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金属有机 化学气相沉积装置

阅读：806发布：2020-05-12

专利汇可以提供金属有机化学气相沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TOBT6和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料。本发明采用MVCOD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好。，下面是金属有机化学气相沉积装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，包括氮气容器(1)、干燥器(2)、阀门(3)、第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)、第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)和冷凝管(10)，氮气容器(1)通过干燥器(2)连接至第一石英反应器(7)，干燥器(2)通过阀门(3)连接至第二石英反应器(8)，第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)分别放置在第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内分别放置有TOBT(6)和活性炭(9)，第二石英反应器(8)与冷凝管(10)相连，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重
3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。
2.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述的干燥器(2)采用硅胶干燥器。
3.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55％，二氧化硅2.75％，红柱石12.5％，硅线石12.5％，三氧化二铁0.4％，另外加入占原材料总重6.5％的添加剂。
4.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内设有温度传感器。
5.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)内设有温度传感器。
6.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端。

说明书全文

金属有机化学气相沉积装置

技术领域

[0001] 本发明涉及的是化学设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积装置。

背景技术

[0002] 纳米粉末TiO2是有效的光催化剂，但存在回收困难、分散性差、颗粒易团聚等问题，极大地限制了其在废水处理中的实际应用。传统的光催化剂的制备设备不能有效地解决上述问题，因此需要一种新型的制备这种催化剂的设备，以便解决现有存在的问题。

发明内容

[0003] 为解决上述问题，本发明提供了一种金属有机化学气相沉积装置，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，实用性强。

[0004] 为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

[0005] 金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TOBT6和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器、第二石英反应器的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。

[0006] 作为优选，所述的干燥器采用硅胶干燥器。

[0007] 作为优选，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55％，二氧化硅2.75％，红柱石12.5％，硅线石12.5％，三氧化二铁0.4％，另外加入占原材料总重6.5％的添加剂。

[0008] 作为优选，所述第一煅烧器、第二煅烧器内设有温度传感器。

[0009] 作为优选，所述第一石英反应器、第二石英反应器内设有温度传感器。

[0010] 作为优选，所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端

[0011] 本发明具有以下有益效果：

[0012] 本发明采用MVCOD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，远红外辐射涂料的设置，改善了煅烧器内的热交换、提高煅烧器内温度场强及均匀性、使燃料燃烧更充分，达到增加热效率，大大提高耐火材料热效率，减少能耗、节约能源和延长煅烧器内衬使用年限，节能率高。附图说明

[0013] 图1为本发明实施例金属有机化学气相沉积装置的结构示意图。

具体实施方式

[0014] 为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0015] 如图1所示，本发明实施例提供了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器1、干燥器2、阀门3、第一煅烧器4、第二煅烧器5、第一石英反应器7、第二石英反应器8和冷凝管10，氮气容器1通过干燥器2连接至第一石英反应器7，干燥器2通过阀门3连接至第二石英反应器8，第一石英反应器7、第二石英反应器8分别放置在第一煅烧器4、第二煅烧器5内，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内分别放置有TOBT6和活性炭9，第二石英反应器8与冷凝管10相连，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50％～60％，二氧化硅0.5％～5％，红柱石10％～15％，硅线石10％～15％，三氧化二铁0.3％～0.5％，另外加入占原材料总重3％～10％的添加剂，所述第一石英反应器7、第二石英反应器8的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。

[0016] 所述的干燥器2采用硅胶干燥器。

[0017] 所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55％，二氧化硅2.75％，红柱石12.5％，硅线石12.5％，三氧化二铁0.4％，另外加入占原材料总重6.5％的添加剂。

[0018] 所述第一煅烧器4、第二煅烧器5内设有温度传感器。

[0019] 所述第一石英反应器7、第二石英反应器8内设有温度传感器。

[0020] 所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端[0021] 实施例1

[0022] 本实施例采用上述设备制备催化剂，其制备流程为：将5.0g颗粒状活性炭AC，-140-60mesh，在373K温度下的6.0mol·L HNO3中煮沸1h以生成羟基，然后用去离子水洗净，干燥后放入石英反应器中，在373K用干燥N2去水干燥15分钟；TBOT/N2混合物在298K条件下反应2-12h；向反应器中通干燥N230分钟以除去反应器中残留的部分前驱物；最后在氮气保护下煅烧3h，经检测其光催化剂的催化效果好。

[0023] 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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