专利汇可以提供一种晶圆检测方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 晶圆 检测方法,涉及电气元件检测技术领域。该晶圆检测方法,包括以下步骤:S1.对晶圆的表面进行区域划分,将晶圆的表面划分为多个单独的 检测区域 ;S2.对采集的晶圆图像进行特征提取,其中特征提取包括提取特征区域与特征区域的处理以及变换;S3.对采集的晶圆图像进行 缺陷 识别与检测;S4.导出晶圆图像进行缺陷识别与检测结果,将此结果与人工检测结果做对比;S5.选取样本数量中的1%进行人工检测,判断问题区域是否正确。通过对晶圆图像进行特征提取、 算法 检测以及人工纠正,使得晶圆检测方法得到了明显的优化,使得晶圆在检测过程中比较方便,检测效率得到了提高,同时检测的准确率也进一步的得到了提高。,下面是一种晶圆检测方法专利的具体信息内容。
1.一种晶圆检测方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1.对晶圆的表面进行区域划分,将晶圆的表面划分为多个单独的检测区域;
S2.对采集的晶圆图像进行特征提取,其中特征提取包括提取特征区域与特征区域的处理以及变换:
1)提取特征区域:利用图像采集装置采集晶圆表面的图像,然后对晶圆图像的几何特征进行提取,分析晶圆图像的几何形状变换性,判断图像是否发生大幅度的旋转,以及晶圆的几何特征是否发生相对位置、形状上的改变,同时在晶圆图像上建立一定的特征区域,在该特征区域中,并让特征区域作为晶圆图像相关性配准的特征量,判断晶圆图像特征区域中的宽度值,同时生成该特征区域中的矩形区域,检测出矩形区域图形的水平线与垂直线,并根据区域中的几何特征进行散图的拼接;
2)特征区域的处理以及变换:
i)在晶圆几何特征提取环节中,对特征区域进行二值化处理,然后对晶圆矩形区域图形进行水平和垂直边缘缺陷的检测;
ii)然后通过霍夫变换,得到晶圆矩形区域图形缺陷检测的水平线具体位置;
iii)在霍夫变换基础上,计算得到晶圆矩形区域图形垂直线的具体位置,然后根据霍夫变换对图像进行边缘的检测,挖掘晶圆图像中的灰度变化明显点;
iv)准确找到晶圆的缺陷边缘,寻找晶圆缺陷边缘上存在的亮点,对缺陷亮点进行运算求导,得到亮点梯度,在亮点梯度的基础上再次进行求导,得到亮点梯度的变化率;
S3.对采集的晶圆图像进行缺陷识别与检测,具体检测算法如下:
1)采集的晶圆图像被处理之后,将晶圆图像与模板进行对比,将含有缺陷的晶圆模板与标准晶圆模板之间进行直接的对比,根据图像特征与位置关系进行晶圆图像之间的运算;
2)对于晶圆图像进行形态学上的分析,提前预设好预设晶圆图像标准形态,根据大数据匹配算法对晶圆形态进行分析,分析待检测晶圆图像形态与标准形态的差异;
S4.导出晶圆图像进行缺陷识别与检测结果,将此结果与人工检测结果做对比,分析该算法检测结果的准确率,根据检测结果的差异对检测算法进行优化,并对该算法进行反复测试;
S5.根据最终的输出结果,判断出晶圆出现问题的具体区域,然后选取样本数量中的
1%进行人工检测,判断问题区域是否正确。
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