一种碳化硅外延粉尘收集装置
专利汇可以提供一种碳化硅外延粉尘收集装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 旨在提供一种 碳 化 硅 外延 粉尘收集装置，其能防止产生的单晶炉粉尘对后续 真空 泵 等生产设备的破坏，节省了大量设备维护成本。碳化硅外延粉尘收集装置安装在单晶炉真空管道与 真空泵 之间，其包括筒体、若干个设于所述筒体内的过滤网层以及设于靠近真空泵的所述过滤网层底端上的 滤布 ，所述过滤网层呈倒碗状结构，所述过滤网层上开设有若干个过滤孔，若干个所述过滤网层上的所述过滤孔沿由上至下方向呈渐小结构，所述过滤网层周边上设有若干个排出口，所述筒体上设有储尘桶，所述排出口与所述储尘桶相连通，空气由真空泵通过进气道抽入，依次通过所有所述过滤网层和所述滤布后从出气道排出。本发明应用于粉尘收集结构的技术领域。，下面是一种碳化硅外延粉尘收集装置专利的具体信息内容。
1.一种碳化硅外延粉尘收集装置，其安装在单晶炉真空管道与真空泵之间，其特征在于：它包括筒体(1)、若干个设于所述筒体(1)内的过滤网层(2)以及设于靠近出气道的所述过滤网层(2)底端上的滤布(3)，所述过滤网层(2)呈倒碗状结构，所述过滤网层(2)上开设有若干个过滤孔(4)，若干个所述过滤网层(2)上的所述过滤孔(4)沿由上至下方向呈渐小结构，所述过滤网层(2)周边上设有若干个排出口(5)，所述筒体(1)上设有储尘桶(6)，所述排出口(5)与所述储尘桶(6)相连通，空气由真空泵通过进气道(7)抽入，依次通过所有所述过滤网层(2)和所述滤布(3)后从出气道(8)排出。
2.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于：所述筒体(1)的顶部上设有扰流层(9)，所述扰流层(9)包括若干个呈均匀排布的凸起(10)，若干个所述凸起(10)呈波浪状结构。
3.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于：若干个所述过滤网层(2)之间通过连板连接，所述连板与所述筒体(1)的内壁相贴合。
4.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于：所述储尘桶(6)上设有标识层(11)，所述标识层(11)靠近所述储尘桶(6)的顶端，所述标识层(11)采用透明材质制成。
5.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于：所述过滤网层(2)与所述筒体(1)之间为可拆装连接，所述储尘桶(6)与所述筒体(1)之间为可拆装连接。
6.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于：所述过滤网层(2)、所述筒体(1)以及所述储尘桶(6)均采用不锈钢材质制成。
一种碳化硅外延粉尘收集装置
技术领域
背景技术
求和需求，增大晶片尺寸成为碳化硅晶体发展的当务之急。目前，市场上主流的碳化硅晶片
尺寸为3英寸和4英寸，6英寸的晶片在未来1～2年内将逐步进入市场并成为主流。
长过程会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒，这些附属物粉尘和颗粒随着气流沿着真空抽
气管道进入工艺真空泵，在市场化的生产中，工艺设备每天在进行24小时连续的运转，大量
的附属物粉尘和颗粒堆积在工艺真空泵里面，当工艺真空泵里面的附属物粉尘和颗粒到一
定量时，工艺真空泵卡住出现故障，影响碳化硅外延产品的质量，工艺真空泵也要发回厂家
进行维护，既影响产品质量又增加了生产成本。
发明内容
过滤网层底端上的滤布，所述过滤网层呈倒碗状结构，所述过滤网层上开设有若干个过滤
孔，若干个所述过滤网层上的所述过滤孔沿由上至下方向呈渐小结构，所述过滤网层周边
上设有若干个排出口，所述筒体上设有储尘桶，所述排出口与所述储尘桶相连通，空气由真
空泵通过进气道抽入，依次通过所有所述过滤网层和所述滤布后从出气道排出。
层和所述滤布过滤，由于倒碗状的所述过滤网层结构，使得颗粒和粉尘能顺着所述过滤网
层下滑至所述储尘桶中，其过滤效果好，有效防止真空泵损坏。
集中以及减少对所述过滤网层和所述滤布的冲击。
发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可
以根据这些附图获得其他的附图。
具体实施方式
的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
所述过滤网层2上开设有若干个过滤孔4，若干个所述过滤网层2上的所述过滤孔4沿由上至
下方向呈渐小结构，所述过滤网层2周边上设有若干个排出口5，所述筒体1上设有储尘桶6，
所述排出口5与所述储尘桶6相连通，空气由真空泵通过进气道7抽入，依次通过所有所述过
滤网层2和所述滤布3后从出气道8排出；所述筒体1的顶部上设有扰流层9，所述扰流层9包
括若干个呈均匀排布的凸起10，若干个所述凸起10呈波浪状结构；若干个所述过滤网层2之
间通过连板连接，所述连板与所述筒体1的内壁相贴合；
尘桶6与所述筒体1之间为可拆装连接；所述过滤网层2、所述筒体1以及所述储尘桶6均采用
不锈钢材质制成。
进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本发明的保护范围内。
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