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一种 湿蚀刻设备

阅读：10发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种湿蚀刻设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明揭示一种湿蚀刻设备，其包括：机台，所述机台中装有药液，对放置于所述机台内的半导体器件进行蚀刻；连接管路，所述连接管路连接于所述机台的底部，对所述机台传送药液，其中，所述连接管路包括：取液管道，所述取液管道与所述机台的底部连通；液位槽，所述液位槽连接于取液管道上，将取液管道分为上下连通的第一管路以及第二管路，其中，所述第一管路位于所述第二管路的上方，且所述液位槽与所述第一管路以及所述第二管路均互相连通，药液从所述第二管路分流，流向所述第一管路以及所述液位槽；液位传感器，所述液位传感器连接于所述液位槽的外侧；其特征在于，所述湿蚀刻设备还包括：过滤装置，所述过滤装置连接于所述连接管路中。，下面是一种湿蚀刻设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种湿蚀刻设备，其包括：
机台，所述机台中装有药液，对放置于所述机台内的半导体器件进行蚀刻；
连接管路，所述连接管路连接于所述机台的底部，对所述机台传送药液，其中，所述连接管路包括：
取液管道，所述取液管道与所述机台的底部连通，药液从外部通过所述取液管道进入所述机台；
液位槽，所述液位槽连接于所述取液管道上，将所述取液管道分为上下连通的第一管路以及第二管路，其中，所述第一管路位于所述第二管路的上方，且所述液位槽与所述第一管路以及所述第二管路均互相连通，药液从所述第二管路分流，流向所述第一管路以及所述液位槽；
液位传感器，所述液位传感器连接于所述液位槽的外侧；
其特征在于，所述湿蚀刻设备还包括：
过滤装置，所述过滤装置连接于所述连接管路中。
2.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括至少一手动阀，所述手动阀连接于所述取液管道中，药液经过所述手动阀后进入所述机台。
3.根据权利要求2所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括两个手动阀，其中，一个所述手动阀连接于所述取液管道的第一管路中，另一个所述手动阀连接于所述取液管道的第二管路中。
4.根据权利要求3所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述第一管路竖直方向的长度为
25mm。
5.根据权利要求2所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括一个手动阀，所述手动阀连接于所述取液管道的第二管路中。
6.根据权利要求4或5所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述手动阀打开状态为完全打开时的四分之三。
7.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括至少一滤网，所述滤网连接于所述连接管路中，且低于所述液位传感器。
8.根据权利要求7所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述滤网连接于所述液位槽中，其中，所述液位槽由互相连通呈L型的第三管路以及第四管路组成，其中，所述第三管路与所述取液管道相连接，所述液位传感器连接于所述第四管路的外侧。
9.根据权利要求8所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括两个滤网，所述两个滤网分别连接于所述第三管路和第四管路中，其中，一个滤网的尺寸与所述第三管路的横截面尺寸相适应，一个滤网的尺寸与所述第四管路的横截面尺寸相适应。
10.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括：
至少一手动阀，所述手动阀连接于所述第一管路中；
至少一滤网，所述滤网连接于所述液位槽中，且低于所述液位传感器。
11.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述过滤装置包括：
至少一手动阀，所述手动阀连接于所述第二管路中；
至少一滤网，所述滤网连接于所述液位槽中，且低于所述液位传感器。
12.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述第一管路以及所述第二管路的管道尺寸为32mm。
13.根据权利要求1所述的湿蚀刻设备，其特征在于，所述液位传感器为一光感传感器。

说明书全文

一种湿蚀刻设备

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体器件制造领域，且特别涉及一种湿蚀刻设备。

背景技术

[0002] 近年来，使用有机电致发光(Electro Luminescence：以下称“有机EL”)组件的有机EL显示装置，已取代CRT及LCD的显示装置而受到嘱目，正研究开发一种具备例如用以驱动该有机EL组件的薄膜晶体管(Thin Film Transistor：以下称“TFT”)的有机EL显示装置。

[0003] 有机EL组件被依序层积形成：由ITO(Indium Tin Oxide 氧化铟锡)等的透明电极所形成的阳极；由MTDATA(4，4-双(3-甲基苯基苯氨基)联苯)等第1空穴输送层、TPD(4，4，4-三(3-甲基苯基苯氨基)三苯胺)等第2空穴输送层所构成的空穴输送层；包含啶酮(Quinacridone)衍生物的Bebq2(10-苯弁[h]轻基喹啉-铍络合物(10-benzo[h]quinolinol-beryllium complex))所形成的发光层；由Bebq2所形成的电子输送层；及由铝合金所形成的阴极的构造。

