本发明涉及抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，特别涉及下述的抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，所述再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法特别适于经济性较好地对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。

为了制造集成电路(IC)、高集成电路(LSI)、超高集成电路(VLSI)等半导体元件和液晶显示元件等显示装置，要反复实施多阶段的光蚀刻工序和抗蚀剂剥离工序，由此产生大量的抗蚀剂剥离废液。特别是由于液晶显示元件等显示器基板面积的急速大型化，剥离液的用量大幅度增大，进一步提出了对于剥离废液的再利用的要求。
经抗蚀剂剥离工序使用后的剥离液废液含有抗蚀剂、水分、各种有机胺化合物和有机溶剂。以往作为对该剥离液废液进行废弃处理的方法通常采用焚烧处理的方法，但是由于该方法将焚烧气体释放于大气中，不仅对环境有不良影响，而且剥离液废液中的能够再利用的成分也被废弃掉，所以在经济性方面不是优选的，因而对于剥离废液的再生进行了大量的研究。
此外，最近，由于在半导体和显示器制造工序中进一步要求精密度和特性化，所以多进行最适于各个工序的光致抗蚀剂的细分化，对于各个剥离工序中所使用的抗蚀剂剥离液的成分，在使用中各种有机胺和有机溶剂的种类以及含量也被细分化。
作为对再生抗蚀剂剥离废液进行尝试的一个例子，下述专利文献1(韩国专利申请第10-2002-0075235号)中，公开了一种抗蚀剂剥离废液的再生装置，该抗蚀剂剥离废液的再生装置是对含有烷醇胺、有机溶剂和抗蚀剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的再生装置，该再生装置具有膜分离装置、浓度调整罐、烷醇胺供给单元、有机溶剂供给单元；所述膜分离装置具有截留分子量为100～1500的膜，使用上述膜将上述抗蚀剂剥离废液分离为浓缩液和透过液；所述浓度调整罐贮存上述透过液，用于调整上述透过液中的烷醇胺和有机溶剂的浓度；所述烷醇胺供给单元用于向上述浓度调整罐供给烷醇胺；所述有机溶剂供给单元用于向上述浓度调整罐供给有机溶剂。上述方法是利用抗蚀剂剥离废液中所含有的烷醇胺和有机溶剂透过纳米膜而抗蚀剂不透过纳米膜的性质而对剥离液进行再生的方法。
此外还通过其它的途径对抗蚀剂剥离废液的再生进行了各种尝试，但是由于一次性分离有机溶剂和各种胺化合物，所以不适于对使用专门的胺化合物的各种被细分化的光致抗蚀剂以及剥离工序时所产生的剥离废液进行再生，并且在半导体和显示器制造工序中使用各种抗蚀剂和剥离液时，由于现有的抗蚀剂剥离液再生方法中采用的是对有机溶剂和各种胺化合物进行一次性分离的方式，因而其利用是受到限制的，进一步要求可以除去抗蚀剂剥离废液中的抗蚀剂、水分和有机胺化合物而仅经济地对有机溶剂进行再生的方法。
[专利文献1]韩国专利申请第10-2002-0075235号发明内容为了解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于，提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置，所述再生方法与抗蚀剂剥离液中所含有的胺化合物的种类无关，通过对价格高的有机溶剂进行再生并使其再次用于抗蚀剂剥离液，可以进一步减轻由于抗蚀剂剥离废液所导致的环境污染，通过对价格高的有机溶剂进行再次使用，可以进一步节减费用。
本发明的其它目的在于，提供一种抗蚀剂剥离废液的再生方法和再生装置，所述再生方法适于在经济性较好的同时对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。
为了达成上述目的，本发明提供了一种抗蚀剂剥离废液的再生方法，其是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应，使胺化合物以胺-酸化合物的形式从剥离废液中析出；(b)将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中滤出的工序；和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。
本发明还提供一种抗蚀剂剥离废液再生装置，该装置的特征在于，其含有：(a)含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐；(b)酸贮存罐；(c)将由上述酸贮存罐输送的酸添加到由上述待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐所输送的剥离废液中，使剥离废液的胺化合物与酸进行反应的反应罐；(d)用于过滤从经上述反应罐输送的剥离废液中析出的胺-酸化合物的过滤器；(e)从经上述过滤后的剥离废液中分别蒸馏有机溶剂的蒸馏罐；以及(f)对在上述分别蒸馏罐中被分别蒸馏的有机溶剂进行捕集并贮存的有机溶剂贮存罐。
