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一种PVD 镀膜上下料除尘系统

阅读：743发布：2023-02-24

专利汇可以提供一种PVD 镀膜上下料除尘系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开一种PVD 镀膜上下料除尘系统，涉及自动化设计技术领域。该除尘系统包括工作台和用于容纳成品或原料的料盘部，料盘部包括相互盖合的治具板和盖板，还包括：循环组件设置在工作台上，多个料盘部设置在循环组件上并由循环组件带动在多个预设位置之间移动，且多个料盘部的运动轨迹封闭；除尘组件设置在工作台的一侧，除尘组件能抓取循环组件的一个预设位置上的盖板以进行除尘，并将除尘后的盖板盖设另一个预设位置的治具板内的原料上。本实用新型提出的PVD镀膜上下料除尘系统，结构设计合理，占用空间小，除尘效果好，生产效率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利，下面是一种PVD 镀膜上下料除尘系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种PVD 镀膜上下料除尘系统，包括工作台(1)和用于容纳成品或原料的料盘部(2)，所述料盘部(2)包括相互盖合的治具板(21)和盖板(22)，其特征在于，还包括：
循环组件(3)，其设置在所述工作台(1)上，多个所述料盘部(2)设置在所述循环组件(3)上并由所述循环组件(3)带动在多个预设位置之间移动，且多个所述料盘部(2)的运动轨迹封闭；
除尘组件(4)，其设置在所述工作台(1)的一侧，所述除尘组件(4)能抓取所述循环组件(3)的一个预设位置上的盖板(22)以进行除尘，并将除尘后的盖板(22)盖设另一个预设位置的所述治具板(21)内的所述原料上。
2.根据权利要求1所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述循环组件(3)包括循环动力源(31)和环型轨道(32)，所述环型轨道(32)上间隔设置有多个模座(33)，每个所述模座(33)上可拆卸设置有所述料盘部(2)，所述循环动力源(31)驱动所述环型轨道(32)转动，进而带动多个所述料盘部(2)转动。
3.根据权利要求2所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述环型轨道(32)呈腰形结构，其包括两个相互平行的第一直线段(321)和第二直线段(322)，以及分别连接所述第一直线段(321)和所述第二直线段(322)的第一弧线段(323)和第二弧线段(324)。
4.根据权利要求3所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述预设位置至少包括所述第一弧线段(323)上设置的第一预设位(001)，所述第一直线段(321)上设置的第二预设位(002)，和所述第二直线段(322)上设置的第六预设位(006)；其中所述第一预设位(001)、所述第二预设位(002)和所述第六预设位(006)位于所述除尘组件(4)的上方。
5.根据权利要求1所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述除尘组件(4)包括除尘工作台(41)、除尘部、传送部(42)、第一抓取组件(43)和第二抓取组件(44)，所述除尘工作台(41)位于所述循环组件(3)的下方；所述传送部(42)设置在除尘工作台(41)内，所述除尘部位于所述传送部(42)的底部并朝向所述传送部(42)设置；所述第一抓取组件(43)和所述第二抓取组件(44)均设置在工作台(1)上并均能抓取盖板(22)。
6.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述循环组件(3)部分伸出所述工作台(1)，所述除尘工作台(41)、所述除尘部和所述传送部(42)设置在所述循环组件(3)伸出所述工作台(1)的部分的下方，所述第一抓取组件(43)和第二抓取组件(44)对称设置在所述循环组件(3)的两侧。
7.根据权利要求6所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述除尘组件(4)还包括抽真空组件(45)，所述抽真空组件(45)设置在所述除尘工作台(41)的一侧，所述抽真空组件(45)通过管路与所述除尘部连通，所述抽真空组件(45)为所述除尘部提供负压。
8.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述第一抓取组件(43)包括固定在除尘工作台(41)上的支架(431)、设置在支架(431)上的Y向驱动组件(432)、连接所述Y向驱动组件(432)的自由端的X向驱动组件(433)、连接所述X向驱动组件(433)的自由端的Z向驱动组件(434)和连接在所述Z向驱动组件(434)自由端的第一抓取部(435)。
9.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述传送部(42)包括第一皮带轮(421)、第二皮带轮和绕设在所述第一皮带轮(421)和所述第二皮带轮上的皮带(422)，所述第一皮带轮(421)设置在靠近第一抓取组件(43)的一侧，所述第二皮带轮设置在靠近第二抓取组件(44)的一侧。
10.根据权利要求9所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述传送部(42)还包括设置在所述皮带(422)上的多个连接块(423)，相邻两个所述连接块(423)能对所述盖板(22)进行限位。

说明书全文

一种PVD镀膜上下料除尘系统

技术领域

[0001] 本实用新型涉及自动化设计技术领域，尤其涉及一种PVD镀膜上下料除尘系统。

背景技术

[0002] PVD镀膜上下料系统是PVD镀膜设备进行配套的自动化系统，主要的功能是从PVD镀膜设备中，将加工好的成品，连同盖板、治具板一起取出，下一步将盖板与治具板分离并送去清理除尘，将成品从治具板中取出放入空的Tray盘输送到下一个工艺位置，空的治具板流入下工位补充原料，并将清理除尘完的盖板盖上后再次输入PVD镀膜设备，进行循环加工过程。其中，对盖板进行清理和去除，使得除尘后的盖板能够继续参与上下料系统的循环。

