技术领域
[0001] 本
发明涉及先进
电子封装领域，涉及用于嵌入式封装工艺及结构，具体涉及一种多芯片的嵌入式ABF封装结构及其制造方法。
背景技术
[0002] 先进电子封装领域的塑封工艺过程中，塑封之后无论是
晶圆级或是大板级都会产生
翘曲，面积越大，塑封产生的翘曲量也越大，对后续封装工艺的进行影响也越大，甚至当翘曲超过一定程度时，后续工艺将不能进行。而减少塑封产生的翘曲量成为当前急需解决的一大关键问题，目前很多厂家都在寻求解决办法。
[0003] 发明
专利CN 109003948 A中提到了一种双面三维堆叠封装结构及封装方法，在
基板两面分别贴至少一层芯片，通过引线形式实现芯片与基板的
电气互连，在基板两面植球之后采用塑封料将基板与芯片封装，解决单面
热膨胀不匹配性导致的元件翘曲问题及三维集成。塑封的结构为通过
引线键合芯片与基板的结构，而非直接对芯片进行双面塑封。
[0004] 发明专利CN 109003906 A中提到了一种基板双面塑封制程方法，通过控制上下模组伸缩
凸块的长度实现基板的双面一次完成塑封。该方法采用的塑封形式为注塑
包装，注塑塑封料流动性比压塑的差，影响塑封
质量，而且塑封的结构为通过引线键合芯片与基板的结构。
[0005] 发明专利CN 107195625 A中提供了双面塑封扇出型系统级叠层封装结构及其制备方法，通过在重新布线层的两边分别键合芯片与被动元件，并且分别塑封有芯片的那一面及被动元件那一面，达到提高封装结构的整体效率，及呈现一个叠成结构，体积较少。1、该方法在一定程度上达到了提高封装结构的整体效率，但是因为要塑封两次，比一次两面塑封的效率仍然要低很多，而且对于大尺寸板级扇出型封装来说，不可忽略的问题就是翘曲，单独一面的塑封很容易导致大板翘曲的产生，不利于产品良率。
[0006] 发明专利CN 104241158 B中提供了板级扇出型结构的封装方法，在芯板上下面各贴上双层
铜箔，芯片有源面朝外通过导热胶贴在双层铜箔上，之后芯片外侧压合介质层，再做RDL等工艺。本结构的芯片有源面朝内，EMC塑封料
热压塑封，塑封拆键和之后，得到两个Face-up的塑封结构。
[0007] 但是现有的封装结构多为单面封装，或是先塑封一面再塑封另一面的双面塑封，封装效率低，而且易翘曲，且翘曲问题明显。
发明内容
[0008] 本发明的目的是为了解决
现有技术中的问题，提出一种多芯片嵌入式ABF封装结构及其制造方法，双面同时塑封的多芯片嵌入式封装，通过特制的治具、载板及模具设计，实现双面同时塑封，达到降低单面塑封所带来的翘曲及提高封装效率。
[0009] 本发明采用的技术方案如下：
[0010] 一方面，一种多芯片嵌入式ABF封装结构，包括：待封装件，所述待封装件包括载板和多个待封装的芯片，所述载板上表面和下表面分别贴上
薄膜，所述芯片贴于所述薄膜上,所述芯片上贴合至少一层ABF胶，所述ABF胶的总厚度大于等于所述芯片的厚度；料槽，所述料槽设有上槽和下槽，所述下槽一侧设有至少一个治具，所述待封装件设于所述治具上；所述待封装件上方设有上模具，所述上模具设有所述上槽，所述ABF胶贴合在所述芯片上并设于所述上槽内；所述待封装件下方设有下模具，所述下模具设有所述下槽，所述ABF胶贴合在所述芯片上设于所述下槽内。
[0011] 进一步地，所述治具与所述待封装件垂直放置，所述治具的上部设有缺口，所述待封装件设于所述缺口内。
[0012] 进一步地，所述载板的边
角上设有凹槽。
[0013] 进一步地，所述薄膜为蓝膜，所述蓝膜胶粘贴于所述载板的表面。
[0014] 进一步地，所述治具与所述下模具之间是密封的状态。
[0015] 进一步地，所述芯片采用Face-down或Face-down工艺
[0016] 另一方面，一种多芯片嵌入式ABF封装结构的制造方法，其步骤如下：
[0017] (1)在载板上表面和下表面贴上薄膜，并在已贴好薄膜的所述载板的上表面和下表面分别贴上待封装的芯片，形成待封装件；
[0018] (2)再将待封装件设于料槽内，所述料槽内设有上槽和下槽，所述下模具内设有所述下槽，所述下槽一侧设有至少一个治具，所述待封装件放置于所述治具上，设于所述下模具上方；
