비피에스지막 형성 방법
阅读：1016发布：2020-07-22
专利汇可以提供비피에스지막 형성 방법专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且본 발명은 반도체 소자 제조시의 평탄화된 BPSG막 형성 방법에 있어서, BPSG막을 중착하고, BPSG막 플로우를 위한 열처리시 O
3 가스를 주입하여 플로우된 BPSG막 표면에 산화막(SiO
2 )을 형성하는 것을 특징으로 하는 BPSG막 형성 방법에 관한 것으로, BPSG막 플로우시 산화막을 동시에 형성하여, 산화막이 공기중의 수분흡수를 방지하도록 함으로써, 후속 공정에서 발생하는 감광제와의 접착력 불량 발생을 제거한다.，下面是비피에스지막 형성 방법专利的具体信息内容。
반도체 소자 제조시의 평탄화된 BPSG막 형성 방법에 있어서, BPSG막을 중착하고, BPSG막 플로우를 위한 열처리시 O 3 가스를 주입하여 플로우된 BPSG막 표면에 산화막(SiO 2 )을 형성하는 것을 특징으로 하는 BPSG막 형성 방법.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
비피에스지(BPSG)막 형성 방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제3도는 본 발명에 따른 BPSG 형성 공정도.
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 植物固碳封存降低大气CO2浓度控制全球变暖的方法 | 2020-05-22 | 832 |
| 一种单驱动双平行四边形升降机构 | 2020-05-24 | 475 |
| 一种有机人参鱼饲料及其制备方法和应用 | 2020-05-13 | 841 |
| 一种绿野清心床幔式外壳 | 2020-05-20 | 1031 |
| 一种发酵床生态养猪技术 | 2020-05-23 | 638 |
| 基于生态模拟的电动汽车充换电服务网络仿真系统及方法 | 2020-05-16 | 438 |
| MANUFACTURING OF NITROGEN-CONTAINING MATERIALS | 2020-05-24 | 404 |
| 건축용 세대현관의 안전바닥 패널 | 2020-05-23 | 594 |
| METHODS FOR PROGNOSING AND PREVENTING METASTATIC LIVER DISEASE | 2020-05-22 | 163 |
| DEVICE AND METHOD FOR CULTURING CELLS IN A BIOMIMETIC ENVIRONMENT | 2020-05-13 | 357 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
分析报告
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
生物圈热门专利
-
10 비피에스지막 형성 방법
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