[0004] 如上所述的有机EL组件通过用以驱动该有机EL组件的驱动用TFT供给电流而发光。即，从阳极所注入的空穴与从阴极所注入的电子在发光层内部再结合，激发用以形成发光层的有机分子而产生激发子(exdton)。在该激发子放射失活的过程中由发光层发光，该光会从透明的阳极经由透明的阳极及玻璃基板等绝缘性基板放出至外部而进行发光。

[0005] TFT-LED的制造工艺包括以下几部分：TFT-LED阵列基板制成；在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及IT0导电层；用两块基板形成液晶盒；安装外围电路、组装背光源等的模块组装。而TFT-LED阵列基板制成又大体分为成膜、光刻、刻蚀三大工艺。刻蚀工艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是通过对对象材料(一般为金属导电膜)与药液之间的化学反应，对对象材料进行刻蚀；干法刻蚀主要是指利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基与材料发生化学反应或通过轰击等物理作用进行刻蚀。经过刻蚀工艺，光刻工程显影后没有被光阻覆盖的膜层部分去除，形成最终需要的线路图形。

[0006] 目前，在TFT-LED阵列基板制成中，湿法刻蚀用来对基板金属层进行刻蚀。图1示出了根据现有技术的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，如图1所示，所述湿蚀刻设备包括机台100以及连接管路200。其中，机台100中装有药液，对放置于机台100内的半导体器件进行蚀刻。连接管路200连接于机台100的底部，对机台100传送药液。更具体地，连接管路200包括：取液管道210、液位槽220以及液位传感器230。取液管道210与机台100的底部连通。液位槽220连接于取液管道210上，将取液管道210分为上下连通的第一管路211以及第二管路212。其中，第一管路211位于第二管路212的上方，且液位槽220与第一管路211以及第二管路212均互相连通。当机台100需要补充药液时，药液从外部补充，通过第二管路212(图中虚线处省略了药液入口)进入取液管道210后分流，分别流向第一管路211以及液位槽220。液位传感器230则连接于液位槽220的外侧，以检测液位槽220的液面高度。

[0007] 按照目前大部分的机台100设计中，在液位槽220中液位传感器对液位槽的感应可分为HH、H、M、L和LL五个感应等级，正常而且普遍的工作状态中，液位通常处于L、M和H三个等级中。液位槽220中的液位在正常跑片中的影响非常重要，当液位槽220中的即时液位到达对应的液位时，传感器侦测到该液位，将会发出对应的警报，而如果有类似气泡或其他不明物质进入到管路中，将会导致液位槽220中的液位与机台100中的液位高度不同，即机台100中的液位低于液位槽220中的液位，导致液位传感器230发出错误的警报。进而发生过渡蚀刻、产品出现叠片等问题。

发明内容

[0008] 针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种湿蚀刻设备。

[0009] 根据本发明的一个方面提供一种湿蚀刻设备，其包括：机台，所述机台中装有药液，对放置于所述机台内的半导体器件进行蚀刻；连接管路，所述连接管路连接于所述机台的底部，对所述机台传送药液，其中，所述连接管路包括：取液管道，所述取液管道与所述机台的底部连通，药液从外部通过所述取液管道进入所述机台；液位槽，所述液位槽连接于所述取液管道上，将所述取液管道分为上下连通的第一管路以及第二管路，其中，所述第一管路位于所述第二管路的上方，且所述液位槽与所述第一管路以及所述第二管路均互相连通，药液从所述第二管路分流，流向所述第一管路以及所述液位槽；液位传感器，所述液位传感器连接于所述液位槽的外侧；其特征在于，所述湿蚀刻设备还包括：过滤装置，所述过滤装置连接于所述连接管路中。

[0010] 优选地，所述过滤装置包括至少一手动阀，所述手动阀连接于所述取液管道中，药液经过所述手动阀后进入所述机台。

[0011] 优选地，所述过滤装置包括一个手动阀，所述手动阀连接于所述取液管道的第一管路中。

[0012] 优选地，所述过滤装置包括两个手动阀，其中，一个所述手动阀连接于所述取液管道的第一管路中，另一个所述手动阀连接于所述取液管道的第二管路中。

[0013] 优选地，所述第一管路竖直方向的长度为25mm。

[0014] 优选地，所述过滤装置包括一个手动阀，所述手动阀连接于所述取液管道的第二管路中。

[0015] 优选地，所述手动阀打开状态为完全打开时的四分之三。

[0016] 优选地，所述过滤装置包括至少一滤网，所述滤网连接于所述连接管路中，且低于所述液位传感器。

[0017] 优选地，所述滤网连接于所述液位槽中，其中，所述液位槽由互相连通呈L型的第三管路以及第四管路组成，其中，所述第三管路与所述取液管道相连接，所述液位传感器连接于所述第四管路的外侧。

