一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管及制作方法
专利汇可以提供一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管及制作方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种高 介电常数 柔性 氧 化锌 薄膜 晶体管及制作方法，具体结构为层式结构， 自下而上 依次为柔性衬底(1)、栅极层(2)、高介电常数栅绝缘层(3)、有源区(4)以及金属 电极 ，所述金属电极包括源极(5)、漏极(6)；所述栅极层(2)上被施加 偏压 ，在具有高介电常数的氧化铋锌铌绝缘层顶部会产生一定的 电压 ，当产生的电压满足下，所述有源区(4)和所述高介电常数栅绝缘层(3) 接触 的表面处形成反型层(7)和 沟道 区(8)，所述源极、漏极北施加偏压，产生源极、漏极之间的 电流 ，所述柔性 薄膜晶体管 导通。与 现有技术 相比，本发明器件具有较高的集成度，有更为广泛的适用范围；适用于柔性射频领域。，下面是一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管及制作方法专利的具体信息内容。
1.一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管，其特征在于，所述高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管具体结构为层式结构，自下而上依次为柔性衬底(1)、栅极层(2)、高介电常数栅绝缘层(3)、有源区(4)以及金属电极，所述金属电极包括源极(5)、漏极(6)；
所述栅极层(2)上被施加偏压，在具有高介电常数的氧化铋锌铌绝缘层顶部会产生一定的电压，当产生的电压满足电压大于0.7V时，所述有源区(4)和所述高介电常数栅绝缘层(3)接触的表面处形成反型层(7)，所述源极、漏极北施加偏压，产生源极(5)、漏极(6)之间的电流，所述柔性薄膜晶体管导通；其中
所述栅极层(2)采用金属铂Pt材料的薄膜制成；
所述栅绝缘层(3)采用通过磁控溅射法形成的氧化铋锌铌Bi1.5Zn1.0Ni1.5O7材料制成；
所述有源区(4)采用氧化锌ZnO薄膜制成。
2.一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管，其特征在于，所述源极(5)、漏极(6)采用钛或金材料制成。
3.一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：
步骤一、选用PET柔性材料作为衬底，首先将PET柔性材料放进盛有丙酮溶液的烧杯中，后在超声波清洗器中清洗5分钟，随后使用异丙醇溶液将用丙酮清洗过的PET柔性材料在超声波清洗器中将丙酮清洗干净，得到柔性衬底层；
步骤二、采用真空电子束蒸镀方法在柔性衬底层上镀一层厚度为150nm的铂金属层，通过光刻工艺图案化作为栅极层；
步骤三、使用纯度为99％、直径为2英寸的氧化铋锌铌Bi1.5Zn1.0Ni1.5O7材料的陶瓷靶，在溅射功率为150W、真空度为1Pa、Ar:O2的比例为90:10的条件下，制备厚度为200nm的铋锌铌BZN薄膜；
步骤四、使用纯度为99.99％、直径为3英寸的氧化锌ZnO靶材，在溅射功率为100W、真空度为1Pa、Ar:O2的比例为19:1的条件下，制备厚度为40nm的氧化锌ZnO薄膜；
步骤五、使用剥离工艺在有源去上制备出宽长比为40:1的源极、漏极，并使用真空蒸镀的方法制备出厚度为100nm的钛/金Ti/Au薄膜作为源极、漏极，
步骤六、最后将所获得的器件在400℃的N2气氛中退火，时间为10min。
一种高介电常数柔性氧化锌薄膜晶体管及制作方法
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具体实施方式
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