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装卸片装置以及 磁控溅射 镀膜设备

阅读：728发布：2023-02-10

专利汇可以提供装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸料吸持组件。基于实用新型的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利，下面是装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，其特征在于，所述装卸片装置包括：
装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；
卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。
2.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料驱动组件包括装料安装座、至少两条连接于所述装料安装座并向上延伸形成的装料滑杆以及至少两个并分别与一所述装料滑杆滑接配合并与所述装料驱动组件连接的装料滑接件以及连接于所述装料安装座并用于驱动所述装料滑接件沿所述装料滑杆上下滑动的装料驱动器。
3.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，各装料滑接件均至少通过一对坦克轮来与装料滑杆滑接配合。
4.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，所述卸料驱动组件包括卸料安装座、至少两条连接于所述卸料安装座并向上延伸形成的卸料滑杆以及至少两个并分别与一所述卸料滑杆滑接配合并与所述装料驱动组件连接的卸料滑接件以及连接于所述卸料安装座并用于驱动所述卸料滑接件沿所述卸料滑杆上下滑动的卸料驱动器。
5.如权利要求4所述的装卸片装置，其特征在于，各卸料滑接件均至少通过一对坦克轮来与卸料滑杆滑接配合。
6.如权利要求1至5中任一项所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料吸持组件包括装料真空发生器、装料吸料机构以及装料机械手，所述装料吸料机构至少包括设有一个装料吸盘，所述装料机械手用于驱动各所述装料吸盘至所述装料工位，所述装料真空发生器用于对各所述装料吸盘与基片之间形成的空间进行抽真空，以使基片与所述装料吸盘相吸持，其中，所述装料机械手还用于驱动所述装料吸料机构转动。
7.如权利要求6所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料机械手包括装料机械底座以及装料缓冲机构，所述装料机械底座开设有装料缓冲腔，所述装料机械底座于其左侧开设有将所述装料缓冲腔连通至外部的左侧装料通孔，而于其右侧至少一个开设有将所述装料缓冲腔连通至外部的右侧装料通孔，所述右侧装料通孔开设的数量、位置均与所述装料吸盘对应设置，所述装料缓冲机构包括从穿过所述左侧装料通孔并从外部延伸至所述装料缓冲腔的装料引气件、至少一个且分别穿过一个所述右侧装料通孔并分别连接一个所述装料吸盘的装料引气杆、位于所述装料缓冲腔并连接所述装料引气件和所述装料引气杆的装料连接件、连接于所述装料引气杆外杆面的装料卡位件、位于所述装料缓冲腔内并位于所述装料连接件和所述装料卡位件且套接所述装料引气杆的第一装料压缩弹簧以及位于所述装料缓冲腔外并位于所述装料连接件和所述装料卡位件的第二装料压缩弹簧，所述第一装料压缩弹簧一端与所述装料连接件弹性抵触，另一端与所述装料机械底座弹性抵触，所述第一装料压缩弹簧一端与所述装料卡位件弹性抵触，另一端与所述装料机械底座弹性抵触，其中，所述装料引气件、所述装料连接件、所述装料引气杆共同开设有连通所述装料吸盘和所述装料真空发生器的装料连通通道。
8.如权利要求1至5中任一项所述的装卸片装置，其特征在于，所述卸料吸持组件包括卸料真空发生器、卸料吸料组件以及卸料机械手，所述卸料吸料组件至少包括设有一个卸料吸盘，所述卸料机械手用于驱动各所述卸料吸盘至所述卸料工位，所述卸料真空发生器用于对各所述卸料吸盘与基片之间形成的空间进行抽真空，以使基片与所述卸料吸盘相吸持，所述卸料机械手还用于驱动所述卸料吸料组件转动。
9.如权利要求8所述的装卸片装置，其特征在于，所述卸料机械手包括卸料机械底座以及卸料缓冲机构，所述卸料机械底座开设有卸料缓冲腔，所述卸料机械底座于其左侧开设有将所述卸料缓冲腔连通至外部的左侧卸料通孔，而于其右侧至少一个开设有将所述卸料缓冲腔连通至外部的右侧卸料通孔，所述右侧卸料通孔开设的数量、位置均与所述卸料吸盘对应设置，所述卸料缓冲机构包括从穿过所述左侧卸料通孔并从外部延伸至所述卸料缓冲腔的卸料引气件、至少一个且分别穿过一个所述右侧卸料通孔并分别连接一个所述卸料吸盘的卸料引气杆、位于所述卸料缓冲腔并连接所述卸料引气件和所述卸料引气杆的卸料连接件、连接于所述卸料引气杆外杆面的卸料卡位件、位于所述卸料缓冲腔内并位于所述卸料连接件和所述卸料卡位件的第一卸料压缩弹簧以及位于所述卸料缓冲腔外并位于所述卸料连接件和所述卸料卡位件的第二卸料压缩弹簧，所述第一卸料压缩弹簧一端与所述卸料连接件弹性抵触，另一端与所述卸料机械底座弹性抵触，所述第一卸料压缩弹簧一端与所述卸料卡位件弹性抵触，另一端与所述卸料机械底座弹性抵触，其中，所述卸料引气件、所述卸料连接件、所述卸料引气杆共同开设有连通所述卸料吸盘和所述卸料真空发生器的卸料连通通道。
10.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的装卸片装置。