[0019] (3)在所述待封装件的所述芯片上贴上至少一层ABF胶，所述ABF胶的总厚度大于等于所述芯片的厚度；
[0020] (4)所述上模具下降至所述待封装件的上表面，所述下模具上升至所述待封装件的下表面，将所述待封装件上下表面的所述芯片上贴的所述ABF胶包含在所述上模具与所述下模具之间；
[0021] (5)所述上模具与所述下模具采用
真空热压方式对所述待封装件进行塑封，同时相向加压塑封；
[0022] (6)所述载板的边角设有凹槽，移开所述上模具，在下模具的正下方施加均匀向上的
力，同时在所述凹槽
位置施加向上的力，并于所述治具上方将已塑封的所述待封装件取下；
[0023] (7)通过机械拆、热拆的方式对已塑封的所述待封装件两面同时进行拆键。
[0024] 进一步地，所述治具与所述下模具
侧壁处于可移动且密封的状态。
[0025] 进一步地，所述上模具以及所述下模具相对于模具侧壁是可移动且密封的状态。
[0026] 本发明的有益效果是：
[0027] 本发明提供一种双面同时塑封的多芯片嵌入式ABF封装结构及其制造方法，采用真空热压的方式进行塑封，塑封设备便宜，塑封工艺简便，可在提高封装效率的同时，尽可能的降低单面塑封所带来的翘曲问题，保证后续工艺的可实施性，及减少封装成本。同时通过对治具及载板的独特设计，让治具在承载载板的同时，更易于载板的放置操作与取下的操作。并且相较于加压塑封，采用ABF胶塑封，仅需真空热压即可，所以受力也小。而且ABF胶没有
硅颗粒等材质，不易伤害芯片的Pad，芯片面朝上或朝下都可以，对于Face-down及Face-up的后续工艺都是可行的。
[0028] 本发明的优选实施方案及其有益效果，将结合具体实施方式进一步详细说明。
附图说明
[0029] 附图是用来提供对本发明的进一步理解，并构成
说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但不应构成对本发明的限制。在附图中，
[0030] 图1：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的待封装件的剖视面的结构示意图；
[0031] 图2：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的待封装件放置于下槽内的剖视面的结构示意图；
[0032] 图3：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的待封装件上表面贴ABF胶的剖视面的结构示意图；
[0033] 图4：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的上模具下降待封装件的剖视面的结构示意图；
[0034] 图5：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的上模具与下模具对待封装件加压的剖视面的结构示意图；
[0035] 图6：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的上模具取下的剖视面的结构示意图；
[0036] 图7：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的待封装件拆键的剖视面的结构示意图；
[0037] 图8：本发明多芯片嵌入式ABF封装结构的载板的俯视图。
[0038] 各部件名称及其标号
[0039] 1、待封装件；11、载板；111、凹槽；12、薄膜；13、芯片；2、料槽；21、上槽；22、下槽；3、ABF胶；4、治具；41、缺口；5、上模具；6、下模具；7、临时键合胶。
具体实施方式
[0040] 以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0041] 如图1至图8所示，本发明的
