专利汇可以提供在晶片衬底上沉积、释放和封装微机电器件的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了投影系统、空间光 调制器 和形成MEMS器件的方法。该空间光调制器可以具有结合在一起的两个衬底,其中一个衬底包括一个微镜阵列。在这两个晶片上或其中之一上沉积了 吸气剂 材料和/或固体或液体 润滑剂 后,这两个衬底可以在晶片级上结合。如果需要,这两个晶片可以结合在一起,并且两个衬底之间的压 力 可以小于 大气压 。,下面是在晶片衬底上沉积、释放和封装微机电器件的方法专利的具体信息内容。
1.一种用于制造空间光调制器的方法,其包括:
在第一或第二衬底上形成多个可偏转反射元件;
将所述第一和第二衬底结合在一起,形成一个衬底部件;
将所述衬底部件结合到一个封装衬底上,该封装衬底并不完全封 装所述衬底部件,从而形成一个暴露的和被封装的衬底部件;和
用引线将所述衬底部件结合到所述封装衬底。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将所述暴露的和被封 装的衬底部件置入一个投影系统。
3.根据权利要求2所述的方法,其中所述的反射元件对应于直视 或投影显示器中的像素。
4.根据权利要求3所述的方法,其中每个芯片中的反射元件的数 量是从15万到大约6百万。
5.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一衬底是一个透光衬 底,或者是一个具有一层或多层的、当其被去除时成为一个透光衬底 的衬底。
6.根据权利要求5所述的方法,其中所述第一衬底是玻璃、硼硅 酸盐、钢化玻璃、石英或蓝宝石。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述第二衬底是电介质或半 导体衬底。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述第二衬底包括砷化镓或 硅。
9.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一和第二衬底利用粘 合剂结合在一起。
10.根据权利要求9所述的方法,其中所述结合剂是环氧树脂。
11.根据权利要求10所述的方法,其中所述环氧树脂包括预定直 径的球或杆。
12.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底部件通过划线和折 断被分离为单个芯片。
13.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底部件在分离为单个 芯片之前要测试其异常性。
14.根据权利要求1所述的方法,进一步包括在所述第一和第二衬 底之间提供一个间隔衬底。
15.根据权利要求1所述的方法,进一步包括在所述第一和第二衬 底结合之前,在这两个衬底或其中之一上提供微加工的隔离物。
16.根据权利要求9所述的方法,其中所述粘合剂由自动控制的液 体分配器通过注射器分配。
17.根据权利要求9所述的方法,其中所述粘合剂由丝网印刷、胶 版印刷或辊筒印刷来分配。
18.根据权利要求16所述的方法,其中所述注射器为了进行分配 沿X-Y坐标移动。
19.根据权利要求1所述的方法,其中所述对齐包括相对衬底上的 衬底基准的对准。
20.根据权利要求19所述的方法,其中所述对准利用具有镜头扩 大功能的视频相机来完成。
21.根据权利要求7所述的方法,其中所述第二衬底是玻璃或石英 衬底。
22.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底的结合包括UV或 用热进行固化的环氧树脂的分配。
23.根据权利要求22所述的方法,其中所述结合进一步包括施加 10kg的力或更多的力。
24.根据权利要求1所述的方法,其中所述对齐包括把所述第一衬 底上的每个可偏转元件与所述第二衬底上的至少一个电极对齐。
25.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底部件的分离包括在 所述第一和第二衬底上形成划线。
26.根据权利要求25所述的方法,其中所述划线以在至少一个方 向上的彼此偏移的关系放置。
