技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种回流高效率有机废气处理系统，尤指一种用来将燃烧后的气体进入该
吸附转轮的吸附区循环利用，且不用经过该烟囱进行排放，使有机废气的处理效率提升，而适用于
半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
背景技术
[0002] 目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC) 的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经过该处理设备脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉进行燃烧，再将燃烧后的气体输送到烟囱进行排放。
[0003] 但是近年来，不管是中央政府或是各地方政府都对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关悬浮微粒(PM10)及细悬浮微粒(PM2.5)空气
质量标准，并依据其国内健康影响研究结果，以健康影响为优先考量，将“细悬浮微粒(PM2.5)”24小时值定为3 3
35μg/m、年平均值定为15μg/m。且环保部
门初步定于2020年达成全国细悬浮微粒浓度年平均值15μg/m3的目标，同时将依国际管制趋势发展，逐期检讨其细悬浮微粒(PM2.5)空气质量标准，并朝达成WHO提出的空气质量标准值(24 小时值定为25μg/m3、年平均值定为10μg/m3)为空气质量改善目标。
[0004] 因此，本实用新型有鉴于上述缺失，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的回流高效率有机废气处理系统，使使用者可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本
发明人的发明动机。实用新型内容
[0005] 本实用新型的主要目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统，主要将焚烧装置的排气经过回流
热交换器进行热回收，并将该焚烧装置的排气再经过该回流热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱进行排放，使该烟囱的
排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，进而增加整体的实用性。
[0006] 本实用新型的另一目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统，通过该吸附转轮增设一高温脱附区，以用来进行在线运转(ON LINE) 时，能将残留的高沸点有机物(VOC)脱出，使该吸附转轮恢复其吸附能
力，而增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果，进而增加整体的使用性。
[0007] 本实用新型的再一目的，在于提供一种回流高效率有机废气处理系统，通过该净气排放管路连接一净气旁通管路，该净气旁通管路的另一端与该烟囱排放管路连接，使该净气排放管路在输送排出
净化后气体时，除了进入该回流热交换器的回流冷侧管路进行热交换外，还能通过与该净气排放管路所连接的净气旁通管路进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路再经过该烟囱进行排放，借此，通过该净气旁通管路来使该净气排放管路形成分流的功能，进而增加整体的利用性。
[0008] 为了实现上述目的，作为本实用新型的一个方面，提供了一种回流高效率有机废气处理系统，包括：一焚烧装置，该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口；一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接；一第一加热装置，该第一加热装置与该冷却气输送管路的另一端连接，该第一加热装置的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接；以及一回流热交换器，该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路，该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路，该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该回流热气回收管路的一端与该回流热侧管路的一端连接，该回流热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接，该回流回收管路的一端与该回流热侧管路的另一端连接，该回流回收管路的另一端与该废气进气管路连接。
[0009] 作为本实用新型的另一个方面，提供了一种回流高效率有机废气处理系统，包括：一焚烧装置，该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口；一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接；一第一加热装置，该第一加热装置与该冷却气输送管路的另一端连接，该第一加热装置的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接；一第二热交换器，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第二热交换器连接有一第二焚烧热气回收管路及一第二脱附浓缩气体输送管路，该第二焚烧热气回收管路的一端与该第二热侧管路的一端连接，该第二焚烧热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第二冷侧管路的另一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路的一端与该第二冷侧管路的一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接；以及一回流热交换器，该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路，该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路，该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该回流热气回收管路的一端与该回流热侧管路的一端连接，该回流热气回收管路的另一端与该第二热交换器的第二热侧管路的另一端连接，该回流回收管路的一端与该回流热侧管路的另一端连接，该回流回收管路的另一端与该废气进气管路连接。
