技术领域
[0001] 本
发明涉及蚀刻液领域,具体涉及一种大叶海藻浸提物蚀刻液及其制备方法。
背景技术
[0002] 随着科技和经济的发展,人们对各产品的要求也越来越高,各金属装置上的
薄膜图案也不例外。湿法蚀刻是利用合适的化学溶液,即蚀刻液,
腐蚀去除材质上未被光阻
覆盖的部分,达到一定的雕刻深度的工艺。湿法蚀刻具有生产效率高、成本低、适用范围广等优势,非常适用于蚀刻金属薄膜图案。目前,常用的蚀刻液大部分都是以强酸强
碱为基液,但其蚀刻选择性低;蚀刻速度也不稳定,最关键的是大部分蚀刻液中都含有对人体有害的物质,对环境也有危害。大叶海藻是生长在海中的藻类,是
植物界的隐花植物,藻类包括数种不同类以光合作用产生
能量的
生物,富含碘,作为碘物质的浸提来源,资源极其丰富。而碘物质可以作为蚀刻液的基质,来提高蚀刻液的使用安全性,减少环境的污染。
发明内容
[0003] 要解决的技术问题:本发明的目的是提供一种采用生物为原料,属于绿色环保型的蚀刻液,对人体无害,不造成环境压
力,同时其蚀刻速度快,蚀刻效率高。
[0004] 技术方案:一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液40-50份、磷酯酰丝
氨酸1-2份、十二烷基苯磺酸钠1-2份、木糖醇1-2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.1-0.5份、碘化铵5-10份、
乙醇20-30份、维生素C0.5-1份、BHA0.5-1份、稀
硝酸1-2份。
[0005] 进一步优选的,所述的一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液42-48份、磷酯酰丝氨酸1.2-1.8份、十二烷基苯磺酸钠1.2-1.8份、木糖醇1.2-1.8份、2,6-二叔丁基对甲酚0.2-0.4份、碘化铵6-9份、乙醇22-28份、维生素C0.6-0.9份、BHA0.6-
0.9份、稀硝酸1.2-1.8份。
[0006] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法包括以下步骤:
[0007] 步骤1:将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份80-100℃热
水浸提,得大叶海藻浸提液;
[0008] 步骤2:将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌5-10分钟形成溶液A;
[0009] 步骤3:将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌5-10分钟,再加入溶液A,加热至25-35℃搅拌均匀后即得产品。
[0010] 进一步优选的,步骤1中热水
温度为85-95℃。
[0011] 进一步优选的,步骤2中搅拌时间为6-9分钟。
[0012] 进一步优选的,步骤3搅拌时间为22-28分钟,加热温度为27-33℃。
[0013] 有益效果:本发明的蚀刻液首次采用生物原料为基料,是一个重大突破,属于绿色环保型蚀刻液,对人体健康不产生危害,可长期使用;不会对环境造成压力的同时具有蚀刻速度快,蚀刻效率高、可以大大节约时间;蚀刻均匀性好,能够大大提高最终产品的
质量;对金属的蚀刻有一定的选择性的优势。
具体实施方式
[0015] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液40份、磷酯酰丝氨酸1份、十二烷基苯磺酸钠1份、木糖醇1份、2,6-二叔丁基对甲酚0.1份、碘化铵5份、乙醇20份、维生素C0.5份、BHA0.5份、稀硝酸1份。
[0016] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份80℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌5分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌5分钟,再加入溶液A,加热至25℃搅拌均匀后即得产品。
[0017] 实施例2
[0018] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液42份、磷酯酰丝氨酸1.2份、十二烷基苯磺酸钠1.2份、木糖醇1.2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.2份、碘化铵6份、乙醇22份、维生素C0.6份、BHA0.6份、稀硝酸1.2份。
[0019] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份85℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌6分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌6分钟,再加入溶液A,加热至27℃搅拌均匀后即得产品。
[0020] 实施例3
[0021] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液48份、磷酯酰丝氨酸1.8份、十二烷基苯磺酸钠1.8份、木糖醇1.8份、2,6-二叔丁基对甲酚0.4份、碘化铵9份、乙醇28份、维生素C0.9、BHA0.9份、稀硝酸1.8份。
[0022] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份95℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌9分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌9分钟,再加入溶液A,加热至33℃搅拌均匀后即得产品。
