专利汇可以提供一种氧化锌同质结p-n结材料及其制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种用喷雾 热解 法,通过氮和铟的共掺杂,制备p-型 氧 化锌 薄膜 材料,通过掺杂铟制备低阻n-型氧化锌薄膜材料,从而制得ZnO 同质结 p-n结的方法。在该方法中,通过向先驱体溶液中添加适量的含氮和含铟 掺杂剂 ,经超声雾化热解反应制备p-型氧化锌薄膜,通过向先驱体溶液中添加适量的铟掺杂剂,经超声雾化热解反应制备低阻n-型氧化锌薄膜。在不同的材料表面上,先后生长p-型(或n-型)和n-型(或p-型)ZnO薄膜即可制得ZnO同质结p-n结。通过控制先驱体溶液浓度及配比、衬底 温度 、成膜气氛及雾化气量可实现对制得ZnO同质结p-n结电学性能的控制,以满足制备氧化锌基发光 二极管 (LEDs), 激光二极管 (LDs)等光 电子 器件方面的需要。该法工艺简单易行,成本低廉。,下面是一种氧化锌同质结p-n结材料及其制备方法专利的具体信息内容。
1.一种氧化锌同质结p-n结材料,其特征在于包括p-型ZnO薄膜和n-型ZnO薄膜,p-型ZnO薄膜的厚度0.3~1μm,其中氮的原子浓度百分比为2~8%,铟的原子浓度百分比为0.5~5%;n-型ZnO薄膜的厚度为0.3~1μm,铟的原子浓度百分比0.5~5%。
2.一种制备氧化锌同质结p-n结材料的方法,其特征在于包括p-型ZnO薄膜的沉积和n-型ZnO薄膜的沉积:p-型ZnO薄膜采用溶液喷雾热解法沉积,包括先驱体溶液的配制和氧化锌薄膜的沉积,先驱体溶液中Zn∶N∶In=1∶(1-3)∶(0.03-0.25),先驱体溶液经超声雾化,雾化后的气体由气液分离管进入成膜室,在加热衬底表面热解沉积成p-型氧化锌薄膜;衬底温度控制在400-600℃;n-型ZnO薄膜采用溶液喷雾热解法沉积,包括先驱体溶液的配制和氧化锌薄膜的沉积,先驱体溶液中Zn∶In=1∶(0.03-0.25),先驱体溶液经超声雾化,雾化后的气体由气液分离管进入成膜室,在加热衬底表面热解沉积成n-型氧化锌薄膜;衬底温度控制在400-600℃。
3.按权利要求2所述的一种制备氧化锌同质结p-n结材料的方法,其特征在于制备p-型ZnO和n-型ZnO薄膜中采用的锌源为醋酸锌(Zn(CH3COO)2)或硝酸锌(Zn(NO3)2)或氯化锌(ZnCl2),Zn2+的浓度为0.1~1mol·l-1。
4.按权利要求2所述的一种制备氧化锌同质结p-n结材料的方法,其特征在于制备p-型ZnO和n-型ZnO薄膜中采用铟源为硝酸铟(In(NO3)3)、氯化铟(InCl3)、醋酸铟(In(CH3COO)3),In3+浓度为0.1~1mol·l-1。
5.按权利要求2所述的一种制备氧化锌同质结p-n结材料的方法,其特征在于制备p-型ZnO薄膜中采用氮源为醋酸铵(CH3COONH4)、氨水(NH4OH)、硝酸铵(NH4NO3),NH4+浓度为1~5mol·l-1。
6.按权利要求2所述的一种制备氧化锌同质结p-n结材料的方法,其特征在于氧化锌薄膜沉积时的雾化溶液消耗速率为0.2~2ml/min,氧化锌薄膜的沉积速率为10~40nm/min。
所属领域本发明涉及用于氧化锌基发光二极管(LEDs),激光二极管(LDs)和紫外探测器等光电子器件的氧化锌同质结p-n结材料及其制备方法,属于半导体材料技术领域。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
光屏障以及用于检测对象的方法 | 2021-04-13 | 1 |
电力配电系统 | 2021-02-01 | 1 |
照明单元、投影式显示单元及直视式显示单元 | 2020-12-29 | 1 |
一种实线道路防变线系统 | 2020-12-28 | 1 |
高衍射介质内部隐藏物体成像系统 | 2021-11-14 | 0 |
Optical pickup apparatus | 2023-02-03 | 0 |
GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DIODE, AND METHOD FOR PRODUCING GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DIODE | 2021-10-23 | 0 |
High power optical apparatus employing large-mode-area, multimode, gain-producing optical fibers | 2021-04-11 | 1 |
SHEET LIGHT SOURCE USING LASER DIODE | 2020-11-25 | 1 |
LASER THERAPY APPARATUS AND METHOD | 2020-10-07 | 0 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。