[0010] 作为本实用新型的再一个方面，提供了一种回流高效率有机废气处理系统，包括：一焚烧装置，该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口；一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接；一第一热交换器，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第一冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接，该第一冷侧管路的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接；一第二热交换器，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第二热交换器连接有一第二热气回收管路、一第二焚烧热气回收管路及一第二脱附浓缩气体输送管路，该第二焚烧热气回收管路的一端与该第二热侧管路的一端连接，该第二焚烧热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接，该第二热气回收管路的一端与该第二热侧管路的另一端连接，该第二热气回收管路的另一端与该第一热交换器的第一热侧管路的一端连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第二冷侧管路的另一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路的一端与该第二冷侧管路的一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接；以及一回流热交换器，该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路，该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路，该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接，该回流热气回收管路的一端与该回流热侧管路的一端连接，该回流热气回收管路的另一端与该第一热交换器的第一热侧管路的另一端连接，该回流回收管路的一端与该回流热侧管路的另一端连接，该回流回收管路的另一端与该废气进气管路连接。
[0011] 为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与
附图，但所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。
附图说明
[0012] 图1为本实用新型的第一种实施方式的主要结构示意图；
[0013] 图2为本实用新型的第一种实施方式具有净气旁通管路的结构示意图；
[0014] 图3为本实用新型的第一种实施方式的具有净气旁通管路的另一结构示意图；
[0015] 图4为本实用新型的第一种实施方式具有高温脱附区的结构示意图；
[0016] 图5为本实用新型的第一种实施方式具有高温脱附区的另一结构示意图；
[0017] 图6为本实用新型的第二种实施方式的主要结构示意图；
[0018] 图7为本实用新型的第二种实施方式具有净气旁通管路的结构示意图；
[0019] 图8为本实用新型的第二种实施方式的具有净气旁通管路的另一结构示意图；
[0020] 图9为本实用新型的第二种实施方式具有高温脱附区的结构示意图；
[0021] 图10为本实用新型的第二种实施方式具有高温脱附区的另一结构示意图；
[0022] 图11为本实用新型的第三种实施方式的主要结构示意图；
[0023] 图12为本实用新型的第三种实施方式具有净气旁通管路的结构示意图；
[0024] 图13为本实用新型的第三种实施方式的具有净气旁通管路的另一结构示意图；
[0025] 图14为本实用新型的第三种实施方式具有高温脱附区的结构示意图；
[0026] 图15为本实用新型的第三种实施方式具有高温脱附区的另一结构示意图。
[0027] 【附图标记说明】
[0028] A、一侧 B、另一侧
[0029] 10、焚烧装置 11、进气口
[0030] 12、出气口 20、吸附转轮
[0031] 201、吸附区 202、冷却区
[0032] 203、脱附区 204、高温脱附区
[0033] 21、废气进气管路 22、净气排放管路
[0035] 2221、净气旁通控制
阀门 23、冷却气进气管路
[0036] 231、气体旁通管路 24、冷却气输送管路
[0037] 241、冷却气
控制阀门 25、第一热气输送管路
[0038] 251、热气控制阀门 26、第一脱附浓缩气体管路
[0039] 261、风机 27、连通管路
[0040] 271、连通控制阀门 28、高温脱附浓缩气体管路
[0041] 29、高温热气管路 30、第一热交换器
[0042] 301、第一冷侧管路 302、第一热侧管路
[0043] 40、第一加热装置 50、第二热交换器
[0044] 501、第二冷侧管路 502、第二热侧管路
[0045] 51、第二热气回收管路 52、第二焚烧热气回收管路
[0046] 53、第二脱附浓缩气体输送管路 60、回流热交换器
[0047] 601、回流冷侧管路 602、回流热侧管路
[0048] 61、回流热气回收管路 62、回流回收管路
[0049] 621、风机 70、除尘设备
[0050] 80、烟囱 81、烟囱排放管路
[0051] 811、风机 90、第二加热装置
[0052] 91、第二热气输送管路 92、第二外气进气管路
具体实施方式
[0053] 请参阅图1至图15，为本实用新型
实施例的示意图。而本实用新型的回流高效率有机废气处理系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不经过该烟囱进行排放，使有机废气的处理效率提升。
[0054] 而本实用新型第一种实施方式(图1至图5所示)的回流高效率有机废气处理系统，主要设有一焚烧装置10、一吸附转轮20、一第一加热装置40及一回流热交换器60，其中该回流热交换器60设有回流冷侧管路 601及回流热侧管路602，该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路 61及一回流回收管路62，而该焚烧装置10设有至少一进气口11及至少一出气口12，且该焚烧装置10为直燃式焚烧炉(TO)、蓄热式焚烧炉(RTO) 或触媒炉的其中一种，使该有机废气由该进气口11进入燃烧，再使经过燃烧后的气体由该出气口12排出。
