技术领域
[0001] 本
发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的
真空镀膜机。
背景技术
[0002] 随着社会的迅速发展，为了提升
工件的耐用程度，镀膜作为一种可在工件表面形成一层致密保护层的方式，其工艺也在不断地被改进。
[0003] 众所周知，真空镀膜指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其
蒸发并
凝结于镀件(金属、
半导体或绝缘体)表面而形成
薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对物体更均匀地镀膜的方式，其使用也越来越频繁。
[0004] 现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒体、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。其中，镀膜筒体具有放置待镀工件的容置腔，蒸发室用于蒸发镀膜材料，裂解室用于裂解镀膜材料，抽真空装置用于将镀膜筒体内抽真空处理。故在真空镀膜机工作时，先由抽真空装置进行抽真空，使镀膜筒体、蒸发室及裂解室三者内部各处于真空状态，再通过蒸发室蒸发镀膜材料，蒸发后的镀膜材料进入到裂解室内，由裂解室将蒸发的镀膜材料进行裂解，而裂解后的镀膜材料再进入到镀膜筒体内，从而使镀膜筒体内的待镀工件的表面会附着有一层镀膜材料，实现镀膜的目的。
[0005] 由于镀膜材料在经过蒸发以及裂解两个工艺之后进入镀膜筒体的容置腔内会四处扩散，因此镀膜筒体内壁四周均会
覆盖有镀膜材料，在长久的积累下镀膜材料的积累会影响容置腔内的镀膜环境，因此，现有的真空镀膜机需要人为地频繁地进行的清理，而对镀膜筒体进行清洁的时候需要把镀膜筒体从真空镀膜机中拆卸下来，导致工作生产周期的延长；且在通过人为对镀膜筒体进行清理的过程中容易出现由于操作不当而导致镀膜筒体的内壁收到破损，进而使得真空镀膜机在工作过程中出现安全隐患。
[0006] 因此，亟需一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。
发明内容
[0007] 本发明的目的在于提供一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。藉由该真空镀膜机可实现将容置腔内镀膜完成后剩余的镀膜材料通过连通管导出；并且在冷却装置的作用下，从连通管处导出的镀膜材料会积聚并且沉积在收集装置处以便于后续处理。
[0008] 为了实现上述目的，本发明提供了一种真空镀膜机，所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，所述镀膜筒体开设有容置腔，所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通，所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，其特征在于：所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，所述连通管的首端与所述容置腔连通，所述连通管的末端与所述冷却装置连通，所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上，所述收集装置还与所述连通管相连通。
[0009] 具体地，所述真空镀膜机还包括安装于所述连通管上并位于所述镀膜筒体和所述收集装置之间的
阀门。
[0010] 更具体地，所述连通管包括相互对接连通的第一连通管和第二连通管，所述第一连通管的一端与所述容置腔连通，所述第一连通管的另一端与所述第二连通管的一端连通，所述第二连通管的另一端与所述冷却装置连通，所述收集装置设置于所述第一连通管的底部，所述阀门位于所述第一连通管上。
[0011] 更进一步地，所述第一连通管呈H字形。
[0012] 具体地，所述真空镀膜机还包括输送管，所述输送管依次与所述蒸发室、裂解室及镀膜筒体的容置腔连通。
[0013] 更具体地，所述输送管的外表面包裹有保温层。
[0014] 具体地，所述真空镀膜机还包括门板，所述门板位于所述镀膜筒体的
侧壁并与所述镀膜筒体转动连接。
[0015] 更具体地，所述真空镀膜机还包括自动
锁紧装置，所述自动锁紧装置安装于所述门板及镀膜筒体中一者上，所述门板及镀膜筒体中的另一者具有向外凸起的凸件，所述自动锁紧装置驱动所述门板相对所述镀膜筒体转动并选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。
