技术领域
[0001] 本
申请涉及工业生产领域，特别涉及一种利用工艺排风的通风系统。
背景技术
[0002] 集成
电路生产、平板显示生产、光
电子器件等生产领域因为工艺生产的需求存在各类的工艺排风，一般此类工艺排风直接排进大气中。然而，工艺排风中有相当部分是十分清洁(或仅含有少量粉尘)的一般排风，如果将工艺排风直接通过排风机2排出的话，排风中含有的冷热量没有被利用，则造成
能源的浪费；同时，为了维持厂房环境的参数要求，还需要为此类排风设置相应的新风机组1，新风需要经过过滤、冷却、加热、加湿等处理，导致消耗大量能源、设置大量新风机组1的结果。如图1所示，A为不可回用的工艺排风，风量为QA，B为可以直接回收的工艺排风，风量为QB；全部直接排入大气后，新风机组1补充排风的新风量为QA+QB。实用新型内容
[0003] 本申请
实施例提供了一种利用工艺排风的通风系统，充分利用工艺排风，将可以直接使用的工艺排风送回房间循环利用，节省了能源。
[0004] 为了达到上述目的，本申请实施例提供了一种利用工艺排风的通风系统，包括：
[0005] 用于给生产房间输送处理后的新风的新风机组；
[0006] 用于将所述生产房间内不可利用的工艺排风排出的排风机；
[0007] 用于将所述生产房间内可利用的工艺排风回收并输送回所述生产房间的工艺排风回用机组。
[0008] 本申请实施例提供的利用工艺排风的通风系统，新风经过新风机组处理后被送至生产房间内，对生产房间设置两类工艺排风出口，其中一类用于通过排风机将不可利用的工艺排风直接排出，另一类用于通过工艺排风回用机组将可利用的工艺排风回收，并送回生产房间内以再次利用。如此，原来直接排出的工艺排风，现在有一部分能回收再利用，减少了房间的新风量，减少了处理新风的冷热量，同时也减少了新风机组容量，节省了能源。
[0009] 因此，本申请实施例提供的利用工艺排风的通风系统，充分利用工艺排风，将可以直接使用的工艺排风送回房间以便再次利用，节省了能源。
[0010] 优选地，所述工艺排风回用机组包括：
[0011] 与所述生产房间用于排出可利用的工艺排风的出口连通的进风段和与所述生产房间用于接收可利用的工艺排风的入口连通的出风段；
[0012] 位于所述进风段与所述出风段之间的风机段。
[0013] 优选地，所述进风段和所述风机段之间设有至少一个过滤段；和/或，[0014] 所述风机段与所述出风段之间设有至少一个过滤段。
[0015] 优选地，所述进风段和所述风机段之间设有的过滤段包括化学过滤段和中效过滤段。
[0016] 优选地，所述风机段与所述出风段之间设有的过滤段包括高效过滤段。
[0017] 优选地，所述利用工艺排风的通风系统还包括连接风管，所述连接风管的一端与所述出风段连接，另一端与所述生产房间连通。
[0018] 优选地，所述工艺排风回用机组安装于通风
空调机房内、
吊顶内、洁净生产厂房下技术夹层内，或者工艺房间内。
[0019] 优选地，所述生产房间为
洁净室。
附图说明
[0020] 图1为
现有技术中将工艺排风直接排入大气的一种示意图；
[0021] 图2位本申请实施例中将部分工艺排风直接回用的一种示意图；
[0022] 图3位本申请实施例中一种工艺排风回用机组功能段的一种示意图。
[0023] 图中：
[0024] 1-新风机组；2-排风机；3-工艺排风回用机组；31-进风段；32-化学过滤段；33-中效过滤段；34-风机段；35-高效过滤段；36-出风段。
具体实施方式
[0025] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0026] 请参考图2，本实用新型实施例提供了一种利用工艺排风的通风系统，包括：
[0027] 用于给生产房间输送处理后的新风的新风机组1；
[0028] 用于将生产房间内不可利用的工艺排风排出的排风机2；
[0029] 用于将生产房间内可利用的工艺排风回收并输送回生产房间的工艺排风回用机组3。