27.根据权利要求25所述的方法,其中所述分离进一步包括沿划 线利用剪切机或支点折断机来折断所述衬底部件。
28.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底部件的分离包括在 每个衬底上部分地切割,随后沿切割线折断。
29.根据权利要求1所述的方法,其中所述切割是在存在高压水喷 射的情况下进行的。
30.根据权利要求1所述的方法,其中所述结合包括在所述衬底的 每个阵列的周围附近应用密封剂。
31.根据权利要求30所述的方法,进一步包括在所述衬底中的至 少一个的周围应用密封剂。
32.根据权利要求1所述的方法,其中所述结合包括应用粘合剂和 隔离物,该隔离物的尺寸从1到100微米。
33.根据权利要求32所述的方法,其中所述隔离物的尺寸从1到 20微米。
34.根据权利要求1所述的方法,其中所述多个可偏转元件是反射 镜元件,并且是在所述第二衬底上形成的,所述第二衬底是透光衬底, 至少在从其上去除了所有的表面涂层的情况下。
35.根据权利要求15所述的方法,其中所述微加工隔离物包括一 种有机材料。
36.根据权利要求32所述的方法,其中所述隔离物是玻璃或塑料 隔离物。
37.根据权利要求1所述的方法,其中所述可偏转元件的形成包括 表面微机械加工或体微机械加工。
38.根据权利要求1所述的方法,其中在所述第一衬底上形成所述 多个可偏转元件。
39.根据权利要求38所述的方法,其中在形成所述多个可偏转元 件之前形成所述电路或多个电极,其中所述多个可偏转元件在所述第 一衬底的所述多个电极的上面形成。
40.根据权利要求39所述的方法,其中在所述第二衬底上形成多 个光阻挡掩模。
41.根据权利要求40的方法,其中当所述衬底部件被切单为衬底 部件芯片时,在每个衬底部件芯片内的一个第二衬底部分上布置一个 光阻挡掩模。
42.根据权利要求1所述的方法,其中在所述第二衬底上形成所述 的多个可偏转元件。
43.根据权利要求42的方法,其中当所述第一和第二衬底被对齐 和结合在一起时,所述第二衬底上的每个所述可偏转元件布置在所述 第一衬底的相应电极的附近。
44.根据权利要求1所述的方法,进一步包括封装所述的衬底部件 芯片。
45.根据权利要求1所述的方法,其中所述的可偏转元件是具有锯 齿状或Z字形边缘的微镜。
46.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将粘附力减少剂施加 到一个或两个衬底上,施加时间是在这两个衬底结合之前或之后,但 在该衬底部件被切单为芯片之前。
47.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将吸气剂施加到一个 或两个衬底上,施加时间是在这两个衬底结合成一个衬底部件之前。
48.根据权利要求47所述的方法,其中所述的吸气剂是分子、氢 和/或粒子吸气剂。
49.根据权利要求47所述的方法,其中所述的吸气剂是粒子和湿 气吸气剂。
50.根据权利要求47所述的方法,其中所述的吸气剂是能够吸收 湿气。
51.根据权利要求46所述的方法,其中所述的粘附力减少剂是施 加到所述可偏转元件的硅烷。
52.根据权利要求46所述的方法,其中所述的粘附力减少剂是氯 硅烷。
53.根据权利要求1所述的方法,进一步包括在结合和切单所述结 合衬底为多个结合衬底芯片部分之前将所述衬底对齐。
54.根据权利要求53所述的方法,其中所述衬底的对齐精度是1 微米或更小。
55.根据权利要求2所述的方法,其中所述投影系统包括一个光 源、一个色彩定序器和投影光学系统。
56.一种形成微镜阵列的方法,其包括:
提供一个第一衬底;
提供一个第二衬底;
在所述第一和第二衬底上形成多个微镜元件;
在低于大气压的压力下将所述第一和第二衬底结合在一起,以形 成一个衬底部件;和
将所述衬底部件切单为单独的芯片,每个芯片包括结合后的第一 和第二衬底,其间在低于大气压的环境中具有微镜元件。
57.根据权利要求56所述的方法,其中所述微镜元件是通过在牺 牲层上沉积结构膜,并释放这些结构膜以去除所述牺牲层而形成的, 其中所述释放包括提供一种蚀刻剂,该蚀刻剂选自卤间化合物、惰性 气体氟化物、气相酸或气体溶剂。
58.根据权利要求57所述的方法,其中在所述释放之后是粘附处 理。
