具铁环防反侦测装置的晶圆切割设备
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种晶圆切割设备的技术领域，尤其指一种安装着铁环防反侦测装置的晶圆切割设备，避免因铁环安装错误导致晶圆被不当地切割。
背景技术
[0002] 在
半导体晶圆加工中，会使用铁环来辅助固定晶圆。使用时于所述铁环其中一个表面黏贴一面胶膜，利用所述胶膜于所述铁环中心祼露区域黏固晶圆，以利所述晶圆进行后续加工作业。所述铁环周边具有两组对称分布的平整边，且于其中一个平整边两侧具有两个形状不同且
位置相对的
定位缺口。目前晶圆切割设备主要是由两组夹扣机构夹持于位置对称的所述平整边，并无自动辨识定位缺口是否摆放正确机制，仅由操作人员目视判断定位缺口方向。在作业过程中可能发生操作人员摆放错误，且未目视确认所述定位缺口位置。如此一来当晶圆切割机进行切割作业，就会造成切割异常导致产品报废。实用新型内容
[0003] 为解决上述问题，本实用新型的主要目的是提供一种具铁环防反侦测装置的晶圆切割设备，主要设有侦测机制来确认铁环的定位缺口位置，避免铁环被放错，去除切割异常情形发生。
[0004] 为实现前述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
[0005] 本实用新型为一种具铁环防反侦测装置的晶圆切割设备，该晶圆切割设备包括
基座及安装于其上的载台、两组夹扣机构及铁环防反侦测装置，两组所述夹扣机构负责夹持固定铁环，该铁环防反侦测装置包括固定架及一磁感应侦测器，所述磁感应侦测器由所述固定架安装于基座上，所述磁感应侦测器位于所述铁环被夹固后的预定位置下方，所述磁感应侦测器能侦测所述铁环是否于正确位置。
[0006] 作为较佳优选实施方案之一，所述铁环具有两个定位缺口，所述磁感应侦测器安装位置是在所述铁环被正确夹固后于所述定位缺口下方。
[0007] 作为较佳优选实施方案之一，所述铁环具有两个定位缺口，所述磁感应侦测器安装位置是在所述铁环被不正确夹固后于所述定位缺口下方。
[0008] 作为较佳优选实施方案之一，所述磁感应侦测器是连接于
控制器，所述控制器根据所述磁感应侦测器的
信号，确认所述铁环放置错误时就暂时停机。
[0009] 作为较佳优选实施方案之一，所述磁感应侦测器是连接于控制器，所述控制器连接显示单元，所述控制器根据所述磁感应侦测器的信号，确认所述铁环放置错误时由所述显示单元显出警告讯号。
[0010] 作为较佳优选实施方案之一，所述磁感应侦测器是连接于控制器，所述控制器连接警报器，所述控制器根据所述磁感应侦测器的信号，确认所述铁环放置错误时由所述警报器发出声音。
[0011] 作为较佳优选实施方案之一，其中所述磁感应侦测器是连接于控制器，所述控制器连接警示灯，所述控制器根据所述磁感应侦测器的信号，确认所述铁环放置错误时由所述警示灯发出警示灯号。
[0012] 与
现有技术相比，本实用新型的具铁环防反侦测装置的晶圆切割设备主要设有侦测机制来确认铁环的定位缺口位置，避免铁环被放错，去除切割异常情形发生。
附图说明
[0013] 图1A为本实用新型第一
实施例的俯视图。
[0014] 图1B为本实用新型第一实施例的侧视图。
[0015] 图2A为本实用新型第一实施例夹固铁环后的俯视图。
[0016] 图2B为本实用新型第一实施例夹固铁环后的侧视图，图中仅铁环以剖面图表示。
[0017] 图3A为本实用新型第一实施例铁环正确摆放后的俯视图。
[0018] 图3B为本实用新型第一实施例铁环不正确摆放后的俯视图。
[0019] 图4A为本实用新型第二实施例的俯视图。
[0020] 图4B为本实用新型第二实施例的侧视图。
[0021] 图5为本实用新型第二实施例铁环正确摆放后的俯视图。
[0022] 图6为本实用新型的晶圆切割设备的系统架构图。
[0023] 附图标记说明：1-晶圆切割设备，11-基座，12-载台，13-夹扣机构，14-切割刀具，16-控制器，17-显示单元，18-警报器，19-警示灯，21-铁环，211-平整边，212-定位缺口，
213-定位缺口，22-胶膜，23-晶圆，30-铁环防反侦测装置，31-固定架，32-磁感应侦测器。
具体实施方式