说明书全文

装卸片装置以及磁控溅射 镀膜设备

技术领域

[0001] 本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备。

背景技术

[0002] 磁控溅射镀膜设备中，需要将基片装载至磁控溅射镀膜设备的挂片送料装置，在基片完成镀膜之后，再从挂片送料装置卸离。目前，将基片装载至挂片送料装置以及从挂片送料装置卸离的过程较为复杂，导致装卸效率较低。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种装卸片装置，其旨在解决装卸效率低的问题。

[0004] 本实用新型是这样实现的：

[0005] 一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，所述装卸片装置包括：

[0006] 装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；

[0007] 卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。

[0008] 基于本实用新型的结构设计，粘附有基片的基片架随载料小车将反复依次经过待装工位、待卸工位。其中，当需要装料时，首先，使装料驱动组件位于待装工位，其次，在载料小车将运载至待装工位时，装料驱动组件使装料抓爪置入挂料孔，再次，装料升降组件驱动装料驱动组件从待装工位上升到装料工位，最后，卸料吸持组件真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至基片架后撤销对基片的吸持。而当要卸料时，首先，使卸料驱动组件位于待卸工位，其次，在载料小车将运载至待卸工位时，卸料驱动组件使卸料抓爪置入挂料孔，再次，卸料升降组件驱动卸料驱动组件从待卸工位上升到卸料工位，最后，卸料吸持组件用于真空吸持基片并将基片取离基片架且将基片移至预设位置后撤销对基片的吸持。由此，基于实用新型的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。附图说明

[0009] 为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0010] 图1是本实用新型实施例提供的装卸片装置应用于磁控溅射镀膜设备的整体俯视图；

[0011] 图2是本实用新型实施例提供的装卸片装置的侧视图；

[0012] 图3是本实用新型实施例提供的装卸片装置的装料升降组件、装料抓爪和装料驱动组件的结构示意图；

[0013] 图4是本实用新型实施例提供的装卸片装置的装料升降组件局部示意图；

[0014] 图5是本实用新型实施例提供的装卸片装置的装料升降组件的装料吸持组结构示意图。

[0015] 附图标号说明：

[0016]标号名称标号名称
100 基片
110 基片架 120 载料小车
101 待装工位 102 待卸工位
200 装料机构
201 装料工位
210 装料抓爪 220 装料驱动组件
230 装料升降组件
231 装料安装座 232 装料滑杆
233 装料滑接件 234 装料驱动器
240 装料吸持组件
241 装料吸料机构 2411 装料吸盘
242 装料机械手
2421 装料机械底座
2422 装料缓冲机构
24221 装料引气件 24222 装料引气杆
24223 装料连接件 24224 装料卡位件
24225 第一装料压缩弹簧 24226 第二装料压缩弹簧
2401 装料缓冲腔 2402 左侧装料通孔
2403 右侧装料通孔
300 卸料机构

具体实施方式

[0017] 为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

[0018] 请参阅图1和图2，本实用新型实施例提供一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片100挂载至挂片送料装置，且在基片100完成镀膜之后，再从挂片送料装置卸下基片100，其中，挂片送料装置包括供基片100粘附的基片架110、用于装载基片架110的载料小车120以及用于驱动基片架110 沿一环路径循环运动并依次经过待装工位101、待卸工位102的驱动机构，基片架110开设有左右方向贯通设置的挂料孔。

[0019] 请继续参阅图1和图2，该装卸片装置包括装料机构200和卸料机构300。

[0020] 具体地，装料机构200包括装料抓爪210、用于驱动装料抓爪210作业左右方向往复运动以使装料抓爪210置入或抽离挂料孔的装料驱动组件220、驱动装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于待装工位101和装料工位201的装料升降组件230以及用于真空吸持基片100并将基片100驱动贴合至基片架110 且在基片100粘贴至基片架110后撤销对基片100的吸持的装料吸持组件240，其中，装料工位201位于待装工位101上方。

