小尺寸、精密信息装置正在快速发展，并且为了与这样的装置一起使用，对能够进行非常小距离的定位控制的微致动器的需求正在增加。这样的微致动器对于例如矫正聚焦和入射角的光学系统、用于控制喷墨头的喷墨打印机和用于控制磁头的磁盘驱动器尤其需要。
磁盘驱动器特别需要提高其存储容量。提高磁盘驱动器存储容量通常可通过提高包含在磁盘驱动器中的每一个磁盘的容量来实现。如果磁盘上每英寸的磁道数量(TPI)提高，即如果磁道的宽度变窄，则磁盘的存储容量和记录密度将提高而不会改变其直径。为此，安装在磁盘驱动器中的磁头悬架的磁头必须能够沿跨越磁道的方向，即摇摆方向，进行精确定位。为了实现该精确操作，需要能够在非常小的区域中准确移动和定位磁头的致动器。
为了满足该需要，本发明的申请已经在日本未经审查的专利申请公开文本No.2002-050140中提出了用于磁盘驱动器的磁头悬架，其包括基板、具有铰链的比基板更薄的连接板、设置有弯曲部的载荷梁和包括一对压电元件的压电致动器。
该相关技术领域采用双致动器系统，为了精确定位，其涉及音圈马达和压电致动器，该压电致动器具有两个由例如PZT(锆钛酸铅)制成的压电元件。
双致动器系统中的压电致动器沿磁头悬架宽度方向(摇摆方向)精密地移动载荷梁的前端。与仅采用音圈马达的单致动器系统相比较，采用音圈马达和压电致动器的双致动器系统能够更精确地定位附接到磁头悬架前端的磁头。
采用双致动器系统的磁头悬架的一个重要问题是，如何在将压电元件附接到磁头悬架时保证原来要求的振动和碰撞(impacting)特性。
解决该问题的一种方法公开在日本未经审查的专利申请公开本文No.2002-050140和No.2001-307442中。根据这些相关技术，磁头悬架的基板设置有用于接纳压电元件的开口和一对柔性连接部，该柔性连接部的每一个具有U型形状，并且从该开口向外突出。接纳在该开口中的压电元件通过填充在压电元件和基板之间的非导电粘合剂附接到基板。
根据相关技术，该对柔性连接部提高了刚度，并且充分保证了原来要求的振动和碰撞特性。
然而，相关技术的该对向外突出的柔性连接部虽然提高了刚度，但是减小了致动器的位移行程(displacement stroke)。

本发明的目的是提供一种能够在不使致动器的位移行程变差的情况下确保例如振动和碰撞特性等基本特性的磁头悬架。
为了实现该目的，本发明的一方面提供一种磁头悬架，其具有载荷梁和压电致动器，所述压电致动器支撑所述载荷梁的基部部分，并且构造成使所述载荷梁的前端沿摇摆方向移动。所述压电致动器具有致动器基部和至少一个压电元件，所述致动器基部连接到所述载荷梁的基部部分，并且具有至少一个开口，所述压电元件附接到所述开口，并且响应于施加到其的电压而发成形变，以实现所述载荷梁前端的位移。所述磁头悬架包括所述压电元件的周围侧表面；所述开口的周围边缘，其构造用于限定位于所述致动器基部中的开口，并且围绕和面向所述压电元件的周围侧表面；底部接纳部，其形成在所述开口处，构造成面向所述压电元件的底部表面的外围；间隙，其分隔所述开口的周围边缘和所述底部接纳部，构造用于允许所述压电致动元件发生形变，以及；非导电粘合剂，其施加在至少所述开口的周围边缘和所述压电元件的周围侧表面之间以及所述底部接纳部和所述压电元件的底部表面之间，构造用于将所述压电元件粘结到所述开口。
根据本发明该方面的磁头悬架令人满意地显示出例如振动和碰撞特性等基本特性，同时确保所述压电致动器的充分的位移行程。
附图说明
图1示出了示出了根据本发明第一实施例的磁头悬架的立体视图；
图2示出了示出了图1中磁头悬架的压电致动器的放大立体视图；
图3是沿图2的A-A线的剖视图；
图4示出了示出了根据对比示例的磁头悬架压电致动器的放大立体视图；
图5A、5B和5C示出评估第一实施例的压电致动器刚度的三个测试中所施加载荷的方向和大小，其中，图5(A)是垂直刚度测试，图5(B)是扭转刚度(stiffness)测试，图5(C)是摇摆刚度测试；
图6示出了示出了关于对比示例和第一实施例进行的测试结果的图表；