59.根据权利要求58所述的方法,其中所述粘附处理包括利用硅 烷的处理。
60.根据权利要求58所述的方法,其中所述粘附处理之后是所述 的结合。
61.根据权利要求60所述的方法,其中从释放到结合的时间小于 6小时。
62.根据权利要求56所述的方法,其中所述第一衬底是一个透光 衬底,或者是一个具有一层或多层的、当其被去除时成为一个透光衬 底的衬底。
63.根据权利要求62所述的方法,其中所述第一衬底是玻璃、硼 硅酸盐、钢化玻璃、石英或蓝宝石。
64.根据权利要求56所述的方法,其中所述第二衬底是电介质或 半导体晶片。
65.根据权利要求64所述的方法,其中所述第二衬底包括砷化镓 或硅。
66.根据权利要求65所述的方法,其中所述第一和第二衬底利用 粘合剂结合在一起。
67.根据权利要求66所述的方法,其中所述粘合剂是一种环氧树 脂。
68.根据权利要求67所述的方法,其中所述环氧树脂包括预定直 径的球或杆。
69.根据权利要求66所述的方法,其中所述衬底部件通过划线和 折断被分离为单个芯片。
70.根据权利要求56所述的方法,其中所述衬底部件在分离为单 个芯片之前要测试其异常性。
71.根据权利要求56所述的方法,进一步包括在所述第一和第二 衬底之间提供一个间隔衬底。
72.根据权利要求56所述的方法,进一步包括在所述第一和第二 衬底结合之前,在这两个衬底或其中之一上提供微加工的隔离物。
73.根据权利要求66所述的方法,其中所述粘合剂由自动控制的 液体分配器通过一个注射器来分配。
74.根据权利要求66所述的方法,其中所述粘合剂由丝网印刷、 胶版印刷或辊筒印刷来分配。
75.根据权利要求73所述的方法,其中所述注射器为了进行分配 沿X-Y坐标移动。
76.根据权利要求56所述的方法,其中所述对齐包括相对衬底上 的衬底基准的对准。
77.根据权利要求76所述的方法,其中所述对准利用具有镜头扩 大功能的视频相机来完成。
78.根据权利要求64所述的方法,其中所述第一和第二衬底的形 状基本上是圆形,直径为从4到12英寸。
79.根据权利要求67所述的方法,其中所述衬底的结合包括UV 或用热进行固化的环氧树脂的分配。
80.根据权利要求79所述的方法,其中所述结合进一步包括施加 10kg的力或更大的力。
81.根据权利要求56所述的方法,其中所述对齐包括把所述第一 衬底上的每个可偏转元件与所述第二衬底上的至少一个电极对齐。
82.根据权利要求56所述的方法,其中所述衬底部件的分离包括 在所述第一和第二衬底上形成划线。
83.根据权利要求25所述的方法,其中所述划线以在至少一个方 向上的彼此偏移的关系放置。
84.根据权利要求25所述的方法,其中所述分离进一步包括沿划 线利用剪切机或支点折断机来折断所述衬底部件。
85.根据权利要求56所述的方法,其中所述衬底部件的分离包括 在每个衬底上部分地切割,随后沿切割线折断。
86.根据权利要求56所述的方法,其中所述切割是在存在高压水 喷射的情况下进行的。
87.根据权利要求56所述的方法,其中所述结合包括在所述衬底 的每个阵列的周围附近应用密封剂。
88.根据权利要求87所述的方法,进一步包括在所述衬底中的至 少一个的周围应用密封剂。
89.根据权利要求56所述的方法,其中所述结合包括应用粘合剂 和隔离物,该隔离物的尺寸从1到100微米。
90.根据权利要求89所述的方法,其中所述隔离物的尺寸从1到 20微米。
91.根据权利要求90所述的方法,其中所述多个可偏转元件是反 射镜元件,并且是在第二衬底上形成的,所述第二衬底是透光衬底, 至少在从其上去除了所有的表面涂层的情况下。
92.根据权利要求89所述的方法,其中所述微加工隔离物包括一 种有机材料。
93.根据权利要求89所述的方法,其中所述隔离物是玻璃或塑料 隔离物。
94.根据权利要求56所述的方法,其中所述微镜被提供在一个阵 列中,该阵列包括100000到10000000个微镜。
95.根据权利要求56所述的方法,进一步包括将所述衬底部件结 合和引线结合到一个封装衬底上,该封装衬底不完全封装所述衬底部 件。
96.根据权利要求95所述的方法,其中不完全封装所述衬底部件 的所述封装衬底固定在一个投影系统内。
