触摸面板
阅读：430发布：2020-05-11
专利汇可以提供触摸面板专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提高触摸面板的检测灵敏度。本发明的一个方式的目的之一是提供一种较薄的触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可弯曲的触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提供一种轻量的触摸面板。本发明的一个方式采用在一对衬底之间包括显示元件及构成触摸 传感器 的电容器的结构。再者，构成电容器的一对导电层优选都包括开口。该开口与显示元件互相重叠。另外，在构成电容器的一对导电层与显示面一侧的衬底之间设置遮光层。，下面是触摸面板专利的具体信息内容。
1.一种触摸面板，包括：
第一衬底；
第二衬底；
具有第一开口的第一导电层；
具有第二开口的第二导电层；
所述第一衬底与所述第二衬底之间的第一发光元件及第二发光元件，所述第一发光元件及所述第二发光元件中的每一个包括第一电极、第二电极及在所述第一电极和所述第二电极之间的EL层；以及
覆盖所述第一发光元件及所述第二发光元件中的每一个的所述第一电极的端部的绝缘层，所述绝缘层具有第三开口和第四开口，
其中，所述第一导电层及所述第二导电层构成电容器，
所述第一开口、第一区域与所述第三开口互相重叠，在所述第一区域处所述第一发光元件的所述第一电极、所述第二电极与所述EL层互相重叠，
所述第二开口、第二区域与所述第四开口互相重叠，在所述第二区域处所述第二发光元件的所述第一电极、所述第二电极与所述EL层互相重叠，
并且，所述第一导电层及所述第二导电层位于所述第二衬底与所述第一发光元件及所述第二发光元件中的至少一个之间。
2.一种触摸面板，包括：
第一衬底；
第二衬底；
具有第一开口的第一导电层；
具有第二开口的第二导电层；
所述第一衬底与所述第二衬底之间的第一发光元件及第二发光元件，所述第一发光元件及所述第二发光元件中的每一个包括第一电极、第二电极及在所述第一电极和所述第二电极之间的EL层；以及
覆盖所述第一发光元件及所述第二发光元件中的每一个的所述第一电极的端部的绝缘层，所述绝缘层具有第三开口和第四开口，
其中，所述第一导电层及所述第二导电层构成电容器，
所述第一开口、第一区域、所述第三开口、第二区域与所述第四开口互相重叠，在所述第一区域处所述第一发光元件的所述第一电极、所述第二电极与所述EL层互相重叠，在所述第二区域处所述第二发光元件的所述第一电极、所述第二电极与所述EL层互相重叠，并且，所述第一导电层及所述第二导电层位于所述第二衬底与所述第一发光元件及所述第二发光元件中的至少一个之间。
3.根据权利要求1或2所述的触摸面板，
其中所述第一导电层及所述第二导电层中的至少一个的时间常数大于0s且为1×10-4s以下。
4.根据权利要求1或2所述的触摸面板，
其中所述第一导电层及所述第二导电层中的至少一个的开口率为20％以上且小于
100％。
5.根据权利要求1或2所述的触摸面板，
其中所述第一导电层与所述第二电极之间的第一距离及所述第二导电层与所述第二电极之间的第二距离中的至少一个为25nm以上且50μm以下。
6.根据权利要求1或2所述的触摸面板，还包括：
第一绝缘层，
其中所述第一导电层与所述第二导电层互相重叠，
并且所述第一绝缘层位于所述第一导电层与所述第二导电层之间。
7.根据权利要求1或2所述的触摸面板，还包括：
第四导电层；以及
具有第三开口的第二绝缘层，
其中所述第四导电层与所述第二导电层互相重叠，
所述第二绝缘层位于所述第一导电层与所述第四导电层之间，
所述第二绝缘层位于所述第二导电层与所述第四导电层之间，
并且所述第一导电层与所述第四导电层通过所述第三开口互相电连接。
8.根据权利要求1或2所述的触摸面板，还包括：
所述第二衬底与所述第一导电层及所述第二导电层中的至少一个之间的遮光层，其中所述第一导电层与所述遮光层互相重叠，
并且所述第二导电层与所述遮光层互相重叠。
9.一种模块，包括：
根据权利要求1或2所述的触摸面板；以及
柔性印刷电路及载带封装中的至少一个。
10.一种电子设备，包括：
根据权利要求1或2所述的触摸面板；以及
电池、天线、框体、操作按钮、外部连接端口、扬声器及麦克风中的至少一个。
触摸面板
技术领域
[0001] 本发明的一个方式涉及一种触摸面板。
背景技术
[0002] 注意，本发明的一个方式不局限于上述技术领域。本说明书等所公开的发明的一个方式涉及一种物体、方法或制造方法。另外，本发明的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(composition of matter)。因此，更具体而言，作为本说明书所公开的本发明的一个方式的技术领域的一个例子可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或制造方法。
[0003] 注意，在本说明书等中，半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。除了晶体管等半导体元件之外，半导体电路、运算装置或存储装置也是半导体装置的一个方式。摄像装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、电光装置、发电装置(包括薄膜太阳能电池、有机薄膜太阳能电池等)及电子设备有时包括半导体装置。
