原子层沉积装置
专利汇可以提供原子层沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 原子 层沉积 装置，包括安装台、双层加热腔室和气体过滤装置，安装台上滑动设置有双层 门 体组件，双层门体组件和双层腔室配合，气体过滤装置连通双层加热腔室。双层门体组件包括第一门板和第二门板，第一门板包括内侧面和外侧面，第二门板位于内侧面一侧且和第一门板间隔形成安装空间，位于安装空间内的内侧面上设置有加热板， 连接杆 活动穿设第一门板连接第二门板，调节板滑动设置在导杆上，驱动 气缸 连接调节板。双层加热腔室包括第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体的内壁间隔设置，第一腔体内铺设有加 热管 ，加热管包围第二腔体部分。本案中的原子层沉积装置能实现 硅 片 热加工以及加工后气体的过滤，全自动完成且一体化程度高。，下面是原子层沉积装置专利的具体信息内容。
1.一种原子层沉积装置，其特征在于，包括安装台、双层加热腔室和气体过滤装置，所述安装台上滑动设置有双层门体组件，所述双层门体组件和所述双层腔室配合，所述气体过滤装置连通所述双层加热腔室，
所述双层门体组件包括第一门板和第二门板，所述第一门板包括内侧面和外侧面，所述第二门板位于所述内侧面一侧且和所述第一门板间隔形成安装空间，所述第二门板在所述内侧面所在平面上的正投影位于所述内侧面上，位于所述安装空间内的所述内侧面上设置有加热板，连接杆活动穿设所述第一门板连接所述第二门板，所述外侧面上设置有导杆，调节板滑动设置在所述导杆上，所述连接杆连接所述调节板，所述调节板和所述外侧面之间设置有驱动气缸，所述驱动气缸连接所述调节板；
所述双层加热腔室包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内至少固定容置有1个所述第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体的内壁间隔设置，所述第一腔体内铺设有加热管，所述加热管包围所述第二腔体部分。
2.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一门板和所述调节板之间的所述连接杆上套设有波纹管，所述波纹管和所述第一门板、所述调节板固定连接，所述波纹管可伸缩。
3.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述导杆末端设置有限位块，所述导杆上设置有限位板，所述限位板和所述限位块之间设置有弹簧垫圈。
4.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一腔体和所述第二腔体在同一方向上开设有进出口。
5.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一腔体形成2个子腔体，所述子腔体互不连通，每个所述子腔体内容置有2个所述第二腔体，所述第二腔体相互间隔。
6.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一腔体内的底部设置有架板，所述加热管铺设在所述架板上，所述第二腔体底部设置有支撑脚，所述支撑脚固定连接所述架板，所述第二腔体和所述架板间隔。
7.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述加热管呈多组阵列设置，每组加热管呈连续U型。
8.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述气体过滤装置包括炉体，所述炉体的下端外表面固定安装有底板，且底板的下端活动安装有滚轮，所述炉体的后端外表面固定安装有进气管，且炉体的一侧外表面固定安装有进水管，所述炉体的内部靠近下端的位置固定安装有滤网，且炉体的内部靠近上端的位置固定安装有托盘，所述炉体的上端外表面固定安装有顶板，且顶板的上端外表面固定安装有出气管，所述炉体的另一侧设置有过滤桶，且过滤桶与炉体之间设置有阀门，所述炉体的外表面的中间位置固定安装有固定块。
9.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述滤网的下端固定安装有加热丝，且加热丝的外表面固定安装有连接块。
原子层沉积装置
技术领域
背景技术
发明内容
合，所述气体过滤装置连通所述双层加热腔室，
板在所述内侧面所在平面上的正投影位于所述内侧面上，位于所述安装空间内的所述内侧
面上设置有加热板，连接杆活动穿设所述第一门板连接所述第二门板，所述外侧面上设置
有导杆，调节板滑动设置在所述导杆上，所述连接杆连接所述调节板，所述调节板和所述外
侧面之间设置有驱动气缸，所述驱动气缸连接所述调节板；
加热管，所述加热管包围所述第二腔体部分。
体的一侧外表面固定安装有进水管，所述炉体的内部靠近下端的位置固定安装有滤网，且
炉体的内部靠近上端的位置固定安装有托盘，所述炉体的上端外表面固定安装有顶板，且
顶板的上端外表面固定安装有出气管，所述炉体的另一侧设置有过滤桶，且过滤桶与炉体
之间设置有阀门，所述炉体的外表面的中间位置固定安装有固定块。
具体实施方式
考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于