图7示出了示出了根据本发明第二实施例的磁头悬架的立体视图；
图8是图7中示出的磁头悬架的压电致动器的放大立体视图；
图9示出了示出了图7的磁头悬架的平面视图；
图10是沿图9的B-B线的剖视图；和
图11示出了示出了根据本发明第三实施例的磁头悬架的立体视图。

将参照附图详细说明根据本发明实施例的磁头悬架。
图1示出了根据本发明第一实施例的磁头悬架11的立体视图。图1中，磁头悬架11具有基板13、载荷梁15和压电致动器17。
基板13为由例如不锈钢制成的金属薄板，厚度为约150到200μm。基板13可由例如铝合金等轻金属或由轻金属和不锈钢构成的复合材料制成。轻金属可降低基板13的惯量，提高磁头悬架11沿摇摆方向，即磁头悬架11的宽度方向的谐振频率(resonant frequency)，并且改善磁头悬架11的跟踪(tracing)性能。
基板13具有圆形凸起19。基板13与凸起(boss)19一起附接到致动器臂(未示出)的前端，并且通过音圈马达(未示出)旋转。基板13具有在载荷梁15附近的前端和与前端相对的末端。基板13的前端通过压电致动器17连接到载荷梁15。后面将说明压电致动器17的详细情况。
载荷梁15用于将载荷施加到滑块(未显示)上。载荷梁15为弹性金属薄板，例如由不锈钢制成，并且厚度为约30到150μm。与基板13相似，载荷梁15可由例如铝合金等轻金属或由轻金属和不锈钢构成的复合材料制成。
载荷梁15具有弯曲部分25，其前端支撑具有磁头的滑块。载荷梁15具有横跨摇摆方向延伸的弯折边缘27a和27b，以增强载荷梁15的刚度。
载荷梁15的末端与连接板29一体。连接板29为弹性金属薄板，例如由不锈钢制成，并且厚度约为30μm。连接板29具有孔31。孔31减小厚度方向的弯曲刚度和连接板29的重量。在孔31的每一侧，连接板29具有铰链33a和33b，其可沿厚度方向弯曲。连接板29的末端末端，即载荷梁15的基部附接到压电致动器17的前端。
参照图2和3说明压电致动器17，其为根据实施例1的磁头悬架11的重要部分。
图2示出了压电致动器17的放大立体视图，图3是沿图2的A-A线的剖视图。图2中，拆卸掉两个压电致动器中的一个，以清楚地显示压电致动器17的背侧结构。
在说明压电致动器17的详细结构之前，将说明根据相关技术的磁头悬架的问题。如上面所说明的，根据相关技术的磁头悬架具有一对柔性连接部，其每一个具有U型形状，并且从头部悬挂装置的开口向外伸出。由于存在突出的U型形状，相关技术具有下面所述的问题(1)到(7)。
(1)U型形状的连接部可减小相对于垂直刚度的平面(in-plane)刚度。并且，其也减小了磁头悬架致动器的位移行程。
(2)U型形状的连接部增加磁头悬架的宽度方向的尺寸，从而减少了由原料可生产的部件数量，并且减少了由原料可制造的产品的数量。
(3)U型形状的连接部增加磁头悬架的宽度方向的尺寸，造成与现有生产线上的工具、工件等的物理干涉。为了避免这样的干涉，必须建立新的生产线来生产具有U型形状连接部的磁头悬架。这导致增加生产线的区域配置、设施投资和生产成本。
(4)例如在通过滚磨(barreling)从冲压(pressing)成型的磁头悬架去除芒刺(burr)时，柔性U型形状连接部将被卡住和发生变形。
(5)为了避免上述麻烦，使用化学抛光来代替滚磨，以去除芒刺。这导致增加磁头悬架的成本。
(6)在对其中安装具有U型连接部的磁头悬架的磁盘驱动器进行设计时，必须考虑避免U型连接部和外围部件之间的干涉。这导致降低对围绕磁头悬架的部件排列的设计自由度。
(7)柔性U型形状连接部在磁头悬架上造成特有的扁平化(flattering)和扭转振动。在不具有柔性U型形状连接部的磁头悬架上则不会出现这些振动模式。即，具有U型形状连接部的磁头悬架增加需考虑的频率参数的数量，并且使得很难设计具有最佳振动特性的磁头悬架。
而且，当设计压电致动器17时，必须考虑有效地将压电元件23的扭曲(位移)传递给载荷梁15，保证压电元件23和致动器基部18之间的电绝缘，防止尘土从压电元件23的周围侧表面掉落，并且防止易碎的压电元件23损坏。
