述的方法,其特征在于,多个第一凹部通常设置成与 第二凹部呈一个角度。
325.如权利要求324所述的方法,其特征在于,该角度通常为垂直。
326.一种控制液体或气体流通过如权利要求292所述的弹性体结构的方法, 它包括:
使一流体流通过一流动槽;以及
对控制槽加压,以致弹性体结构的一部分使控制槽从流动槽分离,弹性体结 构的一部分偏转入流动槽内,这样阻隔流体流通过流动槽。
327.如权利要求326所述的方法,其特征在于,控制槽通过气体加压。
328.如权利要求326所述的方法,其特征在于,控制槽通过液体加压。
329.一种制造一弹性体结构的方法,它包括:
在一第一微型切削加工的模具的顶上形成一第一弹性体层,具有一个第一凸 起的突部的第一微型切削加工的模具形成沿第一弹性体层的底面延伸的一第一凹 部;
在一第二微型切削加工的模具的顶上形成一第二弹性体层,具有多个第二凸 起的突部的第二微型切削加工的模具形成沿第二弹性体层的底面延伸的多个第二 凹部;
将第二弹性体层的底面粘合到第一弹性体层的顶面上,这样多个控制槽形成 在第一和第二弹性体层之间的多个第二凹部中;以及
将第一弹性体层定位在平面的基底的顶上,这样一流动槽形成在第一弹性体 层和平面的基底之间的第一凹部内。
330.如权利要求329所述的方法,其特征在于,多个第二凹部一般相互间是 平行的。
331.如权利要求329所述的方法,其特征在于,多个第二凹部通常设置成与 第一凹部呈一个角度。
332.如权利要求331所述的方法,其特征在于,该角度通常为垂直。
333.一种控制液体或气体流通过如权利要求329所述的弹性体结构的方法, 它包括:
以重复的顺序方式对控制槽加压,以致弹性体的若干部分使流动槽与若干控 制槽分隔开,而这些部分依次偏转入流动槽中,从而依次地推动流体流通过流动槽, 由此产生蠕动的泵送的效果。
334.如权利要求329所述的方法,其特征在于,控制槽通过气体加压。
335.如权利要求329所述的方法,其特征在于,控制槽通过液体加压。
336.一种制造一个弹性体结构的方法,它包括:
在一基底的顶上形成一第一弹性体层;
在第一弹性体层的顶面上附着一层第一光致抗蚀剂层;
去除第一光致抗蚀剂层的一部分,这样光致抗蚀剂的一第一线条留在第一弹 性体层的顶面上;
在第一弹性体层上形成一第二弹性体层,由此光致抗蚀剂层的第一线条密封 在第一和第二弹性体层之间;
在第二弹性体层的顶上附着一第二光致抗蚀剂层;
去除第二光致抗蚀剂层的一部分,使得在第二弹性体层的顶面上留有光致抗 蚀剂层的一第二线条;
在第二弹性体层上形成一第三弹性体层,由此光致抗蚀剂层的第二线条密封 在第二和第三弹性体层之间;以及
去除光致抗蚀剂层的第一和第二线条,由此形成相应的通过弹性体结构的第 一和第二槽。
337.如权利要求425所述的方法,其特征在于,它还包括:
通过软平版印刷加工将第二弹性体层粘合到第一弹性体层;以及
通过软平版印刷加工将第三弹性体层粘合到第二弹性体层,由此形成整体的 弹性体结构。
338.如权利要求336所述的方法,其特征在于,它还包括:
从整体的弹性体结构的底部上去除基底。
339.如权利要求425所述的方法,其特征在于,第二弹性体层粘合到第一弹 性体层以及第三弹性体层粘合到第二弹性体层,包括:
两种成分附加固化的粘合。
340.如权利要求336所述的方法,其特征在于,在第一弹性体层上的光致抗 蚀剂的第一线条或图案设置成与第二弹性体层上的光致抗蚀剂层的第二线条呈一 个角度。
341.如权利要求340所述的方法,其特征在于,该角度通常为垂直。
342.如权利要求336所述的方法,其特征在于,形成在第一和第二弹性体层 上的光致抗蚀剂的第一和第二线条或图案具有的宽度与深度比为10∶1。
343.如权利要求336所述的方法,其特征在于,形成在第一和第二弹性体层 上的光致抗蚀剂的第一和第二线条或图案具有的宽度约为100微米,而深度约为 10微米。
344.如权利要求336所述的方法,其特征在于,第二弹性体层具有的厚度约 为40微米。
345.如权利要求336所述的方法,其特征在于,第三弹性体层具有的厚度约 为4微米。