[0024] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025] 如图1A及图1B所示，分别为本实用新型晶圆切割设备之铁环防反侦测装置的俯视图及侧视图。晶圆切割设备1包括基座11及安装于其上的载台12及两组夹扣机构13。所述夹扣机构13是负责夹持固定铁环21。如图2A及图2B所示，所述铁环21是用以固定晶圆。所述铁环21于底面贴黏一面胶膜22，所述胶膜22于所述铁环21中央祼露出来且黏固着晶圆23。所述铁环21周边具有两组位置对称的平整边211，且于其中一平整边211两侧具有两个形状不同且位置相对的定位缺口212及定位缺口213。所述晶圆切割设备1另设有切割刀具14。所述载台12位于切割刀具14下方。在切割作业进行中，所述载台12是透过胶膜22承载着所述晶圆23，让所述切割刀具14能顺利切割所述晶圆23。在本实施例中所述切割刀具14、所述载台12及所述夹扣机构13也皆仅以简单图面示意，实际上另设有相关机构与其配合运作，此类机构皆与现有结构相似，故不再详加描述，也不限制仅能使用此类型式。
[0026] 本实用新型主要改良之处是于所述晶圆切割设备1上设有所述铁环防反侦测装置30。所述铁环防反侦测装置30包括固定架31及磁感应侦测器32。所述磁感应侦测器32是由该固定架31安装于该基座11上。所述磁感应侦测器32位于所述铁环21被夹固后的预定位置下方，能侦测所述铁环21是否于正确位置。在本实施例中，所述磁感应侦测器32具有两个，分别位于是在所述铁环21被正确夹固后，所述定位缺口212及所述定位缺口213所在处的下方。
[0027] 如图3A及图3B所示，分别为铁环正确放置状态的俯视图及铁环不正确放置状态的俯视图。如图3A所示，当所述铁环21以正确方向放置且被所述夹扣机构13所夹持，两个所述磁感应侦测器32分别位于所述定位缺口212、所述定位缺口213开放区域中，所述磁感应侦测器32因未被遮蔽将不会产生讯号。反之如图3B所示，所述铁环21被以不正确方向放置，所述磁感应侦测器32上方因被遮蔽就会产生一讯号。所述晶圆切割设备1后续就根据所述讯号产生相对的反应，例如暂时停机、产生警报声、警示灯亮起、产生警示讯号等，此部份于后段内容再详加描述。
[0028] 如图4A及图4B所示，为本实用新型第二实施例图的俯视图及侧视图。本实施例主要是改变所述磁感应侦测器32的位置。所述磁感应侦测器32安装位置是在所述铁环21被不正确夹持固定后，所述定位缺口212及所述定位缺口213所在处的下方。如图5所示，在本实施例中，当铁环21摆放位置正确时，所述磁感应侦测器32上方会被遮蔽，进而产生一讯号。此时所述晶圆切割设备1是根据获得到所述讯号而判定铁环21摆放正确。此运用方式恰与上述实施例相反，但也能达到相同的目的。因此所述磁感应侦测器32安装位置并不限单一处。
[0029] 为了使所述晶圆切割设备1在运作时更为安全，本实用新型另设有一些警示机制。如图6所述，本实用新型晶圆切割设备的系统架构图。所述晶圆切割设备1内部的磁感应侦测器32另连接控制器16，所述控制器16电性连接于显示单元17、警报器18、警示灯19。所述控制器16也能控制机台是否能正常运作或暂时停机。所述控制器16是根据所述磁感应侦测器32是否产生相对讯号，进而判定铁环21是否摆放正确，再进一步启动预设动作。如图3A及图5所示，当铁环21摆放于正确位置，所述磁感测侦测器32讯号即不同。原则上所述控制器
16若判定所述铁环21摆放位置错误，可选择经由所述显示单元17于屏幕显示报警讯号，或由所述警报器18发出声音，或由所述警示灯19产生警示灯号(例如红灯)，或是同步让所述晶圆切割设备1暂时停机。
[0030] 综合以上述，本实用新型具铁环防反侦测装置的晶圆切割设备是利用所述磁感应侦测器32安装于所述基座11的相对位置，进而确认所述铁环21的所述定位缺口212及213位置是否正确，能避免因所述铁环21被放错所造成晶圆23不当切割且报废。整体结构简单方便人员后续保养维护，符合
专利之
申请要件。
[0031] 虽然结合附图对本实用新型进行了说明，但是附图中公开的实施例旨在对本实用新型优选实施方式进行示例性说明，而不能理解为对本实用新型的一种限制。
[0032] 本实用新型的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰，因此，本实用新型保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请
权利要求所涵盖。