[0018] 优选地，所述过滤装置包括一滤网，所述滤网连接于所述第三管路中，其尺寸与所述第三管路的横截面尺寸相适应。

[0019] 优选地，所述过滤装置包括两个滤网，所述两个滤网均连接于所述第三管路中，且所述两个滤网的尺寸与所述第三管路的横截面尺寸相适应。

[0020] 优选地，所述过滤装置包括一滤网，所述滤网连接于所述第四管路中，其尺寸与所述第四管路的横截面尺寸相适应。

[0021] 优选地，所述过滤装置包括两个滤网，所述两个滤网均连接于所述第四管路中，且所述两个滤网的尺寸与所述第四管路的横截面尺寸相适应。

[0022] 优选地，所述过滤装置包括两个滤网，所述两个滤网分别连接于所述第三管路和第四管路中，其中，一个滤网的尺寸与所述第三管路的横截面尺寸相适应，一个滤网的尺寸与所述第四管路的横截面尺寸相适应。

[0023] 优选地，所述过滤装置包括四个滤网，其中，两个所述滤网连接于所述第三管路中，其尺寸与所述第三管路的横截面尺寸相适应；另两个滤网连接于所述第四管路中，其尺寸与所述第四管路的横截面尺寸相适应。

[0024] 优选地，所述滤网连接于所述第二管路中，其尺寸与所述第二管路的横截面尺寸相适应。

[0025] 优选地，所述过滤装置包括：至少一手动阀，至少一个所述手动阀连接于所述第一管路中；至少一滤网，至少一个所述滤网连接于所述液位槽中，且低于所述液位传感器。

[0026] 优选地，所述过滤装置包括：至少一手动阀，至少一个所述手动阀连接于所述第二管路中；至少一滤网，至少一个所述滤网连接于所述液位槽中，且低于所述液位传感器。

[0027] 优选地，所述第一管路以及所述第二管路的管道尺寸为32mm。

[0028] 优选地，所述液位传感器为一光感传感器。

[0029] 本发明通过提供一种湿蚀刻设备，其通过在取液管道中增加手动阀，在液位槽中增加滤网等方法，有效阻止气泡或其他不明絮状物进入液位槽中，减少发生异常的概率。其有益效果在于：

[0030] 1、减少避免机台液位警报造成的问题

[0031] 提前对相关管路的设计进行改造，有效阻止问题发生，避免造成产品不良等情况发生。

[0032] 2.提升良率

[0033] 能有效避免或降低过刻造成的返工率和报废率，减少产品可能出现的mura(色差)的概率。

[0034] 3.降低前制程基板异常造成人力花费

[0035] 降低人员成本花费，同时也可降低人员负担，提高人员合理工作分配率。

[0036] 4.减少机台当机时间，提升机台使用率

[0037] 有效避免或减少设备当机时间，提高设备稼动率。

[0038] 5.降低各类生产成本

[0039] 由于进行过相关加装和改造，可以有效减少产品返工和报废率，减少产品可能出现的叠片等异常情况，既从生产时间上节约了时间，又提高了产品的良率(包括报废率和返工率等)。附图说明

[0040] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

[0041] 图1示出根据现有技术的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0042] 图2示出根据本发明的第一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0043] 图3示出根据本发明的第二实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0044] 图4示出根据本发明的第三实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0045] 图5示出根据本发明的第四实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0046] 图6示出根据本发明的第五实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0047] 图7示出根据本发明的第六实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0048] 图8示出根据本发明的第七实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0049] 图9示出根据本发明的第八实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0050] 图10示出根据本发明的第九实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0051] 图11示出根据本发明的第十实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；

[0052] 图12示出根据本发明的第十一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图；以及[0053] 图13示出根据本发明的第十一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。

