首页 / 专利库 / 表面处理和涂层 / 刻蚀 / 酸蚀 / 滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法

滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法

阅读:871发布:2023-01-23

专利汇可以提供滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种滴酸装置,用于对金属导电层进行滴 酸蚀 刻,使得被所述金属导电层 覆盖 的对位标记显现出来,所述滴酸装置包括滴酸头,所述滴酸头的一端内嵌有海绵,所述海绵的一端从所述滴酸头内露出,所述海绵露出的一端用于与所述金属导电层 接触 并在接触时利用所述海绵中的酸液对所述金属导电层进行蚀刻。本 发明 提供的滴酸装置,将针头改为海绵,将目前滴酸方式改为“印章式”,在滴酸过程中酸量得到控制,有效解决了滴酸扩散问题,提高了产品良率,而且可以在无需使用光罩(mask)的前提下制作出蚀刻孔使对位标记显现出来,大大降低了制作成本。本发明还提供一种滴酸机台及触控显示屏的制作方法。,下面是滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法专利的具体信息内容。

1.一种滴酸装置,用于对金属导电层(50)进行滴酸蚀刻,使得被所述金属导电层(50)覆盖的对位标记(11)显现出来,其特征在于,所述滴酸装置包括滴酸头(104),所述滴酸头(104)的一端内嵌有海绵(108),所述海绵(108)的一端从所述滴酸头(104)内露出,所述海绵(108)露出的一端用于与所述金属导电层(50)接触并在接触时利用所述海绵(108)中的酸液对所述金属导电层(50)进行蚀刻。
2.如权利要求1所述的滴酸装置,其特征在于,所述滴酸装置还包括用于向所述滴酸头(104)供应酸液的酸液存储罐(102),所述酸液存储罐(102)上设有达(101),所述马达(101)用于将酸液从所述酸液存储罐(102)传送至所述滴酸头(104)。
3.如权利要求2所述的滴酸装置,其特征在于,所述酸液存储罐(102)与所述滴酸头(104)之间连接有管道(103),所述酸液存储罐(102)中的酸液通过所述管道(103)传送至所述滴酸头(104)。
4.如权利要求2所述的滴酸装置,其特征在于,所述滴酸头(104)直接与所述酸液存储罐(102)安装为一体形成筒状结构,所述酸液存储罐(102)位于筒状结构的上部,所述滴酸头(104)位于筒状结构的下部。
5.如权利要求2所述的滴酸装置,其特征在于,所述酸液存储罐(102)和所述滴酸头(104)上还设有补液报警传感器(106)。
6.如权利要求1所述的滴酸装置,其特征在于,所述海绵(108)活动地安装在所述滴酸头(104)上,所述海绵(108)的上下位置可调。
7.如权利要求1所述的滴酸装置,其特征在于,所使用的酸液包括硝酸磷酸醋酸,其中硝酸为质量比1%~5%,磷酸为质量比65%~75%,醋酸为质量比5%~15%,余量为水。
8.一种滴酸机台,其特征在于,包括平台(201)、安装在所述平台(201)上的支架(202)和如权利要求1至7任一项所述的滴酸装置(100),所述滴酸装置(100)安装在所述支架(202)上。
9.如权利要求8所述的滴酸机台,其特征在于,所述支架(202)包括竖杆(202a)和横杆(202b),所述竖杆(202a)为至少两根且安装在所述平台(201)上,所述横杆(202b)安装在各个所述竖杆(202a)的顶端,所述滴酸装置(100)安装在所述横杆(202b)上。
10.一种触控显示屏的制作方法,其特征在于,包括:
制作形成液晶面板,其中所述液晶面板内形成有对位标记(11),所述液晶面板包括彩膜基板(10)、阵列基板(20)和设置在所述彩膜基板(10)与所述阵列基板(20)之间的液晶层(30);
在所述彩膜基板(10)的外侧表面上沉积形成金属导电层(50);
提供如权利要求1至7任一项所述的滴酸装置,利用所述海绵(108)与所述金属导电层(50)接触,通过所述海绵(108)中的酸液蚀刻掉接触部位的金属材料,在所述金属导电层(50)上形成蚀刻孔(51),其中所述蚀刻孔(51)与所述对位标记(11)对应,使所述对位标记(11)通过所述蚀刻孔(51)显现出来;
在利用所述对位标记(11)作为对位参照的前提下对所述金属导电层(50)进行蚀刻,制作出的触控电极或驱动电极的图案。

