专利汇可以提供一种磁控溅射靶专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及 镀 膜 设备,具体地说是一种 磁控溅射 靶,包括靶头、折弯 波纹管 组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降组件、接头组件、 驱动器 及靶 挡板 组件,靶支杆可上下往复移动地安装在靶支座上,位于靶支座上方的靶支杆的一端通过折弯波纹管组件与靶头相连接,靶头通过折弯波纹管组件相对于靶支杆可折弯,位于靶支座下方的靶支杆上连接有安装在靶支座上的手动螺旋升降组件;驱动器安装在靶支座上,驱动器的输出端连接有相对靶支座既可转动又可随靶支杆上下往复移动的靶挡板组件;位于靶支座下方的靶支杆的另一端设有与电源连接的接头组件。本发明靶头在折弯波纹管组件的带动下实现折弯功能,使得一台磁控设备实现了多种镀膜工艺,降低了加工成本。,下面是一种磁控溅射靶专利的具体信息内容。
1.一种磁控溅射靶,其特征在于:包括靶头(2)、折弯波纹管组件(3)、靶支杆(8)、靶支座(10)、手动螺旋升降组件(11)、接头组件(17)、驱动器(18)及靶挡板组件(33),其中靶支杆(8)可上下往复移动地安装在靶支座(10)上,位于靶支座(10)上方的靶支杆(8)的一端通过折弯波纹管组件(3)与靶头(2)相连接,靶头(2)通过折弯波纹管组件(3)相对于靶支杆(8)可折弯,位于靶支座(10)下方的靶支杆(8)上连接有安装在靶支座(10)上的手动螺旋升降组件(11);所述驱动器(18)安装在靶支座(10)上,驱动器(18)的输出端连接有相对靶支座(10)既可转动又可随靶支杆(8)上下往复移动的靶挡板组件(33);位于靶支座(10)下方的靶支杆(8)的另一端设有与电源连接的接头组件(17);
所述折弯波纹管组件(3)包括第一螺母(4)、波纹管(7)及第一、二折弯板(5、6),其中波纹管(7)位于第一、二折弯板(5、6)之间,波纹管(7)的一端穿过第一折弯板(5)与靶头(2)密封连接,另一端穿过第二折弯板(6)与靶支杆(8)相连,在第一、二折弯板(5、6)相叠置的连接处设有调节靶头(2)折弯角度的第一螺母(4)。
2.按权利要求1所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述第一、二折弯板(5、6)上下设置、包括竖板及横板,其中第一折弯板(5)的竖板与第二折弯板(6)的竖板相叠置、并通过第一螺母(4)相连接,第一、二折弯板(5、6)的横板上分别开有供波纹管(7)穿过的孔。
3.按权利要求1所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述手动螺旋升降组件(11)包括连接架(12)、螺杆(13)、第二螺母(14)、连板(15)及手轮(16),其中连接架(12)的一端连接在靶支座(10)上,另一端为自由端,螺杆(13)的两端分别通过轴承安装在连接架(12)上、并由连接架(12)的自由端穿出设有手轮(16);所述第二螺母(14)螺纹连接在螺杆(13)上,连板(15)的一端与第二螺母固接,另一端与靶支杆(8)相连、带动靶支杆(8)上下往复移动。
4.按权利要求1所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述靶挡板组件(33)包括靶挡板(1)、转动杆(35)、连接块(34)、第一万向节(30)、连接杆(31)、第二万向节(32)、导轴(27)及导套(26),其中导套(26)安装在靶支座(10)上、并与驱动器(18)的输出轴相连接,导轴(27)插入导套(26)内、可随导套(26)转动并可相对于导套(26)上下往复移动;所述导轴(27)上设有第一万向节(30),第二万向节(32)通过连接杆(31)与第一万向节(30)相连接;所述连接块(34)安装在靶头(2)上、与靶头(2)连动,转动杆(35)的一端设有靶挡板(1),另一端通过轴承安装在连接块(34)上并由连接块(34)穿过、与第二万向节(32)相连接。
5.按权利要求4所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述导套(26)沿轴向设有条形槽(29),导轴(27)的一端设有可在条形槽(29)内上下往复移动的销钉(28),另一端设有第一万向节。
6.按权利要求1或4所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述驱动器(18)通过电机座(19)安装在靶支座(10)上,驱动器(18)的输出轴通过联轴节(23)与导套(26)相连接,联轴节(23)的外表面设有铁钉(24);在电机座(19)上安装有两个相互垂直的第一、二接近开关(20、21)。
7.按权利要求6所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述电机座(19)上设有多芯航空插头(22),驱动器(18)及第一、二接近开关(20、21)的电线焊接在多芯航空插头(22)上。
8.按权利要求1所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述靶头(2)连接的进出水管及耐烘烤电线由靶支杆(8)内穿出,其中耐烘烤电线连接在接头组件(17)上。
9.按权利要求1所述的磁控溅射靶,其特征在于:所述靶支座(10)上分别设有为靶支杆(8)及靶挡板组件(33)上下往复移动导向的第一、二导向座(9、25)。
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