[0021] 而卸料机构300则包括卸料抓爪、用于驱动卸料抓爪作业左右方向往复运动以使卸料抓爪置入或抽离挂料孔的卸料驱动组件、驱动卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于待卸工位102和卸料工位的装料升降组件230以及用于真空吸持基片100并将基片100取离基片架110且将基片100移至预设位置后撤销对基片100的吸持的卸料吸持组件，其中，卸料工位位于待卸工位102上方。

[0022] 基于本实用新型的结构设计，粘附有基片100的基片架110随载料小车120 将反复依次经过待装工位101、待卸工位102。其中，当需要装料时，首先，使装料驱动组件220位于待装工位101，其次，在载料小车120将运载至待装工位101时，装料驱动组件220使装料抓爪210置入挂料孔，再次，装料升降组件230驱动装料驱动组件220从待装工位101上升到装料工位201，最后，卸料吸持组件真空吸持基片100并将基片100驱动贴合至基片架110且在基片100 粘贴至基片架110后撤销对基片100的吸持。而当要卸料时，首先，使卸料驱动组件位于待卸工位102，其次，在载料小车120将运载至待卸工位102时，卸料驱动组件使卸料抓爪置入挂料孔，再次，卸料升降组件驱动卸料驱动组件从待卸工位102上升到卸料工位，最后，卸料吸持组件用于真空吸持基片100 并将基片100取离基片架110且将基片100移至预设位置后撤销对基片100的吸持。由此，基于实用新型的结构，可以不断地将基片100装载至挂片送料装置，以及在基片100完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。

[0023] 在此需要说明的是，卸料机构300在结构上与装料机构200相似，具体结构也可参见装料机构200。

[0024] 请继续参阅图1和图2，装料驱动组件220包括装料安装座231、至少两条连接于装料安装座231并向上延伸形成的装料滑杆232以及至少两个并分别与一装料滑杆滑接配合并与装料驱动组件220连接的装料滑接件233以及连接于装料安装座231并用于驱动装料滑接件233沿装料滑杆232上下滑动的装料驱动器234。采用该结构设计，有利于简化装料驱动组件220的结构，便于生产制造，降低成本。

[0025] 进一步地，各装料滑接件233均至少通过一对坦克轮来与装料滑杆232滑接配合，这样，有利于提高装料滑接件233滑动过程中的稳定性。

[0026] 请继续参阅图1和图2，卸料驱动组件包括卸料安装座、至少两条连接于卸料安装座并向上延伸形成的卸料滑杆以及至少两个并分别与一卸料滑杆滑接配合并与装料驱动组件220连接的卸料滑接件以及连接于卸料安装座并用于驱动卸料滑接件沿卸料滑杆上下滑动的卸料驱动器。同样地，采用该结构设计，有利于简化装料驱动组件220的结构，便于生产制造，降低成本。

[0027] 进一步地，各卸料滑接件均至少通过一对坦克轮来与卸料滑杆滑接配合。这样，有利于提高装料滑接件233滑动过程中的稳定性。

[0028] 请参阅图1，装卸片装置还包括于待装工位101处定位载料小车120的装料定位机构，以及于待装工位101处防止载料小车120晃动的装料加紧机构，其中，装料加紧机构包括位于载料小车120左侧的装料定位左爪、用于驱动装料定位左爪抵触载料小车120的装料左爪驱动器、位于载料小车120左侧的装料定位右爪以及用于驱动装料定位右爪抵触载料小车120的装料右爪驱动器。在使用过程中，通过装料左爪驱动器驱动装料定位左爪抵触载料小车120，以及装料右爪驱动器驱动装料定位右爪抵触载料小车120来共同使装料定位左爪和装料定位右爪共同夹紧载料小车120。

[0029] 当然，在实用新型实施例中，装卸片装置还包括于待卸工位102处定位载料小车120的卸料定位机构，以及于待卸工位102处防止载料小车120晃动的卸料加紧机构，其中，卸料加紧机构包括位于载料小车120左侧的卸料定位左爪、用于驱动卸料定位左爪抵触载料小车120的卸料左爪驱动器、位于载料小车120左侧的卸料定位右爪以及用于驱动卸料定位右爪抵触载料小车120的卸料右爪驱动器。在使用过程中，通过卸料左爪驱动器驱动卸料定位左爪抵触载料小车120，以及卸料右爪驱动器驱动卸料定位右爪抵触载料小车120来共同使卸料定位左爪和卸料定位右爪共同夹紧载料小车120。

