专利汇可以提供用于电化学-机械抛光的方法和装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且公开了用于从微特征 工件 移除材料的方法和装置。在一个 实施例 中,将微特征工件与 抛光 介质的抛光表面相 接触 ,并且被放置于与第一和第二 电极 的相电连通,第一和第二电极中的至少之一与该工件分开。将 抛光液 体设置在抛光表面和工件之间,并且该工件和抛光表面中至少一个相对于另一个是移动的。从微特征工件移除材料,并且抛光液体的至少部分通过抛光表面中的至少一个凹陷,以使抛光液体中的间隙被 定位 在微特征工件和面向该微特征工件的凹陷的表面之间。,下面是用于电化学-机械抛光的方法和装置专利的具体信息内容。
1.一种从微特征工件移除材料的方法,包括:
使微特征工件与抛光介质的抛光表面相接触;
将微特征工件置于与第一电极和第二电极的电连通中,至少一个电极 与微特征工件分开;
在抛光面和微特征工件之间设置抛光液体;
使微特征工件和抛光面中的至少一个相对于另一个移动;
使电流通过电极和微特征工件,以从微特征工件移除材料,同时微特 征工件接触抛光表面;以及
使抛光液体中的至少部分通过抛光表面中至少一个凹陷,以使抛光液 体中的间隙被定位在微特征工件和面向微特征工件的凹陷表面之间。
2.根据权利要求1所述的方法,其中使微特征工件和抛光面中的至少 一个相对于另一个移动包括转动微特征工件。
3.根据权利要求1所述的方法,其中从微特征工件移除材料包括(a) 通过电化学-机械抛光移除至少第一部分材料和(b)通过直接电抛光没有 移除材料或者通过直接抛光移除比第一部分少的第二部分。
4.根据权利要求1所述的方法,其中凹陷的表面包括至少一个电极的 表面,以及其中使抛光液体中的至少部分通过该凹陷包括在抛光液体中的 间隙被定位在至少一个电极的表面和面向至少一个电极的表面的微特征 工件的表面之间的情况下使抛光液体通过该凹陷。
5.根据权利要求1所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的至 少一个包括转动微特征工件。
6.根据权利要求1所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的至 少一个包括以从大约10rpm至大约500rpm的速度转动微特征工件。
7.根据权利要求1所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的至 少一个包括以从大约50rpm至大约200rpm的速度转动微特征工件。
8.根据权利要求1所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的至 少一个包括以大约100rpm的速度转动微特征工件。
9.根据权利要求1所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的至 少一个包括以大约100rpm或更多的速度转动微特征工件。
10.根据权利要求1所述的方法,其中处理抛光液体包括以小于每分 钟1公升的速度处理抛光液体。
11.根据权利要求1所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过具有一般正交于微特征工件的从 大约0.5mm至10mm的尺寸的凹陷。
12.根据权利要求1所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过具有一般正交于微特征工件的从 大约2mm至4mm的尺寸的凹陷。
13.根据权利要求1所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过具有一般平行于与抛光表面接触 的微特征工件表面的大约0.375英寸的尺寸的凹陷。
14.根据权利要求1所述的方法,其中处理抛光液体包括处理具有 TMAH的抛光液体。
15.根据权利要求1所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过多个交叉的凹陷。
16.根据权利要求1所述的方法,其中使微特征工件接触抛光表面包 括使微特征工件的面向下的表面与面向上的抛光表面相接触。
17.一种从微特征工件移除材料的方法,包括:
使微特征工件与抛光介质的抛光表面相接触;
将微特征工件置于与第一电极和第二电极的电连通中,第一和第二电 极与微特征工件分开;
在抛光面和微特征工件之间设置抛光液体;
使来电流通过微特征工件从第一电极至第二电极,以从微特征工件移 除材料,同时微特征工件处于与抛光表面接触中;
相对于另一个转动微特征工件和抛光面中的至少一个;以及
使抛光液体中的至少部分通过抛光表面中的凹陷,以使抛光液体中的 间隙被定位在微特征工件和位于该凹陷中的第一和第二电极的表面之间, 该间隙提供在第一和第二电极表面和面向第一和第二电极表面的微特征 工件的表面之间的抛光液体的容积上的不连续。
18.根据权利要求17所述的方法,其中从微特征工件移除材料包括 (a)通过电化学-机械抛光移除至少第一部分材料和(b)通过直接电抛 光没有移除材料或者通过直接抛光移除比第一部分少的第二部分。
19.根据权利要求17所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的 至少一个包括以大约100rpm的速度转动微特征工件。
20.根据权利要求17所述的方法,其中处理抛光液体包括以小于每分 钟1公升的速度处理抛光液体。
21.根据权利要求17所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过具有一般正交于微特征工件的从 大约2mm至4mm的尺寸的凹陷。
22.根据权利要求17所述的方法,其中处理抛光液体包括处理具有 TMAH的抛光液体。
23.根据权利要求17所述的方法,其中使至少部分抛光液体通过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过多个交叉的凹陷。