97.根据权利要求56所述的方法,进一步包括将粘附力减少剂施 加到一个或两个衬底上,施加时间是在这两个衬底结合之前或之后, 但在该衬底部件被切单为芯片之前。
98.根据权利要求56所述的方法,进一步包括将吸气剂施加到一 个或两个衬底上,施加时间是在这两个衬底结合成一个衬底部件之前。
99.根据权利要求96所述的方法,其中所述投影系统包括一个光 源、色彩定序器和投影光学系统。
100.根据权利要求99所述的方法,其中所述光源是一个弧光灯。
101.根据权利要求100所述的方法,其中所述色彩定序器是一个 色彩轮。
102.根据权利要求97所述的方法,其中所述的粘附力减少剂是施 加到可偏转元件的硅烷。
103.根据权利要求97所述的方法,其中所述的粘附力减少剂是氯 硅烷。
104.根据权利要求96所述的方法,其中在所述第二衬底上形成多 个光阻挡掩模。
105.根据权利要求104所述的方法,其中当所述衬底部件被切单 为衬底部件芯片时,在每个衬底部件芯片内的一个第二衬底部分上布 置一个光阻挡掩模。
106.一种制作微镜阵列的方法,其包括:
提供一个第一晶片;
提供一个第二晶片;
在所述第一晶片上形成电路和多个电极,以形成一个电路和电极 阵列;
在所述第一或第二晶片上形成多个可偏转微镜元件,以形成一个 微镜阵列;
在形成所述多个可偏转微镜元件以及电路和电极阵列之前或之 后,在所述微镜阵列和/或电路和电极阵列的附近形成一个槽或腔;
将粘附力减少剂和/或吸气剂沉积到所述的槽或腔中;
对齐所述第一和第二晶片;
将所述第一和第二晶片结合在一起以形成一个晶片部件;和
将所述晶片部件分离为单独的晶片部件芯片。
107.根据权利要求106所述的方法,其中粘附力减少剂被沉积到 一个晶片的槽或腔中,吸气剂被沉积到另一个晶片的槽或腔中。
108.根据权利要求107所述的方法,其中所述的粘附力减少剂以 液体或固体形式应用到所述槽或腔中。
109.根据权利要求106所述的方法,其中在所述两个晶片结合在 一起之前,吸气剂被沉积到一个或两个晶片的槽或腔中。
110.根据权利要求109所述的方法,其中所述吸气剂是分子、氢 和/或粒子吸气剂。
111.根据权利要求110所述的方法,其中所述吸气剂是粒子和湿 气吸气剂。
112.根据权利要求110所述的方法,其中所述吸气剂能够吸收湿 气。
113.根据权利要求107所述的方法,其中所述粘附力减少剂包括 碳和氟。
114.根据权利要求106所述的方法,其中吸气剂被沉积到所述槽 或腔中,气相的粘附力减少剂被用于覆盖微镜阵列。
115.根据权利要求114所述的方法,其中所述的气相粘附力减少 剂是氟化硅烷。
116.根据权利要求115所述的方法,其中所述氟化硅烷具有一个 至少8个碳原子的烷基链。
117.根据权利要求106所述的方法,其中所述第一和第二晶片在 低于大气压的压力下结合。
118.根据权利要求117所述的方法,其中所述单个晶片组装。
119.根据权利要求106所述的方法,其中所述晶片中的一个是其 上具有一个或多个矩形掩模的玻璃或石英晶片。
120.根据权利要求119所述的方法,其中所述晶片中的一个包括 一个微镜阵列,而所述晶片中的另一个透射可见光。
121.根据权利要求120所述的方法,其中透射可见光的所述晶片 包括一个或多个可见光阻挡区域。
122.根据权利要求121所述的方法,其中所述可见光阻挡区域基 本上是矩形。
123.根据权利要求106所述的方法,其中当所述晶片部件被切单 为晶片部件芯片时,在每个晶片部件芯片内的一个第二衬底部分上布 置一个光阻挡掩模。
124.一种制造MEMS器件的方法,其包括:
在一个第一晶片上形成多个MEMS器件;
提供一个第二晶片;
将所述第一和第二晶片封闭地结合和密封在一起,成为一个衬底 部件;和
将所述的封闭的衬底部件切单为多个封闭地密封的衬底部件芯 片,每个芯片包括一个MEMS元件。
125.根据权利要求124所述的方法,其中所述MEMS元件是微镜。
126.根据权利要求125所述的方法,其中每个衬底部件芯片包括 一个微镜阵列。
127.根据权利要求126所述的方法,其中所述第一晶片是一个玻 璃或石英晶片。
128.根据权利要求124所述的方法,其中电路和多个电极是在结 合之前在所述第二晶片上形成的。
129.根据权利要求128所述的方法,其中所述第二衬底是一个硅 衬底。
130.根据权利要求124所述的方法,进一步包括:
将一个衬底部件芯片结合到一个第三封装衬底上,该第三封装衬 底不完全封装所述衬底部件,从而形成一个暴露的和被封装的衬底部 件。
131.根据权利要求130所述的方法,进一步包括将所述衬底部件 芯片引线结合到所述第三衬底上。
132.根据权利要求130所述的方法,进一步包括将所述被封装的 衬底部件连接到一个投影系统。
133.根据权利要求124所述的方法,其中所述的封闭地结合和密 封是在低于大气压的压力下进行的。
134.根据权利要求124所述的方法,其中通过以下方式将所述第 一晶片结合到所述第二晶片:粘合剂结合、阳极结合、共晶结合、玻 璃烧结结合和/或焊接结合。
135.根据权利要求134所述的方法,其中至少两种类型的结合被 用于将第一晶片与第二晶片封闭地结合和密封在一起。
136.根据权利要求124所述的方法,其中在靠近被形成或将被形 成的MEMS元件的所述第一或第二晶片中形成一个槽。
137.根据权利要求133所述的方法,其中所述的封闭地密封的衬 底部件芯片包括在小于大气压的环境气体中的微镜元件。
138.根据权利要求124所述的方法,其中所述的封闭结合和密封 是在不同于空气的一种气体中进行的。
139.根据权利要求138所述的方法,其中所述的封闭结合和密封 是在一种包括惰性气体的气体中进行的。
140.根据权利要求139所述的方法,其中所述惰性气体包括氮、 氩或氦。
141.根据权利要求124所述的方法,进一步包括在将所述晶片封 闭结合和密封之前提供一种气相的抗粘附材料到MEMS元件。
142.根据权利要求124所述的方法,其中所述抗粘附材料由硅烷 前体形成。
143.一个空间光调制器,包括:
一个包括微镜阵列的第一衬底;
一个第二衬底,其包括用于对所述微镜进行静电激励的电路和电 极;
其中所述第一和第二衬底封闭地结合在一起,成为一个衬底部件, 以使微镜从环境空气中封闭地密封出来。
144.根据权利要求143所述的空间光调制器,其中不同于空气的 一种气体在所述第一和第二衬底之间的封闭环境中。
145.根据权利要求144所述的空间光调制器,进一步包括一个封 装衬底,其不完全封装所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的 衬底部件。
146.根据权利要求145所述的空间光调制器,进一步包括将所述 衬底部件电连接到所述封装衬底的引线结合。
147.根据权利要求145所述的空间光调制器,其中所述的封装衬 底是一个基本平的衬底。
148.一种投影系统,其包括:一个光源、一个色彩定序器、如权 利要求143所述的空间光调制器,以及投影光学系统。
149.一种空间光调制器,其包括:
一个包括微镜阵列的第一衬底;
一个第二衬底,其包括用于对所述微镜进行静电激励的电路和电 极;
其中所述第一和第二衬底利用粘合剂结合在一起,成为一个衬底 部件。
150.根据权利要求149所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底封闭地结合在一起,不同于空气的一种气体在所述第一和第二 衬底之间的封闭环境中。
151.根据权利要求150所述的空间光调制器,进一步包括一个封 装衬底,其不完全封装所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的 衬底部件。
152.根据权利要求151所述的空间光调制器,进一步包括将所述 衬底部件电连接到所述封装衬底的引线结合。
153.根据权利要求152所述的空间光调制器,其中所述的封装衬 底是一个基本上平的衬底。
154.根据权利要求149所述的空间光调制器,其中所述粘合剂是 一种有机结合剂。
155.根据权利要求149所述的空间光调制器,其中所述粘合剂是 一种环氧树脂。
156.根据权利要求149所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙是100微米或更小。
157.根据权利要求156所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙是10微米或更小。
158.一种投影系统,其包括:一个光源、一个色彩定序器、如权 利要求149所述的空间光调制器,以及投影光学系统。