[0023] 实施例4
[0024] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液45份、磷酯酰丝氨酸1.5份、十二烷基苯磺酸钠1.5份、木糖醇1.5份、2,6-二叔丁基对甲酚0.3份、碘化铵7份、乙醇25份、维生素C0.7份、BHA0.8份、稀硝酸1.5份。
[0025] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份90℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌7分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌7分钟,再加入溶液A,加热至30℃搅拌均匀后即得产品。
[0026] 实施例5
[0027] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻浸提液50份、磷酯酰丝氨酸2份、十二烷基苯磺酸钠2份、木糖醇2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.5份、碘化铵10份、乙醇30份、维生素C1份、BHA1份、稀硝酸2份。
[0028] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份100℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌10分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌10分钟,再加入溶液A,加热至35℃搅拌均匀后即得产品。
[0029] 对比例1
[0030] 本实施例与实施例5的区别在于不含十二烷基苯磺酸钠。具体地说是:
[0031] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻50份、磷酯酰丝氨酸2份、木糖醇2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.5份、碘化铵10份、乙醇30份、维生素C1份、BHA1份、稀硝酸2份。
[0032] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份100℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌10分钟形成溶液A;将木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌10分钟,再加入溶液A,加热至35℃搅拌均匀后即得产品。
[0033] 对比例2
[0034] 本实施例与实施例5的区别在于不含十二烷基苯磺酸钠和磷酯酰丝氨酸。具体地说是:
[0035] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻50份、木糖醇2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.5份、碘化铵10份、乙醇30份、维生素C1份、BHA1份、稀硝酸2份。
[0036] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份100℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌10分钟形成溶液A;将木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌10分钟,再加入溶液A,加热至35℃搅拌均匀后即得产品。
[0037] 对比例3
[0038] 本实施例与实施例5的区别在于乙醇的添加量变为10份。具体地说是:
[0039] 一种大叶海藻浸提物蚀刻液,以重量份计包括:大叶海藻50份、磷酯酰丝氨酸2份、十二烷基苯磺酸钠2份、木糖醇2份、2,6-二叔丁基对甲酚0.5份、碘化铵10份、乙醇10份、维生素C1份、BHA1份、稀硝酸2份。
[0040] 上述大叶海藻浸提物蚀刻液的制备方法为:先将500份大叶海藻烘干灰化,使用80份100℃热水浸提,得大叶海藻浸提液;再将磷酯酰丝氨酸、2,6-二叔丁基对甲酚、BHA和乙醇混合,搅拌10分钟形成溶液A;将十二烷基苯磺酸钠、木糖醇、碘化铵、维生素C和稀硝酸加入到冷却后的大叶海藻浸提液中搅拌10分钟,再加入溶液A,加热至35℃搅拌均匀后即得产品。
[0041] 将各实施例与对比例作对比,对比结果如下表1:
[0042] 表1 蚀刻液的性能指标
[0043]发明例 蚀刻速度比(ER镍/ER
铜) 均匀性 LD50(g/kg)
实施例1 138.88 较好 93
实施例2 141.5 较好 95
实施例3 156.33 好 97
实施例4 149.75 较好 96
实施例5 138.83 较好 92
对比例1 145.6 一般 96
对比例2 147.2 差 96
对比例3 139.2 差 97
[0044] 从表1可知,本发明的实施例1-5的蚀刻均匀性好,对金属的蚀刻有一定的选择性,同时其LD50可高达97g/kg,是一种对人体无害,环境友好型蚀刻液。同对比例1和2相比,可以看出其时刻速度比值变大,是因为其对镍的蚀刻速度减慢,蚀刻均匀性液一般,可能是因为十二烷基苯磺酸钠和磷酯酰丝氨酸作为
表面活性剂可以提高蚀刻的均匀性,而两者复配的效果更好。对比例3中减少了乙醇的添加量使其表面
张力下降,影响了蚀刻液的均匀性。另外,实施例3所得的蚀刻液的各项效果都最好,是本发明的最优实施例。