346.如权利要求425所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层一起固 化。
347.如权利要求425所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层一起固 化。
348.如权利要求336所述的方法,其特征在于,第一和第二弹性体层为从材 料组群中选择的,该组群包括:硅橡胶、聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异 丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯)、聚氨酯以及硅树脂。
349.如权利要求348所述的方法,其特征在于,第一和第二层为从材料组群 中选择的,该组群包括:聚氯乙烯(PVC),聚砜,聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 或聚四氟乙烯(特氟隆)。
350.如权利要求348所述的方法,其特征在于,第一和第二层为从材料组群 中选择的,该组群包括:通用电气生产的RTV615、例如陶氏化学公司生产的Sylgard 182,184或186之类的聚二甲基硅氧烷(PDMS),以及例如由UCB Chemicals公司生 产的Ebecryl 270或Irr 245之类的脂肪族类的二丙烯酸尿烷酯。
351.如权利要求336所述的方法,它还包括:
上述权利要求304中所列出的任一个步骤。
352.一种控制液体流或气流通过如权利要求1所述的弹性体结构的方法,它 包括:
使一流体流通过第一槽;以及
对第二槽进行加压,以致弹性体的一部分使第二槽与第一槽隔离开,该部分 偏转入第一槽中,从而阻断了流体流通过第一槽。
353.如权利要求336所述的方法,其特征在于,第二槽槽通过气体加压。
354.如权利要求336所述的方法,其特征在于,第二槽通过液体加压。
355.一种制造一弹性体结构的方法,它包括:
在基底的顶上形成一第一弹性体层;
在第一弹性体层的顶面上附着一层第一光致抗蚀剂层;
去除第一光致抗蚀剂层的一部分,这样多条光致抗蚀剂的第一线条留在第一 弹性体层的顶面上;
在第一弹性体层上形成一第二弹性体层,由此使多条光致抗蚀剂的第一线条 密封在第一和第二弹性体层之间;
使一层第二光致抗蚀剂层附着在第二弹性体层的顶面上;
去除第二光致抗蚀剂的一部分,这样一条光致抗蚀剂的第二线条留在第二弹 性体层的顶面上;
在第二弹性体层上形成一第三弹性体层,由此光致抗蚀剂的第二线条密封在 第二和第三弹性体层之间;以及
去除光致抗蚀剂的多个第一和第二线条,由此形成通过弹性体结构的相应的 多个第一和第二槽。
356.如权利要求425所述的方法,其特征在于,它还包括:
通过软平版印刷加工使第二弹性体层与第一弹性体层粘合;以及
通过软平版印刷加工过程使第三弹性体层与第二弹性体层粘合,由此形成一 整体的弹性体结构。
357.如权利要求335所述的方法,其特征在于,多条光致抗蚀剂的第一线条 通常相互平行。
358.如权利要求335所述的方法,其特征在于,多条光致抗蚀剂的第一线条 通常设置为与光致抗蚀剂的第二线条呈一个角度。
359.如权利要求358所述的方法,其特征在于,该角度通常是垂直的。
360.一种控制流体或气流通过如权利要求336所述的弹性体结构的方法,它 包括:
使流体流通过第一槽;以及
对第二槽加压,这样弹性体结构的若干部分使第二槽与若干第一槽分隔开, 这些部分偏转入第一槽中,从而阻断了流体流通过第二槽。
361.如权利要求360所述的方法,其特征在于,第二槽通过气体加压。
362.如权利要求360所述的方法,其特征在于,第二槽通过液体加压。
363.一种制造弹性体结构的方法,它包括:
在基底的顶上形成一第一弹性体层;
在第一弹性体层的顶面上附着一层第一光致抗蚀剂层;
去除第一光致抗蚀剂层的一部分,使得一光致抗蚀剂的第一线条留在第一弹 性体层的顶面上;
在第一弹性体层上形成一第二弹性体层,由此光致抗蚀剂的第一线条密封在 第一和第二弹性体层之间;
在第二弹性体层的顶面上附着一第二光致抗蚀剂层;
去除第二光致抗蚀剂层的一部分,使得在第二弹性体层的顶面上留有多条光 致抗蚀剂的第二线条;