[0003] 现有技术中，PVD镀膜上下料系统在整体布局时，通常将除尘系统单独设在一侧，再外设一个传动组件与整个PVD镀膜上下料系统连通。这种结构设置使得整个PVD镀膜上下料系统的占地空间大，结构设计合理性不高；同时，清理好的盖板在外设的传动组件上，运输距离较远，生产效率低。实用新型内容

[0004] 针对上述问题，本实用新型提出一种PVD镀膜上下料除尘系统，结构设计合理，占用空间小，除尘效果好，生产效率高。

[0005] 本实用新型采用以下技术方案：

[0006] 一种PVD镀膜上下料除尘系统，包括工作台和用于容纳成品或原料的料盘部，所述料盘部包括相互盖合的治具板和盖板，还包括：

[0007] 循环组件，其设置在所述工作台上，多个所述料盘部设置在所述循环组件上并由所述循环组件带动在多个预设位置之间移动，且多个所述料盘部的运动轨迹封闭；

[0008] 除尘组件，其设置在所述工作台的一侧，所述除尘组件能抓取所述循环组件的一个预设位置上的盖板以进行除尘，并将除尘后的盖板盖设另一个预设位置的所述治具板内的所述原料上。

[0009] 作为本实用新型的一种优选方案，所述循环组件包括循环动力源和环型轨道，所述环型轨道上间隔设置有多个模座，每个所述模座上可拆卸设置有所述料盘部，所述循环动力源驱动所述环型轨道转动，进而带动多个所述料盘部转动。

[0010] 作为本实用新型的一种优选方案，所述环型轨道呈腰形结构，其包括两个相互平行的第一直线段和第二直线段，以及分别连接所述第一直线段和所述第二直线段的第一弧线段和第二弧线段。这种结构能够使得整个环型轨道的结构更加合理，更好地配合上下料系统，提供多个预设位。

[0011] 作为本实用新型的一种优选方案，所述预设位置至少包括所述第一弧线段上设置的第一预设位，所述第一直线段上设置的第二预设位，和所述第二直线段上设置的第六预设位；其中所述第一预设位、所述第二预设位和所述第六预设位位于所述除尘组件的上方。

[0012] 作为本实用新型的一种优选方案，所述除尘组件包括除尘工作台、除尘部、传送部、第一抓取组件和第二抓取组件，所述除尘工作台位于所述循环组件的下方；所述传送部设置在除尘工作台内，所述除尘部位于所述传送部的底部并朝向所述传送部设置；所述第一抓取组件和所述第二抓取组件均设置在工作台上并均能抓取盖板。

[0013] 作为本实用新型的一种优选方案，所述循环组件部分伸出所述工作台，所述除尘工作台、所述除尘部和所述传送部设置在所述循环组件伸出所述工作台的部分的下方，所述第一抓取组件和第二抓取组件对称设置在所述循环组件的两侧。这种结构设置更加合理，同时进一步优化了空间的布置，位置更加紧凑；同时由于除尘工作台为顶面开口的半封闭的工作台，而开口处正好能够被循环组件伸出工作台的部分挡住，进一步起到了对除尘工作台防尘的作用，结构设计巧妙。

[0014] 作为本实用新型的一种优选方案，所述除尘组件还包括抽真空组件，所述抽真空组件设置在所述除尘工作台的一侧，所述抽真空组件通过管路与所述除尘部连通，所述抽真空组件为所述除尘部提供负压。

[0015] 作为本实用新型的一种优选方案，所述第一抓取组件包括固定在除尘工作台上的支架、设置在支架上的Y向驱动组件、连接所述Y向驱动组件的自由端的X向驱动组件、连接所述X向驱动组件的自由端的Z向驱动组件和连接在所述Z向驱动组件自由端的第一抓取部。

[0016] 作为本实用新型的一种优选方案，所述传送部包括第一皮带轮、第二皮带轮和绕设在所述第一皮带轮和所述第二皮带轮上的皮带，所述第一皮带轮设置在靠近第一抓取组件的一侧，所述第二皮带轮设置在靠近第二抓取组件的一侧。

[0017] 作为本实用新型的一种优选方案，所述传送部还包括设置在所述皮带上的多个连接块，相邻两个所述连接块能对所述盖板进行限位。

[0018] 本实用新型的有益效果为：

[0019] 本实用新型提出的一种PVD镀膜上下料除尘系统，通过将循环组件设置工作台上，多个料盘部设置在循环组件上并由循环组件带动在多个预设位置之间移动，且多个料盘部的运动轨迹封闭，使得整个循环过程的结构更加合理，占用空间更小；再将除尘组件设置在工作台的一侧，除尘组件能抓取循环组件的一个预设位置上的盖板以进行除尘，并将除尘后的盖板盖设另一个预设位置的治具板内的原料上，进而完成除尘工作。本实用新型提出的PVD镀膜上下料除尘系统，结构设计合理，除尘效果好，生产效率高。附图说明

