一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺
专利汇可以提供一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺，包括 基板 和安装在基板中的圆形光学玻璃，所述圆形光学玻璃中部设有多个指示光栅刻线，指示光栅刻线阵列式横向排列，相邻两个指示光栅刻线之间的栅距为19.5μm，指示光栅刻线为矩形且栅宽为9.75μm，指示光栅刻线上方设有零位基准 电压 光栅窗口而下方设有零位光栅窗口，指示光栅刻线阵列式横向排列，制造简单方便便于大批量生产，而栅距为19.5μm、栅宽为9.75μm的指示光栅与栅距为20μm、栅宽为10μm的主光栅相配合能够形成 相位 标准，提高位移 信号 准确度。，下面是一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺专利的具体信息内容。
1.一种阵列式指示光栅结构，包括基板和安装在基板中的圆形光学玻璃，其特征在于：
所述圆形光学玻璃中部设有多个指示光栅刻线，指示光栅刻线阵列式横向排列，相邻两个指示光栅刻线之间的栅距为19.5μm，指示光栅刻线为矩形且栅宽为9.75μm，指示光栅与栅距为20μm、栅宽为10μm的主光栅相配合。
2.根据权利要求1所述的一种阵列式指示光栅结构，其特征在于：指示光栅刻线上方设有零位基准电压光栅窗口而下方设有零位光栅窗口。
3.一种阵列式指示光栅结构生产工艺，其特征在于：包括以下步骤，
①选材，选取尺寸大小合适的圆形光学玻璃，圆形光学玻璃表面涂覆有光刻胶；
②曝光，将预制在掩模版上的与光栅刻线相配的图形初步转印到光刻胶上；
③显影，溶解光刻胶中非曝光部分的图形使光刻栅片图形初步显示出来；
④定影，按步骤③显影出的图形一次性定型出阵列式横向排列的光栅刻线，相邻两个指示光栅刻线之间的栅距为19.5μm，指示光栅刻线为矩形且栅宽为9.75μm。
4.根据权利要求3所述的一种阵列式指示光栅结构生产工艺，其特征在于：在完成定影后，对圆形光学玻璃进行精度测量若发现有缺陷则修补后再清洗；若无缺陷则直接清洗，最后贴上防尘膜。
一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺
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