在第二弹性体层上附着一第三弹性体层,由此使多条光致抗蚀剂的第二线条 密封在第二和第三弹性体层之间;以及
去除光致抗蚀剂的多个第一和第二线条,由此形成通过弹性体结构的相应的 多个第一和第二槽。
364.如权利要求363所述的方法,其特征在于,它还包括:
使第二弹性体层与第一弹性体层粘合;以及
使第三弹性体层与第二弹性体层粘合,由此形成一整体的弹性体结构。
365.如权利要求363所述的方法,其特征在于,多条光致抗蚀剂的第二线条 通常相互平行。
366.如权利要求363所述的方法,其特征在于,多条光致抗蚀剂的第二线构 设置成与光致抗蚀剂的第一线条呈一个角度。
367.如权利要求366所述的方法,其特征在于,该角度通常为直角。
368.一种用于控制液体流或气流体通过如权利要求336所述的弹性体结构的 方法,它包括:
以重复的顺序对第二槽加压,从而使得弹性体的若干部分使第一槽与若干第 二槽分隔开,而这些部分依次偏转入流动槽中,从而依次地推动流体流通过第一槽, 由此产生蠕动的泵送的效果。
369.如权利要求368所述的方法,其特征在于,第二槽通过气体加压。
370.如权利要求368所述的方法,其特征在于,第二槽通过液体加压。
371.一种用于调节液体流或气流的弹性体结构,它包括:
一弹性体块,它形成有通过其中的第一和第二微型制造的槽,其中第一和第 二微型制造的槽相互横越过,但不相交。
372.一种用于调节液体流或气流的结构,它包括:
一平面的基底;以及
一弹性体块,它置于平面的基板顶上,其中弹性体块包括沿它的底面延伸的 第一凹部,第一凹部形成沿平面的基底与弹性体块之间延伸的一第一微型制造的 槽,以及其中弹性体块还包括一通过其中的第二微型制造的槽,其中第一和第二微 型制造的槽相互横过,但不相交。
373.如权利要求371所述的结构,其特征在于,第一和第二微型制造的槽相 互间呈一个角度设置。
374.如权利要求373所述的结构,其特征在于,该角度是垂直的。
375.如权利要求371所述的结构,其特征在于,第一和第二微型制造的槽具 有的宽度与高度的比约为10∶1。
376.如权利要求371所述的结构,其特征在于,第一和第二微型制造的槽具 有的宽度约为100微米,则高度约为10微米。
377.如权利要求371所述的结构,其特征在于,弹性体结构或块根据本发明 中任何一种方法制造。
378.如权利要求371所述的结构,其特征在于,平面的基底为玻璃。
379.如权利要求371所述的结构,其特征在于,平面的基底为弹性体材料。
380.如权利要求371所述的结构,其特征在于,第一槽的顶面是弯曲的。
381.如权利要求371所述的结构,其特征在于,设置在第一和第二槽之间的 弹性体结构的一部分在第一和第二槽的相交处的厚度约为30微米。
382.如权利要求371所述的结构,其特征在于,第一和第二槽被结构的一部 分分隔开,该部分当第一槽被加压时向下偏转入第二槽内,由此闭合第二槽。
383.如权利要求371所述的结构,其特征在于,弹性体块由从材料的组群形 成,该组群包括:
硅橡胶、聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异丁烯、聚(苯乙烯-丁二 烯-苯乙烯)、聚胺酯、硅树脂、通用电气公司生产的RTV615、陶氏化学公司生产 的Sylgard 182,184或186之类的聚二甲基硅氧烷(PDMS),以及由UCB Chemicals 公司生产的Ebecryl 270或Irr 245之类的脂肪族类的二丙烯酸尿烷酯。
384.一种用于调节液体或气体流的弹性体结构,它包括:
一弹性体块,它形成有多个在其中通过的平行的第一微型制造的槽,以及通 过其中和一第二微型制造的槽,其中第二微型制造的槽横越过多个平行的第一微型 制造的槽,但不与它们相交。
385.如权利要求384所述的弹性体结构,其特征在于,多个平行的第一微型 制造的槽与一第二微型制造的槽之间呈一个角度设置。
386.如权利要求385所述的弹性体结构,其特征在于,该角度是垂直的。
387.一种用于调节液体流或气流的结构,它包括:
一平面的基底;以及
