一种低成本铌管靶的制造方法
专利汇可以提供一种低成本铌管靶的制造方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 属于 磁控溅射 用管状靶材制造技术领域。本发明提供了一种低成本铌管靶的制造方法，即通过将铌管靶非溅射区域用低成本的 钛 替代高成本铌，达到降低成本的目的。具体包括如下步骤：通过 真空 电子 束熔炼 并浇铸成型的铌 管坯 ，将铌管坯内、外壁 车削 干净。然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒。冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并 挤压 成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。通过这种工艺可以减少铌用量的25～40％，因此有效的降低了铌管靶的生产成本。，下面是一种低成本铌管靶的制造方法专利的具体信息内容。
1.一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于：通过将铌管靶非溅射区域用低成本的钛替代高成本铌，达到降低成本的目的；具体是通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，将铌管坯内、外壁车削干净，然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒；冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并挤压成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。
2.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的铌管靶非溅射区域，是指铌管靶从内壁开始往外，厚度为总厚度的2/5，此部分区域主要用来通冷却循环水，是铌管靶溅射之后剩余的部分，不参与磁控溅射。
3.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，是通过真空电子束熔炼并浇铸得到的尺寸为内径φ50～
150mm，外径φ100～300mm的坯料，要求铌的纯度大于99.95％。
4.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的铌管坯内、外壁车削干净，是需要将铌管坯的气孔、夹杂、凹坑等缺陷去除干净，内壁的粗糙度优于Ra6.4，直线度小于0.2mm。
5.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒，是通过电渣炉熔炼的方法将纯度为99.5％以上的纯钛熔液浇铸到铌管坯内部，冒口处进行补缩。
6.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的对铌钛复合棒开中心孔，是通过机加工镗孔的方式，在正中心钛材的位置镗出内径为45～60mm的内孔。
7.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的加热并挤压成需要的尺寸规格，其加热温度为850～1400℃，保温0.5～3小时，挤压比为2～8；挤压速率为20～200mm每分钟，确保内壁的钛层厚度为3～6mm。
一种低成本铌管靶的制造方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
最机加工出尺寸为外径Φ152，内径Φ125，长度为4000mm的铌钛复合管，内壁的钛层厚度为
5mm；
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