实施例公开一种多芯片嵌入式ABF封装结构，包括：待封装件1，所述待封装件1包括载板11和多个待封装的芯片13，所述载板11上表面和下表面分别贴上薄膜12，所述芯片13贴于所述薄膜12上，所述芯片13是面朝或背离所述载板11，均可。所述载板11的材料可为glass、SUS、Prepreg(BT)、FR4、FR5、P.P、EMC、PI等材料。所述芯片13上涂覆至少一层ABF胶3，所述ABF胶3的厚度大于等于所述芯片的厚度，即无论贴合的所述ABF胶3是多少层，所述ABF胶的总厚度均是大于等于所述芯片的厚度。所述芯片13采用Face-down或Face-down工艺。
[0042] 料槽2，所述料槽2设有上槽21和下槽22，所述下槽22一侧设有至少一个治具4，所述待封装件1设于所述治具4上。
[0043] 所述待封装件1上方设有上模具5，所述上模具5设有所述上槽21，所述上模具5与所述待封装件1之间设有ABF胶3，所述ABF胶3设于所述上槽21内。所述上模具5是一种可以实现上下升降的升降模具。
[0044] 所述待封装件1下方设有下模具6，所述下模具6设有所述下槽22，所述下模具6与所述待封装件1之间设有ABF胶3，所述ABF胶3设于所述下槽22内。所述待封装件1是倒扣在所述下模具6上方，所述载板11边沿一定距离的位于所述治具4上，且所述治具4与所述下模具6之间是密封的状态，且所述下模具6相对于模具侧壁是可以移动且密封的。
[0045] 该种结构可以实现双面同时塑封的多芯片13嵌入式封装，节省成本。
[0046] 所述治具4与所述待封装件1垂直放置，所述治具4的上部设有缺口41，所述待封装件1设于所述缺口41内，方便所述待封装件1在所述治具4上取放。
[0047] 如图8所示，所述载板11的边角设有凹槽111，所述凹槽111便于将已经塑封好的所述待封装件1从所述上模具5以及所述下模具6中拆卸，同时不会损坏已经塑封好的所述待封装件1。
[0048] 所述薄膜12为蓝膜，所述蓝膜通过临时键合胶7粘贴于所述载板11的表面。
[0049] 另一方面，一种多芯片13嵌入式封装结构的制造方法，其步骤如下：
[0050] (1)在载板11上表面和下表面贴上薄膜12，并在已贴好薄膜12的所述载板11的上表面和下表面分别贴上待封装的芯片13，形成待封装件1；
[0051] (2)再将待封装件1设于料槽2内，所述料槽2内设有上槽21和下槽22，下模具6内设有所述下槽22，所述下槽22一侧设有至少一个治具4所述待封装件1放置于所述治具4上，设于所述下模具6上方；
[0052] (3)在所述待封装件1的所述芯片13上贴上至少一层ABF胶3，一层所述ABF胶3的厚度大于等于所述芯片13的厚度；
[0053] (4)所述上模具5下降至所述待封装件1的上表面，所述下模具6上升至所述待封装件1的下表面，将所述待封装件1上下表面的所述芯片13上贴的所述ABF胶3包含在所述上模具5与所述下模具6之间；
[0054] (5)所述上模具5与所述下模具6采用真空热压方式对所述待封装件1进行塑封，同时相向加压塑封；
[0055] (6)所述载板11的边角设有凹槽111，移开所述上模具5，在下模具6的正下方施加均匀向上的力，同时在所述凹槽111位置施加向上的力，并于所述治具4上方将已塑封的所述待封装件1取下；
[0056] (7)通过机械拆、热拆的方式对已塑封的所述待封装件1两面同时进行拆键。
[0057] 拆下的已塑封的所述待封装件1的两面依次进行以下的操作得到成品：
种子层制作-涂抹感光胶-曝光显影-图形电
镀-去膜-蚀刻-涂阻焊油墨-露出焊盘-植球-切割工艺流程。
[0058] 综上所述，本发明的多芯片嵌入式ABF封装结构及其制造方法提供一种双面同时塑封的多芯片13嵌入式封装方法，可在提高封装效率的同时，尽可能的降低单面塑封所带来的翘曲问题，保证后续工艺的可实施性，及减少封装成本。同时通过对治具4及载板11的独特设计，让治具4在
支撑载板11的同时，更易于载板11的放置操作与取下的操作。
[0059] 只要不违背本发明创造的思想，对本发明的各种不同实施例进行任意组合，均应当视为本发明公开的内容；在本发明的技术构思范围内，对技术方案进行多种简单的变型及不同实施例进行的不违背本发明创造的思想的任意组合，均应在本发明的保护范围之内。
