专利汇可以提供用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种用于金属有机 化学气相沉积 设备的楔形反应管,包括 石英 管、感应圈、进气管、出气管、衬底、 石墨 舟、上 法兰 和下法兰,在石英管外套有感应圈,特征是:在反应室内安装有圆柱形罩,隔板将进气腔分隔为左进气腔和右进气腔,圆柱形罩的出气腔与出气管连通。顶板倾斜的圆柱形罩与衬底一起形成一个楔形的反应腔,反应腔的进气端宽,出气端窄。本发明还设计有衬底旋转装置。下法兰安装在升降杆的升降臂上。本发明具有能够将不同反应气体分别送入反应室、有助于反应气体形成良好的 层流 、使反应气体混合均匀、减小预反应、大大提高材料生长均匀性和送取样非常方便的优点。,下面是用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管专利的具体信息内容。
1、一种用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管,包括石英管(23)、感 应圈(22)、左进气管(1)、右进气管(2)、出气管(13)、衬底(11)、石墨 舟(10)、上法兰(12)、圆环型下法兰(17)和下密封板(16),石英管(23) 的上下两端分别为上法兰(12)、下法兰(17)并与上法兰(12)、下法兰(17) 密封接触,上法兰(12)、下法兰(17)与石英管(23)之间为反应室(21), 在石英管(23)外套有中间通冷却水的柱型螺旋管状感应圈(22),在上法兰 (12)上安装有左进气管(1)、右进气管(2)和出气管(13),其特征在于: 在反应室(21)内安装有圆柱形罩(7),在圆柱形罩(7)的进气腔(3)内加 工有隔板(5),隔板(5)将进气腔(3)分隔为与左进气管(1)连通的左进 气腔(4)和与右进气管(2)连通的右进气腔(6),圆柱形罩(7)的出气腔 (14)与出气管(13)连通。
2、如权利要求1所述的用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管,其特 征在于:圆柱形罩(7)的进气腔(3)位于衬底(11)的斜上方,上端与衬底 (11)水平面垂直,下端与衬底(11)水平面成40-60°角,且顶板(9)倾 斜的圆柱形罩(7)与衬底(11)一起形成一个楔形的反应腔(8),顶板(9) 与衬底(11)水平面成15~25°角,反应腔(8)的进气端上下距离宽,出气 端上下距离窄。
3、如权利要求1或2所述的用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管, 其特征在于:在石墨舟(10)的底端安装有由顶杆(15)和电机(18)组成的 衬底旋转装置,顶杆(15)的顶端固定在石墨舟(10)的底端中央,底端穿过 下密封板(16)与固定在下密封板(16)底部的电机(18)的输出轴连接。
4、如权利要求3所述的用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管,其特 征在于:下密封板(16)安装在升降杆(19)的升降臂(20)上。
5、如权利要求4所述的楔形金属有机化学气相沉积设备反应管,其特征在于: 左进气腔(4)、右进气腔(6)和“L”形出气腔(14)的横截面为长方形,左 进气管(1)、右进气管(2)和出气管(13)的横截面为圆形。
本发明涉及反应管,尤其是涉及一种用于金属有机化学气相沉积设备的楔 形反应管。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
金属有机化学气相沉积设备及其腔室组件 | 2020-05-14 | 412 |
金属有机化合物化学气相沉积设备 | 2020-05-11 | 959 |
金属有机物化学气相沉积设备 | 2020-05-11 | 789 |
金属有机物化学气相沉积装置 | 2020-05-11 | 817 |
一种金属有机化学气相沉积设备 | 2020-05-13 | 496 |
有机金属化学气相沉积机台 | 2020-05-13 | 715 |
有机金属化学气相沉积机台 | 2020-05-13 | 374 |
有机金属化学气相沉积装置和方法 | 2020-05-13 | 242 |
金属有机化学气相沉积装置 | 2020-05-12 | 806 |
基片承载装置及金属有机化学气相沉积装置 | 2020-05-15 | 331 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。