159、一种空间光调制器,其包括:
一个包括微镜阵列的第一衬底;
一个第二衬底,其包括用于对所述微镜进行静电激励的电路和电 极;
其中所述第一和第二衬底被结合在一起成为一个衬底部件,该衬 底部件在其中具有所述微镜和小于1个大气压压力的一种气体。
160.根据权利要求159所述的空间光调制器,其中不同于空气的 一种气体是在所述第一和第二衬底之间的封闭环境中。
161.根据权利要求159所述的空间光调制器,进一步包括一个封 装衬底,其不完全封装所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的 衬底部件。
162.根据权利要求161所述的空间光调制器,进一步包括将所述 衬底部件电连接到所述封装衬底的引线结合。
163.根据权利要求162所述的空间光调制器,其中所述的封装衬 底是一个基本上平的衬底。
164.根据权利要求159所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于0.25atm。
165.根据权利要求160所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于50Torr。
166.根据权利要求161所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于10Torr。
167.根据权利要求162所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于1Torr。
168.根据权利要求163所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于100mTorr。
169.根据权利要求159所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于100微米。
170.根据权利要求169所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于10微米。
171.一种投影系统,其包括:一个光源、一个色彩定序器、如权 利要求159所述的空间光调制器,以及投影光学系统。
172.一种空间光调制器,其包括:
一个包括微镜阵列的第一衬底;
一个第二衬底,其包括用于对所述微镜进行静电激励的电路和电 极;
其中所述第一和第二衬底被结合在一起成为一个衬底部件,该衬 底部件在其中具有所述微镜,和靠近所述微镜的、处于所述第一和第 二衬底之间的固体或液体润滑剂和/或吸气剂。
173.根据权利要求172所述的空间光调制器,其中不同于空气的 一种气体是在所述第一和第二衬底之间的封闭环境中。
174.根据权利要求172所述的空间光调制器,进一步包括一个封 装衬底,其不完全封装所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的 衬底部件。
175.根据权利要求174所述的空间光调制器,进一步包括将所述 衬底部件电连接到所述封装衬底的引线结合。
176.根据权利要求175所述的空间光调制器,其中所述的封装衬 底是一个基本上平的衬底。
177.根据权利要求172所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于1atm。
178.根据权利要求177所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于50Torr。
179.根据权利要求178所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于10Torr。
180.根据权利要求179所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于1Torr。
181.根据权利要求180所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于100mTorr。
182.根据权利要求172所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于100微米。
