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반도체 집적 회로의 정전 방전 방지 회로

阅读:263发布:2020-06-20

专利汇可以提供반도체 집적 회로의 정전 방전 방지 회로专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且PURPOSE: An electrostatic discharge(ESD) protection circuit of a semiconductor integrated circuit is provided to minimize an influence of a charged device model(CDM) ESD by connecting gates with sources of n-type metal oxide semiconductor(NMOS) transistors while using the same power source. CONSTITUTION: The first inverter receives an input signal, connected between the first supply voltage(VDD1) and the first ground voltage(VSS1). The second inverter receives an output from the first inverter, connected between the first supply voltage and the first ground voltage. The first p-type metal oxide semiconductor(PMOS) transistor has a source connected to the second supply voltage(VDD2) and a gate for receiving an output from the second inverter. The second PMOS transistor has a source connected to the second supply voltage and a gate for receiving an output from the first inverter. The first NMOS transistor has a drain connected to the drain of the first PMOS transistor, a source connected to the second ground voltage(VSS2) and a gate connected to the drain of the second PMOS transistor. The second NMOS transistor has a drain connected to the drain of the second PMOS transistor, a source connected to the second ground voltage and a gate connected to the drain of the first PMOS transistor.,下面是반도체 집적 회로의 정전 방전 방지 회로专利的具体信息内容。

  • 제 1 전원전압과 제 1 접지전압 사이에 연결되고, 입력 신호를 받아들이는 제 1 인버터와;
    상기 제 1 전원전압과 상기 제 1 접지전압 사이에 연결되고, 상기 제 1 인버터로부터의 출력을 받아들이는 제 2 인버터와;
    제 2 전원전압과 연결된 소스와 상기 제 2 인버터의 출력을 받아들이는 게이트를 갖는 제 1 PMOS 트랜지스터와;
    상기 제 2 전원전압과 연결된 소스와 상기 제 1 인버터의 출력을 받아들이는 게이트를 갖는 제 2 PMOS 트랜지스터와;
    상기 1 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 제 2 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 게이트를 갖는 제 1 NMOS 트랜지스터와;
    상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 2 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 1 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 게이트를 갖는 제 2 NMOS 트랜지스터를 포함하는 반도체 집적 회로.
  • 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 인버터는,
    상기 제 1 전원전압과 연결된 소스 그리고 상기 입력 신호와 연결된 게이트를 갖는 제 3 PMOS 트랜지스터; 및
    상기 제 3 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 1 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 입력 신호와 연결된 게이트를 갖는 제 3 NMOS 트랜지스터를 포함하되;
    상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 게이트는 상기 제 3 PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결되는 반도체 집적 회로.
  • 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 인버터는,
    상기 제 1 전원전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 3 PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 제 4 PMOS 트랜지스터; 및
    상기 제 4 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 1 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 3 PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 제 4 NMOS 트랜지스터를 포함하되;
    상기 제 1 PMOS 트랜지스터의 게이트는 상기 제 4 PMOS 및 제 4 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결되는 반도체 집적 회로.
  • 说明书全文

    반도체 집적 회로의 정전 방전 방지 회로{Electrostatic Discharge Protection Circuit of Semiconductor Integrated Circuit}

    본 발명은 반도체 집적 회로에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 서로 다른 전원 전압을 사용하는 두 집적 회로들을 인터페이스하기 위한 회로에 관한 것이다.

    고도의 기술에 의해 개발되는 NMOS 트랜지스터는 게이트 산화막(gate oxide)가 얇고, 브레이크다운 전압(breakdown voltage)이 낮아지는 등 CDM(charged device model) ESD(electrostatic discharge)에 매우 취약한 구조를 갖는다. 특히, 칩 내의 전원 종류가 많고 복잡한 경우 NMOS 트랜지스터의 게이트 산화막이 CDM EDS로 인해 불량이 발생할 수 있는 확률은 더욱 커진다. 이는 NMOS 트랜지스터가 서로 다른 전원을 사용하는 두 회로 블록 사이에 인터페이스된 경우 게이트 산화막이 CDM EDS동안 높은 전압차에 노출될 수 있기 때문이다.

    도 1은 서로 다른 전원 전압을 사용하는 제 1 및 제 2 회로 블록들 사이를 인터페이스하기 위한 일반적인 회로 구성을 보여주고 있다. 도 1을 참조하면, 제 1 회로 블록(10)은 PMOS 트랜지스터(11)와 NMOS 트랜지스터(12)로 구성된 인버터를 포함한다. PMOS 트랜지스터(11)의 소스는 제 1 전원전압(VDD1)과 연결되고, 게이트는 제 1 회로 블록(10) 내부로부터의 신호(IN)와 연결된다. NMOS 트랜지스터(12)의 드레인은 PMOS 트랜지스터(11)의 드레인과 연결되고, 소스는 제 1 접지전압(VSS1)과 연결되며 그리고 게이트는 PMOS 트랜지스터(11)의 게이트와 공통으로 연결되어서 신호(IN)와 연결된다.