本发明还提供抗蚀剂剥离废液再生装置，该再生装置的特征在于，其含有：(a)含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐；(b)可使由上述待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐输送的待处理抗蚀剂剥离废液通过的并在末端设有过滤器的酸填充柱；(c)从已通过上述酸填充柱的剥离废液中分别蒸馏出有机溶剂的蒸馏罐；以及(d)对用上述分别蒸馏罐分别蒸馏出的有机溶剂进行捕集并贮存的有机溶剂贮存罐。
基于本发明的抗蚀剂剥离液再生方法和再生装置具有如下效果：其不受抗蚀剂剥离液中所含有的胺化合物的种类的影响，通过对价格高的有机溶剂进行再生并使其再次用于抗蚀剂剥离液，可以进一步减轻由于抗蚀剂剥离废液所导致的环境污染；通过对价格高的有机溶剂进行再次使用，可以进一步节减费用；特别适于在经济性较好的同时对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。
附图说明
图1是基于本发明的一个实施方式的利用反应罐的抗蚀剂剥离废液再生装置的示意图。
图2是基于本发明的另一实施方式的利用酸填充柱的抗蚀剂剥离废液再生装置的示意图。
符号说明110待处理的抗蚀剂剥离废液的贮存罐111泵112自动调节阀120酸贮存罐122自动调节阀130反应罐132自动调节阀140过滤器150蒸馏罐153一次蒸馏罐154二次蒸馏罐
155残留成分排出罐156减压装置160有机溶剂贮存罐163冷凝器170胺化合物罐210待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐211泵212自动调节阀220酸填充柱221过滤器230蒸馏罐233一次蒸馏罐234二次蒸馏罐235残留成分排出罐236减压装置240有机溶剂贮存罐243冷凝器250胺化合物罐具体实施方式下文对本发明进行详细的说明。
本发明人发现，在现有的抗蚀剂剥离废液再生方法中，若将有机胺化合物与有机溶剂同时进行回收来对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生，则由于所回收的有机胺化合物与实际使用的有机胺化合物不同而不能用作剥离液；对与此相应的经济的再生方法进行研究后发现，若利用经济的方法，除去抗蚀剂剥离废液中的抗蚀剂、水分和有机胺化合物，然后仅捕集有机溶剂，随后再将适于各种专门的剥离液的有机胺化合物添加于再生的有机溶剂中来制造抗蚀剂剥离液，则可以解决全部问题，从而完成本发明。
本发明是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法，该方法的特征在于，其含有：(a)添加酸的工序，所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物以胺-酸化合物的形式从剥离废液中析出；(b)将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中滤出的工序；和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。
上述抗蚀剂剥离废液可以随使用剥离液的各个工序的不同而含有各种有机胺化合物或各种有机溶剂。上述有机胺化合物可以为伯胺、仲胺或叔胺，可以是脂肪胺、脂环胺、芳香胺、杂环胺、羟胺。此外，上述有机溶剂可以含有二元醇类的乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丙醚或二丙二醇单丁醚，可以含有二甲基亚砜、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、二甲基咪唑啉酮、环丁砜、或N-甲基吡咯烷酮等烷基吡咯烷酮。
在本发明的抗蚀剂剥离废液再生方法中，作为上述(a)工序中使用的酸，其只要能够与剥离废液中的胺化合物发生反应而使剥离废液的胺化合物从剥离废液中析出即可，无特别限定，可以使用苯甲酸、柠檬酸、甲酸、马来酸、苹果酸、水杨酸、酒石酸、乙酸、草酸、磷酸、硝酸、盐酸、硫酸和高氯酸等。对于酸的用量，至少需添加与剥离废液中所含有的胺化合物的当量相同的等当量或高于等当量的酸，优选进行过量添加以使得胺化合物无残留。进一步优选使用在有机溶剂分别蒸馏时残存的酸不会混入其中的酸。
通过上述(a)工序，待处理的抗蚀剂剥离废液的成分含有抗蚀剂、水分、胺与酸的反应产物、残存的酸以及有机溶剂。
本发明的抗蚀剂剥离废液的再生方法含有将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中滤出的工序作为(b)工序。不言而喻，上述过滤中所使用的过滤器可以使用能够从液体中过滤出固体成分的常规过滤器。通过该工序，将胺化合物从剥离废液中分离除去。
此外，本发明的抗蚀剂剥离废液的再生方法含有对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序作为(c)工序。本工序中，通过分别蒸馏可以将水分和有机溶剂分别蒸馏出而仅捕集有机溶剂，未被蒸馏的抗蚀剂和未参与反应且不分解的酸可以被分离排出。
上述分别捕集的有机溶剂可以通过冷凝器进行再次液体化，从而可以在上述有机溶剂中添加特别要求的胺化合物，再次用作剥离液。
本发明的剥离废液再生方法不受胺化合物的种类的影响，通过对价格高的有机溶剂进行再生并使其再次用于抗蚀剂剥离液，可以进一步减轻由于抗蚀剂剥离废液所导致的环境污染；通过对价格高的有机溶剂进行再次使用，可以进一步节减费用。