[0016] 更进一步地，所述自动锁紧装置包括驱动
电机以及锁紧钩，所述
驱动电机与所述锁紧钩连接，所述驱动电机驱动所述锁紧钩选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。
[0017] 较佳地，所述真空镀膜机还包括驱动待镀工件旋转用的旋转装置。
[0018] 与
现有技术相比，由于本发明的真空镀膜机，通过连通管的首端与镀膜筒体相连通而实现将容置腔内剩余的镀膜材料导出，使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，连通管的末端设置有冷却装置，收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上并且与连通管相连通，因此当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候，在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处，便于操作人员后续的处理。
附图说明
[0019] 图1是本发明的真空镀膜机的正视结构示意图。
[0020] 图2是本发明的真空镀膜机的侧视结构示意图。
[0021] 图3是本发明的真空镀膜机的俯视结构示意图。
具体实施方式
[0022] 为详细说明本发明内容的技术内容、构造特征、实现的效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0023] 请参考图1至图3，本发明的真空镀膜机100包括镀膜筒体10、抽真空装置20、冷却装置30、连通管40、收集装置50、供镀膜材料蒸发用的蒸发室60以及供镀膜材料裂解用的裂解室70。镀膜筒体10开设有用于存放待镀工件用的容置腔10a，抽真空装置20与镀膜筒体10的顶部连通并可对镀膜筒体10抽真空；优选地，抽真空装置20包括罗茨
泵，但不限于此；同时，本发明的真空镀膜机100还可设置有主泵80和辅助泵90，以实现在镀膜筒体10的容置腔10a体积较大时也能保证容置腔10a的真空值符合镀膜工艺的要求。镀膜筒体10的侧壁分别开设有两个位于不同
水平高度上的进料孔11，裂解室70将裂解后的镀膜材料通过进料孔11输送至容置腔10a内，因此可以对容置腔10a的不同高度
位置处同时进行输送镀膜材料；具体地，蒸发室60与裂解室70连通，裂解室70将裂解后的镀膜材料输送至容置腔10a，但不限于此；镀膜筒体10的底部与连通管40相连通，因此在镀膜完成之后容置腔10a内剩余的镀膜材料会通过连通管40离开容置腔10a，保持了本发明的真空镀膜机100的镀膜筒体10的内壁干净；连通管40的首端与容置腔10a连通，连通管40的末端与冷却装置30连通，收集装置50设于连通管40位于镀膜筒体10与冷却装置30之间的部位上且收集装置50还与连通管40相连通，因此从镀膜筒体处被导出的镀膜材料在连通管40内被冷却而积聚并且沉积在收集装置50内。在本
实施例中，镀膜筒体10和收集装置50之间的连通管40上还安装有阀门110以防止在镀膜的过程中镀膜材料会从连接孔13处进入到连通管40内。
[0024] 请继续参考图1至图3，在本实施例中，连通管40包括第一连通管41和第二连通管42。第一连通管41的一端与容置腔10a连通，第一连通管41的另一端与第二连通管42的一端连通，第二连通管42的另一端与冷却装置30连通，收集装置50设置于第一连通管41的底部，阀门110位于所述第一连通管上；更具体地，第一连通管41呈H字形，相对应地，收集装置50有两个，且两个收集装置50分别设置于第一连通管41底部的两个位置处，进一步确保了从连通管40处导出的镀膜材料在冷却装置30的作用下充分地被积聚沉积，但不限于此；收集装置50与第一连通管41之间的连接为可拆卸地连接，以便于在收集装置50收集一段时间后可以从第一连通管41处拆卸下来并进行清理。本实施例中的第二连通管42为具有两端弯管结构，可进一步防止镀膜材料沿着连通管40进入到其它装置中。具体地，第二连通管42的一端与第一连通管41连通，第二连通管42的另一端分别连接有冷却装置30以及主泵80，因此冷却装置30和主泵80都可以通过同一个连通管40对镀膜筒体10内实现不同的功能，使得本发明的真空镀膜机100的结构更加简单。优选地，冷却装置30包括冷阱以及
冰水机，但不限定于此。
[0025] 请继续参考图1至图3，在本实施例中，真空镀膜机100还包括输送管120、门板130、自动锁紧装置140以及驱动待镀工件旋转用的旋转装置150。输送管120依次与蒸发室60、裂解室70及镀膜筒体10的容置腔10a连通；输送管120的外表面包裹有保温层121以实现镀膜材料在从裂解室70到容置腔10a的过程中不会由于输送管120的