    제 2 회로 블록(20)은 PMOS 트랜지스터(21)와 NMOS 트랜지스터(22)로 구성된 인버터를 포함한다. PMOS 트랜지스터(21)의 소스는 제 2 전원전압(VDD2)과 연결되고, 게이트는 제 1 회로 블록(10)내의 PMOS 및 NMOS 트랜지스터들(11, 12)의 드레인 단자들과 연결된다. NMOS 트랜지스터(22)의 드레인은 PMOS 트랜지스터(21)의 드레인과 연결되고, 소스는 제 2 접지전압(VSS2)과 연결되며 그리고 게이트는 PMOS 트랜지스터(21)의 게이트와 공통으로 연결되어서 PMOS 트랜지스터(11)와 NMOS 트랜지스터(12)로 구성된 인버터의 출력에 연결된다.

    특히, 제 2 회로 블록(20) 내의 NMOS 트랜지스터(22)의 게이트는 제 1 회로 블록(10) 내의 PMOS 및 NMOS 트랜지스터들(11, 12)의 드레인 단자들과 연결되고, 소스는 제 2 회로 블록(20)의 제 2 접지전압(VSS2)과 연결된다. 이 때, NMOS 트랜지스터(12)의 게이트는 제 1 회로 블록(10) 내의 PMOS 및 NMOS 트랜지스터들(11, 12)의 드레인과 벌크(bulk) 사이에 기생적으로 형성되는 n+/p 다이오드(Dn) 또는 p+/n웰 다이오드(Dp)를 통하여 제 1 접지전압(VSS1) 또는 제 1 전원전압(VDD1)에 간접적으로 연결된다. 이와 같이, NMOS 트랜지스터(22)의 게이트와 소스가 서로 다른 전원 영역들에 각각 연결되면, CDM에 취약한 조건에 놓이게 된다. 왜냐하면, 서로 분리된 전원 간에는 동일 전원에서 보다 상대적으로 큰 임피던스(impedance)가 존재하며 이는 CDM ESD 동안에 높은 전압차를 유도할 수 있는데, 이 전압차가 NMOS 트랜지스터(22)의 게이트 산화막 양단간에 그대로 전달되기 때문이다.

    이러한 문제는 특히 SOC(System On a Chip) 기술에서 아주 중요하게 다루어져야만 하므로, NMOS 트랜지스터가 CDM ESD에 의해서 파괴되는 것을 방지하기 위한 새로운 스킴이 요구된다.

    따라서 본 발명의 목적은 서로 다른 전원 전압을 사용하는 두 집적 회로들 사이에 연결되는 NMOS 트랜지스터의 정전 방전(ESD)를 방지하기 위한 회로를 제공하는데 있다.

    도 1은 서로 다른 전원 전압을 사용하는 제 1 및 제 2 회로 블록들 사이를 인터페이스하기 위한 일반적인 회로 구성을 보여주는 도면; 그리고

    도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 집적 회로에서 서로 다른 전원 전압을 사용하는 제 1 및 제 2 회로 블록들 사이에 연결되는 NMOS 트랜지스터의 정전 방전(ESD)을 방지하기 위한 회로 구성을 보여주는 도면이다.

    *도면의 주요부분에 대한 설명*

    100 : 제 1 회로 블록200 : 제 2 회로 블록

    111, 112, 201, 203 : PMOS 트랜지스터

    121, 122, 202, 204 : NMOS 트랜지스터

    (구성)

    상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 집적 회로는: 제 2 전원전압과 연결된 소스와 상기 제 2 인버터의 출력을 받아들이는 게이트를 갖는 제 1 PMOS 트랜지스터, 상기 제 2 전원전압과 연결된 소스와 상기 제 1 인버터의 출력을 받아들이는 게이트를 갖는 제 2 PMOS 트랜지스터, 상기 1 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 제 2 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 게이트를 갖는 제 1 NMOS 트랜지스터, 상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 2 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 1 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 게이트를 갖는 제 2 NMOS 트랜지스터를 포함한다.

    바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1 인버터는, 상기 제 1 전원전압과 연결된 소스 그리고 상기 입력 신호와 연결된 게이트를 갖는 제 3 PMOS 트랜지스터 및 상기 제 3 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 1 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 입력 신호와 연결된 게이트를 갖는 제 3 NMOS 트랜지스터를 포함한다. 이 때, 상기 제 2 PMOS 트랜지스터의 게이트는 상기 제 3 PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된다.

    바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 2 인버터는, 상기 제 1 전원전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 3 PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 제 4 PMOS 트랜지스터;및 상기 제 4 PMOS 트랜지스터의 드레인과 연결된 드레인, 상기 제 1 접지전압과 연결된 소스 그리고 상기 제 3 PMOS 및 제 3NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 제 4 NMOS 트랜지스터를 포함한다. 이 때, 상기 제 1 PMOS 트랜지스터의 게이트는 상기 제 4 PMOS 및 제 4 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된다.