[0030] 本申请实施例中的利用工艺排风的通风系统，如图2所示，生产房间设置了两类工艺排风出口，新风机组1对新风进行过滤、冷却、加热、加湿等处理后，送进生产房间，生产房间内不能利用的工艺排风A通过排风机2直接排入大气，风量为QA，可以直接利用的工艺排风B被工艺排风回用机组3直接送回房间或者经过过滤处理后送回房间，风量为QB。相比原来的通风系统中，新风机组1需要补充的新风量为QA+QB，本申请实施例中的通风系统，新风机组1需要补充的新风量为QA，新补充的风量减少了QB。
[0031] 因此，本申请实施例中利用工艺排风的通风系统，通过利用工艺排风回用机组3将可利用的工艺排风送回房间以再次利用，减少了房间的新风量，减少了处理新风的冷热量，同时也减少了新风机组容量，节省了能源。
[0032] 具体地，本申请实施例中，可利用的工艺排风中，对于温湿度洁净度符合要求的一部分工艺排风直接送回生产房间，对于温湿度符合要求、洁净度不符合要求的一部分工艺排风经过过滤处理后再送入生产房间内。此处，虽然对工艺排风也需要进行处理，但其处理工艺比新风机组1处理新风过程简单，所需消耗的能源也更少。
[0033] 作为一种可选方式，本申请实施例中的生产房间可以包括洁净室。
[0034] 进一步地，为了使得工艺排风回用机组3能够将回收的工艺排
风能够全部符合要求再被送回生产房间内，可参考图3，本申请实施例中的工艺排风回用机组3可以包括：与生产房间用于排出可利用的工艺排风的出口连通的进风段31和与生产房间用于接收可利用的工艺排风的入口连通的出风段36；位于进风段31与出风段36之间的风机段34。若可利用的工艺排风温湿度和洁净度均符合要求时，此类工艺排风进入工艺排风回用机组3后，在风机段34的作用下通过出风段36直接送回生产房间再次使用。
[0035] 作为一种可选方式，位于进风段31和风机段34之间或者风机段34与出风段36之间可至少设有一个过滤段，或者进风段31与风机段34之间、以及风机段34与出风段36之间各可设有至少一个过滤段。可利用的工艺排风从进风段31进入，洁净度不符合要求的工艺排风则经过过滤段再被送回生产房间内，以保证此生产房间的洁净度。
[0036] 作为一种可选方式，以图3为例，进风段31与风机段34之间设有的过滤段可以包括但不限于：化学过滤段32和中效过滤段33，化学过滤段32可
吸附混入工艺排风中分子级污染物，中效过滤段33可对含有颗粒物工艺排风进一步过滤，以使回用的工艺排风达到洁净的要求。
[0037] 作为一种可选方式，风机段34与出风段36之间设有的过滤段可以包括但不限于高效过滤段35，对经过风机段34的工艺排风进一步地进行高效过滤，以确保回用的工艺排风能够达到洁净度的要求，以便送回生产房间再次使用。
[0038] 值得说明的是，本申请实施例中，工艺排风回用机组3的各过滤段均根据排风性质和生产房间要求选择设置，不是必须配置的组段，并且各过滤段
位置可以根据需求调整。同时，对可利用的工艺排风进行
净化处理，不仅可以包括
过滤器的过滤处理，还可以采用其他类型的过滤净化形式(例如
水洗、吸附、吸收、燃烧等)。
[0039] 进一步地，本申请实施例中，工艺排风回用机组3可安装于通风空调机房内，或者安装在吊顶内、洁净生产厂房下技术夹层内，或者工艺房间内等任何满足安装要求的位置。
[0040] 作为一种可选方式，当工艺排风回用机组3安装于通风空调机房内，或者安装在吊顶内时，本申请实施例中的通风系统还包括连接风管，连接风管的一端与出风段36连接，另一端与生产房间连通，以使可利用的工艺排风通过连接风管回到生产房间内。
[0041] 作为一种可选方式，工艺排风回用机组3安装于生产房间内、或者洁净生产厂房下技术夹层内，工艺排风回用机组3的出风段36可以直接设置为出口风的形式，直接将回用风送到生产房间内或洁净生产厂房下技术夹层。
[0042] 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些
修改和变型属于本实用新型
权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