[0020] 图1是本实用新型实施例提供的PVD镀膜上下料系统的结构示意图；

[0021] 图2是本实用新型实施例提供的料盘部的爆炸视图；

[0022] 图3是本实用新型实施例提供的循环组件和料盘部配合的结构示意图；

[0023] 图4是本实用新型实施例提供的PVD镀膜上下料系统的俯视图；

[0024] 图5是本实用新型实施例提供的除尘组件的结构示意图；

[0025] 图6是图5中A处的局部放大示意图；

[0026] 图7是本实用新型实施例提供Tray盘的结构示意图；

[0027] 图8是本实用新型实施例提供上料组件的结构示意图；

[0028] 图9是图8中B处的局部放大示意图；

[0029] 图10是本实用新型实施例提供的定位组件的结构示意图；

[0030] 图11是图10中C处的局部放大示意图；

[0031] 图12是本实用新型实施例提供的下料组件的结构示意图。

[0032] 图中：

[0033] 1、工作台；

[0034] 2、料盘部；21、治具板；22、盖板；

[0035] 211、第二容纳槽；

[0036] 3、循环组件；31、循环动力源；32、环型轨道；33、模座；

[0037] 321、第一直线段；322、第二直线段；323、第一弧线段；324、第二弧线段；

[0038] 4、除尘组件；41、除尘工作台；42、传送部；43、第一抓取组件；44、第二抓取组件；45、抽真空组件；

[0039] 421、第一皮带轮；422、皮带；423、连接块；

[0040] 431、支架；432、Y向驱动组件；433、X向驱动组件；434、Z向驱动组件；435、第一抓取部；

[0041] 5、下料组件；51、下料机械手；52、下储料部；

[0042] 511、下料机械臂；512、下料吸盘组件；

[0043] 521、下料支架；

[0044] 6、上料组件；61、上料机械手；62、上储料部；

[0045] 611、上料机械臂；612、上料吸盘组件；

[0046] 6121、上料吸盘安装架；6122、上料吸盘；6123、第一驱动组件；

[0047] 621、上料支架；

[0048] 7、定位组件；71、定位平台；72、定位机械手；

[0049] 711、第一定位平台；712、第二定位平台；

[0050] 7111、定位槽；

[0051] 721、第一定位机械手；722、第二定位机械手；

[0052] 7211、第一定位机械臂；7212、第一码放吸盘组件；

[0053] 72121、第一码放吸盘安装架；72122、第一码放吸盘；72123、第二驱动组件；

[0054] 8、Tray盘；81、第一容纳槽；

[0055] 001、第一预设位；002、第二预设位；003、第三预设位；004、第四预设位；005、第五预设位；006、第六预设位。

具体实施方式

[0056] 为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0057] 在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0058] 在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

[0059] 图1是本实用新型实施例提供的PVD镀膜上下料系统的结构示意图，图2是本实用新型实施例提供的料盘部的爆炸视图，综合图1和图2所示，该PVD镀膜上下料系统主要包括工作台1、循环组件3、除尘组件4、下料组件5、上料组件6和定位组件7。其中，工作台1是承载循环组件3和定位组件7的部件，定位组件7设置在工作台1上且处于循环组件3和上料组件6之间；下料组件5和上料组件6分别设置在工作台1相对的两侧，除尘组件4设置在工作台1的一侧；图2中，料盘部2包括相互盖合的治具板21和盖板22，成品或原料(图中未示出)容纳在料盘部2中参与循环。在实际操作过程中，其中一个预设位置用于将容纳有原料的料盘部2传动到PVD镀膜机内进行加工，并接收PVD镀膜机内传送出的容纳有成品的料盘部2，再使得容纳有成品的料盘部2在上下料系统内循环。

[0060] 为描述工作原理，实际的循环过程可简单概括为：

[0061] 第1步、在一个预设位置处接收PVD镀膜机内传送出的容纳有成品的料盘部2，循环组件3带动容纳有成品的料盘部2在其他多个预设位置之间移动；

[0062] 第2步、循环组件3继续传送，当运动到除尘组件4处时，除尘组件4能抓取循环组件3上的盖板22以进行除尘；

[0063] 第3步、循环组件3继续传送，当运动到下料组件5处时，下料机械手51能将成品从循环组件3上抓取并码放在下储料部52内；

[0064] 第4步、循环组件3继续传送，当运动到上料组件6处时，上料机械手61能将原料从上储料部62内抓取并码放在定位平台71上，定位机械手72能抓取原料并码放在循环组件3上的治具板21上；

[0065] 第5步、循环组件3继续传送，当运动到除尘组件4处时，除尘组件4能抓取除尘后的盖板22并盖设在原料上；

[0066] 第6步、循环组件3继续传送，将容纳有原料的料盘部2穿送入PVD镀膜机内进行加工，再重复第1步中的过程，形成一个循环。

[0067] 通过对上述循环过程的描述可知，料盘部2作为承载原料或成品的部件，由循环组件3带动在不同的预设位置循环，实现将盖板22取下并除尘、将成品取出并码放到下料组件5中、将原料从上料组件6内取出并准确地码放到治具板21上，最后将除尘后的盖板22再放到治具板21上形成容纳有原料的料盘部2，输送到PVD镀膜机内进行加工。因此，本实用新型提出的PVD镀膜上下料系统，结构设计合理，上下料速度快，生产效率高。