183.根据权利要求182所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于10微米。
184.一种投影系统,其包括:一个光源、一个色彩定序器、如权 利要求172所述的空间光调制器,以及投影光学系统。
185.一种空间光调制器,其包括:
一个第一衬底,其包括微镜阵列和用于对微镜进行静电激励的电 路和电极;
一个透光的第二衬底;
所述第一和第二衬底被结合在一起。
186.根据权利要求185所述的空间光调制器,其中不同于空气的 一种气体是在所述第一和第二衬底之间的封闭环境中。
187.根据权利要求185所述的空间光调制器,进一步包括一个封 装衬底,其不完全封装所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的 衬底部件。
188.根据权利要求187所述的空间光调制器,进一步包括将所述 衬底部件电连接到所述封装衬底的引线结合。
189.根据权利要求188所述的空间光调制器,其中所述的封装衬 底是一个基本上平的衬底。
190.根据权利要求185所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于1atm。
191.根据权利要求190所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于50Torr。
192.根据权利要求191所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于10Torr。
193.根据权利要求192所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于1Torr。
194.根据权利要求193所述的空间光调制器,其中所述衬底部件 中的第一和第二衬底之间的压力小于100mTorr。
195.根据权利要求185所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于100微米。
196.根据权利要求195所述的空间光调制器,其中所述第一和第 二衬底之间的缝隙小于10微米。
197.一种投影系统,其包括:一个光源、一个色彩定序器、如权 利要求185所述的空间光调制器,以及投影光学系统。
198.一种制造空间光调制器的方法,其包括:
在一个半导体衬底上形成电路、电极和微镜;
将一个透光衬底结合到所述半导体衬底上,以形成一个衬底部件;
将所述衬底部件结合到一个封装衬底上,该封装衬底不完全封装 所述衬底部件,以形成一个暴露的和被封装的衬底部件;
将所述衬底部件引线结合到封装衬底上;和
把所述暴露的和被封装的衬底部件放置到一个投影系统。
199.一种制造多个空间光调制器的方法,包括:
在一个半导体衬底上形成电路、电极和微镜;
将一个透光衬底结合到所述半导体衬底上,以形成一个衬底部件;
将所述衬底部件切单为单个的衬底部件部分,每个衬底部件包括 一个空间光调制器;和
封装所述的单个衬底部件部分。
附图说明
图1A至图1E是描述形成微镜的一种方法的剖面图;
图2是一个微镜的顶视图,示出了用于截取图1A至图1E剖面的 线1-1;
图3A至图3E是描述与图1A至图1E相同方法的剖面图,但沿另 一不同的剖切线;
图4是一个微镜的顶视图,示出了用于截取图3A至图3E剖面的 线3-3;
图5是两个衬底部件的等轴视图,一个具有微镜,另一个具有电 路和电极;
图6是使用中的组装的器件的剖面图;
图7是本发明的一种方法的流程图;
图8是具有多个芯片区域的晶片衬底的顶视图;
图9A至图9G是器件组装的逐个步骤的视图;
图10A至图10B是将要结合在一起、然后切单的两个晶片的顶视 图;
图10C至图10D是用于结合一个晶片(10D)的透光衬底(图10A) 的视图;
图11A是图10A和图10B中的两个晶片对准时、但在结合之前的、 沿图10的线11-11剖切的剖面图,而图11B是两个晶片结合之后、但 在切单之前的相同的剖面图;
图12是固定在一个封装衬底上的切单后的晶片部件芯片的等轴视 图;和
图13是其上具有微镜器件的投影系统的图。
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