温度低于镀膜材料的温度而被迅速冷却进而粘附在输送管120内壁上，因此可避免浪费镀膜材料；具体地，保温层121包括有加热丝、保温
棉以及电热偶中的至少一者，保温层121还可以是本领域技术人员的常用的用于加热保温的其他元器件，在此并不一一赘述。本发明中的输送管120的一端与裂解室70连接，输送管120的一端可以分别开设有多个与镀膜筒体10连接的连接头以实现对容置腔10a内的多个处于不同位置的部分同时输送镀膜材料的功能。如图所示，门板130设置于镀膜筒体10的侧壁并与镀膜筒体10转动连接；本发明中的自动锁紧装置140安装于门板130及镀膜筒体10中一者上，门板130及镀膜筒体10中的另一者具有向外凸起的凸件，自动锁紧装置140驱动门板130相对镀膜筒体10转动并选择性地锁紧凸件或释放对凸件150的锁紧；具体地，在本发明中门板130的一端向上凸设有与自动锁紧装置140配合使用的凸件
131，且门板130的一面开设有观察窗132以便于在真空镀膜机100工作的过程中可以随时透过观察窗132观察到容置腔10a内的镀膜情况。自动锁紧装置140包括感应器141、驱动电机
142以及锁紧钩143，当感应器141感应到门板130与镀膜筒体10的侧壁之间的距离在预设距离内时，驱动电机142驱动锁紧钩143锁紧凸件131；当完成镀膜加工工艺之后需要打开门板时，可通过人手操作控制驱电机142释放对凸件131的锁紧；一方面，避免了操作人员未将门板130完全关闭而导致抽真空装置20不能对镀膜筒体10内进行抽真空至所需的真空值；另一方面，也可以保证在镀膜过程中门板130始终处于紧锁状态而不会导致镀膜筒体10在镀膜过程中
泄漏出镀膜材料。旋转装置150用于驱动位于容置腔10a内的待镀工件转动，在本发明的真空镀膜机100的实际工作过程中，待镀工件在被镀膜的过程中持续地旋转以使得待镀工件的表面各处更均匀地与镀膜材料
接触，使得镀膜效果更加良好。当然在其他实施例中，门板130除了可以通过向上凸设一凸件131以与被自动锁紧装置140锁紧实用外，还可以是朝水平方向向外凸设有凸件131，但不限于此。
[0026] 同时，在本实施例中，真空镀膜机100的阀门150有若干个；阀门150除了设置于第一连通管41内，还被设置于蒸发室60和裂解室70之间以控制进入到裂解室70内的镀膜材料的多少，或者被设置于输送管120内以实现在镀膜完成后放置裂解室70内的镀膜材料继续进入到容置腔10a内，避免造成镀膜材料的浪费，但不限于此。
[0027] 以下结合图1至图3，对本发明的真空镀膜机100的工作过程作更进一步地描述：
[0028] 首先，抽真空装置20对镀膜筒体10进行抽真空处理；然后蒸发室60蒸发镀膜材料，镀膜材料进入裂解室70内；裂解室70对镀膜材料进行裂解处理，裂解后的镀膜材料沿着输送管120进入至容置腔10a内并对待镀工件进行镀膜，与此同时，旋转装置150驱动待镀工件在被镀膜的过程中旋转；当检测到已经完成对待镀工件的镀膜之后，蒸发室60以及裂解室70均停止工作；接着打开第一连通管41内的阀门150，容置腔10a内剩余的镀膜材料沿着第一连通管41流出并且在冷却装置30的作用下沉积至收集装置50中。
[0029] 值得注意的是，本实施例中的镀膜筒体10为圆柱体，但不限于此；在其他实施例中，镀膜筒体10还可以是长方体或者正方体等。镀膜筒体10设置有供工件容置用的容置腔10a，具体地，容置腔10a的形状也可根据需要而设置为圆柱体或者长方体等。
[0030] 与现有技术相比，由于本发明的真空镀膜机100通过连通管40的首端与镀膜筒体10相连通而实现将容置腔10a内剩余的镀膜材料导出，使得容置腔10a内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，连通管40的末端设置有冷却装置30，收集装置50设于连通管40位于镀膜筒体10与冷却装置30之间的部位上并且与连通管40相连通，因此当镀膜材料从容置腔10a内被导出并且在连通管40内运动的时候，在冷却装置30的作用下会聚集并且沉积在收集装置
50处，便于操作人员后续的处理。
[0031] 以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，其作用是方便本领域的技术人员理解并据以实施，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明
申请专利范围所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。