说明书全文

滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法。

背景技术

[0002] 液晶面板行业在制作On-cell工艺的触控显示屏时,在薄膜晶体管阵列基板与彩膜基板组装完成液晶面板(LCD)后,需要在彩膜基板上再制作触控面板(Touch Panel,TP)。为避免触控面板与液晶面板的重叠偏移过大造成触控功能异常,故在制作触控面板的第一道膜时需要通过对位标记(Alignment Mark)进行对准。如图1,为现有技术的液晶面板内对位标记示意图,目前在制作触控面板的第一道膜时,需要先在液晶面板内做好对位标记11,以供后续制作触控线路图案时对位使用。
[0003] 当使用传统ITO(化铟)作为触控面板的触控线路时,如图2,为现有技术在彩膜基板外侧上透明ITO导电层的结构示意图,在彩膜基板10外侧整面镀上ITO导电层40之后,由于ITO导电层40是透明的,对位标记11还是正常可见,后续制程中对位标记11可提供正常对位。
[0004] 但随着On-cell技术逐步成熟,金属网络(Metal mesh)替代传统ITO导电层也随之而来。金属网络构架的金属导电层电阻更低、导电层更薄。如图3,为现有技术在彩膜基板外侧镀上不透明金属导电层的结构示意图,在彩膜基板10外侧整面镀上不透明金属导电层50后,由于金属不透明,液晶面板内预先设置的对位标记11被金属导电层50覆盖,对位标记11无法提供正常对位。现有业内的解决办法是增加一张掩模(Mask),对金属导电层50增加一道黄光/蚀刻制程形成蚀刻孔51,将对位标记11通过蚀刻孔51显现出来,如图4,图4是图3在增加黄光/蚀刻制程后的结构示意图。但是此制程缺点是成本较高,影响黄光/蚀刻制程产能的同时需增加一张掩模的成本。
[0005] 本发明人在提出本发明构思之前,还提出一种滴酸装置,如图5所示,图5是本发明人早前提出的滴酸装置的结构示意图。滴酸头104通过针头的方式将酸液滴在金属导电层50表面上,通过滴下的酸滴对金属导电层50进行蚀刻形成蚀刻孔51,使液晶面板内预先设置的对位标记11通过蚀刻孔51显现出来。
[0006] 但是,在实际生产过程发现,酸液滴在金属导电层50的金属表面上,结果酸液直接扩散,改变酸滴大小不会改善酸液扩散现象,而且小于3mm的酸滴又会出现蚀刻不良。分析滴酸扩散的原因为,当酸滴只接触玻璃,液固界面存在表面张,酸滴表面呈拱形,靠酸滴与玻璃接触点的表面张力支撑;但当液滴接触金属导电层50,酸液与金属反应时间一般为4~5min,反应后接触点无表面张力,故会出现扩散,而且扩散方向随机,一般往先反应完毕的缺口扩散。酸液扩散偏移易损伤对位标记11周边的有效显示区域(Ative Area,即图形区),因为对位标记11离图形区距离只有3.5mm左右,酸液进入图形区会导致产品报废。

