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一种探针台喷墨标记枪

阅读：529发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种探针台喷墨标记枪专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型属于半导体检测的技术领域，涉及一种探针台喷墨标记枪，其包括喷墨枪头、开设于喷墨枪头上的安装槽、设置于安装槽中的盛墨枪头，喷墨枪头上固定连接有安装块，安装槽的侧壁上开设有固定槽，安装块与固定槽滑动插接，固定槽的侧壁上开设有若干定位孔一，安装块上开设有与定位孔一滑动对应的定位孔二，定位孔一、定位孔二中插接有定位杆，定位杆背向定位孔一一端固定连接有端帽，端帽与喷墨枪头的侧壁上固定连接有若干拉紧弹簧，拉紧弹簧沿平行于定位杆的方向设置；本实用新型具有盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率的效果。，下面是一种探针台喷墨标记枪专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种探针台喷墨标记枪，包括喷墨枪头（2）、开设于喷墨枪头（2）上的安装槽（3）、设置于安装槽（3）中的盛墨枪头（5），其特征在于：所述喷墨枪头（2）上固定连接有安装块（7），所述安装槽（3）的侧壁上开设有固定槽（8），所述安装块（7）与固定槽（8）滑动插接，所述固定槽（8）的侧壁上开设有若干定位孔一（9），所述安装块（7）上开设有与定位孔一（9）滑动对应的定位孔二（10），所述定位孔一（9）、定位孔二（10）中插接有定位杆（11），所述定位杆（11）背向定位孔一（9）一端固定连接有端帽（15），所述端帽（15）与喷墨枪头（2）的侧壁上固定连接有若干拉紧弹簧（16），所述拉紧弹簧（16）沿平行于定位杆（11）的方向设置。
2.根据权利要求1所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述端帽（15）背向定位孔二（10）的一端设置有拉板（17），所述拉板（17）沿垂直于定位杆（11）的方向设置，所述定位杆（11）的端部均固定连接于拉板（17）。
3.根据权利要求2所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述拉板（17）背向定位杆（11）一端嵌设有用于拉动拉板（17）的拉环（18）。
4.根据权利要求1所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述定位杆（11）背向端帽（15）一端呈圆弧状设置。
5.根据权利要求1所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述定位杆（11）的侧壁上沿其长度方向开设有导向槽（12），所述定位孔一（9）的侧壁上固定连接有导向块（13），所述导向槽（12）与导向块（13）配合滑动。
6.根据权利要求5所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述导向块（13）的侧壁上嵌设有若干钢珠（14），所述钢珠（14）与导向槽（12）的侧壁贴合滑动。
7.根据权利要求1所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述喷墨枪头（2）的侧壁上铰接有卡环（19），所述卡环（19）与喷墨枪头（2）的侧壁转动贴合，所述卡环（19）的端部固定连接有弹性挤压块（21），所述喷墨枪头（2）的侧壁上开设有与弹性挤压块（21）挤压卡合的卡槽（22）。
8.根据权利要求7所述的一种探针台喷墨标记枪，其特征在于：所述卡环（19）的内壁上固定连接有弹性垫（20），所述弹性垫（20）与喷墨枪头（2）的侧壁转动挤压。

说明书全文

一种探针台喷墨标记枪

技术领域

[0001] 本实用新型涉及半导体检测的技术领域，尤其是涉及一种探针台喷墨标记枪。

背景技术

[0002] 探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫或凸块接触，引出电信号，再配合测试机进行测量

[0003] 目前，公告号为CN102637616的中国专利公开了一种晶圆检测装置及检测方法，它包括承片台，用于承载晶圆；晶圆检测单元，用于检测晶圆中的缺陷晶粒；喷墨单元，根据测试结果在晶圆中缺陷晶粒的表面喷涂上墨滴；墨滴调整单元，所述墨滴调整单元为金属基板、半导体基板或陶瓷基板，用于调整喷墨单元喷涂出的墨滴的尺寸，当喷涂在缺陷晶粒表面的墨滴尺寸不符合规格时，将喷墨单元在所述墨滴调整单元上喷涂墨滴，直到喷涂在所述墨滴调整单元表面的墨滴的尺寸调整到符合规格时，再将喷墨单元移回晶圆的上方或将晶圆移回喷墨单元的下方，使喷墨单元重新根据测试结果在晶圆中缺陷晶粒的表面喷涂上墨滴；墨滴检测单元，用于检测墨滴调整单元表面墨滴的尺寸是否符合规格。