一弹性体块,它粘合在平面的基底的顶上,其中弹性体块包括沿它的底面延 伸的多个第一凹部,多个第一凹部形成沿平面的基底与弹性体块之间延伸的多个第 一槽,以及其中弹性体块还包括通过其中的一第二槽,其中第二槽横过多个第一槽, 但不与它们相交。
388.如权利要求387所述的结构,其特征在于,多个第一槽与第二微型制造 的槽呈一个角度设置。
389.如权利要求388所述的弹性体结构,其特征在于,该角度是垂直的。
390.一种用于调节液体流或气体流的弹性体结构,它包括:
一弹性体块,它形成有通过其中的一个第一微型制造的槽,以及通过其中的 多个平行的第二微型制造的槽,其中多个第二微型制造的槽横越过第一微型制造的 槽,但它们不相交。
391.如权利要求390所述的弹性体结构,其特征在于,第一微型制造的槽与 多个平行的第二微型制造的槽设置呈一个角度。
392.如权利要求391所述的弹性体结构,其特征在于,该角度是垂直的。
393.一种用于调节液体流或气流的结构,它包括:
一平面的基底;以及
一弹性体块,它粘合在平面的基底的顶上,其中弹性体块包括沿它的底面延 伸的一个第一凹部,第一凹部形成延平面的基底与弹性体块之间延伸的一个第一 槽,以及其中弹性体块还包括通过其中的多个平行的第二槽,其中多个平行的第二 槽横越过多个第一槽,但不与它们相交。
394.如权利要求393所述的结构,其特征在于,第一槽与多个第二微型制造 的槽呈一个角度设置。
395.如权利要求394所述的结构,其特征在于,该角度是垂直的。
396.如权利要求322所述的一种方法,其特征在于,控制槽同时具有沿它的 长度设置的宽的和窄的部分,其中宽的部分设置在至少一个流动槽之上,而窄的部 分设置在余下的流动槽之上。
397.如权利要求326所述的一种方法,其特征在于,控制槽具有沿它的长度 设置的宽的和窄的部分,宽的部分设置在至少一个流动槽之上,而窄的部分设置在 余下的流动槽之上,其中对控制槽加压使得弹性体结构的若干部分将控制槽与流动 槽分隔开,并仅被偏转入控制槽的宽的部分设置在其之上的那些流动槽中。
398.如权利要求355所述的方法或如权利要求93所述的结构,其特征在于, 第二槽具有沿它的长度设置的宽的和窄的部分,宽的部分设置在至少一个流动槽之 上,而窄的部分设置在余下的流动槽之上。
399.如权利要求326所述的方法或如权利要求96所述的结构,其特征在于, 第二槽具有沿它的长度设置的宽的和窄的部分,宽的部分设置在至少一个流动槽之 上,而窄的部分设置在余下的流动槽之上,其中对控制槽加压引起弹性体结构的若 干部分使控制槽与流动槽分隔开,并仅被偏转入那些控制槽的宽的部分设置在其之 上的那些流动槽中。
400.一种制造弹性体结构的方法,它包括:
在一第一微型切削加工的模具的顶上形成一层第一弹性体层,第一微型切削 加工的模具具有一第一凸起的突部,该突部形成了位于第一弹性体层的底面中的一 第一凹部;
在一第二微型切削加工的模具的顶上形成一层第二弹性体层,第二微型切削 加工的模具具有一第二凸起的突部,该突部形成了位于第二弹性体层的底面中的一 第二凹部;
将第二弹性体层的底面与第一弹性体层的顶相粘合,使得第二凹部包围在第 一和第二弹性体层之间;以及
将第一弹性体层定位在一平面的基底的顶上,使得第一凹部被包围在第一弹 性体层和平面的基底之间。
401.如权利要求400所述的方法,其特征在于,两横越的槽交叉,但不相交。
402.如权利要求400所述的方法,其特征在于,由此弹性体结构的尺寸正确 可用作一阀。
403.一种制造弹性体结构的方法,它包括:
在基底的顶上形成一第一弹性体层;
在第一弹性体层的顶面上附着一层第一光致抗蚀剂层;
去除第一光致抗蚀剂层的一部分,使得光致抗蚀剂的第一图案留在第一弹性 体层的顶面上;
在第一弹性体层的上面形成一第二弹性体层,由此使光致抗蚀剂层的第一图 案包围在第一和第二弹性体层之间;
在第二弹性体层的顶面上附着一第二光致抗蚀剂层;
去除第二光致抗蚀剂层的一部分,使得光致抗蚀剂的第二图案留在第二弹性 体层的顶面上;
在第二弹性体层的上面形成一第三弹性体层,由此使光致抗蚀剂层的第二图 案包围在第二和第三弹性体层之间;以及
去除光致抗蚀剂层的第一和第二图案,由此形成相应的通过弹性体结构的凹 部的第一和第二层。