[0068] 图3是本实用新型实施例提供的循环组件和料盘部配合的结构示意图，如图3所示，循环组件3包括循环动力源31和环型轨道32，环型轨道32上间隔设置有多个模座33，每个模座33上可拆卸设置有料盘部2，循环动力源31驱动环型轨道32转动，进而带动多个料盘部2转动。

[0069] 具体地，料盘部2的治具板21可通过卡合等方式实现可拆卸设置在模座33上，图3中一共设置有八个模座33，每个模座33中均卡合有一个治具板21，原料或成品能设置在治具板21上，盖板22能盖合在治具板21上。其中，环型轨道32呈腰形，包括两个相互平行的第一直线段321和第二直线段322，以及分别连接第一直线段321和第二直线段322的第一弧线段323和第二弧线段324。综合图1和图3可知，第一弧线段323位于除尘组件4的上方，第一直线段321靠近下料组件5，第二直线段322靠近上料组件6，即第一直线段321主要用于和下料组件5配合，第二直线段322主要用于和上料组件6配合。

[0070] 在本实施例中，如图3所示，循环动力源31包括在底部朝上设置的电机，电机的位置设置在第一弧线段323的一侧。电机的输出端设置有第一转盘，第一转盘为形成第一弧线段323的结构件，第二弧线段324的位置处设置有第二转盘，第二转盘为形成第二弧线段32的结构件。环型轨道32选为能与第一转盘和第二转盘配合的链结构，即第一转盘和第二转盘的周向外壁能与环型轨道32内侧啮合以实现转矩的传递。如图3所示，模座33主体的底部与环型轨道32连接，模座33主体的顶部分成四个子模座，子模座用于卡合料盘部。电机的转动速度决定环型轨道32运动的速度，进而决定模座33上的料盘部2在不同预设位置之间移动的速度。

[0071] 图3中第一直线段321上设置三个料盘部2，第二直线段322上设置三个料盘部2，第一弧线段323和第二弧线段324均对应设置一个料盘部2。图4是本实用新型实施例提供的PVD镀膜上下料系统的俯视图，如图4所示，预设位置至少包括六个，其中第一弧线段323上设置有第一预设位001，第一直线段321上设置有第二预设位002和第三预设位003，第二弧线段324上设置第四预设位004，第二直线段322上设置第五预设位005和第六预设位006；其中第一预设位001、第二预设位002和第六预设位006位于除尘组件4的上方。

[0072] 上述的第一预设位001至第六预设位006并不是实体结构，而是为了便于描述整个循环过程而虚拟出的运动位置，也不在此限定预设位置的具体数量。如图4所示，第一预设位001和PVD镀膜机(图中未示出)的进口和出口正对，当料盘部2运动到第一预设位001时，装有原料的料盘部2从模座33上被分离并输送入PVD镀膜机内进行加工，装有成品的料盘部2从PVD镀膜机内输出并卡合到模座33上。

[0073] 当料盘部2运动到第二预设位002时，除尘组件4的第一抓取组件43将料盘部2的盖板22抓取下来，进行除尘。

[0074] 当料盘部2运动到第三预设位003时，下料组件5的下料机械手51将治具板21上的成品抓取并放置在下料组件5内；图4中第三预设位003可以包括两个位置，即图4中第三预设位003处指向的两个料盘部2所代表的位置，以提高生产效率，即此时下料机械手51的活动半径能覆盖第三预设位003中的两个料盘部2。

[0075] 当料盘部2运动到第四预设位004时，此时的模座33上只卡合了治具板21，由于在原料的加工过程中，治具板21不需要每次操作都进行除尘工作，所以治具板21的表面随着循环次数的增加才会积累灰尘和脏物。因此第四预设位004的设置，目的在于在必要的时候，可以自动或手动，在第四预设位004处，将治具板21拆卸下来，换上干净的治具板21。第四预设位004设置的位置既方便操作，还能够保证上下料系统的正常运行，避免停机造成的效率降低和成本增加。

[0076] 当料盘部2运动到第五预设位005时，定位机械手72将定位平台71上的原料准确码放在治具板21上，对应第三预设位003可以包括两个位置，第五预设位005也包括两个位置，具体不再赘述。

[0077] 当料盘部2运动到第六预设位006时，除尘组件4的第二抓取组件44将除尘后干净的盖板22抓取，码放到容纳有原料的治具板21上，再循环到第一预设位001处。