[0004] 参照图1，喷墨单元的主要结构为喷墨标记枪，喷墨标记枪包括驱动杆1、喷墨枪头2，喷墨枪头2上设置有安装槽3，安装槽3上设置有信号挤压杆4和盛墨枪头5，盛墨枪头5中设置有盛墨内腔，盛墨内腔中滑动连接有挤压板，盛墨枪头5背向信号挤压杆4一端贯通连接有喷墨针6。当喷墨枪头2需要喷墨标记时，信号挤压杆4接受到电信号，信号挤压杆4滑动挤压向盛墨枪头5中的挤压板，挤压板在滑动中对盛墨内腔中的墨水进行挤压，墨水由此从喷墨针6中流出。

[0005] 在实际使用过程中，当盛墨枪头中的墨水用完时需要对盛墨枪头进行更换，但是常规的盛墨枪头与驱动杆是通过若干螺丝固定，这种固定方法会导致对盛墨枪头进行更换时，需要旋拧多个螺丝，并且由于喷墨枪头的体积较小，螺丝的体积也因此较小，这就导致了盛墨枪头的更换操作繁琐，影响盛墨枪头的更换效率。实用新型内容

[0006] 本实用新型的目的是提供一种探针台喷墨标记枪，其具有盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率的效果。

[0007] 本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

[0008] 一种探针台喷墨标记枪，包括喷墨枪头、开设于喷墨枪头上的安装槽、设置于安装槽中的盛墨枪头，所述喷墨枪头上固定连接有安装块，所述安装槽的侧壁上开设有固定槽，所述安装块与固定槽滑动插接，所述固定槽的侧壁上开设有若干定位孔一，所述安装块上开设有与定位孔一滑动对应的定位孔二，所述定位孔一、定位孔二中插接有定位杆，所述定位杆背向定位孔一一端固定连接有端帽，所述端帽与喷墨枪头的侧壁上固定连接有若干拉紧弹簧，所述拉紧弹簧沿平行于定位杆的方向设置

[0009] 通过采用上述技术方案，盛墨枪头安装时，拉动端帽，使定位杆滑动至定位孔二中，使安装块滑动插接于固定槽中使定位孔一与定位孔二滑动对齐，松动端帽，定位杆滑动插接于定位孔一、定位孔二中，从而使盛墨枪头固定在喷墨枪头上。当需要对盛墨枪头进行更换时，通过提拉端帽使定位杆滑动脱离定位孔二，从而使盛墨枪头脱离喷墨枪头，这种设置可以使盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率。

[0010] 本实用新型进一步设置为：所述端帽背向定位孔二的一端设置有拉板，所述拉板沿垂直于定位杆的方向设置，所述定位杆的端部均固定连接于拉板。

[0011] 通过采用上述技术方案，拉板的设置可以使操作工人对定位杆进行同时拉动，简化操作流程，使定位杆的移动更方便。

[0012] 本实用新型进一步设置为：所述拉板背向定位杆一端嵌设有用于拉动拉板的拉环。

[0013] 通过采用上述技术方案，拉环的设置便于操作工人对拉板进行拉动，实现单手情况下就可以对定位杆进行移动。

[0014] 本实用新型进一步设置为：所述定位杆背向端帽一端呈圆弧状设置。

[0015] 通过采用上述技术方案，这种设置可以减小定位杆的端部夹角处与定位孔二之间的摩擦力，有利于使定位杆与定位孔二插接更流畅。

[0016] 本实用新型进一步设置为：所述定位杆的侧壁上沿其长度方向开设有导向槽，所述定位孔一的侧壁上固定连接有导向块，所述导向槽与导向块配合滑动。

[0017] 通过采用上述技术方案，导向块与导向槽的滑动配合有利于使定位杆在移动的过程中保持稳定，避免定位杆发生晃动，从而保证定位杆与定位孔二插接更牢固。

[0018] 本实用新型进一步设置为：所述导向块的侧壁上嵌设有若干钢珠，所述钢珠与导向槽的侧壁贴合滑动。

[0019] 通过采用上述技术方案，钢珠可以减小导向块与导向槽之间的摩擦力，有利于使定位杆的滑动更省力，更流畅。

[0020] 本实用新型进一步设置为：所述喷墨枪头的侧壁上铰接有卡环，所述卡环与喷墨枪头的侧壁转动贴合，所述卡环的端部固定连接有弹性挤压块，所述喷墨枪头的侧壁上开设有与弹性挤压块挤压卡合的卡槽。

[0021] 通过采用上述技术方案，当安装块与固定槽插接固定后，转动卡环，使卡环转动卡合在盛墨枪头的侧壁，并通过弹性挤压块与卡槽的插接固定，从而对盛墨枪头进行勒紧，有利于盛墨枪头安装更牢固。

