专利汇可以提供一种新型声表面波温度传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种新型声表面波 温度 传感器 。该新型声表面波温度传感器包括:压电衬底;置于压电衬底上的 电极 ;置于电极上的 热膨胀 材料;置于压电衬底下的声阻挡层。该声表面波器件采用常规的声表面波器件结构,该结构具有多层,在声表面波材料表面之上有一层薄薄的热膨胀材料,具有增加温度敏感度的功能。压电材料的下表面长一层声阻挡层,此声阻挡层选用 石墨 稀材料制得。实际应用中,可通过选择 热膨胀系数 大的材料,增加器件的温度响应,提高器件的温度敏感特性。,下面是一种新型声表面波温度传感器专利的具体信息内容。
1.一种新型声表面波温度传感器,包括:压电衬底;置于压电衬底上的电极;置于电极上的热膨胀材料;置于压电衬底下的声阻挡层。
石墨稀材料1:采用石墨稀材料作为声阻挡层,抑制压电衬底体波反射,提高温度敏感精度。
压电衬底2:主要可以采用石英晶体、铌酸锂晶体、钽酸锂晶体、ZnO多晶、AlN材料等具有压电性的材料,厚度为500-1500纳米,用于产生压电效应,在衬底表面传输声表面波;
电极材料3:电极材料主要采用铝、金、碳纳米管或导电碳浆,电极位于压电衬底之上,并与压电衬底紧密接触,用于同压电衬底相互作用以产生声电-电声信号转换,电极材料通过采用真空热蒸发或者纳米压印等方式制备于压电衬底2之上。
热膨胀材料4:热膨胀材料采用PMMA、硅胶等材料作为温度敏感材料,热膨胀材料随温度的变化其体积会发生变化,材料同压电材料接触层的应力会发生变化,进而影响声表面波的频率,起到提高温度敏感特性的作用。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
基于声纹特征识别的聚乙烯气相流化床生产过程结块在线监测系统及方法 | 2020-05-11 | 512 |
可用于非满管排水管道的流量测量装置 | 2020-05-12 | 177 |
一种综合模式的压电发电单元及道路全断面同步发电装置 | 2020-05-11 | 480 |
一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置 | 2020-05-11 | 37 |
一种测氢气的磁电谐振传感器、测试装置及测试方法 | 2020-05-12 | 584 |
基于H形共振管提升光声光谱传感器性能的装置和方法 | 2020-05-11 | 102 |
一种多机理复合式宽频带振动俘能器 | 2020-05-12 | 101 |
一种压电催化多孔陶瓷材料、其制备方法与应用 | 2020-05-08 | 972 |
一种新型单晶体光弹调制器 | 2020-05-11 | 206 |
掺杂HfO2铁电栅的InAlNGaN HEMT器件 | 2020-05-11 | 481 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。