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一种蒸 镀 坩埚及其出气片结构

阅读：1发布：2022-03-24

专利汇可以提供一种蒸镀坩埚及其出气片结构专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种用于蒸镀坩埚的出气片结构，包括：第一出气片，第一出气片呈环状，其环状结构的外侧边缘为能够将第一出气片紧固在蒸镀坩埚的坩埚内壁上的外侧端，其环状结构的内侧边缘为内侧端，第一出气片上设有若干第一出气孔；第二出气片，第二出气片可旋转的连接在第一出气片上且能够将第一出气片的内侧端抵压压紧，第二出气片上设有若干第二出气孔，其中：外力作用在第二出气片上使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开。本发明还公开了一种蒸镀坩埚。实施本发明的蒸镀坩埚及其出气片结构，能够有效防止坩埚口被蒸镀材料堵塞，改善出气片的出气状况；结构精简，便于维修和维护。，下面是一种蒸镀坩埚及其出气片结构专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于蒸镀坩埚的出气片结构，其特征在于，包括：
第一出气片，所述第一出气片呈环状，其环状结构的外侧边缘为能够将第一出气片紧固在蒸镀坩埚的坩埚内壁上的外侧端，其环状结构的内侧边缘为内侧端，所述第一出气片上设有若干第一出气孔；
第二出气片，所述第二出气片可旋转的连接在所述第一出气片上且能够将所述第一出气片的所述内侧端抵压压紧，所述第二出气片上设有若干第二出气孔，其中：
外力作用在所述第二出气片上使所述第二出气片相对于所述第一出气片的所述内侧端旋转打开，所述第二出气片与所述第一出气片之间通过铰链铰接。
2.如权利要求1所述的用于蒸镀坩埚的出气片结构，其特征在于，所述第一出气片呈圆环状，所述第二出气片为圆片状，所述第二出气片可旋转的对接在所述第一出气片的所述内侧端上。
3.如权利要求1所述的用于蒸镀坩埚的出气片结构，其特征在于，所述铰链为设有复位弹簧的转轴，复位弹簧的弹力使所述第二出气片与所述第一出气片的所述内侧端无缝对接；
坩埚口附近沉积的材料累积到一定重量时，将克服复位弹簧的弹力使所述第二出气片相对于所述第一出气片的所述内侧端旋转打开。
4.如权利要求2所述的用于蒸镀坩埚的出气片结构，其特征在于，所述第一出气片设为曲面结构，其与所述第二出气片所在的平面之间设有一定的角度。
5.如权利要求1所述的用于蒸镀坩埚的出气片结构，其特征在于，所述第一出气片和所述第二出气片分别由金属材料制成。
6.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，所述坩埚本体具有坩埚口；
设置在所述坩埚本体外部的用以加热升华设在所述坩埚本体内部蒸镀材料的加热装置；以及
设置在所述坩埚本体中的出气片，所述出气片为权利要求1-5任一项所述的用于蒸镀坩埚的出气片结构。
7.如权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置加热设在所述坩埚本体内部的蒸镀材料，升华后的蒸镀材料经所述第一出气片上的所述第一出气孔和所述第二出气片上的所述第二出气孔后由所述坩埚口喷出。
8.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一出气片的所述外侧端紧固在所述坩埚口附近的坩埚内壁上。

说明书全文

一种蒸镀 坩埚及其出气片结构

技术领域

[0001] 本发明涉及面板蒸镀制程领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及其出气片结构。

背景技术

[0002] OLED具有自发光，轻薄，对比度高，易于实现柔性化等特点，是目前最有发展前景的显示技术。真空蒸镀是目前制备OLED器件的主流方法，材料一般装在金属或者陶瓷的耐高温的蒸镀坩埚中，即在真空腔内将有机材料加热气化并在衬底上成膜。

[0003] 现有的用于蒸镀坩埚的出气片通常设计为具有出气孔的金属圆片，该结构的出气片存在的技术问题是：由于蒸镀坩埚的坩埚口距离加热装置的相对距离较远，因此，坩埚口附近的温度相较于加热装置附近的坩埚侧壁的温度要低。如此，加热升华的蒸镀材料极有可能在坩埚口附近逐渐沉积，最终会堵塞坩埚口，造成坩埚无法继续使用。

发明内容

[0004] 本发明所要解决的技术问题在于，提供一种蒸镀坩埚及其出气片结构，能够有效防止坩埚口被蒸镀材料堵塞，改善出气片的出气状况；结构精简，便于维修和维护。

[0005] 为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于蒸镀坩埚的出气片结构，包括：第一出气片，第一出气片呈环状，其环状结构的外侧边缘为能够将第一出气片紧固在蒸镀坩埚的坩埚内壁上的外侧端，其环状结构的内侧边缘为内侧端，第一出气片上设有若干第一出气孔；第二出气片，第二出气片可旋转的连接在第一出气片上且能够将第一出气片的内侧端抵压压紧，第二出气片上设有若干第二出气孔，其中：外力作用在第二出气片上使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开，第二出气片与第一出气片之间通过铰链铰接。

[0006] 其中，第一出气片呈圆环状，第二出气片为圆片状，第二出气片可旋转的对接在第一出气片的内侧端上。

[0007] 其中，铰链为设有复位弹簧的转轴，复位弹簧的弹力使第二出气片与第一出气片的内侧端无缝对接；坩埚口附近沉积的材料累积到一定重量时，将克服复位弹簧的弹力使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开。