[0022] 本实用新型进一步设置为：所述卡环的内壁上固定连接有弹性垫，所述弹性垫与喷墨枪头的侧壁转动挤压。

[0023] 通过采用上述技术方案，弹性垫的设置可以使卡环与盛墨枪头挤压更紧密。

[0024] 综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

[0025] 1、通过定位杆，拉紧弹簧的设置，可以使盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率；

[0026] 2、通过卡环的设置，可以使卡环转动卡合在盛墨枪头的侧壁，对盛墨枪头进行勒紧，有利于盛墨枪头安装更牢固。附图说明

[0027] 图1是背景技术中标记枪的整体结构示意图；

[0028] 图2是实施例中用于体现标记枪的整体结构示意图；

[0029] 图3是图2中A处放大图的示意图；

[0030] 图4是用于体现安装块内部结构的剖面图示意图；

[0031] 图5是用于体现卡环的结构示意图。

[0032] 图中，1、驱动杆；2、喷墨枪头；3、安装槽；4、挤压杆；5、盛墨枪头；6、喷墨针；7、安装块；8、固定槽；9、定位孔一；10、定位孔二；11、定位杆；12、导向槽；13、导向块；14、钢珠；15、端帽；16、拉紧弹簧；17、拉板；18、拉环；19、卡环；20、弹性垫；21、弹性挤压块；22、卡槽。

具体实施方式

[0033] 以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

[0034] 实施例：一种探针台喷墨标记枪，参照图2和图3，包括喷墨枪头2、开设于喷墨枪头2上的安装槽3、设置于安装槽3中的盛墨枪头5，其中盛墨枪头5的侧壁山固定连接有安装块
7，安装块7呈长方体设置。安装槽3的侧壁上开设于固定槽8，固定槽8的内腔呈长方体设置，安装块7与固定槽8滑动插接。

[0035] 参照图4，固定槽8的侧壁上开设有3个定位孔一9，3个定位孔一9位于同一竖直线上，定位孔一9的内腔呈圆弧状设置，安装块7上开设有3个依次与定位孔一9滑动对齐的定位孔二10，相对应的定位孔一9、定位孔二10中均滑动插接有定位杆11，定位杆11的端部呈圆弧状设置。

[0036] 参照图4，定位杆11的侧壁上沿其长度方向对称开设有导向槽12，导向槽12的内腔呈长方体设置，定位孔一9的侧壁上固定连接有导向块13，导向槽12与导向块13配合滑动。

[0037] 参照图4，导向块13的侧壁上嵌设有若干钢珠14，钢珠14与导向槽12的侧壁贴合滑动。

[0038] 参照图4，定位杆11背向定位孔二10的端面上固定连接有端帽15，端帽15呈圆弧状设置，端帽15与喷墨枪头2的侧壁上固定连接有3根拉紧弹簧16，拉紧弹簧16沿平行于定位杆11的方向设置，拉紧弹簧16等间距环设在定位杆11的侧边。

[0039] 参照图4，端帽15背向定位孔二10的侧壁上固定连接有拉板17，拉板17呈长方体设置，三个端帽15均固定连接于拉板17板面。

[0040] 参照图5，拉板17背向定位杆11一侧侧壁上铰接有拉环18，拉环18位于拉板17的板面中心。

[0041] 参照图5，喷墨枪头2的侧壁上铰接有卡环19，卡环19呈U形设置，环的内壁上固定连接有弹性垫20，弹性垫20与喷墨枪头2的侧壁转动贴合，卡环19背向其与喷墨枪头2铰接处一端固定连接有弹性挤压块21，弹性挤压块21呈长方体设置，喷墨枪头2的侧壁上开设有与弹性挤压块21挤压卡合的卡槽22。

[0042] 具体实施过程：盛墨枪头5安装时，拉动端帽15，使定位杆11滑动至定位孔二10中，使安装块7滑动插接于固定槽8中使定位孔一9与定位孔二10滑动对齐，松动拉环18，定位杆11在拉紧弹簧16的作用下滑动插接于定位孔一9、定位孔二10中，从而使盛墨枪头5固定在喷墨枪头2上，当安装块7与固定槽8插接固定后，转动卡环19，使卡环19转动卡合在盛墨枪头5的侧壁，并通过弹性挤压块21与卡槽22的插接固定，从而对盛墨枪头5进行勒紧；

[0043] 当需要对盛墨枪头5进行更换时，先使卡环19转动脱离盛墨枪头5，再提拉拉环18使定位杆11滑动脱离定位孔二10，从而使盛墨枪头5脱离喷墨枪头2。

[0044] 本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

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