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一种 化学气相沉积炉

阅读：939发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种化学气相沉积炉专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，炉体一侧设有炉门，另一侧设有出气罩，出气罩连接出气管；炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，左室板与右室板之间设有横网格板，横网格板与左室板垂直设置；左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔；侧室筒外侧设有加热器。本发明合理的加热组件的设置及沉积组件的设置，均匀的分布气流，形成厚度一致的覆膜，加工后的产品覆膜厚度一致，成品率高。，下面是一种化学气相沉积炉专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体一侧设有炉门，所述炉体的另一侧设有出气罩，所述出气罩连接出气管；所述炉门一端铰链连接炉体，所述炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；所述进气挡板连接炉体的室壁，所述进气挡板与炉体的水平中心轴线的方向垂直，所述进气挡板的中心处设有通孔，所述进气管穿过并固定连接在通孔的边缘处，所述导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；所述沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，所述侧室筒的左侧连接左室板，所述侧室筒的右侧连接右室板，所述左室板与右室板之间设有横网格板，所述横网格板与左室板垂直设置；所述左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔；所述侧室筒外侧设有加热器。
2.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述左室板与右室板之间设有两块中间室板，所述中间室板与左室板平行设置；所述中间室板上部或下部设有通孔，且两块中间室板的通孔的设置位置交错设置。
3.如权利要求1或2所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述上导流板组件包括2块及2块以上的上导流板，上导流板倾斜连接炉体室壁，所述下导流板组件包括2块及2块以上的上导流板，下导流板倾斜连接炉体室壁。
4.如权利要求3所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉门与炉体之间设有密封组件，所述密封组件包括密封抓手、螺栓；所述密封抓手的一端铰链连接炉体，另一端卡扣连接炉门，所述螺栓穿过密封抓手和炉门上的螺栓孔。
5.如权利要求4所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述出气管连接二级除尘系统，所述二级除尘系统包括由左至右依次相连的旋风除尘器、布袋除尘器。
6.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体的底部设有底座。
7.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体上设有观察窗。
8.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述沉积室采用石墨或炭/炭复合材料材质。

说明书全文

一种化学气相沉积炉

技术领域

[0001] 本发明涉及一种工业炉，具体为一种化学气相沉积炉。

背景技术

[0002] 化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

[0003] 现有技术中，采用化学气相沉积炉来实现化学沉积，实现覆膜镀层。现有技术中的沉积炉在使用时存在以下问题：1、通常采用高温加热的方式，促进镀膜，（当然也可采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行，但是成本较高，采用高温加热的方式相对于现有手段而言，最为高效），加热时的加热不均，导致覆膜镀层时，形成的覆膜厚度不均；2、进排气的难以有效的控制，同样容易导致覆膜厚度不均；3、由于沉积炉的体积有效，需在合理的体积容量的沉积炉内如何有效的分布沉积组件十分重要。

发明内容

[0004] 为解决上述问题，本发明公开了一种化学气相沉积炉，合理的加热组件的设置及沉积组件的设置，均匀的分布气流，形成厚度一致的覆膜，加工后的产品覆膜厚度一致，成品率高。

[0005] 为了达到以上目的，本发明提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体一侧设有炉门，所述炉体的另一侧设有出气罩，所述出气罩连接出气管；所述炉门一端铰链连接炉体，所述炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；所述进气挡板连接炉体的室壁，所述进气挡板与炉体的水平中心轴线的方向垂直，所述进气挡板的中心处设有通孔，所述进气管穿过并固定连接在通孔的边缘处，所述导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；所述沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，所述侧室筒的左侧连接左室板，所述侧室筒的右侧连接右室板，所述左室板与右室板之间设有横网格板，所述横网格板与左室板垂直设置；所述左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔；所述侧室筒外侧设有加热器。

[0006] 进一步的，所述左室板与右室板之间设有两块中间室板，所述中间室板与左室板平行设置；所述中间室板上部或下部设有通孔，且两块中间室板的通孔的设置位置交错设置。

[0007] 进一步的，所述上导流板组件包括2块及2块以上的上导流板，上导流板倾斜连接炉体室壁，所述下导流板组件包括2块及2块以上的上导流板，下导流板倾斜连接炉体室壁。

[0008] 进一步的，所述炉门与炉体之间设有密封组件，所述密封组件包括密封抓手、螺栓；所述密封抓手的一端铰链连接炉体，另一端卡扣连接炉门，所述螺栓穿过密封抓手和炉门上的螺栓孔。

[0009] 进一步的，所述出气管连接二级除尘系统，所述二级除尘系统包括由左至右依次相连的旋风除尘器、布袋除尘器。

[0010] 进一步的，所述炉体的底部设有底座。

[0011] 进一步的，所述炉体上设有观察窗。观察窗方便观察镀膜情况。

[0012] 进一步的，所述沉积室采用石墨或炭/炭复合材料材质。炭/炭复合材料是一种由高强度碳素纤维和碳素基质经过石墨化增强处理后构成的材料。

[0013] 本发明具有如下优点：（1）本发明化学气相沉积炉，合理的加热组件的设置及沉积组件的设置，均匀的分布气流，形成厚度一致的覆膜，加工后的产品覆膜厚度一致，成品率高。