考虑到这几点，制备第一实施例的压电致动器17。
如图1-3中所示，压电致动器17为本发明的重要部件，用于支撑载荷梁15的基部，并且沿摇摆方向(载荷梁15的宽度方向)移动载荷梁15的前端。压电致动器17包括致动器基部18和压电元件23。
致动器基部18为金属薄板，例如由不锈钢制成，其布置在基板13和载荷梁15之间，并且与基板13和载荷梁15分离。致动器基部18的前端在载荷梁15附近，其末端末端在基板13附近。
致动器基部18前端的底部表面位于连接板29末端上，即载荷梁15的基部，并且通过例如激光焊接与其固定。致动器基部18的末端位于基板13的前端上，并且通过例如激光焊接与其固定。
致动器基部18可以与基板13一体。在该情况下，例如使用冲压来将一体的基板13和致动器基部18从由例如不锈钢制成的金属薄板冲出。
一体的基板13和致动器基部18也称为“致动器基部”。即，根据本发明，“致动器基部”可代表基板13和致动器基部18。
致动器基部18具有开口21，其每一个接纳压电元件23。开口21每一个具有沿磁头悬架11的纵向拉长的矩形形状，并且沿致动器基部18的宽度方向并排布置。每一个开口21由周围边缘41限定。周围边缘41包括内边缘40、外边缘42、前边缘44和后边缘46。开口21的外边缘42由壁48形成。
壁48沿磁头悬架11的纵向延伸，并且与致动器基部18一体。差不多在壁48的纵向中心处，形成间隙50，其将壁48分隔为前壁52和后壁54。
间隙50在壁48的内边缘和外边缘之间延伸，即在致动器基部18的外围和开口21的外边缘42之间延伸。间隙50将致动器基部18在开口21的外侧分隔。即，间隙50将周围边缘41和将在后面说明的底部接纳部43在开口21外侧分隔，以使载荷梁15能够沿摇摆方向移动。
壁48的前壁52和后壁54彼此接近，以使间隙50沿宽度方向的尺寸大于沿纵向的尺寸。该间隙50的结构允许非导电粘合剂部分47a存在于间隙50和压电元件23的周围侧表面23c之间。
开口21设置有凸缘形状的底部接纳部43。底部接纳部43与开口21的周围边缘41的下端一体，并且从周围边缘41向里突出。通过使致动器基部18部分变薄，例如通过半蚀刻技术，来形成底部接纳部43。
底部接纳部43具有将开口21连接到致动器基部18的底部表面侧的连通孔56。
两个开口21分别接纳两个压电元件23。所述对压电元件23发生形变以响应施加到压电元件上的电压。压电元件23具有相同的结构、形状和大小。
每一个压电元件23的厚度为约0.07mm到0.20mm，并且由例如PZT(锆钛酸铅)等压电陶瓷制成。压电元件23具有矩形形状，其外部尺寸略小于开口21的内部尺寸。压电元件23具有周围侧表面23c，其在沿致动器基部18表面的方向面向开口21的周围边缘41。即，周围边缘41与压电元件23的周围侧表面23c相对。
周围侧表面23c包括内和外侧表面58和60，其与开口21的内边缘40和外边缘42相对；和前和后侧表面62和64，其与开口21的前边缘44和后边缘46相对。开口21的周围边缘41基本上全部面向压电元件23的周围侧表面23c。
压电元件23具有顶部表面23a，其基本上与致动器基部18的顶部表面平齐。压电元件23还具有底部表面23b，其外围与开口21的底部接纳部43沿厚度方向相对。即，开口21的底部接纳部43与压电元件23c的底部表面23b的外围相对。压电元件23的底部表面23b的内侧通过底部接纳部43的连通孔56面向致动器基部18的底部表面的外侧。
压电元件23的顶部表面23a和底部表面23b的每一个均设置有电极24。电极24由具有低接触电阻和良好导电性的材料制成，例如金(Au)，并且通过例如气相沉积、溅射(spattering)和电镀形成。
图3中，在压电元件23的顶部表面23a上的电极24a通过导电树脂45，例如银浆接地连接到致动器基部18。