具体实施方式

[0054] 下面结合附图和实施例对本发明的技术内容进行进一步地说明：

[0055] 图2示出了根据本发明的第一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，具体地，如图2所示，与图1所示的现有技术类似的，所述湿蚀刻设备包括机台100以及连接管路200。其中，机台100中装有药液，对放置于机台100内的半导体器件进行蚀刻。连接管路200连接于机台100的底部，对机台100传送药液。更具体地，连接管路200包括：取液管道
210、液位槽220以及液位传感器230。取液管道210与机台100的底部连通。液位槽220连接于取液管道210上，将取液管道210分为上下连通的第一管路211以及第二管路212。
其中，第一管路211位于第二管路212的上方，且液位槽220与第一管路211以及第二管路
212均互相连通。当机台100需要补充药液时，药液从外部补充，通过第二管路212(图中虚线处省略了药液入口)进入取液管道210后分流，分别流向第一管路211以及液位槽220。
优选地，第一管路211以及第二管路212的管道尺寸为32mm。液位传感器230则连接于液位槽220的外侧，以检测液位槽220的液面高度。其中，优选地，液位传感器230为一光感传感器。

[0056] 进一步地，所述湿蚀刻设备还包括过滤装置，所述过滤装置连接于连接管路200中。更具体地，在图2所示的实施例中，所述过滤装置包括一手动阀310，手动阀310连接于取液管道210中，药液经过手动阀310后进入100机台。更具体地，如图2所示，手动阀310连接于取液管道210的第一管路211中。优选地，第一管路211竖直方向的长度为25mm。其中，手动阀310竖直方向上的长度为8-10mm。且优选地，手动阀310打开状态为完全打开时的四分之三，即药液经过手动阀310后流量减小为原先流量的75％。优选地，手动阀310为不锈钢材质。本领域技术人员理解，在图2所示的实施例中，增加手动阀310后，由于药液经过手动阀310后的流量减小，因此可以适当地减少气泡的进入机台100，进而减少液位槽220中的液位与机台100中的液位高度差，进而避免液位传感器230发出错误的警报。

[0057] 图3示出了根据本发明的第二实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图3可以理解为上述图2的一个变化例。具体地，所述过滤装置包括一手动阀310。优选地，手动阀310打开状态为完全打开时的四分之三，即药液经过手动阀310后流量减小为原先流量的75％。与上述图2所示实施例不同的是，在图3所示的实施例中，手动阀310连接于取液管道210的第二管路212中。本领域技术人员理解，此变化例同样能够予以实现，且手动阀310连接于第二管路212中也能够对药液中的气泡进行过滤，此处不予赘述。

[0058] 图4示出了根据本发明的第三实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图4可以理解为上述图2的另一个变化例。具体地，与上述图2所示实施例不同的是，在图4所示的实施例中，所述过滤装置包括两个手动阀310。其中，一个手动阀310连接于取液管道210的第一管路211中，另一个手动阀310连接于取液管道210的第二管路212中。优选地，两个手动阀310打开状态均为完全打开时的四分之三，即药液每经过一手动阀310后流量都减小为流经前流量的75％。本领域技术人员理解，此变化例同样能够予以实现，此处不予赘述。

[0059] 更进一步地，图5至图10示出了本发明的另一些实施例，具体地，在这些实施例中，所述过滤装置包括至少一滤网，所述滤网连接于连接管路200中，且低于液位传感器230，用于过滤药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物。优选地，所述滤网由PVC(聚氯乙烯)制成。

[0060] 图5示出了根据本发明的第四实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，如图5所示，在此实施例中，所述过滤装置包括一滤网320。滤网320连接于液位槽220中。其中，液位槽220由互相连通呈L型的第三管路221以及第四管路222组成。第三管路221与取液管道210相连接，液位传感器230连接于第四管路222的外侧。更为具体地，在此实施例中，滤网320连接于第四管路222中，且低于液位传感器230，其尺寸与第四管路222的横截面尺寸相适应。本领域技术人员理解，由于在液位传感器230中增加了滤网320，从而药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物得到过滤，其有效地减少液位槽220中的液位与机台100中的液位高度差，进而避免液位传感器230发出错误的警报。

[0061] 图6示出了根据发明的第五实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图6可以理解为上述图5所示实施例的一个变化例。具体地，与上述图5所示实施例不同的是，在此实施例中，所述过滤装置包括两个滤网320，其中，两个滤网均连接于第四管路222中，均低于液位传感器230，且两个滤网320的尺寸均与第四管路222的横截面尺寸相适应。

[0062] 进一步地，根据图5以及图6所示的实施例，本领域技术人员理解，在另一些变化例中，连接于第四管路222中的滤网320的数量是可以变化的，例如，在一个变化例中，连接于第四管路222中的滤网320可以是三个。又例如，在另一个变化例中，连接于第四管路222中的滤网320可以是四个。这些变化例均可予以实现，此处不予赘述。

[0063] 图7示出了根据本发明的第六实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，与上述图5类似地，所述过滤装置包括一滤网320’。而与上述图5不同的是，滤网320'连接于第三管路221中，其尺寸与第三管路221的横截面尺寸相适应。本领域技术人员理解，连接于第三管路221中的滤网320'也可以起到过滤药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物的作用，此处不予赘述。