描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在
本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间
接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术
人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括
第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一
特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅
仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，
这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的
关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以
意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
体组件100和双层腔室配合，气体过滤装置400连通双层加热腔室200。双层门体组件100包
括第一门板101和第二门板102，第一门板101包括内侧面和外侧面，第二门板102位于内侧
面一侧且和第一门板101 间隔形成安装空间，第二门板102在内侧面所在平面上的正投影
位于内侧面上，位于安装空间内的内侧面上设置有加热板105，连接杆106活动穿设第一门
板101连接第二门板102，外侧面上设置有导杆107，调节板108滑动设置在导杆107上，连接
杆106连接调节板108，调节板108和外侧面之间设置有驱动气缸109，驱动气缸连接调节板。
双层加热腔室200包括第一腔体201和第二腔体202，第一腔体201内至少固定容置有1个第
二腔体202，第一腔体201和第二腔体202的内壁间隔设置，第一腔体201内铺设有加热管
203，加热管203包围第二腔体202部分。
和顶升板 306，顶升板306比滚轮组件305距离双层加热腔室更近。
时，滚轮组件305 能协助双层门体组件100更顺畅地进入到双层加热腔室内部。
结构308关于丝杠对称。
动，进而带动第二门板102向远离第一门板101的方向，也就是靠近位于大腔室里的小腔室
方向运动，使第二门板102和小腔室接触更紧密，提高小腔室内部的密封性，保证加工质量。
配合，保证载舟板117位于密封的小腔室中。
202中的材料在持续高温环境中发生氧化，附着在第二腔体202中的待加工元件表面，影响
加工质量。
架板205间隔。
安装进气管4，炉体1的一侧外表面固定安装进水管5，炉体1的内部靠近下端的位置固定安
装滤网6，首先气体会通过滤网6进行过滤，滤网6呈毛刺结构，能够更好的对气体进行过滤，
其中有三甲基铝附着于滤网6上，在对气体进行过滤时，需通过进水管5进行加水，三甲基铝
与水反应能够生成三氧化二铝和氢气，通过加热丝14能够将三甲基铝与水蒸气进行反应处
理，在这个过程中泵一直处于抽真空状态，炉体1的内部靠近上端的位置固定安装托盘9，炉
体1 的上端外表面固定安装顶板13，炉体1的另一侧设置过滤桶12，过滤桶12与炉体1之间
设置阀门11，炉体1的外表面的中间位置固定安装固定块7，顶板13的上端外表面固定安装
出气管10，最后在通过出气管10排出，顶撑机构包括气缸8与托盘9，能够减少部件之间的摩
擦，便于使用者的操作，在气体处理的过程中，过滤桶12能够去除掉气体中的杂质，结合阀
门11可控制过滤的效率，以上过滤流程生成的杂质较少能够避免堵塞的情况，气体的过滤
效果也较好。
摩擦。
能，在对气体进行过滤的过程中泵一直处于抽真空状态。
别连接上其他设备进行使用，之后再通过电源接口给装置提供电能，在气体通过进气管4通
入到炉体1的内部时，首先气体会通过滤网6进行过滤，滤网6呈毛刺结构，能够更好的对气
体进行过滤，其中有三甲基铝附着于滤网6上，在对气体进行过滤时，需通过进水管5进行加
水，三甲基铝与水反应能够生成三氧化二铝和氢气，通过加热丝14能够将三甲基铝与水蒸
气进行反应处理，在这个过程中泵一直处于抽真空状态，泵的型号为150QJ20-78，在这个过
程中三甲基铝的用量较少，最后的生成物有氢气、水和氮气，之后气体再通过顶撑机构，最
后在通过出气管10排出，顶撑机构包括气缸8 与托盘9，能够减少部件之间的摩擦，便于使
用者的操作，在气体处理的过程中，过滤桶12能够去除掉气体中的杂质，结合阀门11 可控
制过滤的效率，以上过滤流程生成的杂质较少能够避免堵塞的情况，气体的过滤效果也较
好，有效增加其自身的功能性，较为实用。
具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。在本说明书
中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特
征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
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