[0055] 而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20 连接有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一第一热气输送管路25及一第一脱附浓缩气体管路26，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201 的一侧A，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧B连接，使该废气经该吸附转轮20的吸附区
201净化后再由该净气排放管路22输送。
[0056] 另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧A连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入，而该外气为新鲜空气，以将该外气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231，该气体旁通管路 231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路
21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0057] 另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧B连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该第一加热装置40的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该第一加热装置40 内进行加热，另外该第一加热装置40的另一端与该第一热气输送管路25 的另一端连接，而该第一热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧B连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧A与该第一脱附浓缩气体管路26的一端连接，该第一脱附浓缩气体管路26的另一端与该焚烧装置10的进气口11连接，使经过该第一加热装置40提升的热气通过该第一热气输送管路25传输到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附使用，并将经过高温脱附下来的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体管路26传输运送到该焚烧装置10的进气口11内。另外该第一加热装置40为加热器或管道加热器的其中一种，该加热器(图未示)为电热丝、电
热管或电热片其中一种，该管道加热器(图未示)为采用气体
燃料或
液体燃料的其中一种。另外该第一脱附浓缩气体管路26设有一风机261，以将该第一脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。
[0058] 另外本实用新型第一种实施方式中的该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该第一热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门 271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外第二实施设计为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门 251设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门 241设计的比例风门，都能调整控制
风力的大小，使该第一热气输送管路 25内的
温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0059] 另外该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路61及一回流回收管路62，该回流热交换器60的回流冷侧管路601的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路61的一端与该回流热交换器60 的回流热侧管路602的一端连接，该回流热气回收管路61的另一端该焚烧装置10的出气口12连接，该回流回收管路62的一端与该回流热侧管路602的另一端连接，该回流回收管路62的另一端与该废气进气管路21 连接。此外，该回流热交换器60的回流热气回收管路61上及该回流回收管路62上可以同时各设有一除尘设备70使用，或是只在该回流热交换器 60的回流回收管路62上单独设有一除尘设备70使用，或是只在该回流热交换器60的回流热气回收管路61上单独设有一除尘设备70使用，使经过该回流热气回收管路61内的气体或是经过该回流回收管路62的气体可以通过该除尘设备70进行过滤，其中该除尘设备70为袋式
除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、
静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲
滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、
水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、
负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中一种，且该回流热交换器60的回流回收管路62设有一风机621，以将该回流回收管路62内的气体推向该废气进气管路21内。借此，将经过该焚烧装置10燃烧后的气体由连接的回流热气回收管路61输送到该回流热交换器60的回流热侧管路602进行热回收，再通过该回流回收管路62输送到该除尘设备70内以进行粉尘或
二氧化
硅 (SiO2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备
70输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区