[0064] 图8示出了根据本发明的第七实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图8可以理解为上述图7所示实施例的一个变化例。具体地，与上述图7所示实施例不同的是，在此实施例中，所述过滤装置包括两个滤网320’，其中，两个滤网均连接于第三管路221中，且两个滤网320’的尺寸均与第四管路222的横截面尺寸相适应。

[0065] 进一步地，根据图7以及图8所示的实施例，本领域技术人员理解，在另一些变化例中，连接于第三管路221中的滤网320’的数量是可以变化的，例如，在一个变化例中，连接于第三管路221中的滤网320'可以是三个。又例如，在另一个变化例中，连接于第三管路221中的滤网320'可以是四个。这些变化例均可予以实现，此处不予赘述。

[0066] 图9示出了根据本发明的第八实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，在图9所示实施例中，所述过滤装置包括两个滤网，其中，一个滤网320连接于第四管路222中，滤网320的尺寸均与第四管路222的横截面尺寸相适应；另一个滤网320'连接于第三管路
221中，滤网320’的尺寸均与第三管路221的横截面尺寸相适应。通过滤网320以及320’的过滤从而药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物得到双重过滤，其更为有效地减少液位槽220中的液位与机台100中的液位高度差，进而避免液位传感器230发出错误的警报。

[0067] 图10示出了根据本发明的第九实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图10可以理解为上述图9所示实施例的一个变化例。具体地，与上述图9不同的是，所述过滤装置包括四个滤网。其中，两个滤网320连接于第四管路222中，且两个滤网320的尺寸均与第四管路222的横截面尺寸相适应；另两个滤网320'连接于第三管路221中，两个滤网320’的尺寸均与第三管路221的横截面尺寸相适应。本领域技术人员理解，滤网数量的增加可以更为有效地过滤药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物，此处不予赘述。

[0068] 图11示出了根据本发明的第十实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，在图11所示实施例中，过滤装置包括一个滤网320'’，滤网320'’连接于取液管道210中。更具体地，如图11所示，滤网320'’连接于取液管道210的第二管路212中，且滤网320'’的尺寸均与第二管路212的横截面尺寸相适应。在此实施例中，药液进入取液管道210，经过滤网320'’的过滤后进而分流进入第一管路211以及液位槽220中，因此药液中的气泡以及药液中存在的其他絮状物也可以得到过滤，有效地减少液位槽220中的液位与机台100中的液位高度差，进而避免液位传感器230发出错误的警报，此处不予赘述。

[0069] 更进一步地，结合上述图2至图11所示实施例，图12示出了根据发明的第十一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。具体地，如图12所示，在此实施例中，所述过滤装置包括一手动阀310以及一滤网320。其中，手动阀310连接于取液管道210的第一管路211中。优选地，第一管路211竖直方向的长度为25mm。其中，手动阀310竖直方向上的长度为8-10mm。且优选地，手动阀310打开状态为完全打开时的四分之三，即药液经过手动阀310后流量减小为原先流量的75％。滤网320则连接于第四管路222中，且低于液位传感器230，其尺寸与第四管路222的横截面尺寸相适应。本领域技术人员理解，将手动阀310与滤网320共同使用可以更为有效地

[0070] 图13示出了根据发明的第十一实施例的湿蚀刻设备的结构示意图。图13可以理解为上述图12所示实施例的一个变化例。具体地，在此实施例中，所述过滤装置包括一手动阀310以及一滤网320。与上述图12所示实施例不同的是，其中，手动阀310连接于第二管路212中。本领域技术人员理解，此实施例同样可以予以实现，此处不予赘述。

[0071] 更为进一步地，综合上述图2至图13所示实施例，本领域技术人员理解，本发明提供一种湿蚀刻设备，其通过在取液管道中增加手动阀，在液位槽中增加滤网等方法，有效阻止气泡或其他不明絮状物进入液位槽中，减少发生异常的概率；有效避免或降低过刻造成的返工率和报废率，减少产品可能出现的mura(色差)的概率；降低人员成本花费，同时也可降低人员负担，提高人员合理工作分配率；有效避免或减少设备当机时间，提高设备稼动率；降低各类生产成本。

[0072] 虽然本发明已以优选实施例揭示如上，然而其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与修改。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定的范围为准。

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湿蚀刻装置和湿蚀刻方法	2020-05-12	663
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一种湿蚀刻设备

一种湿蚀刻设备

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