发明内容

[0007] 本发明的目的在于提供一种滴酸装置、滴酸机台及触控显示屏的制作方法,以解决滴酸扩散的问题,并提高产品良率。
[0008] 本发明实施例提供一种滴酸装置,用于对金属导电层进行滴酸蚀刻,使得被所述金属导电层覆盖的对位标记显现出来,所述滴酸装置包括滴酸头,所述滴酸头的一端内嵌有海绵,所述海绵的一端从所述滴酸头内露出,所述海绵露出的一端用于与所述金属导电层接触并在接触时利用所述海绵中的酸液对所述金属导电层进行蚀刻。
[0009] 进一步地,所述滴酸装置还包括用于向所述滴酸头供应酸液的酸液存储罐,所述酸液存储罐上设有达,所述马达用于将酸液从所述酸液存储罐传送至所述滴酸头。
[0010] 进一步地,所述酸液存储罐与所述滴酸头之间连接有管道,所述酸液存储罐中的酸液通过所述管道传送至所述滴酸头。
[0011] 进一步地,所述滴酸头直接与所述酸液存储罐安装为一体形成筒状结构,所述酸液存储罐位于筒状结构的上部,所述滴酸头位于筒状结构的下部。
[0012] 进一步地,所述酸液存储罐和所述滴酸头上还设有补液报警传感器
[0013] 进一步地,所述海绵活动地安装在所述滴酸头上,所述海绵的上下位置可调。
[0014] 进一步地,所使用的酸液包括硝酸磷酸醋酸,其中硝酸为质量比1%~5%,磷酸为质量比65%~75%,醋酸为质量比5%~15%,余量为水。
[0015] 本发明实施例还提供一种滴酸机台,包括平台、安装在所述平台上的支架和上述的滴酸装置,所述滴酸装置安装在所述支架上。
[0016] 进一步地,所述支架包括竖杆和横杆,所述竖杆为至少两根且安装在所述平台上,所述横杆安装在各所述竖杆的顶端,所述滴酸装置安装在所述横杆上。
[0017] 本发明实施例还提供一种触控显示屏的制作方法,包括:
[0018] 制作形成液晶面板,其中所述液晶面板内形成有对位标记,所述液晶面板包括彩膜基板、阵列基板和设置在所述彩膜基板与所述阵列基板之间的液晶层;
[0019] 在所述彩膜基板的外侧表面上沉积形成金属导电层;
[0020] 提供上述的滴酸装置,利用所述海绵与所述金属导电层接触,通过所述海绵中的酸液蚀刻掉接触部位的金属材料,在所述金属导电层上形成蚀刻孔,其中所述蚀刻孔与所述对位标记对应,使所述对位标记通过所述蚀刻孔显现出来;
[0021] 在利用所述对位标记作为对位参照的前提下对所述金属导电层进行蚀刻,制作出的触控电极或驱动电极的图案。
[0022] 本发明实施例提供的滴酸装置,将针头改为海绵,将目前滴酸方式改为“印章式”,在滴酸过程中酸量得到控制,有效解决了滴酸扩散问题,提高了产品良率,而且可以在无需使用光罩(mask)的前提下制作出蚀刻孔使对位标记显现出来,大大降低了制作成本。附图说明
[0023] 图1是现有技术的液晶面板内对位标记示意图。
[0024] 图2是现有技术在彩膜基板外侧镀上透明ITO导电层的结构示意图。
[0025] 图3是现有技术在彩膜基板外侧镀上不透明金属导电层的结构示意图。
[0026] 图4是图3在增加黄光/蚀刻制程后的结构示意图。
[0027] 图5是本发明人早前提出的滴酸装置的结构示意图。
[0028] 图6是本发明第一实施例的滴酸装置的结构示意图。
[0029] 图7是示意液晶面板内的对位标记的平面示意图。
[0030] 图8是示意液晶面板内的对位标记的截面示意图。
[0031] 图9是图6所示的滴酸装置在滴酸蚀刻过程的示意图。
[0032] 图10是本发明第二实施例的滴酸装置的结构示意图。
[0033] 图11是本发明第三实施例的滴酸机台的结构示意图。
[0034] 图12是本发明第四实施例的触控显示屏的制作方法的流程图