[0078] 第一预设位001至第六预设位006的布置，能够有效地配合循环组件3的环型轨道32的形状设置的，这种设置更加合理，使得循环过程更加流畅。

[0079] 进一步地，图5是本实用新型实施例提供的除尘组件的结构示意图，如图5所示，为了更方便描述，在图5中添加了XYZ 坐标系，其中X向、Y向和Z向相互垂直。除尘组件4具体包括除尘工作台41、除尘部(图中未示出)、传送部42、第一抓取组件43和第二抓取组件44，还优选设置了抽真空组件45。其中除尘工作台41为顶面开口的半封闭的工作台，除尘工作台41位于循环组件3的下方；传送部42设置在除尘工作台41内，用于传送盖板22；除尘部位于传送部42的底部，并朝向传送部42设置，用于通过抽取空气的方式产生气流，使得设置在传送部42上的盖板22上的灰尘和脏物随着气流被排出而实现清洁作用；第一抓取组件43和第二抓取组件44均设置在工作台1上并均能抓取盖板22，其中第一抓取组件43设置在传送部
42的一侧，对应上述第二预设位002的位置，第二抓取组件44设置在传送部42的另一侧，对应上述第六预设位006的位置。即第一抓取组件43用于抓取第二预设位002处料盘部2的盖板22，并将盖板22放置在传送部42上，传送部42将盖板22从第二预设位002的一侧传动到第六预设位006的一侧，在传送过程中位于传送部42的底部并朝向传送部42设置的除尘部，对盖板22进行清洁，清洁后的盖板22，由第二抓取组件44抓取放置在第六预设位006处的容纳有原料的治具板21上，再循环到第一预设位001处。

[0080] 进一步地，为了使得整个除尘组件4和工作台1的布置位置更加紧凑，同时能够更好地与循环组件3配合，本实用新型还提出了一种布置方式。如图1所示，将循环组件3设置为部分伸出工作台1，除尘工作台41、除尘部和传送部42设置在循环组件3伸出工作台1的部分的下方，第一抓取组件43和第二抓取组件44对称设置在循环组件3的两侧。即图4中第一预设位001、第二预设位002和第六预设位006位于除尘组件4的上方，这种设置方式使得第一抓取组件43的活动半径能覆盖第二预设位002，第二抓取组件44的活动半径能覆盖第六预设位006，而实际对盖板22的除尘和传送工作时在循环组件3伸出工作台1的部分的下方进行的。这种结构设置更加合理，同时进一步优化了空间的布置，位置更加紧凑；同时由于除尘工作台41为顶面开口的半封闭的工作台，而开口处在Z向上正好能够被循环组件3伸出工作台1的部分挡住，进一步起到了对除尘工作台41防尘的作用，结构设计巧妙。

[0081] 具体地，如图5所示，抽真空组件45设置在除尘工作台41的一侧，并通过管路与除尘部连通，抽真空组件45为除尘部提供负压；而除尘部在工作台41内，可采用扩口的集尘罩等结构，扩口处朝向传送部42，将传送部42上的盖板上的灰尘吸附并由抽真空组件45排出，集尘罩属于本领域常用的结构件，在此不再赘述。抽真空组件45可以设置成柜体的结构，并设置多个开关和调节按钮；或与其他生产线的负压系统连通，以节省能源。

[0082] 图6是图5中A处的局部放大示意图，即图6是为了更好地展示第一抓取组件43，由于第一抓取组件43和第二抓取组件44的结构相同，因此以第一抓取组件43为例进行描述。如图6所示，第一抓取组件43主要包括支架431、Y向驱动组件432、X向驱动组件433、Z向驱动组件434和第一抓取部435。

[0083] 如图6所示，支架431固定在除尘工作台41上，支架431既能够起支撑作用，还能够保证第一抓取部435处于循环组件3的上方，使得第一抓取部435能够抓取循环组件3上的盖板22。Y向驱动组件432设置在支架431上，Y向驱动组件432用于驱动第一抓取部435在Y向的运动；X向驱动组件433连接在Y向驱动组件432的自由端，X向驱动组件433用于驱动第一抓取部435在X向的运动；Z向驱动组件434连接在X向驱动组件433的自由端，且第一抓取部435连接在Z向驱动组件434的自由端，Z向驱动组件434用于驱动第一抓取部435在Z向的运动。

[0084] X向驱动组件433、Y向驱动组件432和Z向驱动组件434是为了控制第一抓取部435在空间的移动，本实施例中采用的是直线电机，还可以选择其他可实现直线运动的机构，或直接设置一个机械手臂，代替X向驱动组件433、Y向驱动组件432和Z向驱动组件434，只要能控制第一抓取部435在空间的移动，均在本实用新型的保护范围。

[0085] 第一抓取部435可以优选多个吸盘，通过吸盘的吸附作用，实现对盖板22的抓取或释放。相应地，为了实现盖板22在抓取或释放过程中的准确运动，在第一抓取部435上还设置有传感器，以感应第一抓取部435与盖板22之间的距离，进而控制各个驱动组件的动作。

[0086] 因此，在实际工作过程中，以第一抓取组件43为例，第一抓取部435处于循环组件3的上方，Y向驱动组件432和X向驱动组件433动作，调整第一抓取部435，使其处于第二预设位002处料盘部2的上方，Z向驱动组件434驱动第一抓取部435向下运动，将盖板22分离。Z向驱动组件434驱动第一抓取部435向上运动，Y向驱动组件432和X向驱动组件433动作，将第一抓取部435移动到传送部42靠近第二预设位002的端部，并通过传感器感应具体的位置，Z向驱动组件434驱动第一抓取部435向下运动，将盖板22码放到相邻两个连接块423的卡槽内使盖板22能够被限位住。上述Y向驱动组件432、X向驱动组件433和Z向驱动组件434归位，进行下一个盖板22的抓取和移动。第二抓取组件44的结构相同，动作顺序相反，在此不再赘述。