[0004] 近年来，显示装置被期待应用于各种用途，并被要求多样化。例如，作为便携式信息终端，具备触摸面板的智能手机或平板终端的开发正在加速。
[0008] 另外，要求应用了触摸面板的电子设备实现薄型化、轻量化。因此，要求触摸面板自身实现薄型化、轻量化。
[0010] 在此，当采用在显示面板的显示面一侧以重叠有电容式触摸传感器的方式设置触摸面板的结构时，当构成显示面板的像素或布线与构成触摸传感器的电极或布线之间的距离缩小时，触摸传感器容易受驱动显示面板时产生的噪声的影响，其结果是，有时导致触摸面板的检测灵敏度下降。
发明内容
[0011] 本发明的一个方式的目的之一是提高触摸面板的检测灵敏度。本发明的一个方式的目的之一是提供一种较薄的触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可弯曲的触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提供一种轻量的触摸面板。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的触摸面板。
[0012] 本发明的一个方式的目的之一是提供一种新颖的输入装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种新颖的输入输出装置。
[0014] 本发明的一个方式是一种触摸面板，包括第一衬底、第二衬底、第一导电层、第二导电层、第一发光元件、第二发光元件以及遮光层。第一导电层包括第一开口，第二导电层包括第二开口。第一导电层及第二导电层形成电容。第一开口及第一发光元件在一个区域中互相重叠，第二开口及第二发光元件在一个区域中互相重叠。第一导电层及遮光层在一个区域中互相重叠，第二导电层及遮光层在一个区域中互相重叠。第一发光元件及第二发光元件具有位于第一衬底与第二衬底之间的区域。第一导电层及第二导电层具有位于第一发光元件或第二发光元件与第二衬底之间的区域。遮光层具有位于第一导电层或第二导电层与第二衬底之间的区域。
[0015] 在上述方式中，第一导电层或第二导电层的CR值优选大于0s且为1×10-4s以下。
[0016] 另外，在上述方式中，第一导电层或第二导电层优选具有开口率为20％以上且低于100％的区域。
[0017] 另外，在上述方式中，优选的是，触摸面板包括第三导电层，第三导电层比第一导电层或第二导电层更靠近第一衬底，并且包括第一导电层与第三导电层之间的距离或第二导电层与第三导电层之间的距离为25nm以上且50μm以下的区域。
[0018] 另外，在上述方式中，触摸面板包括第三发光元件，第三发光元件具有位于第一衬底与第二衬底之间的区域，第三发光元件及第一开口优选在一个区域中互相重叠。
[0019] 另外，在上述方式中，触摸面板包括第四发光元件，第四发光元件具有位于第一衬底与第二衬底之间的区域，第四发光元件及第二开口优选在一个区域中互相重叠。
[0020] 另外，在上述方式中，触摸面板包括绝缘层，第一导电层及第二导电层在一个区域中互相重叠，绝缘层优选具有位于第一导电层与第二导电层之间的区域。
[0021] 另外，在上述方式中，触摸面板优选包括第四导电层、第五导电层及绝缘层。在此，第四导电层及遮光层在一个区域中互相重叠。第五导电层及遮光层在一个区域中互相重叠。第五导电层及第二导电层在一个区域中互相重叠。绝缘层具有位于第一导电层与第五导电层之间的区域。绝缘层具有位于第二导电层与第五导电层之间的区域。绝缘层具有位于第四导电层与第五导电层之间的区域。绝缘层包括第三开口及第四开口。第一导电层与第五导电层通过第三开口电连接。第四导电层与第五导电层优选通过第四开口电连接。
[0022] 再者，优选包括第五发光元件。此时，第四导电层包括第五开口，第五发光元件具有位于第一衬底与第二衬底之间的区域，第五开口及第五发光元件优选在一个区域中互相重叠。
[0023] 根据本发明的一个方式，能够提高触摸面板的检测灵敏度。另外，能够提供较薄的触摸面板。另外，能够提供可弯曲的触摸面板。另外，能够提供轻量的触摸面板。另外，能够提供可靠性高的触摸面板。
[0024] 另外，能够提供新颖的输入装置。另外，能够提供新颖的输入输出装置。注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。注意，本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。这些效果以外的效果从说明书、附图、权利要求书等的记载是显而易见的，并可以从所述记载中抽出。
附图说明
[0025] 图1A和图1B是根据实施方式的触摸面板模块的结构例子；
[0026] 图2A至图2C是根据实施方式的触摸传感器的结构例子；
[0027] 图3A至图3C是根据实施方式的触摸传感器的结构例子；
[0028] 图4A和图4B是根据实施方式的触摸传感器的结构例子；
[0029] 图5A和图5B是根据实施方式的触摸传感器的结构例子；
[0030] 图6是根据实施方式的触摸传感器的结构例子；