201 循环利用，而不经过该烟囱80进行排放，使该烟囱80的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0060] 而该回流热交换器60连接一烟囱80，该烟囱80设有一烟囱排放管路 81，该烟囱排放管路81的一端与该烟囱80连接，该烟囱排放管路81的另一端与该回流热交换器60的回流冷侧管路601的另一端连接，使经过该净气排放管路22排出净化后气体进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601内进行热交换，再经过该烟囱排放管路81输送到烟囱80进行排放，且该烟囱排放管路81设有一风机811，以将该烟囱排放管路81内的气体推向该烟囱80内。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器60的回流冷侧管路601内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222，而该净气旁通管路222的一端与该净气排放管路22连接，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路81连接，使该净气排放管路22在输送排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601进行热交换外，还能通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路81再经过该烟囱80进行排放。另外该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221，以通过该净气旁通控制阀门2221调节由该净气排放管路22输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的功能。
[0061] 而本实用新型第一种实施方式中的吸附转轮20除了设有吸附区201、冷却区202及脱附区203外，还增设有一高温脱附区204，该高温脱附区 204设有一高温脱附浓缩气体管路28及一高温热气管路29，以用来在线运转(ON LINE)时，能将残留的高沸点有机物(VOC)脱出，使该吸附转轮20恢复其吸附能力，使该吸附转轮20具有四个区域。而该吸附转轮 20的高温脱附区204的一侧A连接该高温脱附浓缩气体管路28，且该高温脱附浓缩气体管路28的另一端与该第一脱附浓缩气体管路26连接，以将经过该吸附转轮20的高温脱附区204脱附下来的高温脱附浓缩气体通过该高温脱附浓缩气体管路28输送到该第一脱附浓缩气体管路26内，另外该吸附转轮20的高温脱附区204的另一侧B与高温热气管路29的一端连接，其中该高温热气管路29有两种实施形式，其中第一种实施形式为该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90 设有一第二热气输送管路91，该第二热气输送管路91的一端与该第一热气输送管路25连接，该第二热气输送管路91的另一端与该第二加热装置 90连接。另外第二种实施形式该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90设有一第二外气进气管路92，该第二外气进气管路92的另一端与该第二加热装置90连接，该第二外气进气管路92 供新鲜空气或是外气进入。而上述所称的第二加热装置90为加热器及管道加热器的其中一种，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中一种，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中一种，以使进入该吸附转轮20的高温脱附区204的高温热气的温度达到一定温度(例如300℃)，供进行高温脱附使用。
[0062] 而本实用新型第二种实施方式(如图6至图10所示)的回流高效率有机废气处理系统，主要设有一焚烧装置10、一吸附转轮20、一第一加热装置40、第二热交换器50及一回流热交换器60，其中该第二热交换器 50设有第二冷侧管路501及第二热侧管路502，该第二热交换器50连接有一第二焚烧热气回收管路52及一第二脱附浓缩气体输送管路53，该回流热交换器60设有回流冷侧管路601及回流热侧管路602，该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路61及一回流回收管路62，而该焚烧装置 10设有至少一进气口11及至少一出气口12，且该焚烧装置10为直燃式焚烧炉(TO)、蓄热式焚烧炉(RTO)或触媒炉的其中一种，使该有机废气由该进气口11进入燃烧，再使经过燃烧后的气体由该出气口12排出。
[0063] 而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20 连接有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一第一热气输送管路25及一第一脱附浓缩气体管路26，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201 的一侧A，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧B连接，使该废气经该吸附转轮20的吸附区
201净化后再由该净气排放管路22输送。
[0064] 另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧A连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入，而该外气为新鲜空气，以将该外气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231，该气体旁通管路231 的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0065] 另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧B连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该第一加热装置40的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该第一加热装置40 内进行加热，另外该第一加热装置40的另一端与该第一热气输送管路25 的另一端连接，而该第一热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧B连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧A与该第一脱附浓缩气体管路26的一端连接，使经过该第一加热装置40提升的热气通过该第一热气输送管路25传输到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附使用，并将经过高温脱附下来的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体管路26传输运送。另外该第一加热装置40为加热器或管道加热器的其中一种，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中一种，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中一种。另外该第一脱附浓缩气体管路26设有一风机261，以将该第一脱附浓缩气体管路26 内的脱附浓缩气体进行抽送。
