一种类金刚石薄膜的制备方法
专利汇可以提供一种类金刚石薄膜的制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供在类金刚石材料上，利用 等离子体 增强 化学气相沉积 法制备方式，在类金刚石表面进行 镀 膜 。利用利用双放电腔 微波 -ECR等离子体全方位注入设备，采用PECVD技术制备的DLC 薄膜 能够达到对薄膜表面改性的目的。PECVD复合技术制备的Si/SiC/DLC梯度薄膜表面光滑致密， 缺陷 少，由尺寸均匀的纳米颗粒组成。薄膜的RMS粗糙度较低，在1.5nm左右变化。利用表面轮廓仪测得梯度薄膜的厚度约为1.2±0.1μm，Si，SiC过渡层厚度大约分别为：80±10nm，100±10nm，150±10nm，200±10nm。，下面是一种类金刚石薄膜的制备方法专利的具体信息内容。
1.一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于使用了一种新型系统，双放电腔微波-ECR等离子体全方位注入装置，同时应用了电子回旋共振和全方位离子注入技术，在低工作气压下实现了较高的等离子体密度，微波ECR全方位离子注入系统抽真空部分由机械泵和分子泵组成，最低气压可以抽到10-4Pa，本发明真空抽到4.0×10-3Pa，等离子产生是根据电子回旋共振原理设计的，主真空室为圆柱形腔体，两个ECR谐振腔相对的分别安置在主真空室两侧，微波系统是有频率为2.45 GHz的微波发生器、环形器、双向耦合器、三销钉调配器以及波导管所组成，如果线圈通有电流时能产生875 G的磁场，并且此时微波频率与电子在磁场中的回旋频率相等，便可以产生电子回旋共振进而产生等离子体，进而运用等离子体增强化学气相沉积法制备类合金薄膜。
2.根据权利要求1所述，一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于仪器载物台能够转动，并可以通冷却水，高压电源为脉冲高压电源，负脉冲高压通过带陶瓷环的绝缘线连接到不锈钢样品台，调节样品台偏压的大小和频率来控制等离子体的能量和离子流密度，该设备工作特点为：低温成膜，对基体影响很小；能用多种方法成膜，能在大面积，复杂形状工件上成膜。
3.根据权利要求1所述，一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于选择医用NiTi合金，NiTi合金为等轴晶，其中含有夹杂物，将NiTi合金片(Ф12mm×lmm)经400、800和1200号砂纸进行机械打磨后抛光，使其抛光后表面粗糙度达到0.1μm左右。
4.根据权利要求1所述，一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于采用微波-ECR等离子体源系统制备梯度类金刚石薄膜，将试样置入真空室，用加离子对试样表面溅射清洗10分钟，离子的轰击和溅射作用将使表层吸附静杂质、酒污分子、氧化物脱离基体表面，从而大幅度改善界面状态，有助于提高膜基结合强度，将其放入真空室，真空室的需要达到的真空度为1．2×10-4Pa。
5.根据权利要求1所述，一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于用Ar离子对试样表面进行溅射清晰20min，然后在试样表面沉积一层Si，保持Si靶射频溅射功率200W，左右谐振线圈电流60.81A和69.3A；沉积一定时间后将Si靶射频功率降为100W，同时通入氨气和甲烷的混台气体，制备30min的Si/a-C:H层，最后制备DLC薄膜，保待氩气与甲烷的流量比为l：
4，真空度为2.8×10-1Pa。
6.根据权利要求1所述，一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于改变Si层沉积时间，分别为20，30，60和90min，制得Si/(Si.a-c:H)/DLC结构的薄膜。
一种类金刚石薄膜的制备方法
技术领域
背景技术
发明内容
2.45 GHz的微波发生器、环形器、双向耦合器、三销钉调配器以及波导管所组成。如果线圈通有电流时能产生875 G的磁场，并且此时微波频率与电子在磁场中的回旋频率相等，便可以产生电子回旋共振进而产生等离子体。
具体实施方式
薄膜的电子衍射花样表现出两个特征：两个衍射环的面间距为别为0.21nm和0.108nm，这分别于晶体金刚石（111）和（200）晶面对应。这表明薄膜中存在金刚石畴；与（002）晶面相对应的较大衍射环表明薄膜中纳米尺寸的晶体石墨畴存在。这两个特征表明制备的梯度类金刚石薄膜为无定形结构。
1000-1100cm-1处出现的吸收峰是玻璃衬底的Si-O-Si键吸收峰。在高频区的吸收峰，在
2800-3100cm-1区出现较强的C-H伸展振动吸收峰。在1500cm-1同样存在吸热峰，其中
1450cm-1对应反对称变形振动吸收，1380cm-1对应CH3对称变形振动吸收。
10nm。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种脉冲激光焊接镜头 | 2020-05-08 | 702 |
| 一种纳米β-二氧化铅催化剂及其制备方法和应用 | 2020-05-08 | 597 |
| 辐射源 | 2020-05-08 | 592 |
| 一种半导体激光器的镀膜方法及半导体激光器 | 2020-05-08 | 357 |
| 一种无孔透湿TPU薄膜层压复合织物及其制备方法 | 2020-05-08 | 667 |
| 一种微介孔氮化硼氧化物的制备方法 | 2020-05-08 | 217 |
| 高深宽比沉积 | 2020-05-08 | 981 |
| 一种极片清洁净化装置 | 2020-05-08 | 493 |
| 一种固废焚烧烟气的处理装置 | 2020-05-11 | 1002 |
| 一种手写笔存放装置 | 2020-05-08 | 61 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