[0087] 如图6所示，传送部42采用皮带传送的方案，包括第一皮带轮421、第二皮带轮(图中未示出)和绕设在第一皮带轮421和第二皮带轮上的皮带422。第一皮带轮421设置在靠近第一抓取组件43的一侧，第二皮带轮设置在靠近第二抓取组件44的一侧，且皮带422上还设置有多个连接块423，相邻两个连接块423能对盖板22进行限位，防止在传动过程中，盖板22在皮带422上的位置发生移动而阻碍传送过程。

[0088] 具体地，图6中，第一皮带轮421包括一根转轴和连接转轴两端的子皮带轮，皮带422也分成两条子皮带，分别绕设在两个子皮带轮上，而连接块423呈长条状，连接块423的两端分别固定在两条子皮带上。盖板22沿X向的两端能搭接在两个子皮带轮上，盖板22沿Y向的两端能搭接在两个相邻的连接块423上，并且可从图6中观察到，连接块423上还设置有能与盖板22边沿适配并卡合的卡槽结构，用于更好地将盖板22固定。

[0089] 这种设置方式的目的在于能够使得两条子皮带之间为中空结构，使得位于传送部42的底部并朝向传送部42设置的除尘部，能够更好地清理盖板22上的灰尘，结构简单，使用方便，可靠性高。

[0090] 进一步地，上储料部62和下储料部52内，均设置有多个Tray盘8，图7是本实用新型实施例提供Tray盘的结构示意图，Tray盘8为本领域的一种常规结构，每个Tray盘8内设置有多个第一容纳槽81，多个第一容纳槽81按第一布置位置分布，每个第一容纳槽81内对应容纳一个原料或者成品。

[0091] Tray盘8通常是注塑件，价格便宜，因此其精度并不高，仅用于承载原料或者成品。如图1中所示，多个Tray盘8能够上下叠放，以节省存储空间。如图7中所示，一个Tray盘8内设置有八个第一容纳槽81，其中三个第一容纳槽81为一组，并排设置有两组，另外两个第一容纳槽81设置在两组的两侧。

[0092] 相对应地，如图2中所示，治具板21内设置有八个第二容纳槽211，第二容纳槽211按第三布置位置分布，其中三个第二容纳槽211为一组，并排设置有两组，另外两个第二容纳槽211设置在两组的两侧，第二容纳槽211同样用于容纳原料或者成品。

[0093] 对比图2和图7可见，图7中相邻两个第一容纳槽81之间的距离较大，而图2中相邻两个第二容纳槽211的距离较小。由于治具板21为金属板机加工制成，其结构强度高，相邻两个第二容纳槽211的距离可以做的较小，而Tray盘8是注塑件，其结构强度差，相邻两个第一容纳槽81的距离需要做的较大。

[0094] 通过上述分析，可以预计地是，上储料部62内的Tray盘8中的八个原料，按第一布置位置分布，治具板21中的八个第二容纳槽211，按第三布置位置分布，如果想把上储料部62内的Tray盘8中的八个原料移动到治具板21中的八个第二容纳槽211中，就需要对八个原料的布置位置进行调整，使得八个原料的位置，从第一布置位置分布调整成第三布置位置分布。

[0095] 为了达到上述目的，在工作台1上且处于循环组件3和上料组件6之间设置了定位组件7，定位组件7包括定位平台71和定位机械手72。其中，定位平台71为上储料部62和治具板21中间的二次定位平台，即上储料部62的按第一布置位置分布八个原料，先放置在定位平台71上，先进行一次位置的变化，再通过定位机械手72，将位置变化的八个原料抓取，放到治具板21内按第三布置位置分布的八个第二容纳槽211中。

[0096] 具体地，图8是本实用新型实施例提供上料组件的结构示意图，如图8所示，上料组件6包括上料机械手61和上储料部62。其中，上储料部62包括上料支架621和放置在上料支架621内的多个Tray盘8；上料机械手61设置上料支架621上。上储料部62的具体结构在此不再做展开，Tray盘8在上储料部62内是沿高度方向叠放的，上储料部62内部需要多个空的Tray盘8和装有原料的Tray盘8之间的循环，以保证有源源不断地补充装有原料的Tray盘8进入到上储料部62内，再将空的Tray盘8从上储料部62内移出，到其他系统中补充原料。

[0097] 图9是图8中B处的局部放大示意图，如图9所示，上料机械手61包括上料机械臂611和连接在上料机械臂611自由端的上料吸盘组件612。在本实施例中，一个Tray盘8内有八个原料，因此对应上料吸盘组件612可以一次性抓取八个原料。具体地，上料吸盘组件612包括上料吸盘安装架6121和与上料吸盘安装架6121连接的多个上料吸盘6122，上料吸盘安装架6121与上料机械臂611自由端连接，上料吸盘6122的数量设置有八个，且八个上料吸盘6122的初始位置是按第一布置位置分布的。优选上料吸盘6122为吸盘，能更好地吸附住原料，并对应设置传感器，以感应与原料之间的位移，进而控制上料机械臂611的动作。

