一种磁控溅射靶
专利汇可以提供一种磁控溅射靶专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开一种可以溅射 磁性 材料的 永磁体 的圆形平面 磁控溅射 靶，由外屏蔽罩、磁 钢 座、极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出 水 嘴、联接 螺栓 和密封 橡胶 圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用 螺纹 手动可调结构。磁钢座材料为无 氧 铜 ，中心放内磁钢，周边钻若干小孔放外磁钢，靶材直接放在磁钢座上，通过靶材压盖固定。极靴材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴上。极靴下面氩弧焊 焊接 进出水嘴， 冷却水 低进高出，靠密封橡胶圈实现密封。绝缘座材料为可以在 真空 下使用的耐热绝缘材料，安装在固定座( 阳极 )和极靴( 阴极 )之间。绝缘帽起到带电螺钉(阴极)和固定座(阳极)之间的绝缘作用。本发明结构简单，成本低。，下面是一种磁控溅射靶专利的具体信息内容。
1.一种溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，包括外屏蔽罩(1)、磁钢座(2)、极靴(3)、绝缘座(8)、固定座(6)、靶材压盖(13)、内磁钢(12)、外磁钢(11)、进水嘴(7)、出水嘴(4)、联接螺栓和密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)；其特征在于：靶材(14)直接放在磁钢座(2)上，通过靶材压盖(13)固定；磁钢座(2)材料为无氧铜，中心放内磁钢(12)，周边钻若干小孔放外磁钢(11)，内磁钢(12)和外磁钢(11)极性朝向相反；极靴(3)材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴(3)上；极靴(3)下面焊接进水嘴(7)和出水嘴(4)，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。
2.按照权利要求1所述溅射靶，其特征在于：外屏蔽罩(1)和固定座(6)之间采用螺纹手动可调结构，可根据靶材的厚度上下调节，把靶头带电部分整个罩起来，防止放电。
3.按照权利要求1所述溅射靶，其特征在于：绝缘座(8)为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，起到固定座(6)和极靴(3)之间的绝缘作用；螺钉(15、15′)穿过绝缘座(8)拧在磁钢座(2)上，把极靴(3)压紧在绝缘座(8)和磁钢座(2)之间；极靴(3)和磁钢座(2)工作时都带电，螺钉(15、15′)也带电，为了避免螺钉(15、15′)和固定座(6)之间放电，用绝缘帽(5)塞在两者之间起绝缘作用；固定座(6)和绝缘座(8)之间的密封橡胶圈(10、
10′、10″、10″′)是靠螺钉(15、15′)拧在螺钉套(9)上压紧的。
一种磁控溅射靶
技术领域
背景技术
发明内容
10″′实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。
具体实施方式
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
