专利汇可以提供降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种降低 微通道板 通道内表面粗糙度的系统和方法,包括:飞秒 激光器 ,用以产生并输出脉冲光 信号 ;调制光学组件,设置在飞秒激光器的出光侧,用以将飞秒激光器产生的脉冲 光信号 转变为平行脉冲光束;微通道板固定架,被设置用于固定待处理的微通道板,所述微通道板为一多微孔结构的光学元件,所述每个微孔结构构成一通道; 姿态 调整组件,固定到所述微通道板固定架上;第一 电机 ,通过驱动机构连接到并将旋转 力 矩传递到所述姿态调整机构,使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架的姿态调整,从而调整平行脉冲光束进入微通道板通道进行吹扫的 角 度和 位置 。通过本发明的均匀性激光脉冲吹扫,可明显降低微通道板的内表面粗糙度以及暗 电流 密度 。,下面是降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法专利的具体信息内容。
1.一种降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,包括:
飞秒激光器(101),用以产生并输出脉冲光信号;
调制光学组件(102),设置在飞秒激光器(101)的出光侧,用以将飞秒激光器(101)产生的脉冲光信号转变为平行脉冲光束;
微通道板固定架(104),被设置用于固定待处理的微通道板(103),所述微通道板(103)为一多微孔结构的光学元件,所述每个微孔结构构成一通道;
姿态调整组件(105),固定到所述微通道板固定架(104)上;
第一电机(106),通过驱动机构连接到并将旋转力矩传递到所述姿态调整机构,使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架(104)的姿态调整,从而调整平行脉冲光束进入微通道板(103)通道进行吹扫的角度和位置。
2.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,所述姿态调整包括平面内转动和俯仰调节。
3.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,所述姿态调整组件(105)被设置成在所述第一电机(106)驱动而带动微通道板(103)以其中心为固定点,以微通道板(103)表面为旋转平面进行360°旋转。
4.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,所述姿态调整组件(105)被设置成通过一传动杆(105B)的运动以调节微通道板(103)的俯仰角度,从而改变平行脉冲光束对微通道板通道的入射角度。
5.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,所述飞秒激光器(101)产生的脉冲光信号的脉冲宽度为500飞秒,其频率范围为1赫兹~10赫兹,其激光能量为100mJ。
6.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,经过调制光路(102)处理后的平行脉冲光束为圆形平行脉冲光束,圆形平行脉冲光束的尺寸等于或略大于圆形微通道有效工作区域直径或方形微通道板有效工作区域对角线长度,且平行脉冲光束均匀性优于90%。
7.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,所述微通道板(103)的有效工作区域尺寸范围为:直径Φ1mm~Φ57mm的圆形微通道板或者尺寸范围1mm×1mm~40mm×40mm的方形微通道板,其微通道板厚度(103L)与微通道板孔径(103D)比值范围为10~80,通道方向与微通道板表面法向夹角(103θ)范围为0°~25°。
8.一种根据权利要求1-7中任意一项所述系统的降低微通道板内表面粗糙度的方法,其特征在于,该方法包括:
装夹微通道板(103)到微通道板固定架(104)上;
飞秒激光器(101)输出脉冲光信号后,依据微通道板(103)的有效工作区域尺寸,调整调制光学组件(102),使平行脉冲光束的尺寸等于或略大于圆形微通道有效工作区域直径或方形微通道板有效工作区域对角线长度,并且使平行脉冲光束均匀性优于90%;
通过控制第一电机和姿态调整组件来调整微通道板固定架(104)的的旋转和俯仰运动,调整平行脉冲光束进入微通道板(103)通道进行吹扫的角度和位置。
9.根据权利要求8所述的降低微通道板内表面粗糙度的方法,其特征在于,所述飞秒激光器(101)输出的脉冲光信号的脉冲宽度为500飞秒,其频率范围为1赫兹~10赫兹,其激光能量为100mJ。
10.根据权利要求1所述的降低微通道板通道内表面粗糙度的系统,其特征在于,经过调制光路(102)处理后的平行脉冲光束为圆形平行脉冲光束,平行脉冲光束均匀性优于
90%。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种宽能谱白光中子共振照相探测器及探测方法 | 2020-05-08 | 520 |
一种用于培养肝癌切片的微流控芯片及其使用方法 | 2020-05-14 | 897 |
微通道板及电子倍增体 | 2020-05-15 | 169 |
一种测量分子转动能级结构的方法 | 2020-05-08 | 579 |
一种锂电池微纳米正极材料的制备方法 | 2020-05-11 | 449 |
基于二值调制的成像加速方法及装置 | 2020-05-12 | 728 |
一种溶液自动引入型电泳微芯片 | 2020-05-08 | 323 |
一种基于微通道板结构的光电倍增管的防水封装 | 2020-05-14 | 693 |
一种可便携的组合式X光机 | 2020-05-16 | 69 |
一种多阵面辐射料位计 | 2020-05-15 | 700 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。