技术领域
[0001] 本
发明涉及惯性检测仪表领域，尤其是基于激光自混合干涉的石英挠性加速度计。
背景技术
[0002] 石英挠性加速度计是一种机械摆式加速度计，它具有
精度和灵敏度高、
温度系数小、结构简单、体积小等优点，是精密惯性导航、制导系统中最为理想的惯性仪表之一，广泛应用于航空、航天、航海及陆地导航控制领域。
[0003] 作为惯性导航、制导系统的基本测量元件，石英挠性加速度计精度直接影响惯性导航、制导系统的性能。随着科学技术的不断发展，惯性导航、制导系统的精度不断提高，对于石英挠性加速度计的
分辨率和精度的要求也越来越高。尤其是对于当前国家重点发展的需要长距离、长时间飞行的大飞机、高空长航时无人机、
水下AUV及深空探测器等而言，高精度加速度计更是必不可少。然而，国内现有的石英挠性加速度计中，精度一般在几十个μg0/ppm水平，分辨率仅5-10μg0，其性能指标远低于国外同类产品，与高精度惯性导航制导系统的要求之间还存在着一定的差距，需进一步提高现有石英挠性加速度计的测量精度。
[0004] 加速度计精度的提高有两种途径：一是降低加速度计谐振子的本征
频率，但其代价是频带宽度降低，另一种方法是提高加速度计
信号传感器的检测水平。石英挠性加速度计中电容式信号传感器的输出电容变化量正比于位移的平方，分辨率受限，要获得高分辨率，系统的尺寸则需要适当展宽；同时受
电子噪声、机械热噪声及环境寄生电容等因素的影响电容式信号传感器输出
信噪比低，达到了微小电容检测
电路的检测极限，电容式石英挠性加速度计精度很难突破μg0/ppm。
[0005] 激光自混合干涉技术是近年来新兴的一种精密光学非
接触测量技术，具有分辨率高、精度高、动态范围宽、抗
电磁干扰等优点，且其测量系统仅有一个干涉通道、易
准直、结构简单紧凑。当前，激光自混合干涉技术已被广泛的应用于探伤研究、三维形貌测量、血液流速测量、
耳蜗
薄膜振动测量等，尤其是激光自混合微位移测量技术经过多年发展，目前已经实现了高于纳米的位移测量精度，在传统石英挠性加速度计的结构下，对应的加速度测量精度理论上可以高于1μg0。迄今为止，尚未见到将该技术用于石英挠性加速度计设计的相关报道。
发明内容
[0006] 本发明旨在解决克服
现有技术的不足，解决石英挠性加速度计受尺寸限制及电子噪声、机械热噪声、环境寄生电容等因素的影响分辨率低、精度不易提高的问题，提供一种具有测量精度高、分辨率高、动态范围宽、结构简单紧凑、抗电磁干扰等优点的基于激光自混合干涉的石英挠性加速度计。为达到上述目的，本发明采取的技术方案是，基于激光自混合干涉的石英挠性加速度计，包括有：表头和数字再平衡回路；表头由
外壳、摆组件、
力矩器、激光自混合干涉信号传感器组成；数字再平衡回路包括
激光器驱动电源、光电检测电路、
数据采集电路、
数字信号处理电路及力矩
电流发生器；当有加速度输入时，激光自混合干涉信号传感器检测到摆组件的位移并转换为
电信号，该电信号经过数字再平衡回路转化为与加速度成比例的电流信号，并反馈至力矩器使其产生再平衡力矩，通过检测力矩器电流即可得到加速度。
[0007] 激光自混合干涉信号传感器由垂直腔面发射激光器VCSEL、光电
二极管、光纤组成；摆组件为石英摆片，垂直腔面发射激光器VCSEL采用
锯齿波电流驱动，出射激光经过
准直透镜聚焦到石英摆片上产生反射或散射，部分携带位移信息的反射或散射光反馈回垂直腔面发射激光器VCSEL激光器腔内同腔内光发生自混合干涉，引起激光腔出射光功率变化，激光腔内设置的光电探测器探测到自混合干涉信号并将其转换为电信号，该电信号经过经过数字再平衡回路的I/V转换、放大、滤波及ADC转换为数字信号，然后采用全
相位FFT
频谱分析法提取自混合干涉信号的相位，求出摆组件位移，通过数字再平衡回路加矩，进而通过加矩电流得到高精度的加速度测量数据。
[0008] 光电检测电路将表头输出光电流信号转换为
电压信号，光电检测电路包括I/V转换电路、前置放大电路，I/V转换电路采用精密
电阻完成微弱光电流信号到电压信号的转换；前置放大电路采用具有高共模抑制比的仪用
运算放大器；数据采集电路采用24位ADC完成
模拟信号到数字信号的转变，包括抗
混叠滤波503和A/D转换电路；数字
信号处理电路主要完成自混合干涉信号相位提取、加速度解调，包括电源电路、时钟电路、复位电路、LCD显示；力矩电流发生器用于产生力矩器电流，包括D/A转换电路、平滑滤波电路及
跨导放大器。
[0009] 本发明采用激光自混合干涉测量方法检测加速度计敏感
质量的位移，有如下优点：
[0010] 1、基于激光自混合干涉效应的加速度检测方法避免了电容式加速度检测方法存在的受噪声及寄生电容影响加速度计精度受限的问题，具有分辨率高、测量精度高、动态范围宽、抗电磁干扰等优点。
[0011] 2、激光自混合干涉信号传感器仅有一个干涉通道，易准直、结构简单紧凑，可使加速度计尺寸进一步减小。
[0012] 3、激光自混合干涉信号传感器采用垂直腔面发射激光器HVS6003-001作为
光源，其前端带有自准直校准透镜，且该激光器内部封装有
光电二极管，可作为光电探测器，进一步减小了信号传感器体积。