压电元件23的底部表面23b上的电极24b通过导电粘合剂49连接到由例如形成在弯曲部分25上的铜制成的配线51。弯曲部分25包括金属基部53、形成在金属基部53的电绝缘层55和形成在绝缘层55上的配线51。压电元件23的底部表面23b上的电极24b和弯曲部分25的配线51之间的连接可通过焊线(bonding wire)、焊接(soldering)或超声波焊接(ultrasonic bonding)代替导电粘合剂49。
当压电元件23设置在开口21中的预定位置处时，压电元件23的周围侧表面23c相对于开口21的周围边缘41形成预定间隙。而且，压电元件23的底部表面23b相对于开口21的底部接纳部43形成预定间隙。在该间隙中，非导电粘合剂47用来形成非导电粘合剂部分47a。非导电粘合剂47可以是任何已知的不导电粘合剂，或包含例如二氧化硅微粒或玻璃微粒的绝缘材料的任何导电粘合剂。
非导电粘合剂部分47a形成在压电元件23的周围侧表面23c和底部表面23b与开口21的周围边缘41和底部接纳部43之间。即，粘合剂部分47a填充压电元件23和开口21之间的间隙，并且将压电元件23和开口21结合到一起，以有效地将压电元件23的扭曲(位移)传递给载荷梁15。
非导电粘合剂部分47a也形成在压电元件23的周围侧表面23c和间隙50之间。即，粘合剂部分47a完全沿压电元件23的周围侧表面23c形成。粘合剂部分47a的对应于间隙50的部分比其其余部分薄，以形成凹部66。
非导电粘合剂部分47a通过将非导电粘合剂47施加到包括间隙50的开口21和压电元件23之间，并且通过固化粘合剂47形成。当施加粘合剂47后，开口21的底部接纳部43防止粘合剂47从压电元件23的底部表面23b泄漏出。在压电元件23和间隙50之间，壁48的前壁52和后壁54彼此接近，以牢固地保持粘合剂47。
当将压电元件23设置在开口21中时，可优选将致动器基部18的沿厚度方向的中心轴与压电元件23沿厚度方向的中心轴对准。这防止在摇摆操作过程中压电致动器17的扭转运动。
下面将说明具有上述结构的压电致动器17的操作。
根据所述一对压电元件23在向其施加电压时发生的变形，压电致动器17沿摇摆方向移动载荷梁15的前端。当施加电压后，所述一对压电元件23变形为梯形，其一侧沿摇摆方向纵向延伸，其另一侧沿摇摆方向纵向收缩。
根据压电元件23的延伸和收缩的方向和行程(stroke)，压电致动器17变形来沿摇摆方向，即磁头悬架的宽度方向将载荷梁15的前端移动非常小的距离。
在摇摆操作过程中，开口21外侧上的间隙50允许压电元件23变形，由此确保位移行程，并且平稳正确地进行摇摆操作。
根据第一实施例，压电元件23的周围侧表面23c基本上由开口21的周围边缘41完全围绕。周围侧表面23c和周围边缘41之间的间隙由非导电粘合剂部分47a填充。
通过该方法，压电致动器17有效地通过非导电粘合剂部分47a和致动器基部18将压电元件23的扭曲(位移)传递到载荷梁15，由此平稳并且适当地沿摇摆方向移动载荷梁15的前端。
在压电致动器17中，压电元件23与开口21沿周围结合，以提高刚度。根据第一实施例，非导电粘合剂部分47a均匀形成在间隙50处，以确保压电致动器17的刚度。
根据第一实施例，底部接纳部43从开口21的周围边缘41向里突出，并且面向压电元件23的底部表面23b外围。底部接纳部43和压电元件23的底部表面23b之间的间隙使用形成非导电粘合剂部分47a的非导电粘合剂47填充。
因此，压电元件23的底部表面23b被牢固地固定到底部接纳部43，并且由此从下面被支撑。
针对第一实施例的磁头悬架11的压电致动器17和对比示例的压电致动器进行了刚度评估测试。
图4示出了根据对比示例的磁头悬架的压电致动器的放大立体视图。
图4中示出的对比示例的压电致动器61构造成与第一实施例的相似。下面将说明对比示例和第一实施例之间的区别。
根据第一实施例的压电致动器17，开口21的外侧上的壁48由间隙50分隔为前壁52和后壁54，并且粘合剂部分47a形成在压电元件23的周围侧表面23c和底部表面23b与开口21的周围边缘41和底部接纳部43之间。
