一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具
专利汇可以提供一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种用于 电子 束 蒸发 的 半导体 外延 片夹具，包括：一 支撑 板(11)；四个金属针状样品夹(12)；一辅助样品夹金属板(13)；二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)；四个金属针状样品夹固定螺丝(15)；以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。本发明提供的用于 电子束蒸发 的半导体外延片夹具，简单易行，对样品大小及形状没有限制、 传热 性能好、样品无遮挡。，下面是一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具专利的具体信息内容。
1.一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，包括：
一支撑板(11)，所述支撑板(11)采用铝合金材料制成，并且所述支撑板(11)为圆形、直径小于4英寸、厚度小于3mm；
一辅助样品夹金属板(13)；
二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)；
其特征在于，还包括：
四个金属针状样品夹(12)，所述四个金属针状样品夹(12)采用细钨丝材料制成、并且直径小于1mm；
四个金属针状样品夹固定螺丝(15)；以及
四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)；
其中，在所述支撑板(11)上以支撑板(11)中心为圆心、半径3英寸的圆上均匀排布所述四个金属针状样品夹固定螺丝(15)，每个金属针状样品夹固定螺丝(15)与所述辅助样品夹金属板(13)具有相同的夹角，所述四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)以所述四个金属针状样品夹固定螺丝(15)的各自中心为圆心制作，所述四个金属针状样品夹(12)一端固定在所述金属针状样品夹固定螺丝(15)上，另一端能够在所述金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)中滑动，通过在所述金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)中滑动可使金属针状样品夹夹持不同大小的样品。
2.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述辅助样品夹金属板(13)采用铝合金材料。
3.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述辅助样品夹金属板(13)为矩形且具有陡直的直角边。
4.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述辅助样品夹金属板固定螺丝(14)型号为M4的铜螺栓。
5.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述金属针状样品夹固定螺丝(15)型号为M6的铜螺栓。
一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具
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发明内容
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