[0066] 另外本实用新型第二种实施方式中的该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该第一热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门 271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另第二实施设计乃为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门 251设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门 241设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该第一热气输送管路 25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0067] 另外该第二热交换器50连接有一第二焚烧热气回收管路52及一第二脱附浓缩气体输送管路53，其中该第二焚烧热气回收管路52的一端与该第二热交换器50的第二热侧管路502的一端连接，该第二焚烧热气回收管路52的另一端与该焚烧装置10的出气口12连接，该第一脱附浓缩气体管路26的一端与该第二热交换器50的第二冷侧管路501的另一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路53的一端与该第二热交换器50的第二冷侧管路501的一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路53的另一端与该焚烧装置10的进气口11连接。借此，使经过该第二热交换器50的第二冷侧管路501输送的脱附浓缩气体通过该第二脱附浓缩气体输送管路53输送到该焚烧装置10的进气口11，再将经过该焚烧装置10燃烧后的气体由该出气口12通过该第二焚烧热气回收管路52输送到该第二热交换器50 的第二热侧管路502内进行热回收。
[0068] 另外该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路61及一回流回收管路62，该回流热交换器60的回流冷侧管路601的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路61的一端与该回流热交换器60 的回流热侧管路602的一端连接，该回流热气回收管路61的另一端与该第二热交换器50的第二热侧管路502的另一端连接，该回流回收管路62 的一端与该回流热侧管路602的另一端连接，该回流回收管路62的另一端与该废气进气管路21连接。此外，该回流热交换器60的回流热气回收管路61上及该回流回收管路62上可以同时各设有一除尘设备70使用，或是只在该回流热交换器60的回流回收管路62上单独设有一除尘设备70 使用，或是只在该回流热交换器60的回流热气回收管路61上单独设有一除尘设备70使用，使经过该回流热气回收管路61内的气体或是经过该回流回收管路62的气体可以通过该除尘设备70进行过滤，其中该除尘设备 70为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中一种，且该回流热交换器60的回流回收管路62设有一风机621，以将该回流回收管路62内的气体推向该废气进气管路21内。借此，将经过该直焚烧装置10燃烧后的气体由该第二热交换器50的第二热侧管路502所连接的回流热气回收管路61输送到该回流热交换器60的回流热侧管路602进行热回收，再通过该回流回收管路62输送到该除尘设备70内以进行粉尘或
二氧化硅(SiO2) 等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备70输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱80进行排放，使该烟囱80的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0069] 而该回流热交换器60连接一烟囱80，该烟囱80设有一烟囱排放管路 81，该烟囱排放管路81的一端与该烟囱80连接，该烟囱排放管路81的另一端与该回流热交换器60的回流冷侧管路601的另一端连接，使经过该净气排放管路22排出净化后气体进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601内进行热交换，再经过该烟囱排放管路81输送到烟囱80进行排放，且该烟囱排放管路81设有一风机811，以将该烟囱排放管路81内的气体推向该烟囱80内。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器60的回流冷侧管路601内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222，而该净气旁通管路 222之一端与该净气排放管路22连接，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路81连接，使该净气排放管路22在输送排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601进行热交换外，还能通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路81再经过该烟囱80进行排放。另外该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221，以通过该净气旁通控制阀门2221调节由该净气排放管路22输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的功能。