另一方面，根据对比示例的压电致动器61，在开口21的外侧上没有壁。该结构在开口21的外侧上承载压电元件23方面较弱。
根据对比示例的压电致动器61，仅沿压电元件23的周围侧表面23c和开口21的周围边缘41之间的前侧和后侧施加非导电粘合剂47。
下面将说明评估对比示例和第一实施例的压电致动器的刚度的三个测试。
图5A、5B和5C示出测试中施加的载荷的方向和大小，其中，图5(A)是垂直刚度测试，图5(B)是扭转刚度测试，图5(C)是摇摆刚度测试。图6示出了关于对比示例和第一实施例进行的测试结果的图表。
图5(A)的测试评估垂直刚度。该测试向上向致动器基部18的前端宽度方向中心施加1gf的垂直载荷，如图5(A)中由箭头示出的，并且使用测试器测量压电致动器17的刚度相关值。
图5(B)的测试评估扭转刚度。该测试沿向上和向下方向将0.5gf的扭转载荷施加到致动器基部18前端的每一个宽度方向的边缘，如图5(B)中由箭头所示，并且使用测试器测量压电致动器17的刚度相关值。
图5(C)的测试评估扭转刚度。该测试将1gf的载荷沿摇摆方向施加到载荷梁15的前端，如图5(C)中由箭头所示，并且使用测试器测量压电致动器17的刚度相关值。
图6中示出测试结果。
(1)垂直刚度测试结果
实施例1示出垂直刚度相关值为10850N/m，其比对比示例的垂直刚度相关值9467N/m大10％或更多。
(2)扭转刚度测试
实施例1示出扭转刚度相关值为1243μNm/deg，其比对比示例的扭转刚度相关值942μNm/deg大大约25％。
(3)摇摆刚度测试结果
实施例1示出摇摆刚度相关值为47342N/m，其比对比示例的摇摆刚度相关值37560N/m大20％或更多。
从测试结果可理解的是，第一实施例的压电致动器17示出比对比示例的压电致动器61的刚度相关值高10％或更高。
如上所述，根据第一实施例的磁头悬架11具有压电元件23的周围侧表面23c；致动器基部18的周围边缘41，其限定开口21，围绕压电元件23，并且面向周围侧表面23c；底部接纳部，其布置在开口21处，并且面向压电元件23的底部表面23b的外围；间隙50，其形成在开口21的外侧上，将周围边缘41和底部接纳部43分隔，并且允许压电元件23变形；以及，非导电粘合剂部分47a，其至少形成在开口21的周围边缘41和压电元件23的周围侧表面23c之间，与开口21的底部接纳部43和压电元件23的底部表面23b之间，并且将压电元件23和开口21结合在一起。
根据第一实施例，开口21和压电元件23基本上沿周围与非导电粘合剂部分47a结合在一起，以使开口21、粘合剂部分47a和压电元件23用作一体的支撑梁，以提高压电致动器17的刚度。
根据第一实施例，非导电粘合剂部分47a还形成在间隙50处，以完全围绕压电元件23的周围。这进一步提高压电致动器17的刚度。
因此第一实施例可确保高刚度的磁头悬架11，而无需使用相关技术的一对柔性连接部。
根据第一实施例，间隙50的存在不会阻碍压电致动器17沿摇摆方向的位移行程。
第一实施例的磁头悬架11因此确保致动器17如振动和碰撞特性的基本特性，而不使位移行程变差。
第一实施例省略了相关技术的柔性连接部，因此可减小磁头悬架11的宽度方向的尺寸，增加出自原料的部件数量，并且提高磁头悬架的生产率。
根据第一实施例的磁头悬架与标准磁头悬架具有基本上相同的宽度，并且因此可通过现有生产线制造。这可降低设施投资。
制备根据第一实施例的致动器基部18可能涉及冲压和滚磨。在该情况中，由于致动器基部18没有例如相关技术的柔性连接部等突出部分，因此芒刺将光滑地从致动器基部18去除。即，第一实施例确保平滑的工件，并且降低制造成本。
当设计其中安装磁头悬架的磁盘驱动器时，第一实施例的磁头悬架11不涉及例如相关技术的柔性连接部等突出部分，因此不需要考虑外围部件的干涉。这增加了对于围绕磁头悬架11的外围部件的布置的设计自由度。
关于振动特性，根据第一实施例的磁头悬架11不具有例如相关技术的柔性连接部等突出部件，因此不需要考虑在标准磁头悬架上从没有出现的振动模式。因此，第一实施例的磁头悬架可通过基本上与相关技术领域相同数量的设计步骤来设计。
