一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法
专利汇可以提供一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种交替反应制备 单层 和多层二硒化 钒 材料的方法。该方法通过交替注入一种或一种以上金属钒化合物和一种或一种以上含硒化合物进行沉积反应，通过调节反应 温度 与时间来控制二硒化钒材料生长的层数与面积，得到高 质量 的层状二硒化钒材料。本发明的优点是：操作简单方便，生长条件精确可控，可实现二硒化钒材料的大面积制备。二硒化钒材料具有独特的化学、 电子 、磁和机械性能，在 光电子 学、 自旋电子学 、催化剂、 传感器 、 能量 收集和存储等科学技术领域有着广阔的应用前景。，下面是一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法专利的具体信息内容。
1.一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法，其特征在于方法如下：
将洁净的硅、石英、蓝宝石或长有二氧化硅薄膜的硅衬底置于反应腔内，控制反应温度为100-700℃，反应压力在100-2000帕；通过控制载气流量在1-500立方厘米/秒，交替注入一种或一种以上金属钒化合物和一种或一种以上含硒化合物，交替注入次数为1-1000次，不同反应物注入的间隔时间为1秒-10分钟，在衬底上获得单层和多层二硒化钒材料。
2.根据权利要求1所述的一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法,其特征在于:所述的金属钒化合物为四二甲基氨基钒，三异丙醇氧钒，四二乙基氨基钒或四甲乙氨基钒。
3.根据权利要求1所述的一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法,其特征在于:所述的含硒化合物为二甲基硒醚，硒脲，二苯基二硒醚或二乙基二硒醚。
一种交替反应制备单层和多层二硒化钒材料的方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 具有铁磁性B掺杂g-C3N4二维超薄纳米片的制备方法 | 2020-05-21 | 24 |
| 一种基于化学气相沉积法制备磁性石墨烯薄膜的方法 | 2020-05-17 | 315 |
| 一种纳米结构可控的稀磁半导体材料及其制备方法与装置 | 2020-05-24 | 836 |
| 超低磁阻尼的软磁CoFeMnSi合金薄膜及其制备方法 | 2020-05-12 | 950 |
| 一种垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺和应用 | 2020-05-14 | 554 |
| 基于双表面拓扑超导特性的约瑟夫森器件及制备方法 | 2020-05-20 | 14 |
| 一种向GaN基异质结构二维电子气中注入自旋的方法和结构 | 2020-05-13 | 327 |
| 一种有机单晶自旋阀及其制备方法与应用 | 2020-05-14 | 876 |
| 一种巨自旋霍尔效应合金薄膜材料及其制备方法和用途 | 2020-05-26 | 788 |
| 一种β-FeSi2纳米六面体颗粒壳聚糖复合材料及制备方法 | 2020-05-16 | 77 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
