专利汇可以提供一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 电子 束 蒸发 镀 膜 机镀膜修正装置,包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个 卤素灯 、1个离子源和1个电子枪;所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上,所述4个卤素灯分为两组,沿中心 位置 两侧对称;蒸发源位于炉体中心对称位置;离子源位于炉体左侧;电子枪位于炉体右侧;固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置,安装在炉体内壁上;固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置,并安装在炉体内壁上;固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致;活动修正装置位于炉体右侧,位于电子枪上方。本 发明 具有结构简单,修正装置数量少、效果好等优点。,下面是一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置专利的具体信息内容。
1.一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,其特征在于:包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪;
所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上,所述4个卤素灯分为两组,沿中心位置两侧对称;所述蒸发源位于炉体中心对称位置;所述离子源位于炉体左侧;所述电子枪位于炉体右侧;
所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置,安装在炉体内壁上,能沿安装位置水平方向旋转调节;所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置,并安装在炉体内壁上,能沿安装位置水平方向旋转调节;所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致;所述活动修正装置位于炉体右侧,位于电子枪上方,能沿安装位置水平方向旋转调节。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,其特征在于:所述蒸发源靠近炉体出风口。
3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,其特征在于:所述离子源靠近炉门。
4.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,其特征在于:所述电子枪靠近炉门。
5.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,其特征在于:所述固定修正装置Ⅰ上修正板靠近镀膜机抽气口。
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