24.根据权利要求17所述的方法,其中使微特征工件接触抛光表面包 括使微特征工件的面向下的表面与面向上的抛光表面相接触。
25.一种从微特征工件移除材料的方法,包括:
定位微特征工件的表面处于与抛光垫的抛光表面相接触;
设置抛光液体处于微特征工件的表面相接触;
使第一和第二电极之间的电流通过抛光液体及通过微特征工件的表 面,第一和第二电极中的至少之一与微特征工件分开;
使微特征工件和抛光面中的至少一个相对于另一个移动;以及
通过控制设置在微特征工件和至少一个电极之间而不是直接设置在 微特征工件和抛光表面之间的抛光液体的数量,控制使用电抛光和使用电 化学-机械抛光从微特征工件移除材料的相对数量。
26.根据权利要求25所述的方法,其中控制从微特征工件移除材料的 相对数量包括引导至少部分抛光液体通过抛光表面中的凹陷,以使将抛光 液体中的间隙定位在微特征工件和位于该凹陷中的第一及第二电极的表 面之间,该间隙提供在第一和第二电极表面和面向第一和第二电极表面的 微特征工件的表面之间的抛光液体的容积上的不连续。
27.根据权利要求25所述的方法,其中控制从微特征工件移除材料的 相对数量包括(a)通过电化学-机械抛光移除至少第一部分材料和(b) 通过直接电抛光没有移除材料、或者通过直接抛光移除比第一部分少的第 二部分。
28.根据权利要求25所述的方法,其中移动微特征工件和抛光面中的 至少一个包括以从大约10rpm至大约500rpm的速度转动微特征工件。
29.根据权利要求25所述的方法,其中处理抛光液体包括以小于每分 钟1公升的速度处理抛光液体。
30.根据权利要求25所述的方法,其中使至少部分抛光液体流过至少 一个凹陷包括使至少部分抛光液体流过具有一般正交于微特征工件的从 大约2mm至4mm的尺寸的凹陷。
31.根据权利要求25所述的方法,其中定位处于与抛光面相接触的微 特征工件的表面包括使微特征工件的面向下的表面与面向上的抛光表面 相接触。
32.一种从微特征工件移除材料的装置,包括:
支撑部件,所述支撑部件被配置以在抛光位置可释放地承载微特征工 件;
第一和第二电极,所述第一和第二电极被定位以在微特征工件被支撑 部件承载时将电流传导至微特征工件,在微特征工件被支撑部件承载时至 少一个电极远离微特征工件被设置;以及
抛光介质,所述抛光介质被设置在至少一个电极和支撑部件之间,抛 光介质和支撑部件中的至少一个相对于另一个是可移动的,抛光介质具有 抛光面,抛光面具有被定位以接纳抛光液体的至少一个凹陷,所述至少一 个凹陷具有凹陷表面表面,该凹陷表面面向支撑部件且与抛光表面远离被 设置以允许该凹陷中的抛光液体形成在抛光位置和该凹陷表面之间的间 隙。
33.根据权利要求32所述的装置,另外包括微特征工件。
34.根据权利要求32所述的装置,另外包括抛光液体。
35.根据权利要求32所述的装置,其中至少一个凹陷包含多个相交凹 陷。
36.根据权利要求32所述的装置,其中至少一个凹陷包含具有正交于 第二凹陷的第一凹陷的多个相交凹陷。
37.根据权利要求32所述的装置,其中在微特征工件被支撑部件承载 时第一和第二电极与微特征工件被分开设置。
38.根据权利要求32所述的装置,其中至少一个凹陷具有一般正交于 微特征工件的从大约0.5mm至10mm的尺寸。
39.根据权利要求32所述的装置,其中至少一个凹陷具有一般正交于 微特征工件的从大约2mm至4mm的尺寸。
40.根据权利要求32所述的装置,其中凹陷表面包含至少一个电极的 表面。
41.根据权利要求32所述的装置,其中抛光表面面向上。
42.根据权利要求32所述的装置,另外包括耦合至第一和第二电极的 电压源。
43.一种从微特征工件移除材料的装置,包括:
支撑装置,其用于承载微特征工件;以及
材料移除装置,用于从微特征工件移除材料,该材料移除装置包含抛 光表面和第一及第二电极,在支撑机构承载微特征工件时第一和第二电极 中至少一个与微特征工件分开,该材料移除装置另外包含控制装置,用于 通过控制设置在微特征工件和至少一个电极之间而不是直接设置在微特 征工件和抛光表面之间的抛光液体的数量,控制使用直接电抛光和使用电 化学-机械抛光从微特征工件移除材料的相对数量。
44.根据权利要求43所述的装置,其中材料移除装置包括具有抛光表 面的抛光垫,以及其中控制装置包括在抛光表面中形成至少一个凹陷的表 面。
45.根据权利要求43所述的装置,其中材料移除装置具有抛光表面的 抛光垫,并且其中控制机构包含在抛光表面中形成至少一个凹陷的表面, 另外其中该至少一个凹陷使至少一个电极的表面暴露。
46.根据权利要求43所述的装置,其中材料移除装置具有抛光表面的 抛光垫,并且其中控制装置包含在抛光表面中形成多个相交错的凹陷的表 面,另外其中该凹陷中的至少一些使至少一个电极的表面暴露。
47.一种从微特征工件移除材料的装置,包括:
支撑部件,其被配置以在抛光位置可释放地承载和转动微特征工件;
第一和第二电极,其被定位靠近支撑部件,以在微特征工件被支撑部 件承载时将电流传导至微特征工件,在微特征工件被支撑部件承载时至少 一个电极与微特征工件分开设置;以及
抛光垫材料,其被设置在电极和支撑部件之间,该抛光垫材料具有抛 光面,该抛光面具有多个第一凹陷和于第一凹陷相交的多个第二凹陷,第 一和第二凹陷延伸通过抛光垫材料以使面向支撑部件的第一和第二电极 的表面暴露,该第一和第二凹陷被定位以容纳抛光液体,该抛光液体形成 在抛光位置和第一和第二电极的表面之间的间隙。
48.根据权利要求47所述的装置,其中第一和第二凹陷一般是相互相 交的。
49.根据权利要求47所述的装置,其中凹陷具有从至少2mm至大约 4mm的深度。
本发明总体上涉及微特征工件(microfeature workpiece)加工,更具 体地涉及对微特征工件应用电化学-机械抛光和/或平面化(ECMP)的方 法和装置。
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