[0098] 进一步地，上料吸盘组件612还包括与多个上料吸盘6122对应设置的多个第一驱动组件6123，每个上料吸盘6122均通过第一驱动组件6123与上料吸盘安装架6121连接，第一驱动组件6123用于调节多个上料吸盘6122在上料吸盘安装架6121的位置，即本实施例中八个上料吸盘6122的初始位置是按第一布置位置分布的，第一驱动组件6123动作，即可改变位置分布。

[0099] 图10是本实用新型实施例提供的定位组件的结构示意图，综合图1、图4和图10可以看出，在本实施例中，定位平台71设置有两个，定位机械手72对应也两个，对应第五预设位005包括两个位置。具体地，如图10所示，定位平台71包括并排设置里的第一定位平台711和第二定位平台712，第一定位平台711的一侧对应设置有第一定位机械手721，第二定位平台712的一侧对应设置有第二定位机械手722；第一定位机械手721和第二定位机械手722结构相同，第一定位平台711和第二定位平台712结构相同。

[0100] 以第一定位平台711和第一定位机械手721的结构为例进行说明，图10中第一定位平台711设置在工作台1靠近上料组件6的一侧，第一定位机械手721设置在工作台1靠近循环组件3的一侧。

[0101] 第一定位平台711上设置有多个定位槽7111，图10中设置有四个定位槽7111，且四个定位槽7111按第二布置位置分布，每个定位槽7111内能对应容纳一个原料，即第二布置位置分布为直线并列形式；第一定位机械手721包括第一定位机械臂7211和连接在第一定位机械臂7211自由端的第一码放吸盘组件7212。

[0102] 由上述结构可知，第一定位平台711作为其中一个定位结构，其包含四个按第二布置位置分布的定位槽7111，因此，上料吸盘组件612一次性抓取的八个原料，在初始位置是按第一布置位置分布，如果想码放在第一定位平台711和第二定位平台712上，就需要改变八个原料的位置分布。图9中的第一驱动组件6123动作，驱动八个上料吸盘6122按直线并列形式重新排列，并调整相邻两个上料吸盘6122之间的间距，使得整个上料吸盘组件612上的八个上料吸盘6122分成两组，一组四个，每组均按第二布置位置分布排列。调整完毕后，上料机械臂611动作，将上料吸盘组件612上按第二布置位置分布的两组上料吸盘6122中的原料，分布码放到第一定位平台711和第二定位平台712上。

[0103] 由此可知，上料机械臂611的活动半径，覆盖上储料部62中上料支架621内的多个Tray盘8，同时覆盖第一定位平台711和第二定位平台712上。同时在本实施例中，第一驱动组件6123优选为气缸，其结构强度较高，且易于控制，通过气缸设置的位置不同，控制气缸的伸出和缩回，来实现调节上料吸盘组件612在第一布置位置分布和第二布置位置分布之间切换。

[0104] 由于第一定位平台711和第二定位平台712上，均容纳有四个按第二布置位置分布的生俩，而循环组件3上的治具板21内设置有八个第二容纳槽211，且八个第二容纳槽211按第三布置位置分布，因此还需要将第一定位平台711和第二定位平台712内的原料再次进行位置变换，以码放到治具板21内。

[0105] 图11是图10中C处的局部放大示意图，从图11中可见，第一码放吸盘组件7212包括第一码放吸盘安装架72121和与第一码放吸盘安装架72121连接的多个第一码放吸盘72122。在本实施例中，第一码放吸盘安装架72121与第一定位机械臂7211自由端连接，第一码放吸盘72122设置有四个，与第一定位平台711上的四个定位槽7111对应。第一码放吸盘
72122的初始位置按第二布置位置分布，因此可一次性将第一定位平台711上的四个定位槽
7111内，按第二布置位置分布的四个原料抓取。

[0106] 第一码放吸盘组件7212还包括与多个第一码放吸盘72122对应设置的多个第二驱动组件72123，每个第一码放吸盘72122均通过第二驱动组件72123与第一码放吸盘安装架72121连接。第二驱动组件72123用于调节多个第一码放吸盘72122在第一码放吸盘安装架
72121的位置在第二布置位置分布和第三布置位置分布之间切换。

[0107] 由此可知，第一定位机械手721和第二定位机械手722能够分别从第一定位平台711和第二定位平台712上抓取四个按第二布置位置分布的原料，然后进行位置的变换，使得抓取的四个原料能按第三布置位置分布。然后第一定位机械手721和第二定位机械手722再分别将四个原料码放在循环组件3上治具板21内按第三布置位置分布的八个第二容纳槽
211中。

[0108] 因此，第一定位机械手721的活动半径覆盖第一定位平台711和一个治具板21，第二定位机械手722的活动半径覆盖第二定位平台712和一个治具板21，第一定位机械手721和第二定位机械手722相互不发生干涉。