[0014] （2）本发明化学气相沉积炉，气体从进气管进入，经导流板组件导流后，气体的分布更均匀，使得镀膜均匀；气体在沉降室内完成镀膜后，废气从出气管流出。

[0015] （3）本发明化学气相沉积炉，沉积室的结构设置，使得气体在沉降室内形成回型的流动气流，延长了气流在沉积室内停留时间，气体的加热效果也更好，使得镀膜效果更好。

[0016] （4）本发明化学气相沉积炉，结构新颖，适合推广使用。附图说明

[0017] 图1、本发明的结构示意图；图2、本发明的左视图；
图3、本发明的外部结构示意图；
图4、本发明的结构示意图（包括中间室板）。

[0018] 其中：炉体100、炉门200、出气罩300、出气管1、进气管2、进气挡板3、导流板组件4、上导流板组件41、下导流板组件42、沉积室5、左室板51、右室板52、横网格板53、侧室筒54、通孔A55、通孔B56、通孔6、密封组件7、密封抓手71、螺栓72、二级除尘系统8、旋风除尘器81、布袋除尘器82、底座9、观察窗10、加热器11、中间室板A12、中间室板B13。

具体实施方式

[0019] 下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本发明，应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

[0020] 实施例1如图1、图2、图3、图4所示，一种化学气相沉积炉，包括炉体100，炉体一侧设有炉门200，炉体的另一侧设有出气罩300，出气罩连接出气管1；炉门一端铰链连接炉体，炉体内由左至右依次设有进气管2、进气挡板3、导流板组件4、沉积室5；进气挡板连接炉体的室壁，进气挡板与炉体的水平中心轴线的方向垂直，进气挡板的中心处设有通孔6，进气管穿过并固定连接在通孔的边缘处，导流板组件包括对称设置的上导流板组件41、下导流板组件42；沉积室包括左室板51、右室板52、横网格板53、侧室筒54，侧室筒的左侧连接左室板，侧室筒的右侧连接右室板，左室板与右室板之间设有横网格板，横网格板与左室板垂直设置；左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔A55、右室板的下部设有通孔B56；侧室筒外侧设有加热器11。

[0021] 对本发明的进一步改进为：左室板与右室板之间设有两块中间室板，中间室板与左室板平行设置；中间室板上部或下部设有通孔，且两块中间室板的通孔的设置位置交错设置。如图4，在本实施例中，中间室板A12和中间室板B13，其中中间室板A靠近左室板，中间室板B靠近右室板，中间室板A的下部设置通孔，中间室板B的上部设有通孔。

[0022] 在本实施例中，上导流板组件包括3块上导流板，上导流板倾斜连接炉体室壁，下导流板组件包括3块上导流板，下导流板倾斜连接炉体室壁。在本实施例中，上导流板的倾斜角度不同，且由上至下的倾斜角度由左至右依次增大，下导流板的倾斜角度不同，且由上至下的倾斜角度由左至右依次增大。

[0023] 在本实施例中，炉门与炉体之间设有密封组件7，密封组件包括密封抓手71、螺栓72；密封抓手的一端铰链连接炉体，另一端卡扣连接炉门，螺栓穿过密封抓手和炉门上的螺栓孔。

[0024] 在本实施例中，出气管连接二级除尘系统8，二级除尘系统包括由左至右依次相连的旋风除尘器81、布袋除尘器82。

[0025] 在本实施例中，炉体的底部设有底座9。

[0026] 在本实施例中，炉体上设有观察窗10。观察窗方便观察镀膜情况。

[0027] 在本实施例中，沉积室采用石墨或炭/炭复合材料材质。炭/炭复合材料是一种由高强度碳素纤维和碳素基质经过石墨化增强处理后构成的材料。

[0028] 实施例2在本实施例中，可在左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔。左室板和右室板的通孔的设置的位置交错设置，使得气流在沉降室内形成回型气流，延长了气流在沉降室内的停留时间。

[0029] 在本实施例中，中间室板A和中间室板B，其中中间室板A靠近左室板，中间室板B靠近右室板，中间室板A的上部设置通孔，中间室板B的下部设有通孔。

[0030] 其余结构与实施例1一致，在此不再赘述。

[0031] 实施例3实施例1的参数
加热方式：电阻加热；加热器为电阻加热；
沉积室：由石墨或炭/炭复合材料制成；
冷态空炉极限真空度：≤30Pa；
压升率：≤0.08Pa/min；
最高使用温度：1500℃。

[0032] 本发明方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段，还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

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