[0013] 4、激光自混合干涉测量是基于点的微小位移测量，采用三路激光测量摆片上的三个点的精确
位置就可调整摆片的实际位置，克服摆片扭摆以及加速度敏感轴和载体运动
输入轴不重合给测量带来的误差影响。
[0014] 5、利用全相位FFT谱分析法进行自混合干涉信号的相位解调，该方法可在不增加系统复杂度的前提下，提高自混合干涉信号相位提取精度，且频谱泄露小、
算法简单。
附图说明
[0015] 图1是本发明的结构原理图。
[0016] 图2是本发明的光学系统结构图。
[0017] 图3是本发明的激光器驱动电路原理图。
具体实施方式
[0019] 本发明
专利采用如下技术方案：一种基于激光自混合干涉的新型石英挠性加速度计，包括表头和数字再平衡回路。表头由外壳、摆组件、力矩器、激光器组成。数字再平衡回路包括激光器驱动电源、光电检测电路、数据采集电路、数字信号处理电路及力矩电流发生器。当有加速度输入时，激光自混合干涉信号传感器检测到摆组件的位移并转换为电信号，该电信号经过数字再平衡回路转化为与加速度成比例的电流信号，并反馈至力矩器使其产生再平衡力矩，通过检测力矩器电流即可得到加速度。
[0020] 激光自混合干涉信号传感器由垂直腔面发射激光器(VCSEL)、光电二极管、光纤、石英摆片组成。其检测原理如下：VCSEL采用锯齿波电流驱动，出射激光经过准直透镜聚焦到石英摆片上产生反射或散射，部分携带位移信息的外部光反馈回激光器腔内同腔内光发生自混合干涉，引起激光腔出射光功率变化，光电探测器探测到自混合干涉信号并将其转换为电信号，该电信号经过I/V转换、放大、滤波及ADC转换为数字信号，然后采用全相位FFT频谱分析法提取自混合干涉信号的相位，求出摆组件位移，通过数字再平衡回路加矩，进而通过加矩电流得到高精度的加速度测量数据。
[0021] 下面结合附图和具体
实施例进一步详细说明本发明。
[0022] 图1是本发明的结构原理图。该新型石英挠性加速度计由外壳100、摆组件、推挽式力矩器、激光自混合干涉信号传感器及数字再平衡回路500组成。外壳100为一封闭的金属构件，摆组件、力矩器、激光自混合干涉信号传感器封装于外壳100内。摆组件包括力矩器动圈302和摆片202，力矩器动圈302通过胶接的方式安装于摆片202的中心，摆片202底端连接挠性梁201使摆组件与加速度计壳体100弹性相连。推挽式力矩器包括
永磁体303、轭
铁301、力矩器动线圈302，轭铁301固定在壳体100的中部，永磁体303通过胶结方式安装于轭铁301的中心，并穿过力矩器动圈302。激光自混合干涉信号传感器包括靶标
401、光纤402、准直透镜403、激光器404、光电二极管406，靶标401安装在摆片202的顶端，激光器404、光电二极管406封装于用于散射的金属套筒405内，准直透镜403固定于套筒
405一端，套筒405安装在加速度计壳体100上。光电二极管406的输出端连接数字再平衡电路500的输入，数字再平衡电路500的输出电流I反馈给力矩器动圈302，使力矩器产生再平衡力矩。
[0023] 图2表示本发明的光学系统结构图。光学系统由光电二极管406、激光器404、准直透镜403、光纤402、石英摆片401、驱动电源600组成。激光器404由驱动电源600驱动发光，输出激光经准直透镜403准直后，通过光纤402传输照射在石英摆片401上发生反射和散射，部分光反馈回激光器404
谐振腔内与腔内光混合形成自混合干涉，调制激光器输出功率。激光器404为垂直腔面发射激光器HVS6003-001，该激光器内部封装有光电二极管，可作为光电探测器，且其前端带有自准直校准透镜，进一步减小了信号传感器体积。
[0024] 图3表示本发明的激光器驱动电源电路原理图。激光器驱动电路600由调制电流源和锯齿波信号发生电路、驱动保护电路组成。锯齿波信号发生器用于产生调制激光器
输出信号的锯齿波
波动电流，采用直接数字频率合成法(DDS)生成锯齿波驱动电流，包括DDS芯片604、频率调整601、幅度调整602及电源603。调制电流源605用于产生恒定的
直流分量使激光器工作在线性区域内。锯齿波信号发生器同调制电流源经加法电路605
叠加后送入V/I转换608可产生用于驱动激光器的调制电流。保护电路包括软启动607，限流保护609，软启动607保护激光器不受电源开启时而产生的电冲击影响，限流保护609保护激光器工作电流低于VCSEL的最大允许电流。
[0025] 图4表示本发明的数字再平衡回路。该新型石英挠性加速度计数字再平衡回路500由光电检测电路、数据采集电路、数字信号处理电路、力矩电流发生器组成。光电检测电路将表头输出光电流信号转换为电压信号，包括I/V转换电路501、前置放大电路502，I/V转换电路501采用精密电阻完成微弱光电流信号到电压信号的转换；前置放大电路502采用具有高共模抑制比的仪用
运算放大器。数据采集电路采用24位ADC完成模拟信号到数字信号的转变，包括抗混叠滤波503和A/D转换电路504。数字信号处理电路主要完成自混合干涉信号相位提取、加速度解调，包括电源电路510、时钟电路511、复位电路512、LCD显示509。力矩电流发生器用于产生力矩器电流，包括D/A转换电路506、平滑滤波电路507及跨导放大器508。