    (실시예)

    이하 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

    도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 집적 회로에서 서로 다른 전원 전압을 사용하는 제 1 및 제 2 회로 블록들 사이에 연결되는 NMOS 트랜지스터의 정전 방전(ESD)을 방지하기 위한 회로 구성을 보여주는 도면이다.

    도 2를 참조하면, 제 1 회로 블록(100)은 제 1 전원전압(VDD1)과 제 1 접지전압(VSS1)에 의해서 동작하고, 제 2 회로 블록(200)은 제 2 전원전압(VDD2)과 제 2 접지전압(VSS2)에 의해서 동작한다.

    제 1 회로 블록(100)은 제 1 전원전압(VDD1)과 제 1 접지전압(VSS1) 사이에 연결되고, 입력 신호(IN)를 받아들이는 인버터(110)와 상기 제 1 전원전압(VDD1)과 제 1 접지전압(VSS1) 사이에 연결되고, 상기 인버터(110)로부터의 출력을 받아들이는 인버터(120)를 포함한다.

    구체적으로, 상기 인버터(110)는 제 1 전원전압(VDD1)과 연결된 소스 및 상기 입력 신호(IN)와 연결된 게이트를 갖는 PMOS 트랜지스터(111) 그리고 상기 PMOS 트랜지스터(111)의 드레인과 연결된 드레인, 제 1 접지전압(VDD1)과 연결된 소그 그리고 상기 입력 신호(IN1)와 연결된 게이트를 갖는 NMOS 트랜지스터(112)로 구성된다.

    상기 인버터(120)는 제 1 전원전압(VDD1)과 연결된 소스, PMOS 및 제 3 NMOS 트랜지스터들의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 PMOS 트랜지스터(121) 그리고 상기 PMOS 트랜지스터(121)의 드레인과 연결된 드레인, 제 1 접지전압(VSS1)과 연결된 소스 그리고 상기PMOS 트랜지스터(111) 및 NMOS 트랜지스터(112)의 드레인들과 연결된 게이트를 갖는 NMOS 트랜지스터(122)를 포함한다.

    제 2 회로 블록(200)은 PMOS 트랜지스터들(201, 203)과 NMOS 트랜지스터들(202, 204)을 포함한다. PMOS 트랜지스터(201)의 소스는 제 2 전원전압(VDD2)과 연결되고, 드레인은 노드(a)에 연결되며 그리고 게이트는 상기 제 1 회로 블록(100) 내의 인버터(120)의 출력과 연결된다. NMOS 트랜지스터(202)의 드레인은 PMOS 트랜지스터(201)의 드레인(즉, 노드(a))과 연결되고, 소스는 제 2 접지전압(VSS2)과 연결되고 그리고 게이트는 노드(b)와 연결된다. PMOS 트랜지스터(203)의 소스는 제 2 전원전압(VDD2)과 연결되고, 드레인은 노드(b)와 연결되며 그리고 게이트는 상기 제 1 회로 블록(100) 내의 인버터(110)의 출력과 연결된다. NMOS 트랜지스터(204)의 드레인은 PMOS 트랜지스터(203)의 드레인(즉, 노드(b))과 연결되고 소스는 제 2 접지전압(VSS2)과 연결된다. 상기 PMOS 및 NMOS 트랜지스터들(203, 204)의 드레인 단자들(즉, 노드(b))의 전압은 출력 신호로서 제 2 회로 블록(200) 내의 다른 회로들로 제공된다.

    앞에서 설명한 바와 같이, 종래의 반도체 집적 회로에서는 NMOS 트랜지스터(22)의 게이트는 기생 다이오드들(Dn, Dp)에 의하여 제 1 전원전압(VDD1) 및 제 1 접지전압(VSS1)에 필연적으로 연결되는 구조였다. 따라서, NMOS 트랜지스터(22)의 게이트 전원과 소스 전원이 달라서 CDM ESD동안 NMOS 트랜지스터(22)의 게이트와 소스 사이에 매우 큰 전압이 유기되어서 NMOS 트랜지스터(22)의 게이트 산화막이 파괴될 수 있었다. 그러나, 본 발명의 NMOS 트랜지스터들(202, 204)의 게이트들은 제 1 회로 블록(100)의 전원과 무관한 노드들(b, a)에 각각 연결되므로 ESD에 의한 영향을 최소화 할 수 있다.

    단, 본 발명의 제 1 회로 블록(100)은 도 2에 도시된 바와 같이 인버터 구조에만 국한되는 것이 아니라 CMOS 프로세스에서 형성될 수 있는 모든 액티브(active) 또는 패시브(passive) 소자가 사용될 수 있으며 그러한 경우에도 본 발명을 응용해서 적용할 수 있다.

    이와 같은 본 발명에 의하면, NMOS 트랜지스터들의 게이트들과 소스들은 동일한 전원으로 연결되므로 CDM ESD에 의한 영향을 최소화할 수 있다.

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