[0031] 图7A至图7G是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0032] 图8是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0033] 图9A至9E是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0034] 图10A和图10B是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0035] 图11A和图11B是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0036] 图12A和图12B是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0037] 图13是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0038] 图14是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0039] 图15是根据实施方式的触摸面板的结构例子；
[0040] 图16A和图16B是根据实施方式的触摸传感器的方框图及时序图；
[0041] 图17是根据实施方式的触摸传感器的电路图；
[0042] 图18A至图18G是根据实施方式的电子设备；
[0043] 图19A至图19I是根据实施方式的电子设备；
[0044] 图20是根据实施例的触摸面板的结构；
[0045] 图21A至图21C是根据实施例的触摸面板的照片；
[0046] 图22是根据实施例的触摸面板的寄生电容及寄生电阻的测定结果。
[0047] 本发明的选择图为图7A至图7G。
具体实施方式
[0048] 参照附图对实施方式进行详细说明。注意，本发明不局限于下面说明，所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实就是其方式及详细内容在不脱离本发明的宗旨及其范围的情况下可以被变换为各种各样的形式。因此，本发明不应该被解释为仅限定在以下所示的实施方式所记载的内容中。
[0049] 注意，在下面说明的发明结构中，在不同的附图中共同使用相同的附图标记来表示相同的部分或具有相同功能的部分，而省略反复说明。此外，当表示具有相同功能的部分时有时使用相同的阴影线，而不特别附加附图标记。
[0050] 注意，在本说明书所说明的各个附图中，有时为了明确起见，夸大表示各构成要素的大小、层的厚度、区域。因此，本发明并不局限于附图中的尺寸。
[0051] 在本说明书等中使用的“第一”、“第二”等序数词是为了避免构成要素的混淆而附记的，而不是为了在数目方面上进行限定的。
[0052] 另外，根据情况或状态，可以互相调换“膜”和“层”。例如，有时可以将“导电层”调换为“导电膜”。另外，有时可以将“绝缘膜”调换为“绝缘层”。
[0053] 实施方式1
[0054] 在本实施方式中，说明本发明的一个方式的触摸面板的结构例子。下面说明作为触摸面板所包括的触摸传感器使用电容式触摸传感器的情况。
[0055] 注意，在本说明书等中，触摸面板具有如下功能：在显示面显示(输出)图像等的功能；以及检测手指或触屏笔等被检测体接触或接近显示面的作为触摸传感器的功能。因此触摸面板是输入输出装置的一个方式。
[0056] 另外，在本说明书等中，有时将在触摸面板的衬底上安装有例如FPC(Flexible printed circuit：柔性印刷电路)或TCP(Tape Carrier Package：载带封装)等连接器的结构或在衬底上以COG(Chip On Glass：玻璃覆晶封装)方式直接安装IC(集成电路)的结构称为触摸面板模块或触摸面板。
[0057] 能够用于本发明的一个方式的电容式触摸传感器包括电容器。电容器例如可以采用隔着介电质设置第一导电层与第二导电层的结构。此时，第一导电层的一部分及第二导电层的一部分分别具有电容器的电极的功能。另外，第一导电层的其他一部分及第二导电层的其他一部分具有布线的功能。
[0058] 作为电容式，有表面电容式和投影电容式等。作为投影电容式，主要根据驱动方法的不同，而将投影电容式分为自电容式、互电容式等。当使用互电容式时，可以进行同时多点检测，所以是优选的。
[0059] 本发明的一个方式的触摸面板在一对衬底之间包括显示元件及构成触摸传感器的电容器。因此，能够实现薄型且轻量的触摸面板。
[0060] 另外，构成电容器的一对导电层优选都包括开口。优选采用该开口与显示元件互相重叠的结构。由此，因为来自显示元件的光通过该开口发射到外部，所以构成电容器的一对导电层不需要具有透光性。也就是说，作为构成电容器的一对导电层的材料，可以使用比透光性导电性材料的电阻低的金属或合金等材料。因此，检测信号的延迟等影响被减少，从而可以提高触摸面板的检测灵敏度。再者，上述结构不仅可以应用于便携式设备，还可以应用于电视等大型显示装置。
[0061] 另外，因为可以将低电阻材料用于一对导电层，所以可以使其线宽极小。也就是说，可以使从显示面一侧观看(俯视)时的一对导电层的表面积小。其结果是，可以抑制驱动像素时产生的噪声的影响，从而可以提高检测灵敏度。再者，即使在构成触摸传感器的电容器及构成像素的显示元件接近地配置且夹在两个衬底之间时，也可以抑制检测灵敏度的降低。因此，可以减小触摸面板的厚度。尤其是，通过将具有柔性的材料用于一对衬底，可以实现薄、轻量且具有柔性的触摸面板。
[0062] 当使用投影电容式触摸传感器时，第一导电层的电阻与电容的积(也称为CR值、时间常数)越小越好。同样地，第二导电层的CR值也越小越好。
[0063] 例如，当使用投影互电容式触摸传感器时，一个导电层被施加脉冲电压，检测流在另一个导电层的电流。此时，检测电流的导电层的CR值越小，越可以使基于触摸动作的有无的电流的变化大。另外，被施加脉冲电压的导电层的CR值越小，脉冲电压的波形的延迟越被抑制，从而可以提高检测灵敏度。