下文中，作为本发明的一个具体的实施方式，对使用草酸(C2H2O4)作为酸成分以使得下述剥离废液再生的方法进行说明；所述剥离废液是由各个抗蚀剂剥离工序产生的，其由胺化合物、有机溶剂、水分和抗蚀剂构成，所述胺化合物中含有MEA、MIPA、n-MEA，所述有机溶剂中含有二元醇和烷基吡咯烷酮。由于所述草酸在常温下以二水合物的形式存在，因而使用草酸二水合物(C2H2O4H2O)。
在由胺化合物(其含有MEA、MIPA、n-MEA)、有机溶剂(其含有二元醇和烷基吡咯烷酮)、水分和抗蚀剂构成的剥离废液中添加相对于上述胺化合物的总当量为过量的草酸二水合物。通过添加草酸二水合物，草酸二水合物和胺化合物发生反应生成胺-草酸反应产物，该胺-草酸反应产物以固体状态析出。通过过滤从剥离废液中过滤出固体状态的胺-草酸反应产物。然后对抗蚀剂、水分、有机溶剂的混合物进行分别蒸馏，首先蒸馏出水分，其次有机溶剂中的二元醇和烷基吡咯烷酮与残留的抗蚀剂被分离，通过蒸馏可以仅捕集目的有机溶剂。然后，可以在所捕集的有机溶剂中选择性地添加特别要求的胺化合物如MEA、MIPA或n-MEA等，再次用作剥离液。
此外，本发明提供抗蚀剂剥离废液再生装置，该再生装置的特征在于，其含有：(a)含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐；(b)酸贮存罐；(c)将由上述酸贮存罐输送的酸添加到由上述待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐输送的剥离废液中，使剥离废液的胺化合物与酸进行反应的反应罐；(d)用于过滤从由上述反应罐输送的剥离废液中析出的胺-酸化合物的过滤器；(e)从经上述过滤后的剥离废液中分别蒸馏有机溶剂的蒸馏罐；以及(f)对在上述分别蒸馏罐中被分别蒸馏的有机溶剂进行捕集并贮存的有机溶剂贮存罐。
下文通过本发明的抗蚀剂剥离废液再生装置的一个实施方式的图1所示的示意图，对本发明进行具体的说明。将在各个抗蚀剂剥离工序中得到的待处理抗蚀剂剥离液贮存于待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐110中。上述待处理抗蚀剂剥离废液含有抗蚀剂，并含有MEA、MIPA、n-MEA等各种胺化合物，还含有水分和有机溶剂。将贮存于上述待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐110中的待处理抗蚀剂剥离废液通过泵111沿着配管输送至反应罐130中。为了在输送上述剥离废液时调节剥离废液的量，可以在配管的规定部分设有自动调节阀112。该装置另外还具有酸贮存罐120，其用于贮存与抗蚀剂剥离废液中所含有的胺化合物进行反应的酸。上述酸优选单独使用苯甲酸、柠檬酸、马来酸、苹果酸、水杨酸、酒石酸、草酸等或将上述至少2种酸混合使用。将酸从上述酸贮存罐120沿着配管输送至反应罐130中。为了在输送上述剥离废液时调节酸的量，可以在配管的规定部分设有自动调节阀122。在输送时，优选被输送的酸的量为至少与剥离废液中所含有的胺化合物的总当量相等的等当量或高于该等当量。从待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐110输送的剥离废液和从酸贮存罐120输送的酸在反应罐130中发生反应，析出胺-酸反应产物(例如，胺-草酸反应产物)，此时剥离废液中含有抗蚀剂、酸-碱析出物、水分、有机溶剂。将结束上述反应的剥离废液从反应罐130中输送出去，通过过滤器140，从而除去剥离废液内的固体成分(胺-草酸析出物)。为了在输送上述剥离废液时调节剥离废液的量，可以在配管的规定部分设有自动调节阀132。将通过上述过滤器140而除去了固体成分的剥离废液沿着配管输送至蒸馏罐150。在上述蒸馏罐150中通过升高温度分别蒸馏出剥离废液中所含有的成分并进行捕集。优选上述蒸馏罐150在设置中分成用于捕集水分的一次蒸馏罐153、用于捕集有机溶剂的二次蒸馏罐154以及残留成分排出罐155。使用草酸二水合物作为酸时，可以使剥离废液内所含有的水分通过一次蒸馏罐153被捕集，有机溶剂通过二次蒸馏罐154被捕集，抗蚀剂未发生蒸馏被排到残留成分排出罐155。优选上述蒸馏罐150可以另外设有减压装置156，此时可以降低蒸馏温度。将通过上述二次蒸馏罐154被捕集的有机溶剂输送至有机溶剂贮存罐160。上述有机溶剂贮存罐160具有冷凝器163，可以使被捕集的有机溶剂成为液体状态。优选上述有机溶剂贮存罐160与能够添加规定的胺化合物的胺化合物罐170相连接，可以通过添加规定的胺化合物来添加仅适于个别抗蚀剂剥离工序的胺化合物，由此制造再生剥离液。
本发明还提供抗蚀剂剥离废液再生装置，该再生装置的特征在于，其含有：(a)含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的待处理抗蚀剂剥离废液的贮存罐；(b)可使由上述待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐输送的待处理抗蚀剂剥离废液通过的并在末端设有过滤器的酸填充柱；(c)从已通过上述酸填充柱的剥离废液中分别蒸馏出有机溶剂的蒸馏罐；以及(d)对在上述分别蒸馏罐中被分别蒸馏的有机溶剂进行捕集并贮存的有机溶剂贮存罐。