在第一实施例的磁头悬架11中，开口21的周围边缘41基本上完全围绕压电元件23的周围侧表面23c，并且非导电粘合剂47涂敷在周围边缘41和周围侧表面23c之间，以形成粘合剂部分47a。因此，第一实施例以高水平实现，有效地将压电元件23的扭曲(位移)传递到载荷梁15，确保压电元件23和致动器基部18之间的电绝缘，防止尘土掉入压电元件23的周围侧表面23c，并且防止易碎的压电元件23损坏。
下面将说明根据本发明第二实施例的磁头悬架。
图7示出了根据本发明第二实施例的磁头悬架的立体视图，图8示出了图7中所示的磁头悬架的压电致动器的放大立体视图。图9示出了图7的磁头悬架的平面视图，图10是沿图9的B-B线的剖视图。
根据第二实施例的磁头悬架71基本上构造成与第一实施例的磁头悬架11相同。在该实施例中，相似的部件以与第一实施例相似的附图标记标示，将主要说明第一和第二实施例之间的区别。
根据第一实施例，压电致动器17的致动器基部18一体地设置有底部接纳部43。另一方面，根据第二实施例的磁头悬架71将分离的底部接纳部75与压电致动器73的致动器基部18结合在一起。
第二实施例省略了与第一实施例的致动器基部18一体的壁48，并且在开口21的外侧形成开口66。
如图10中所示，底部接纳部75为与致动器基部18分离的金属薄板构件68的一部分。该板构件68通过例如冲压从原料板切割为预定形状。该板构件68放置在致动器基部18的底部表面上，并且固定到制动器基部来形成致动器基部18的一部分。
板构件68具有连通孔56，该连通孔56的外围延伸到开口21中。该延伸部分用作底部接纳部75。该底部接纳部75具有一体的壁79。
壁79通过弯折板构件68的外部形成，以使壁79在开放部分66中竖起。壁79形成开口21的周围边缘42，并且接纳不导电粘合剂47。
与第一实施例相似，壁79具有间隙77，其将壁79分隔为前壁78和后壁80。结果，致动器基部18在开口21的外侧的间隙77处被切掉。
间隙77从壁79的边缘穿过板构件68的底部接纳部75延伸到连通孔56。间隙77沿侧向方向的尺寸大于其沿纵向方向的尺寸。
根据第二实施例的磁头悬架71的压电致动器73可不需要半蚀刻技术来制造。即，压电致动器73可通过将原料全蚀刻(full-etching)来形成致动器基部18，将原料冲压成底部接纳部75以及将致动器基部18和底部接纳部结合到一起来制造。
因此，除了第一实施例的效果，第二实施例还提供简化磁头悬架71的制造、减少其步骤数和提高其装配精度的效果。
下面将说明根据本发明第三实施例的磁头悬架。
图11示出了根据本发明第三实施例的磁头悬架81的立体视图。
根据第三实施例的磁头悬架81基本上构造成与第一实施例的磁头悬架11相同。在该实施例中，相似的部件以与第一实施例相似的附图标记标示，将主要说明第一和第三实施例之间的区别。
根据第一实施例，磁头悬架11具有一对形成在压电致动器17的致动器基部18中的开口21和一对分别布置在开口21中的压电元件23。
另一方面，第三实施例的磁头悬架81在压电致动器83的致动器基部18中具有一个开口21，并且具有一个布置在开口21中的压电元件23。
除了第一实施例的效果，第三实施例还提供简化磁头悬架81的装配工作、减少其步骤数和提高其装配精度的效果。
本发明不限于上述实施例，并且根据权利要求和说明书的描述可在不偏离本发明的范围的情况下适当修改。
例如，根据本发明实施例彼此分离的载荷梁15和致动器基部18可彼此一体化。
致动器基部18的开口21的数量和布置在开口21中的压电元件23的数量均可以是三个或更多，来代替实施例的一个或两个。
根据实施例，非导电粘合剂部分47a围绕压电元件23连续形成。相反，围绕压电元件23的粘合剂部分47a可以在间隙50(77)处不连续。
上述实施例基于磁头悬架布置在磁盘驱动器中的磁盘上方面对磁盘的假设。实际上，磁头悬架也可布置在磁盘下方面对磁盘。对于每一种情况，通过根据情况适当说明位置表示，本发明可适用在每一个情况中。