[0064] 另一方面，当使用投影自电容式触摸传感器时，一对导电层都被施加脉冲电压，检测此时流在导电层的电流。因此，导电层的CR值越小，越能够提高检测灵敏度。
[0065] 例如，第一导电层或第二导电层的CR值优选大于0s且为1×10-4s以下，更优选大于0s且为5×10-5s以下，进一步优选大于0s且为5×10-6s以下，还优选大于0s且为5×10-7s以下，也优选大于0s且为2×10-7s以下。尤其是，通过将CR值设定为1×10-6s以下，可以在抑制噪声的影响的同时实现高检测灵敏度。
[0066] 另外，第一导电层或第二导电层优选具有包括多个开口的网格状。此时，第一导电层或第二导电层的开口率(每单位面积的第一导电层或第二导电层的开口面积的比例)优选至少高于触摸面板所包括的像素的开口率。通过使第一导电层或第二导电层的开口率高于像素的开口率，可以防止来自像素的光被第一导电层或第二导电层遮挡的情况。另外，当通过使开口的尺寸较大而提高开口率时，因为第一导电层或第二导电层与被检测体重叠的面积减少，所以有时检测灵敏度下降。因此，优选以开口面积小于被检测体的面积的方式设定开口率及开口图案。
[0067] 例如，第一导电层或第二导电层的开口率优选为20％以上且低于100％，更优选为30％以上且低于100％，更优选为50％以上且低于100％。
[0068] 本发明的一个方式的触摸面板的检测灵敏度高，在驱动显示面板时触摸面板不容易受噪声的影响，所以可以减少触摸面板自身的厚度。例如，可以将构成触摸面板的一对衬底间的距离缩小到50nm以上且100μm以下，优选为200nm以上且50μm以下，更优选为500nm以上且20μm以下。此时，通过将具有柔性的衬底用于一对衬底，可以实现具有柔性且耐弯曲性高的触摸面板。
[0069] 尤其是，优选将第一导电层或第二导电层与位于更靠近设置有显示元件的衬底一侧的导电层之间的距离设定为例如25nm以上且50μm以下，优选为50nm以上且10μm以下，更优选为50nm以上且5μm以下。
[0070] 另外，优选在构成电容器的一对电极与显示面一侧的衬底之间设置遮光层。遮光层例如也可以具有抑制邻接像素间的混色的功能。通过将遮光层配置在比一对电极更靠近显示面，防止该一对电极反射外光，而不会从显示面一侧看到该一对电极，所以能够提高触摸面板的显示质量。
[0071] 在从显示面一侧观看(俯视)时，构成电容器的一对电极及遮光层优选配置在邻接像素间。另外，构成电容器的一对电极的各宽度优选小于遮光层的宽度或两个像素的间隔。
[0072] 下面，参照附图说明本发明的一个方式的更具体的结构例子。
[0073] [结构例子]
[0074] 图1A是本发明的一个方式的触摸面板模块10的透视示意图。另外，图1B是将触摸面板模块10展开时的透视示意图。在触摸面板模块中，触摸传感器模块20与显示面板30重叠。
[0075] 在触摸传感器模块20中，在衬底21上设置有FPC41。在衬底21的显示面板30一侧的面上包括触摸传感器22。触摸传感器22包括导电层23、导电层24及导电层25。此外，触摸传感器模块20包括将上述导电层与FPC41电连接的布线29。FPC41具有对触摸传感器22供应来自外部的信号的功能。或者，FPC41具有将来自触摸传感器22的信号输出到外部的功能。注意，有时将不包括FPC41的衬底简单地称为触摸传感器、触摸传感器衬底或触摸传感器面板。
[0076] 触摸传感器22包括多个导电层23、多个导电层24及多个导电层25。各导电层23具有向一个方向延伸的形状。多个导电层23被配置在与延伸方向交叉的方向上。此外，以位于邻接的两个导电层23之间的方式设置有多个导电层24。导电层25将沿着与导电层23的延伸方向交叉的方向邻接的两个导电层24电连接。也就是说，沿着与导电层23的延伸方向交叉的方向配置的多个导电层24由多个导电层25电连接。
[0077] 在此，导电层23及导电层25在一个区域中互相重叠。导电层23、导电层25以及导电层23与导电层25之间的用作介电质的绝缘层构成电容器11。因此，导电层23及导电层25分别具有用作电容器11的一对电极的部分。
[0078] 注意，虽然在此采用了由导电层25将多个导电层24电连接的结构，但是也可以采用具有与导电层23同样地使导电层24为向一个方向延伸的形状并在导电层23与导电层24之间包括绝缘层的结构，而不设置导电层25。此时，导电层24的一部分被用作电容器11的一个电极。
[0079] 另外，作为导电层23、导电层24、导电层25等导电膜(即，能够用于构成触摸面板的布线及电极的材料)，例如优选使用电阻值低的材料。作为一个例子，可以使用银、铜、铝等金属。再者，可以使用由多个极细(例如，直径为几纳米)的导电体构成的金属纳米线。作为一个例子，可以使用Ag纳米线、Cu纳米线、Al纳米线等。当使用Ag纳米线时，例如可以实现89％以上的光透过率、40Ω/□以上且100Ω/□以下的薄膜电阻值。由于这种金属纳米线的透过率较高，因此也可以对用于显示元件的电极(例如，像素电极或共通电极)使用该金属纳米线。
[0080] 在显示面板30中，在衬底31上包括显示部32。显示部32包括配置为矩阵状的多个像素33。像素33优选包括多个子像素。各子像素包括显示元件。另外，在衬底31上优选包括与显示部32内的像素33电连接的电路34。电路34可以使用例如用作栅极驱动电路的电路。FPC42具有向显示部32和电路34中的至少一个供应来自外部的信号的功能。优选在衬底31或FPC42上安装用作源极驱动电路的IC。可以以COG方式或COF方式将IC安装到衬底31上。或者，可以在衬底31上设置安装有IC的FPC42、TAB或TCP等。另外，有时将在显示面板30上安装有IC或FPC等连接器的物件称为显示面板模块。