404.如权利要求402所述的方法,其特征在于,两横越的槽交叉但不相交。
405.如权利要求403所述的方法,其特征在于,由此尺寸正确放入弹性体结 构可用作一阀。
406.一种弹性体结构,形成有多微型制造的凹部,其中,凹部可相互横越过, 但不相交。
407.如权利要求406所述的弹性体结构,其特征在于,两横越的槽交叉但不 相交。
408.如权利要求406所述的弹性体结构,其特征在于,由此弹性体的尺寸正 确可用作一阀。
409.一种微型制造的结构,它包括:
一平面的基底;以及
一弹性体块,它置于平面的基底的顶上,其中弹性体块形成有多个微型制造 的凹部,在块的底部包括有若干个凹部,这些凹部可由平面的基底密封,它们可相 互横越,但不相交。
410.如权利要求409所述的微型制造的结构,其特征在于,两槽交叉但不相 交。
411.如权利要求409所述的微型制造的结构,其特征在于,由此弹性体的尺 寸正确可用作一阀。
412.一种用于粘合两固化的弹性体的方法,它包括:
形成一层第一固化的弹性体层;
形成一层第二固化的弹性体层;
使两层接触;以及
将两层粘合在一起。
413.如权利要求412所述的方法,其特征在于,两层化学上是不同的。
414.如权利要求413所述的方法,其特征在于,弹性体是由两种或更多种成 分的混合物形成的,各层成分的比率不同。
415.如权利要求414所述的方法,其特征在于,弹性体为二部分硅橡胶。
416.如权利要求412所述的方法,其特征在于,弹性体为G.E.RTV 615,而 两层分别以3A∶1B(Si-H基团过量)以及30A∶1B(乙烯基基团过量)的比率混合。
417.如权利要求414所述的方法,其特征在于,弹性体为二部分聚氨酯。
418.如权利要求417所述的方法,其特征在于,弹性体为UCB Chemicals公 司生产的Ebecryl 270或Irr 245。
419.如权利要求417所述的方法,其特征在于,弹性体为权利要求13、14 或15中所列举的任何一种材料。
420.如权利要求412所述的方法,其特征在于,两层为相同的成分。
421.如权利要求417所述的方法,其特征在于,诸层为不完全固化。
422.如权利要求417所述的方法,其特征在于,诸层含有交联剂,它可以在 诸层固化后被激活。
423.如权利要求417所述的方法,其特征在于,诸层可以通过加热粘合。
424.如权利要求412所述的方法,其特征在于,两层使用一粘合剂薄层粘合。
425.一种用于包围形成一定图案的保护层的方法,它包括:
形成一第一固化的弹性体层;
使第一固化层涂覆一可形成一定图案的保护层;
使保护层形成一定图案;
添加一第二未固化的弹性体层;
使第二弹性体层固化,从而形成一单块的弹性体块,并包围形成一定图案的 保护层;以及
从弹性体上去除形成一定图案的保护层。
426.如权利要求425所述的方法,其特征在于,多层保护层被包围在弹性体 内。
427.如权利要求425所述的方法,其特征在于,每层弹性体的成分是相同的。
428.如权利要求425所述的方法,其特征在于,弹性体的不同层的成分不同。
429.如权利要求425所述的方法,其特征在于,各层的成分包括权利要求304 中所列举的任何材料。
430.一种用于致动如权利要求292所述的弹性体结构的方法,它包括:
对第二槽进行加压,这样弹性体结构的一部分使第二槽与第一槽分隔开,此 部分偏转入第一槽内。
431.如权利要求319所述的方法,其特征在于,控制槽被加压,这样弹性体 结构的一部分使控制槽与流动槽分隔开,此部分偏转入流动槽中,从而阻断流体流 通过流动槽。
432.一种用于致动如权利要求292所述的弹性体结构的方法,它包括:
另外在分隔开两槽的基底和膜片上设置若干电极;以及
以两电极间施加一电压,由此在它们之间产生一吸引力。
433.一种致动如权利要求292所述的弹性体结构的方法,它包括:
构造分隔磁性致动的弹性体的两槽的膜片;以及
施加一磁场以产生朝向基底的吸引力。
本发明涉及微型制造的结构以及用于生产微型制造的结构的方法,以及涉及 用于调节流体流动的微型制造的系统。
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