具体实施方式

[0035] 为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术方式及功效,以下结合附图及实施例,对本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
[0036] [第一实施例]
[0037] 请参图6,本发明第一实施例提供一种滴酸装置,用于对彩膜基板上的金属导电层进行滴酸蚀刻,使得被金属导电层覆盖的对位标记显现出来。该滴酸装置包括马达101、酸液存储罐102、管道103、滴酸头104、补液报警传感器106、注酸口107和海绵108。
[0038] 酸液存储罐102用于向滴酸头104供应酸液,酸液存储罐102的上端设有马达101,酸液存储罐102的下端设有管道103,酸液存储罐102与滴酸头104通过管道103连接,马达101通过脉冲将酸液从酸液存储罐102挤出并顺着管道103传送至滴酸头104。
[0039] 滴酸头104的一端内嵌有海绵108,海绵108的一端从滴酸头104内露出,海绵108露出的一端用于与金属导电层接触并在接触时利用海绵108中的酸液对金属导电层进行蚀刻。其中,海绵108具有抗酸腐蚀性能。
[0040] 补液报警传感器106设置在酸液存储罐102与滴酸头104上,包括第一补液报警传感器与第二补液报警传感器,第一补液报警传感器设置在酸液存储罐102上,用来监测酸液存储罐102的液位,第二补液报警传感器设置在滴酸头104上,用来监测滴酸头104的液位。注酸口107设置在酸液存储罐102上,在酸液存储罐102的酸液量不足时,可以通过注酸口
107补充酸液。当酸液存储罐102与滴酸头104采用透明材料制成时,或者在酸液存储罐102与滴酸头104上开设窗口,通过透明材料或者通过窗口即可以直接观看到内部的酸液情况,此时补液报警传感器106可以省略。
[0041] 请参图7与图8,本实施例提供的触控显示屏包括液晶面板和触控面板,其中液晶面板包括彩膜基板10、阵列基板20和设置在彩膜基板10与阵列基板20之间的液晶层30。触控面板制作在液晶面板上方,即本实施例的触控显示屏采用on-cell工艺。触控面板的制作一般是直接在彩膜基板10的外侧表面上先沉积形成金属导电层50,然后再对金属导电层50进行图案蚀刻以制作形成触控电极和驱动电极。如果触控电极和驱动电极形成在不同层,则需要进行金属导电层的多次沉积和多次蚀刻。关于在液晶面板上方制作触控面板的技术可以参见现有技术。
[0042] 为了使最终制作形成的触控电极和驱动电极的图案与液晶面板内的线路结构(如扫描线和数据线等,图未示)对应,在对金属导电层50进行图案蚀刻以制作形成触控电极和驱动电极时,由于金属导电层50是不透明的,因此需要有对位标记11作为参照进行对位,然后在利用对位标记11作为对位参照的前提下对金属导电层50进行蚀刻,制作出的触控电极和驱动电极的图案即可与液晶面板内的线路结构对应。否则,由于金属导电层50的遮挡,液晶面板内的线路结构不可见,在没有对位标记11作为对位参照时,对金属导电层50进行蚀刻制作出的触控电极和驱动电极的图案很可能与液晶面板内的线路结构不对应。
[0043] 对位标记11是预先制作形成在液晶面板内的,对位标记11可以预先制作在彩膜基板10或阵列基板20上,例如本实施例中,对位标记11预先制作在彩膜基板10朝向阵列基板20一侧的内侧表面上,但不限于此,对位标记11也可以预先制作在阵列基板20上。对位标记
11可以为十字形对位标记,数量可以为多个。图7示意本实施例在一个母板上同时制作多个触控显示屏,在每个触控显示屏的图形区15的周围呈对称共设有6个对位标记11。
[0044] 当在彩膜基板10的外侧表面上沉积一层金属导电层50之后,预先制作形成在液晶面板内的对位标记11则被金属导电层50覆盖。为了能够利用对位标记11作为对位参照,在对金属导电层50进行蚀刻制作触控电极和驱动电极之前,首先需要将对位标记11显现出来。请参图9,本实施例提供的滴酸装置则可以利用海绵108与金属导电层50接触,通过海绵108中的酸液蚀刻掉接触部位的金属材料,在金属导电层50上形成蚀刻孔51,蚀刻孔51与对位标记11对应,从而使对位标记11通过蚀刻孔51显现出来。具体地,滴酸头104上可以连接有驱动机构(图未示),由驱动机构带动滴酸头104上下移动,使滴酸头104露出的海绵108可以与金属导电层50接触或移开。
[0045] 其中,海绵108的截面形状可以为多边形、圆形、椭圆形等形状。在本实施例中,海绵108的截面形状为矩形,海绵108通过设定三个因素(矩形的长、矩形的宽、露出的长度),来测试海绵108的尺寸对滴酸的影响。由于对位标记11本身的尺寸一般只有500um,因此当海绵108的截面为矩形,矩形的长为3~8mm,矩形的宽为3~9mm,露出的长度为1~10mm时,海绵108中心相对于对位标记11偏移1mm在接受范围内,均可以使对位标记11通过蚀刻孔51显现出来,符合制程要求。