[0081] 本发明的一个方式的触摸面板模块可以通过触摸传感器22输出基于进行触摸动作时的电容变化的位置信息。此外，可以通过显示部32显示图像。
[0082] [触摸传感器的结构例子]
[0083] 图2A是示出触摸传感器22的一部分的俯视示意图(平面示意图)。此外，图2B是将图2A中的由点划线圈出的区域放大的俯视示意图。
[0084] 如图2A及图2B所示，导电层23优选以与导电层25交叉的部分的宽度变小的方式具有一部分变细的形状。由此，可以降低电容器11的电容值。例如，当触摸传感器为自电容式时，电容器11的电容值越小，越能够提高检测灵敏度。
[0085] 另外，优选在邻接的导电层23与导电层24之间包括与它们电绝缘的导电层26。通过包括导电层26，可以抑制在触摸传感器22中形成较薄的部分。例如，当导电层23与导电层24形成在同一平面上时，通过设置以同样的方式形成的导电层26，可以提高在这些导电层的形成工序之后形成的薄膜的覆盖性，而可以使表面平坦化。另外，通过使触摸传感器22的厚度均匀，透过触摸传感器22的来自像素的光的亮度不均匀被降低，而可以实现显示质量得到提高的触摸面板。
[0086] 另外，图2C示出在不同的平面上形成导电层23与导电层24并不设置导电层25的情况。此时，导电层26既可以在与导电层23或导电层24相同的平面上形成，又可以在与导电层23或导电层24不同的平面上形成。注意，当无需设置导电层26时，可以不设置。
[0087] 图3A示出包括多个导电层23及多个导电层24的触摸传感器22的电路图的一个例子。虽然在图3A中为简单起见示出了包括6个导电层23及6个导电层24的结构，但是并不局限于该个数。
[0088] 在一个导电层23与一个导电层24之间形成有一个电容器11。因此，电容器11被配置为矩阵状。
[0089] 当触摸传感器为投影自电容式时，分别对导电层23及导电层24以进行扫描的方式供应脉冲电压，并检测此时流在自身中的电流的值。当被检测体接近时该电流的大小产生变化，所以可以通过检测该电流的值的差来获取被检测体的位置信息。此外，当触摸传感器为投影互电容式时，对导电层23和导电层24中的任一个以进行扫描的方式供应脉冲电压，并通过检测流在另一个中的电流获取被检测体的位置信息。
[0090] 导电层23或导电层24的CR值优选大于0s且为1×10-4s以下，更优选大于0s且为5×10-5s以下，更优选大于0s且为5×10-6s以下，更优选大于0s且为5×10-7s以下，更优选大于
0s且为2×10-7s以下。
0s且为2×10-7s以下。
[0091] 导电层23及导电层24优选分别具有包括多个开口的格子状或网状(网格状)。图3B示出导电层23的一部分的顶面形状的例子。
[0092] 图3B所示的导电层23具有包括横方向的间隔P1及纵方向的间隔P2的格子状。虽然在图3B中间隔P1与间隔P2为相同程度，但是也可以互不相同。例如，可以如图3C所示那样使横方向的间隔P1大于纵方向的间隔P2，也可以使纵方向的间隔P2大于横方向的间隔P1。导电层24也是同样的。
[0093] 导电层23或导电层24优选具有其开口率(每单位面积的导电层23或导电层24的开口面积的比例)优选为例如20％以上且低于100％，更优选为30％以上且低于100％，进一步优选为50％以上且低于100％的区域。
[0094] 例如可以由间隔P1、间隔P2及导电层的宽度容易地计算出开口率。或者，在图3B所示的周期单位的区域R中，可以根据区域R的面积与包含在区域R中的导电层23的面积的比计算出开口率。在此，区域R是导电层23的周期性图案的周期单位的区域，通过将区域R周期性地排列在纵方向及横方向上，可以形成导电层23的图案。
[0095] 在导电层23及导电层24中，构成格子的图案的宽度例如优选为50nm以上且100μm以下，更优选为1μm以上且50μm以下，更优选为1μm以上且20μm以下。如此，通过减小构成格子的图案宽度，在如后面所述将开口与像素重叠时，能够缩小像素的间隔，所以能够实现具有更高的清晰度及开口率的触摸面板。
[0096] 图4A是将图2B中的以点划线示出的区域进一步放大的俯视示意图。
[0097] 如图4A所示，导电层23及导电层24优选都具有格子状(也称为网状、网格状)。也就是说，导电层23及导电层24优选都包括多个开口(开口23a及开口24a)。如后面所述，当以互相重叠的方式设置该开口与像素时，来自像素所包括的显示元件的光不被导电层23及导电层24遮挡，或者不发生因光透过导电层23及导电层24而导致的光的亮度降低。其结果是，可以以不使像素的开口率或光提取效率降低的方式在触摸面板中使用触摸传感器22。同样地，导电层25也优选采用不与像素重叠的形状。
[0098] 在图4A所示的结构中，示出导电层24与导电层25通过设置在其间的绝缘层中的开口27电连接的例子。在导电层23与导电层25互相重叠的部分形成有电容器11。
[0099] 如图4A所示，作为与导电层23交叉的导电层25的形状，优选包括两个以上的在与导电层23交叉的方向上具有长边的带状部分。如此，通过设置多个带状部分，可以降低导电层24与导电层25的接触电阻。此外，即使导电层25的一部分断线或发生导电层25与导电层24的连接部接触不良的情况，也可以保持导电层25与导电层24的电连接。尤其是，当弯折来使用触摸面板时，有可能发生这种断线或接触不良等不良现象，所以优选使导电层25为上述形状。
