专利汇可以提供一种自动激光聚焦形貌测量系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种自动激光聚焦形貌测量系统,用以对置于纳米三维位移机构上的测试 工件 的形貌进行测量,包括四象限探测器、柱面镜、非偏振分束立方体、衍射光栅、 半导体 激光 二极管 、压电陶瓷纳米位移器、显微物镜、纳米三维位移机构、 信号 调理 电路 、AD 数据采集 卡、工控机、压电陶瓷纳米位移器 控制器 和纳米三维位移台机构控制器;四象限探测器获取的聚焦误差信号输入到工控机;工控机通过分析聚焦误差信号利用压电陶瓷纳米位移器控制器控制压电陶瓷纳米位移器带动显微物镜在测试工件表面做垂直扫描,保证测试工件表面处于光路的聚焦 位置 ,在连续测量过程中,获得测试工件的三维形貌。,下面是一种自动激光聚焦形貌测量系统专利的具体信息内容。
1.一种自动激光聚焦形貌测量系统,用以对置于纳米三维位移机构上的测试工件的形貌进行测量,包括四象限探测器、柱面镜、非偏振分束立方体、衍射光栅、半导体激光二极管、压电陶瓷纳米位移器、显微物镜、纳米三维位移机构、信号调理电路、AD数据采集卡、工控机、压电陶瓷纳米位移器控制器和纳米三维位移台机构控制器;由半导体激光二极管发出入射光束通过衍射光栅、分光棱镜、显微物镜投射到测试工件的被测表面,反射后经显微物镜、非偏振分束立方体、柱面镜照射在四象限探测器上;四象限探测器获取的聚焦误差信号通过信号调理电路、AD数据采集卡输入到工控机;工控机通过分析聚焦误差信号利用压电陶瓷纳米位移器控制器控制压电陶瓷纳米位移器带动显微物镜在测试工件表面做垂直扫描,保证测试工件表面处于光路的聚焦位置,即聚焦误差信号在线性范围内的纵向坐标为,工控机记录保存压电陶瓷纳米位移器的位置坐标。工控机控制纳米三维位移机构进行连续栅线扫描,工控机根据聚焦误差信号判断测试工件的表面处于离焦时,即聚焦误差信号在线性范围内的纵向坐标不为,工控机通过压电陶瓷纳米位移器控制器控制压电陶瓷纳米位移器带动显微物镜垂直扫描,重新使得测试工件的表面处于聚焦状态,在连续测量过程中,保存纳米三维位移结构的坐标和测试工件聚焦位置时的压电陶瓷纳米位移器的坐标,获得测试工件的三维形貌。
所属技术领域
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
光屏障以及用于检测对象的方法 | 2021-04-13 | 1 |
电力配电系统 | 2021-02-01 | 1 |
照明单元、投影式显示单元及直视式显示单元 | 2020-12-29 | 1 |
一种实线道路防变线系统 | 2020-12-28 | 1 |
高衍射介质内部隐藏物体成像系统 | 2021-11-14 | 0 |
Optical pickup apparatus | 2023-02-03 | 0 |
GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DIODE, AND METHOD FOR PRODUCING GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DIODE | 2021-10-23 | 0 |
High power optical apparatus employing large-mode-area, multimode, gain-producing optical fibers | 2021-04-11 | 1 |
SHEET LIGHT SOURCE USING LASER DIODE | 2020-11-25 | 1 |
LASER THERAPY APPARATUS AND METHOD | 2020-10-07 | 0 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。