製造半導體元件之方法
专利汇可以提供製造半導體元件之方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且A method for fabricating a semiconductor device includes forming an etch target layer over a substrate including a cell region and a peripheral region, forming a first mask pattern having a first portion and a second portion over the etch target layer in the cell region and forming a second mask pattern having a first portion and a second portion over the etch target layer in the peripheral region, forming a photoresist pattern over the cell region, trimming the first portion of the second mask pattern, removing the photoresist pattern and the second portion of the first mask pattern and the second portion of the second mask pattern, and etching the etch target layer to form a pattern in the cell region and a pattern in the peripheral region.，下面是製造半導體元件之方法专利的具体信息内容。
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