[0100] 图4B示出增大导电层23与导电层25互相重叠的面积的情况的例子。如此，通过使导电层23与导电层25在其交叉的部分以外的部分也重叠，可以增大电容器11的电容值。例如，可以通过调整导电层23与导电层25互相重叠的面积、绝缘层的介电常数或厚度适当地改变电容器11的电容值。
[0101] 另外，图4B示出配置图2A至图2C所示的导电层26的例子。如图4B所示，导电层26优选采用包括多个岛状的图案的结构。
[0102] 另外，图5A示出在图4A所示的结构中不设置导电层25的情况的例子。在图5A中，导电层23与导电层24互相重叠。另外，图5B是在图4B所示的结构中不设置导电层25的情况的例子。
[0103] 图6示出导电层23与导电层24的边界部分的例子。如图6所示，在边界中也可以形成被导电层23的一部分与导电层24的一部分围绕的开口22a。通过采用这种结构，能够使导电层23与导电层24的距离极小，并可以使导电层23与导电层24的互电容大。尤其是，当采用互电容式时，优选使两个导电层的距离小，而提高相互电容。
[0104] [导电层的开口及像素的配置例子]
[0105] 图7A至图9E是示出从显示面一侧观看时的像素及像素所包含的子像素与导电层23的位置关系的示意图。注意，虽然在此以导电层23为例进行说明，但是导电层24及导电层
25也可以采用同样的结构。
25也可以采用同样的结构。
[0106] 图7A示出像素33由子像素33R、子像素33G及子像素33B的三个子像素构成的例子。例如，子像素33R、子像素33G、子像素33B分别具有呈现红色、绿色、蓝色的功能即可。注意，像素33所包括的子像素的个数及子像素的颜色的种类不局限于此。
[0107] 像素33所包含的多个子像素各包括显示元件。作为显示元件，典型地可以举出有机EL元件等发光元件、液晶元件、通过电泳方式或电子粉流体(在日本注册的商标)方式等进行显示的显示元件(也称为电子墨水)、快门方式的MEMS显示元件、光干涉方式的MEMS显示元件等。此外，除了该显示元件，子像素也可以包括晶体管、电容器及将晶体管与电容器电连接的布线等。
[0108] 此外，本实施方式也可以用于透射型液晶显示器、半透射型液晶显示器、反射型液晶显示器、直观型液晶显示器等。注意，当实现半透射型液晶显示器或反射型液晶显示器时，使像素电极的一部分或全部具有反射电极的功能，即可。例如，使像素电极的一部分或全部包含铝、银等，即可。并且，此时也可以将SRAM等存储电路设置在反射电极下。由此可以进一步降低功耗。另外，适用于所采用的显示元件的结构可以从各种像素电路选择而使用。
[0109] 在图7A所示的结构中，导电层23所包括的开口23a与子像素33R、子像素33G及子像素33B的三个子像素互相重叠。如此，导电层23的开口23a优选与一像素33重叠。换言之，像素33的排列的间隔优选与导电层23的晶格的开口的间隔一致。通过采用这种结构，可以使每个像素33的周边部的结构(例如，像素及像素周边的膜结构、构成的膜的厚度或表面的凹凸形状等)相同，所以能够抑制显示不均匀的发生。
[0110] 另外，如图8所示，例如可以采用两个以上的像素33与一开口23a互相重叠的结构。
[0111] 图7B示出一开口23a与一子像素互相重叠的例子。如此，通过采用在俯视图中一像素33中的两个子像素之间配置有导电层23的结构，可以降低导电层23的布线电阻。其结果是，可以提高触摸面板的检测灵敏度。
[0112] 图7C示出图7A所示的结构中的像素33还包括子像素33Y的情况的例子。作为子像素33Y例如可以使用能够呈现黄色的像素。还可以使用能够呈现白色的像素代替子像素33Y。如此，通过采用包括四种颜色以上的子像素的像素33，可以降低功耗。
[0113] 此外，在图7D中，示出一开口23a与一子像素互相重叠的例子。也就是说，示出在俯视图中在邻接的两个子像素之间配置导电层23的例子。注意，虽然未图示，但是也可以采用四个子像素中的两个子像素与一开口23a重叠的结构。
[0114] 虽然在图7A至图7D中示出了将各子像素配置为条纹(stripe)状的例子，但是如图7E至图7G所示，例如也可以采用在一个方向上交替地配置两种颜色的子像素的结构。图7E示出包括四个子像素的像素33与一开口23a互相重叠的结构。此外，图7F示出邻接的两个子像素与一开口23a互相重叠的结构。另外，图7G示出一子像素与一开口23a互相重叠的结构。
[0115] 另外，像素33所包括的子像素的大小(例如有助于显示的区域的面积)也可以不同。例如可以使发光率较低的蓝色的子像素较大，且使发光率较高的绿色或红色的子像素小。
[0116] 图9A及图9B示出子像素33B的尺寸大于子像素33R及子像素33G时的例子。虽然在此示出子像素33R与子像素33G交替地排列的例子，但是也可以采用如图7A等所示的将三个子像素分别配置为条纹状并使三个子像素的大小各不同的结构。
[0117] 图9A示出包括三个子像素的像素33与一开口23a互相重叠的结构。此外，图9B示出一开口23a与一子像素33B互相重叠且其他一开口23a与两个子像素(子像素33R及子像素33G)互相重叠的结构。
[0118] 另外，也可以采用如图9C至图9E所示的像素结构。在此，子像素33B被配置为条纹状，子像素33B的列的两侧交替地配置有子像素33R及子像素33G的列。此外，一子像素33B的两侧分别配置有一子像素33R及一子像素33G。