[0070] 而本实用新型第二种实施方式中的吸附转轮20除了设有吸附区201、冷却区202及脱附区203外，还增设有一高温脱附区204，该高温脱附区 204设有一高温脱附浓缩气体管路28及一高温热气管路29，以用来在线运转(ON LINE)时，能将残留的高沸点有机物(VOC)脱出，使该吸附转轮20恢复其吸附能力，使该吸附转轮20具有四个区域。而该吸附转轮 20的高温脱附区204的一侧A连接该高温脱附浓缩气体管路28，且该高温脱附浓缩气体管路28的另一端与该第一脱附浓缩气体管路26连接，以将经过该吸附转轮20的高温脱附区204脱附下来的高温脱附浓缩气体通过该高温脱附浓缩气体管路28输送到该第一脱附浓缩气体管路26内，另外该吸附转轮20的高温脱附区204的另一侧B与高温热气管路29的一端连接，其中该高温热气管路29有两种实施形式，其中第一种实施形式为该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90 设有一第二热气输送管路91，该第二热气输送管路91的一端与该第一热气输送管路25连接，该第二热气输送管路91的另一端与该第二加热装置 90连接。另外第二种实施形式该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90设有一第二外气进气管路92，该第二外气进气管路92的另一端与该第二加热装置90连接，该第二外气进气管路92 供新鲜空气或是外气进入。而上述所称的第二加热装置90为加热器及管道加热器的其中一种，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中一种，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中一种，以使进入该吸附转轮20的高温脱附区204的高温热气的温度达到一定温度(例如300℃)，供进行高温脱附使用。
[0071] 而本实用新型第三种实施方式(如图11至图15所示)的回流高效率有机废气处理系统，主要设有一焚烧装置10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、第二热交换器50及一回流热交换器60，其中该第一热交换器 30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器50设有第二冷侧管路501及第二热侧管路502，该第二热交换器50连接有一第二热气回收管路51、一第二焚烧热气回收管路52及一第二脱附浓缩气体输送管路53，该回流热交换器60设有回流冷侧管路601及回流热侧管路602，该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路61及一回流回收管路62，而该焚烧装置10设有至少一进气口11及至少一出气口12，且该焚烧装置 10为直燃式焚烧炉(TO)、蓄热式焚烧炉(RTO)或触媒炉的其中一种，使该有机废气由该进气口11进入燃烧，再使经过燃烧后的气体由该出气口12排出。
[0072] 而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20 连接有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一第一热气输送管路25及一第一脱附浓缩气体管路26，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201 的一侧A，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧B连接，使该废气经该吸附转轮20的吸附区
201净化后再由该净气排放管路22输送。
[0073] 另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧A连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入，而该外气为新鲜空气，以将该外气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231，该气体旁通管路231 的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0074] 另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧B连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该第一热交换器30的第一冷侧管路301的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该第一热交换器30内进行热交换，另外该第一热交换器30的第一冷侧管路301的另一端与该第一热气输送管路25的另一端连接，而该第一热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧B连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧A与该第一脱附浓缩气体管路26的一端连接，使将经过该第一热交换器30提升的热气通过该第一热气输送管路25传输到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附使用，并将经过高温脱附下来的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体管路26传输运送。另外该第一脱附浓缩气体管路26设有一风机261，以将该第一脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。
[0075] 另外本实用新型第三种实施方式中的该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该第一热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门 271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外第二实施设计为该冷却气输送管路24与该第一热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门 251设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门 241设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该第一热气输送管路 25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0076] 另外该第二热交换器50连接有一第二热气回收管路51、一第二焚烧热气回收管路52及一第二脱附浓缩气体输送管路53，其中该第二焚烧热气回收管路52的一端与该第二热交换器50的第二热侧管路502的一端连接，该第二焚烧热气回收管路52的另一端与该焚烧装置10的出气口12 连接，该第二热气回收管路51的一端与该第二热交换器50的第二热侧管路502的另一端连接，该第二热气回收管路51的另一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的一端连接，该第一脱附浓缩气体管路26的一端与该第二热交换器50的第二冷侧管路501的另一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路53的一端与该第二热交换器50的第二冷侧管路501的一端连接，该第二脱附浓缩气体输送管路53的另一端与该焚烧装置10的进气口11连接。借此，使经过该第二热交换器50的第二冷侧管路501输送的脱附浓缩气体通过该第二脱附浓缩气体输送管路53输送到该焚烧装置10的进气口11，再将经过该焚烧装置