下文通过本发明的抗蚀剂剥离废液再生装置的一个实施方式的图2所示的示意图，对本发明进行具体的说明。将在各个抗蚀剂剥离工序中得到的待处理抗蚀剂剥离液贮存于待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐210中。上述待处理抗蚀剂剥离废液含有抗蚀剂，并含有MEA、MIPA、n-MEA等各种胺化合物，还含有水分和有机溶剂。将贮存于上述待处理抗蚀剂剥离废液贮存罐210中的待处理抗蚀剂剥离废液通过泵211沿着配管输送至酸填充柱220。为了在输送上述剥离废液时调节剥离废液的量，可以在配管的规定部分设有自动调节阀212。上述酸填充柱220中填充有能够与抗蚀剂剥离废液中所含有的胺化合物发生反应并使胺-酸的反应产物从剥离废液中析出的酸。上述酸优选单独使用苯甲酸、柠檬酸、马来酸、苹果酸、水杨酸、酒石酸、草酸等或将上述至少2种酸混合来使用。当剥离废液通过上述酸填充柱220时，剥离废液中所含有的胺化合物与酸发生反应，胺-酸的反应产物从剥离废液析出，被酸填充柱220的末端所具有的过滤器221过滤掉，从而仅使除去了胺化合物的剥离废液通过过滤器221。将通过上述过滤器221而除去了固体成分的剥离废液沿着配管输送至蒸馏罐230。在上述蒸馏罐230中通过升高温度分别蒸馏出剥离废液中所含有的成分并进行捕集。优选上述蒸馏罐230在设置中分成用于捕集水分的一次蒸馏罐233、用于捕集有机溶剂的二次蒸馏罐234以及残留成分排出罐235。使用草酸二水合物作为酸时，剥离废液内所含有的水分通过一次蒸馏罐233被捕集，有机溶剂通过二次蒸馏罐234被捕集，抗蚀剂未发生蒸馏被排到残留成分排出罐235。优选上述蒸馏罐230可以另外具有减压装置236，此时可以降低蒸馏温度。将通过上述二次蒸馏罐234被捕集的有机溶剂输送至有机溶剂贮存罐240。上述有机溶剂贮存罐240具有冷凝器243，可以使被捕集的有机溶剂成为液体状态。优选上述有机溶剂贮存罐240与能够添加规定的胺化合物的胺化合物罐250相连接，可以通过添加规定的胺化合物来添加仅适于个别抗蚀剂剥离工序的胺化合物，由此制造再生剥离液。
下文为了理解本发明而举出优选的实施例，但是实施例仅用于对本发明进行示例，本发明的范围并不限于下述实施例。
[实施例]实施例1在由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有3重量份抗蚀剂、5重量份胺化合物MEA、5重量份胺化合物MIPA、5重量份胺化合物n-MEA、10重量份水分、72重量份有机溶剂(50重量份二元醇和22重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液中添加10.6重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物并析出。未参与反应的草酸二水合物以固体成分形式残留于剥离废液中。用过滤器对上述形成了胺-草酸化合物的剥离废液进行过滤以除去固体成分。通过上述过滤除去析出的胺-草酸化合物和未参与反应的草酸二水合物，以使相对于100重量份的过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中的二元醇为67.4重量份、烷基吡咯烷酮为32.6重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例2在由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有3重量份抗蚀剂、4重量份胺化合物MEA、4重量份胺化合物MIPA、4重量份胺化合物n-MEA、20重量份水分、65重量份的有机溶剂(45重量份二元醇和20重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液中添加8.5重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物并析出。未参与反应的草酸二水合物以固体成分形式残留于剥离废液中。用过滤器对上述形成有胺-草酸化合物的剥离废液进行过滤以除去固体成分。通过上述过滤除去析出的胺-草酸化合物和未参与反应的草酸二水合物，以使相对于100重量份的过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中的二元醇为66.5重量份、烷基吡咯烷酮为33.5重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例3在由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有2重量份抗蚀剂、3重量份胺化合物MEA、3重量份胺化合物MIPA、3重量份胺化合物n-MEA、30重量份水分、59重量份有机溶剂(41重量份二元醇和18重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液中添加6.4重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物并析出。未参与反应的草酸二水合物以固体成分形式残留于剥离废液中。用过滤器对上述形成有胺-草酸化合物的剥离废液进行过滤以除去固体成分。