[0109] 综上所述，通过设置定位组件7，其中定位平台71作为上储料部62和治具板21中间的二次定位平台，配合定位机械手72的动作，能够使得原料在传送过程中得到更好的定位和摆放。由于治具板21的加工精度较高，后续工艺中还需要与内部的原料相互作用以将原料加工成成品，使得治具板21内的原料的定位精度要求更高，对应地，Tray盘8仅用于承载原料或成品，其定位精度较低，只有通过定位组件7的作用，将八个原料的位置精度重新调整，才能够符合治具板21的定位精度要求。因此定位组件7的布置位置合理，结构巧妙，能够更好地保证上下料系统的正常运动；同时定位组件7分成了两组，每组分别用于控制四个原料的位置调整，效率更高，速度更快。

[0110] 同时，本实用新型并不限定一次性抓取的原料的数量以及定位组件7上定位槽7111的数量，一般采用六个、八个或十个等偶数；只要在上料组件6和循环组件3之间采用二次定位的结构和方法进行传送，均在本实用新型的保护范围内。

[0111] 图12是本实用新型实施例提供的下料组件的结构示意图，如图12所示，下料组件5包括下料机械手51和下储料部52。

[0112] 其中，下储料部52包括下料支架521和放置在下料支架521内的多个Tray盘8，下料机械手51设置下料支架521上。从图12中可以看出，下料支架521也分成了两组，将下料机械手51设置在两组之间，下料机械手51包括下料机械臂511和连接在下料机械臂511的自由端的下料吸盘组件512。下料机械臂511包括一个立轴和绕立轴转动的机械臂，因此下料吸盘组件512能以立轴为摆动中心，分别向两侧摆动，将下料吸盘组件512中抓取的成品码放在Tray盘8上。下料吸盘组件512包括多个吸盘和吸盘对应的感应器，感应吸盘和治具板21以及Tray盘8之间的位置关系，如图12所示，下料吸盘组件512包括八个吸盘。

[0113] 可以预计地是，由于下料吸盘组件512是用于抓取治具板21上按第三布置位置分布八个成品，再码放在空的Tray盘8内按第一布置位置分布的八个第一容纳槽81中，还需要进行从第三布置位置到第一布置位置的切换。因此下料机械手51可以选用和上料机械手61相近的结构，而在本实施例中，仅需控制下料吸盘组件512在空间中的位姿，调整下料吸盘组件512内八个吸盘的相对位置关系，即可实现从第三布置位置到第一布置位置的切换，再码放到空的Tray盘8内，而Tray盘8的位置精度不高，因此不需再设置定位组件进行定位，可以直接放到空的Tray盘8中，既节约了成本，又保证了系统能够快速运行。

[0114] 下储料部52的具体结构在此不再做展开，Tray盘8在下储料部52内是沿高度方向叠放的，下储料部52内部需要多个空的Tray盘8和装有成品的Tray盘8之间的循环，以保证源源不断从循环组件3上抓取的成品，能够通过Tray盘8从下储料部52内移出，到其他系统中进行下一步的工序；同时保证源源不断地向下储料部52内补充空的Tray盘8。

[0115] 实际的循环过程为：

[0116] 第1步、在第一预设位001，装有原料的料盘部2从模座33上被分离并输送入PVD镀膜机内进行加工，装有成品的料盘部2从PVD镀膜机内输出并卡合到模座33上。

[0117] 第2步、循环组件3继续传送，当料盘部2运动到第二预设位002时，除尘组件4的第一抓取组件43将第二预设位002处的料盘部2的盖板22抓取下来，并将盖板22放置在传送部42上，传送部42将盖板22从第二预设位002的一侧传动到第六预设位006的一侧，在传送过程中位于传送部42的底部并朝向传送部42设置的除尘部，对盖板22进行清洁。

[0118] 第3步、循环组件3继续传送，当料盘部2运动到第三预设位003时，下料组件5的下料机械手51将治具板21上的按第三布置位置分布的成品抓取下来，并通过下料机械手51将第三布置位置分布变化成第一布置位置分布，再码放在下储料部52内空的Tray盘8中。

[0119] 第4步、循环组件3继续传送，当料盘部2运动到第五预设位005时，先由上料机械手61将上储料部62的Tray盘8中的原料抓取，并将原料将第一布置位置分布变化成第二布置位置分布，码放在定位平台71上；定位机械手72再将定位平台71上的原料抓取，定位机械手
72将原料将第二布置位置分布变化成第三布置位置分布，并码放到治具板21上。

[0120] 第5步、循环组件3继续传送，当料盘部2运动到第六预设位006时，由第2步的传送部42传送到第六预设位006一侧的干净的盖板22，由第二抓取组件44抓取，放置在第六预设位006处的容纳有原料的治具板21上。

[0121] 第6步、循环组件3继续传送，当料盘部2运动到第一预设位001，此时容纳有原料料盘部2从模座33上被分离并输送入PVD镀膜机内进行加工，再重复第1步中的过程，形成一个循环。

[0122] 综上所述，本实用新型提出的PVD镀膜上下料系统，结构设计合理，上下料速度快，生产效率高；经过实际工作情况验证，该PVD镀膜上下料系统能减少产线需要的工人数量，并缩短生产周期，效率得到明显地提高；除尘组件4和工作台1的布置位置更加紧凑，与循环组件3配合紧密，这种布置方式占用空间更小。

[0123] 注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

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