[0030] 请参阅图2至图5，装料吸持组件240包括装料真空发生器、装料吸料机构241以及装料机械手242，装料吸料机构241至少包括设有一个装料吸盘2411，装料机械手242用于驱动各装料吸盘2411至装料工位201，装料真空发生器用于对各装料吸盘2411与基片100之间形成的空间进行抽真空，以使基片100 与装料吸盘2411相吸持，装料机械手242还用于驱动装料吸料机构241转动。基于此结构设计，通过装料吸盘2411配合真空，通过真空形成与取消，即可吸持基片100或取消吸持基片100，便于抓取基片100。

[0031] 请参阅图2至图5，装料机械手242包括装料机械底座2421以及装料缓冲机构2422，装料机械底座2421开设有装料缓冲腔2401，装料机械底座2421 于其左侧开设有将装料缓冲腔2401连通至外部的左侧装料通孔2402，而于其右侧至少一个开设有将装料缓冲腔2401连通至外部的右侧装料通孔2403，右侧装料通孔2403开设的数量、位置均与装料吸盘2411对应设置，装料缓冲机构2422包括从穿过左侧装料通孔2402并从外部延伸至装料缓冲腔2401的装料引气件24221、至少一个且分别穿过一个右侧装料通孔2403并分别连接一个装料吸盘2411的装料引气杆24222、位于装料缓冲腔2401并连接装料引气件 24221和装料引气杆24222的装料连接件24223、连接于装料引气杆24222外杆面的装料卡位件24224、位于装料缓冲腔2401内并位于装料连接件24223和装料卡位件24224的第一装料压缩弹簧24225以及位于装料缓冲腔2401外并位于装料连接件24223和装料卡位件24224的第二装料压缩弹簧24226，第一装料压缩弹簧24225一端与装料连接件24223弹性抵触，另一端与装料机械底座 2421弹性抵触，第一装料压缩弹簧24225一端与装料卡位件24224弹性抵触，另一端与装料机械底座2421弹性抵触，其中，装料引气件24221、装料连接件 24223、装料引气杆
24222共同开设有连通装料吸盘2411和装料真空发生器的装料连通通道。基于此结构设计，装料吸盘2411接触到基片100时，能够防止装料吸盘2411刚性抵触基片100而对基片100造成损坏。

[0032] 卸料吸持组件包括卸料真空发生器、卸料吸料组件以及卸料机械手，卸料吸料组件至少包括设有一个卸料吸盘，卸料机械手用于驱动各卸料吸盘至卸料工位，卸料真空发生器用于对各卸料吸盘与基片100之间形成的空间进行抽真空，以使基片100与卸料吸盘相吸持，其中，卸料机械手还用于驱动卸料吸料组件转动。同样地，基于此结构设计，通过装料吸盘2411配合真空，通过真空形成与取消，即可吸持基片100或取消吸持基片100，便于抓取基片100。此外，卸料机械手还用于驱动卸料吸料组件转动，这样，有利于避免卸料过程中对基片100造成破坏。

[0033] 卸料机械手包括卸料机械底座以及卸料缓冲机构，卸料机械底座开设有卸料缓冲腔，卸料机械底座于其左侧开设有将卸料缓冲腔连通至外部的左侧卸料通孔，而于其右侧至少一个开设有将卸料缓冲腔连通至外部的左侧卸料通孔，左侧卸料通孔开设的数量、位置均与卸料吸盘对应设置，卸料缓冲机构包括从穿过左侧卸料通孔并从外部延伸至卸料缓冲腔的卸料引气件、至少一个且分别穿过一个右侧卸料通孔并分别连接一个卸料吸盘的卸料引气杆、位于卸料缓冲腔并连接卸料引气件和卸料引气杆的卸料连接件、连接于卸料引气杆外杆面的卸料卡位件、位于卸料缓冲腔内并位于卸料连接件和卸料卡位件的第一卸料压缩弹簧以及位于卸料缓冲腔外并位于卸料连接件和卸料卡位件的第二卸料压缩弹簧，第一卸料压缩弹簧一端与卸料连接件弹性抵触，另一端与卸料机械底座弹性抵触，第一卸料压缩弹簧一端与卸料卡位件弹性抵触，另一端与卸料机械底座弹性抵触，其中，卸料引气件、卸料连接件、卸料引气杆共同开设有连通卸料吸盘和卸料真空发生器的卸料连通通道。同样地，基于此结构设计，卸料吸盘接触到基片100时，能够防止卸料吸盘刚性抵触基片100而对基片100造成损坏。

[0034] 本实用新型还提出一种磁控溅射镀膜设备，该磁控溅射镀膜设备包括上述的装卸片装置，该装卸片装置的具体结构参照上述实施例，由于本磁控溅射镀膜设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

[0035] 以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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