通过上述过滤除去析出的胺-草酸化合物和未参与反应的草酸二水合物，以使相对于100重量份的过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂、胺-草酸和未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中的二元醇为67.5重量份、烷基吡咯烷酮为32.5重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例4在由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有2重量份抗蚀剂、2重量份胺化合物MEA、2重量份胺化合物MIPA、2重量份胺化合物n-MEA、40重量份水分、52重量份有机溶剂(36重量份二元醇和16重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液中添加4.3重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物并析出。未参与反应的草酸二水合物以固体成分形式残留于剥离废液中。用过滤器对上述形成有胺-草酸化合物的剥离废液进行过滤以除去固体成分。通过上述过滤除去析出的胺-草酸化合物和未参与反应的草酸二水合物，以使相对于100重量份的过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分离蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中二元醇为67.4重量份、烷基吡咯烷酮为32.6重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例5使由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有3重量份抗蚀剂、5重量份胺化合物MEA、5重量份胺化合物MIPA、5重量份胺化合物n-MEA、10重量份水分、72重量份有机溶剂(50重量份二元醇和22重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液通过填充有19.5重量份草酸二水合物且在末端设置有过滤器的填充柱，以使胺化合物以胺-草酸化合物的形式析出并被过滤掉。相对于100重量份的上述过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中二元醇为67.0重量份、烷基吡咯烷酮为33.0重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例6使由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有3重量份抗蚀剂、4重量份胺化合物MEA、4重量份胺化合物MIPA、4重量份胺化合物n-MEA、20重量份水分、65重量份有机溶剂(45重量份二元醇和20重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液通过填充有15.6重量份草酸二水合物且在末端设置有过滤器的填充柱，以使胺化合物以胺-草酸化合物的形式析出并被滤掉。相对于100重量份的上述过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中二元醇为66.7重量份、烷基吡咯烷酮为33.3重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例7使由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有2重量份抗蚀剂、3重量份胺化合物MEA、3重量份胺化合物MIPA、3重量份胺化合物n-MEA、30重量份水分、59重量份有机溶剂(41重量份二元醇和18重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液通过填充有11.7重量份草酸二水合物且在末端设置有过滤器的填充柱，以使胺化合物以胺-草酸化合物的形式析出并被滤掉。相对于100重量份的上述过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中二元醇为67.2重量份、烷基吡咯烷酮为32.8重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。
实施例8使由各个抗蚀剂剥离工序得到的含有2重量份抗蚀剂、2重量份胺化合物MEA、2重量份胺化合物MIPA、2重量份胺化合物n-MEA、40重量份水分、52重量份有机溶剂(36重量份二元醇和16重量份烷基吡咯烷酮)的剥离废液通过填充有7.8重量份草酸二水合物且在末端设置有过滤器的填充柱，以使胺化合物以胺-草酸化合物的形式析出并被过滤掉。相对于100重量份的上述过滤后的剥离废液，总胺化合物小于0.1重量份。对上述过滤后的剥离废液进行分别蒸馏，捕集水分和有机溶剂，将残留的抗蚀剂和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分离排出。将上述捕集的有机溶剂冷却使其液体化，对液体化的有机溶剂的成分进行分析后可知，100重量份有机溶剂中二元醇为66.5重量份、烷基吡咯烷酮为33.5重量份、水分小于0.1重量份、总胺化合物小于0.1重量份、未检出树脂。