10燃烧后的气体由该出气口12 通过该第二焚烧热气回收管路52输送到该第二热交换器50的第二热侧管路502内进行热回收，并经过该第二热气回收管路51输送到该第一热交换器
30的第一热侧管路302内进行热回收。
[0077] 另外该回流热交换器60连接有一回流热气回收管路61及一回流回收管路62，该回流热交换器60的回流冷侧管路601的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路61的一端与该回流热交换器60 的回流热侧管路602的一端连接，该回流热气回收管路61的另一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的另一端连接，该回流回收管路62 的一端与该回流热侧管路602的另一端连接，该回流回收管路62的另一端与该废气进气管路21连接。此外，该回流热交换器60的回流热气回收管路61上及该回流回收管路62上可以同时各设有一除尘设备70使用，或是只在该回流热交换器60的回流回收管路62上单独设有一除尘设备70 使用，或是只在该回流热交换器60的回流热气回收管路61上单独设有一除尘设备70使用，使经过该回流热气回收管路61内的气体或是经过该回流回收管路62的气体可以通过该除尘设备70进行过滤，其中该除尘设备 70为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中一种，且该回流热交换器60的回流回收管路62设有一风机621，以将该回流回收管路62内的气体推向该废气进气管路21内。借此，将经过该直焚烧装置10燃烧后的气体由该第二热交换器50的第二热侧管路502传递到该第一热交换器30 的第一热侧管路302内，再经过该回流热气回收管路61输送到该回流热交换器60的回流热侧管路602进行热回收，再通过该回流回收管路62输送到该除尘设备70内以进行粉尘或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备70输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱 80进行排放，使该烟囱80的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0078] 而该回流热交换器60连接一烟囱80，该烟囱80设有一烟囱排放管路 81，该烟囱排放管路81的一端与该烟囱80连接，该烟囱排放管路81的另一端与该回流热交换器60的回流冷侧管路601的另一端连接，使经过该净气排放管路22排出净化后气体进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601内进行热交换，再经过该烟囱排放管路81输送到烟囱80进行排放，且该烟囱排放管路81设有一风机811，以将该烟囱排放管路81内的气体推向该烟囱80内。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器60的回流冷侧管路601内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222，而该净气旁通管路 222的一端与该净气排放管路22连接，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路81连接，使该净气排放管路22在输送排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器60的回流冷侧管路601进行热交换外，还能通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路81再经过该烟囱80进行排放。另外该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221，以通过该净气旁通控制阀门2221调节由该净气排放管路22输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的功能。
[0079] 而本实用新型第三种实施方式中的吸附转轮20除了设有吸附区201、冷却区202及脱附区203外，还增设有一高温脱附区204，该高温脱附区 204设有一高温脱附浓缩气体管路28及一高温热气管路29，以用来在线运转(ON LINE)时，能将残留的高沸点有机物(VOC)脱出，使该吸附转轮20恢复其吸附能力，使该吸附转轮20具有四个区域。而该吸附转轮 20的高温脱附区204的一侧A连接该高温脱附浓缩气体管路28，且该高温脱附浓缩气体管路28的另一端与该第一脱附浓缩气体管路26连接，以将经过该吸附转轮20的高温脱附区204脱附下来的高温脱附浓缩气体通过该高温脱附浓缩气体管路28输送到该第一脱附浓缩气体管路26内，另外该吸附转轮20的高温脱附区204的另一侧B与高温热气管路29的一端连接，其中该高温热气管路29有两种实施形式，其中第一种实施形式为该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90 设有一第二热气输送管路91，该第二热气输送管路91的一端与该第一热气输送管路25连接，该第二热气输送管路91的另一端与该第二加热装置 90连接。另外第二种实施形式该高温热气管路29的另一端连接一第二加热装置90，该第二加热装置90设有一第二外气进气管路92，该第二外气进气管路92的另一端与该第二加热装置90连接，该第二外气进气管路92 供新鲜空气或是外气进入。而上述所称的第二加热装置90为加热器及管道加热器的其中一种，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中一种，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中一种，以使进入该吸附转轮20的高温脱附区204的高温热气的温度达到一定温度(例如300℃)，供进行高温脱附使用。
[0080] 以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何
修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