[0119] 图9C示出六个子像素(各颜色分别有两个)与一开口23a互相重叠的结构。此外，图9D示出三个子像素(各颜色分别有一个)与一开口23a互相重叠的结构。另外，图9E示出一子像素与一开口23a互相重叠的结构。注意，不局限于在此示出的结构，也可以采用邻接的两个以上的子像素与一开口23a互相重叠的结构。
[0120] 注意，如上所述，虽然在此说明了导电层23与子像素的位置关系，但是导电层24及导电层25也是同样的。也就是说，本发明的一个方式的触摸面板包括导电层23的开口23a与一个以上的子像素互相重叠的区域，并且包括导电层24的开口24a与其他一个以上的子像素互相重叠的区域。另外，如上所述，由于各子像素包括显示元件，因此可以说开口23a及开口24a各具有与一个以上的显示元件互相重叠区域。
[0121] [触摸面板所包括的叠层结构]
[0122] 图10A示出从显示面一侧观看触摸面板的一部分时的俯视示意图。图10A示出导电层23、导电层24、导电层25、遮光层53、着色层52R、52G、52B等。
[0123] 图10B示出将图10A所示的叠层结构展开时的示意图。如图10B所示，在衬底21与衬底31之间配置有遮光层53、导电层23、导电层24、绝缘层28、导电层25、着色层52R、52G、52B、显示元件51。
[0124] 注意，下面，在不区分着色层52R、着色层52G、着色层52B而说明它们之间的共同点时，有时将着色层52R、着色层52G、着色层52B只记作着色层52。
[0125] 各着色层52具有使特定波长范围的光透过的功能。在此，着色层52R使红色的光透过，着色层52G使绿色的光透过，着色层52B使蓝色的光透过。通过使显示元件51与着色层52之一互相重叠，可以只使来自显示元件的光中的特定波长范围的光透过到衬底21一侧。
[0126] 遮光层53具有遮挡可见光的功能。遮光层53与邻接的两个着色层52之间的区域重叠。在图10A和图10B中，示出遮光层53具有开口并且该开口与显示元件51及着色层52互相重叠的例子。
[0127] 如图10B所示，遮光层53优选比导电层23、导电层24及导电层25更靠近衬底21。也就是说，遮光层53优选比这些导电层更靠近显示面。并且，遮光层53优选具有分别与导电层23、导电层24及导电层25互相重叠的区域。通过采用这种结构，在从显示面一侧观看时，导电层23、导电层24及导电层25被遮光层53遮挡，所以可以抑制这些导电层被使用者发觉。尤其在作为导电层23、导电层24或导电层25使用金属或合金等反射可见光的材料时是有效的。
[0128] 在图10B所示的结构中，导电层23、导电层25以及夹在它们之间的绝缘层28构成电容器11。另外，夹着导电层23的两个导电层24与导电层25通过设置在绝缘层28中的开口27电连接。
[0129] 另外，在俯视图中，导电层23、导电层24及导电层25优选被设置在邻接的两个显示元件51之间的位置。另外，在俯视图中，导电层23、导电层24及导电层25优选被设置在邻接的两个着色层52之间的位置。注意，当着色层52的面积或显示元件51的面积大于遮光层53的开口的面积时，也可以具有导电层23、导电层24或导电层25的一部分与显示元件51或着色层52重叠的区域。
[0130] 虽然在此示出了着色层52比导电层23等更靠近衬底31的例子，但是也可以使着色层52比导电层23等更靠近衬底21。
[0131] 虽然在图10A和图10B中示出了通过导电层25使夹着导电层23配置的两个导电层24电连接的结构的例子，但是也可以如上述那样不设置导电层25。
[0132] 图11A及图11B示出不包括图10A及图10B中的导电层25及开口27时的结构例子。如图11B所示，导电层23、导电层25以及夹在它们之间的绝缘层28构成电容器11。
[0133] 以上为叠层结构的说明。
[0134] [截面结构例子]
[0135] 下面说明触摸面板模块10的截面结构例子。
[0136] (截面结构例子1)
[0137] 图12A示出本发明的一个方式的触摸面板模块的截面示意图。图12A所示的触摸面板模块在一对衬底之间包括构成触摸传感器的电容器及显示元件，所以可以实现薄型化。
[0138] 触摸面板模块具有由粘合层220贴合衬底21与衬底31的结构。在衬底21上(衬底21的衬底31一侧)设置有构成触摸传感器的导电层23、导电层24、导电层25、绝缘层28等，还设置有接触部253、着色层52、遮光层53等。此外，在衬底31上(衬底31的衬底21一侧)设置有晶体管201、晶体管202、晶体管203、发光元件204、接触部205等。
[0139] 衬底31上隔着粘合层211包括绝缘层212、绝缘层213、绝缘层214、绝缘层215、绝缘层216、绝缘层217、绝缘层218、间隔物219、导电层225等。
[0140] 绝缘层217上设置有发光元件204。发光元件204包括第一电极221、EL层222、第二电极223(参照图12B)。此外，在第一电极221与EL层222之间设置有光学调整层224。绝缘层218覆盖第一电极221及光学调整层224的端部。
[0141] 图12A示出像素33包括用来控制电流的晶体管201及用来控制开关的晶体管202的结构。晶体管201的源极和漏极中的一个通过导电层225与第一电极221电连接。
[0142] 图12A示出在电路34中设置有晶体管203的结构。