[0008] 其中，第一出气片设为曲面结构，其与第二出气片所在的平面之间设有一定的角度。

[0009] 其中，第一出气片和第二出气片分别由金属材料制成。

[0010] 为解决上述技术问题，本发明还公开了一种蒸镀坩埚，包括：坩埚本体，坩埚本体具有坩埚口；设置在坩埚本体外部的用以加热升华设在坩埚本体内部蒸镀材料的加热装置；以及设置在坩埚本体中的出气片，出气片上述用于蒸镀坩埚的出气片结构。

[0011] 其中，加热装置加热设在坩埚本体内部的蒸镀材料，升华后的蒸镀材料经第一出气片上的第一出气孔和第二出气片上的第二出气孔后由坩埚口喷出。

[0012] 其中，第一出气片的外侧端紧固在坩埚口附近的坩埚内壁上。

[0013] 实施本发明所提供的蒸镀坩埚及其出气片结构，具有如下有益效果：第二出气片可旋转的连接在第一出气片上且能够将第一出气片的内侧端抵压压紧，第二出气片上设有若干第二出气孔，其中：外力作用在第二出气片上使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开。当坩埚口附近沉积的材料累积到一定重量时，将克服复位弹簧的弹力使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开，坩埚口的材料会掉回坩埚本体的底部，能够有效防止坩埚口被蒸镀材料堵塞，改善出气片的出气状况；结构精简，便于维修和维护。附图说明

[0014] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0015] 图1是本发明实施例蒸镀坩埚的坩埚口附近沉积蒸镀材料的结构示意图。

[0016] 图2是本发明实施例蒸镀坩埚的坩埚口附近的蒸镀材料掉回坩埚本体底部的结构示意图。

具体实施方式

[0017] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0018] 如图1所示，为本发明蒸镀坩埚的实施例一。

[0019] 本实施例中的蒸镀坩埚包括：坩埚本体1，坩埚本体1具有坩埚口11；设置在坩埚本体1外部的用以加热升华设在坩埚本体1内部蒸镀材料12的加热装置2；以及设置在坩埚本体1中的出气片3。

[0020] 本实施例中，坩埚本体1由金属材料或陶瓷材料制成，呈圆筒状。坩埚口11设置在坩埚本体1的一侧开口端，蒸镀材料12承装在坩埚本体1的底部，加热装置2环绕设置在坩埚本体1的外部，其可以对坩埚本体1进行加热。其中：加热装置2加热设在坩埚本体1内部的蒸镀材料12，升华后的蒸镀材料12经坩埚口11喷出，喷出后的气流能够在衬底上成膜，从而完成真空蒸镀过程。

[0021] 进一步的，出气片3紧固在坩埚口11附近的坩埚内壁T上。本实施例中的出气片3包括：第一出气片31和第二出气片32。

[0022] 第一出气片31呈环状，其环状结构的外侧边缘为能够将第一出气片31紧固在蒸镀坩埚的坩埚内壁T上的外侧端31a，其环状结构的内侧边缘为内侧端31b，第一出气片31上设有若干第一出气孔311。

[0023] 第二出气片32可旋转的连接在第一出气片31上且能够将第一出气片31的内侧端抵压压紧，第二出气片32为圆片状，第二出气片32可旋转的对接在第一出气片31的内侧端31b上。第二出气片32上设有若干第二出气孔321，第一出气片31和第二出气片32分别由金属材料制成。其中：第一出气片31的外侧端31a紧固在坩埚口11附近的坩埚内壁T上，外力作用在第二出气片32上使第二出气片32相对于第一出气片31的内侧端31b旋转打开。

[0024] 具体实施时，升华后的蒸镀材料12经第一出气片31上的第一出气孔311和第二出气片32上的第二出气孔321后由坩埚口11喷出，喷出后的气流在衬底上成膜。

[0025] 进一步的，第二出气片32与第一出气片31之间通过铰链33铰接。其中，铰链33为设有复位弹簧的转轴，复位弹簧的弹力使第二出气片32与第一出气片31的内侧端31b无缝对接，其它实施方式中，需要第二出气片32能够将第一出气片31的内侧端31b封盖住即可。如此，当坩埚口11附近沉积的材料累积到一定重量时，将克服复位弹簧的弹力使第二出气片32相对于第一出气片31的内侧端旋转打开。

[0026] 优选的，第一出气片31设为曲面结构，其与第二出气片32所在的平面之间设有一定的角度。如此，能够减小蒸镀材料在坩埚口11附近的沉积。

[0027] 实施本发明所提供的蒸镀坩埚及其出气片结构在具体实施时，铰链33的弹簧转轴的弹力将第二出气片32和第一出气片31盖合在一起；第一出气片31的若干第一出气孔311和第二出气片32的若干第二出气孔321用以出气；当选取的弹簧转轴的弹力合适，蒸镀材料在坩埚口11积累到一定程度时，沉积材料的重力作用可以使第二出气片32相对于第一出气片31的内侧端31b旋转打开，沉积在坩埚口11的蒸镀材料就会掉回坩埚本体1的底部，出气片的第二出气片32在弹簧弹力的作用下会合再次与第一出气片31盖合，该结构能够有效改善沉积材料堵塞出气孔的状况。

[0028] 实施本发明所提供的蒸镀坩埚及其出气片结构，具有如下有益效果：第二出气片可旋转的连接在第一出气片上且能够将第一出气片的内侧端抵压压紧，第二出气片上设有若干第二出气孔，其中：外力作用在第二出气片上使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开。当坩埚口附近沉积的材料累积到一定重量时，将克服复位弹簧的弹力使第二出气片相对于第一出气片的内侧端旋转打开，坩埚口的材料会掉回坩埚本体的底部，能够有效防止坩埚口被蒸镀材料堵塞，改善出气片的出气状况；结构精简，便于维修和维护。

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