[0046] 在一个实施例中,海绵108还可以是活动地安装在滴酸头104上,海绵108的上下位置可调,使海绵108的露出长度可变,即可以根据需要调整海绵108的露出长度。可以通过手动调节海绵108的露出长度,也可以在滴酸头104设置一个驱动机构(图未示),利用该驱动机构带动海绵108的进行伸出或缩回。
[0047] 滴酸所使用的酸液包括硝酸、磷酸、醋酸和水,其中硝酸为质量比1%~5%,磷酸为质量比65%~75%,醋酸为质量比5%~15%,余量为水。
[0048] 本发明实施例提供的滴酸装置,将针头改为海绵108,将目前滴酸方式改为“印章式”,在滴酸过程中酸量得到控制,有效解决了滴酸扩散问题,提高了产品良率,而且可以在无需使用光罩(mask)的前提下制作出蚀刻孔51使对位标记11显现出来,大大降低了制作成本。
[0049] [第二实施例]
[0050] 请参图10,为本发明第二实施例提供的滴酸装置,包括马达101、酸液存储罐102、滴酸头104、补液报警传感器106、注酸口107和海绵108。本实施例与上述第一实施例不同之处主要在于,本实施例中,滴酸头104直接与酸液存储罐102安装为一体形成筒状结构,酸液存储罐102位于筒状结构的上部,滴酸头104位于筒状结构的下部,从而取消了连接在酸液存储罐102与滴酸头104之间的管道103,结构更简单,使用更简便。其中,滴酸头104与酸液存储罐102的连接方式可以采用螺纹连接、卡扣连接或其他连接方式,在此不作限制。
[0051] 关于本实施例的其他结构及工作原理,可以参见上述第一实施例,在此不再赘述。
[0052] [第三实施例]
[0053] 请参图11,为本发明第三实施例提供的滴酸机台,包括平台201和安装在平台201上的支架202,滴酸装置100安装在支架202上,滴酸装置100可设置一个也可设置多个,滴酸装置100在平台201和支架202上可以前后、左右和上下移动位置。这样在制作形成的液晶面板放置在平台201上,利用滴酸装置100对彩膜基板10上的金属导电层50进行蚀刻使液晶面板内的对位标记11通过蚀刻孔51显现出来时,可以通过移动滴酸装置100使得滴酸装置100的海绵108与对位标记11对准,使得滴酸精度更准确,更智能化。
[0054] 本实施例中,支架202包括竖杆202a和横杆202b,竖杆202a为至少两根且安装在平台201上,横杆202b安装在各个竖杆202a的顶端,滴酸装置100安装在横杆202b上。竖杆202a可以通过滑轨(图未示)安装在平台201上,使竖杆202a在平台201上可以前后滑动;滴酸装置100可以活动安装在横杆202b上,使滴酸装置100在横杆202b上可以左右移动;竖杆202a可以为可伸缩的结构,使横杆202b和滴酸装置100可以上下移动。这样,即可实现滴酸装置100在平台201和支架202上前后、左右和上下移动位置,但本发明不限于此,也可以采取其他方式来实现滴酸装置100的位置调整。
[0055] [第四实施例]
[0056] 请参图12,本发明第四实施例还提供一种触控显示屏的制作方法,包括:
[0057] 制作形成液晶面板,其中所述液晶面板内形成有对位标记11,所述液晶面板包括彩膜基板10、阵列基板20和设置在彩膜基板10与阵列基板20之间的液晶层30;
[0058] 在彩膜基板10的外侧表面上沉积形成金属导电层50;
[0059] 提供上述的滴酸装置,利用海绵108与金属导电层50接触,通过海绵108中的酸液蚀刻掉接触部位的金属材料,在金属导电层50上形成蚀刻孔51,其中蚀刻孔51与对位标记11对应,使对位标记11通过蚀刻孔51显现出来;
[0060] 在利用对位标记11作为对位参照的前提下对金属导电层50进行蚀刻,制作出的触控电极或驱动电极的图案。
[0061] 以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
相关专利内容
标题 发布/更新时间 阅读量
硝酸型蚀刻液 2020-05-12 436
盐酸复合缓蚀剂 2020-05-12 903
一种酸性蚀刻液 2020-05-12 925
盐酸酸洗缓蚀抑雾剂 2020-05-13 525
酸性蚀刻液 2020-05-11 609
一种酸洗缓蚀剂 2020-05-11 745
柠檬酸酸洗缓蚀剂 2020-05-13 915
一种自动酸蚀机 2020-05-11 76
耐腐蚀酸泵基础 2020-05-11 543
耐酸侵蚀的插头 2020-05-11 81
高效检索全球专利

专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。

我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。

申请试用

分析报告

专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。

申请试用

QQ群二维码
意见反馈