[0143] 在图12A中，示出作为晶体管201及晶体管203使用由两个栅电极夹着形成有沟道的半导体层的结构的例子。与其他晶体管相比，这种晶体管能够提高场效应迁移率，而可以增大通态电流(on-state current)。其结果是，可以制造能够高速工作的电路。再者能够缩小电路部的占有面积。通过使用通态电流大的晶体管，即使在使显示面板或触摸面板大型化或高清晰化时布线数增多，也可以降低各布线的信号延迟，而可以抑制显示不均匀。
[0144] 电路34所包括的晶体管与像素33所包括的晶体管也可以具有相同的结构。此外，电路34所包括的晶体管可以都具有相同的结构或不同的结构。另外，像素33所包括的晶体管可以都具有相同的结构或不同的结构。
[0145] 发光元件204是顶部发射结构的发光元件，向第二电极223一侧发射光。通过以与发光元件204的发光区域重叠的方式配置晶体管201、晶体管202、电容器及布线等，可以提高像素33的开口率。
[0146] 间隔物219被设置在绝缘层218上，具有调整衬底31与衬底21的距离的功能。虽然图12A示出了间隔物219与衬底21的保护层267之间有间隙的情况，但是如图13所示那样也可以包括衬底21一侧的结构物的保护层267等与间隔物219上的第二电极223接触的区域。另外，如图13所示，也可以将间隔物219配置在像素33以外的部分，例如与电路34重叠的区域、衬底21或衬底31的周边部等。另外，虽然在此采用将间隔物219形成在衬底31一侧的结构，但是也可以将间隔物219形成在衬底21一侧。例如可以将间隔物219设置在绝缘层266、保护层267、着色层52等的上部。
[0147] 另外，如图14所示，也可以使用粒状的间隔物226代替间隔物219。作为粒状的间隔物226，可以使用具有透光性的材料或具有光吸收性的材料。另外，作为间隔物226，虽然可以使用二氧化硅等材料，但是优选使用有机树脂或橡胶等具有弹性的材料。图14示出具有弹性的间隔物226被上下挤压而变形的状态。
[0148] 衬底21的衬底31一侧隔着粘合层261包括绝缘层262、遮光层53、绝缘层264、导电层23、导电层24、绝缘层28、导电层25、绝缘层266、着色层52等。此外，还可以包括覆盖着色层52的保护层267。
[0149] 遮光层53比绝缘层262更靠近衬底31一侧。遮光层53具有开口，该开口与发光元件204的发光区域重叠。
[0150] 作为能够用于遮光层53的材料，可以举出碳黑、金属氧化物或包含多个金属氧化物的固溶体的复合氧化物等。另外，优选对遮光层53使用包含着色层52的材料的膜的叠层膜。例如，对各着色层使用包含丙烯酸树脂的材料，可以采用包含用于使红色的光透过的着色层52R的材料的膜与包含用于使蓝色的光透过的着色层52B的材料的膜的叠层结构。通过使着色层52与遮光层53的材料相同，可以使用相同的装置，因此可以降低制造成本。
[0151] 例如作为能够用于着色层52的材料，可以举出金属材料、树脂材料、包含颜料或染料的树脂材料等。
[0152] 以覆盖遮光层53的方式设置有绝缘层264。绝缘层264也可以具有平坦化膜的功能。当作为遮光层53使用耐热性低的材料时，若作为绝缘层264使用有机绝缘材料，则可以以低温形成平坦性高的层，所以是优选的。另外，若作为绝缘层264使用无机绝缘材料，则可以将其用作在对导电层23及导电层24进行加工时的蚀刻阻挡层，所以是优选的。
[0153] 导电层23及导电层24各覆盖绝缘层264的一部分。导电层23及导电层24具有与遮光层53互相重叠的区域。此外，图12A示出像素33的区域的一部分中设置有导电层24的例子。导电层24所包括的开口24a与发光元件204在一个区域中互相重叠。另外，在像素33中，导电层24围绕发光元件204的发光区域。因此，导电层24也可以具有与例如间隔物219、绝缘层218、导电层225、晶体管201、晶体管202或与各晶体管电连接的布线等互相重叠的区域。导电层23及导电层25也是同样的。
[0154] 图12A示出使用同一导电膜形成导电层23及导电层24的例子。因为导电层23及导电层24形成在显示区域整体中，所以通过使用同一工序形成导电层23及导电层24，可以减少显示不均匀。
[0155] 绝缘层28具有电容器11的介电质的功能。图12A示出将无机绝缘材料用于绝缘层28的情况的例子。通过作为绝缘层28使用无机绝缘材料，容易将其厚度形成得均匀，并且与有机绝缘材料相比容易形成得薄，所以可以减少电容器11的电容值的偏差。此外，与绝缘层
264同样，也可以将绝缘层28用作在对导电层25进行加工时的蚀刻阻挡层。也可以将有机绝缘材料用于绝缘层28，在该情况下，因为可以将耐热性低的材料用在比绝缘层28更靠近衬底21一侧，所以可以扩大材料选择的范围。
264同样，也可以将绝缘层28用作在对导电层25进行加工时的蚀刻阻挡层。也可以将有机绝缘材料用于绝缘层28，在该情况下，因为可以将耐热性低的材料用在比绝缘层28更靠近衬底21一侧，所以可以扩大材料选择的范围。
[0156] 导电层25覆盖绝缘层28的一部分。导电层25与遮光层53互相重叠。导电层25的一部分具有与导电层23互相重叠区域。此外，导电层25具有通过设置在绝缘层28中的开口将位于导电层23两侧的两个导电层24电连接的功能。
[0157] 另外，以覆盖导电层25及绝缘层28的方式设置有绝缘层266，以覆盖绝缘层266的一部分的方式设置有着色层52。此外，也可以以覆盖着色层52的方式设置有保护层267。
[0158] 绝缘层266优选具有作为平坦化层的功能，可以适当地使用有机绝缘材料形成。或者，可以使用平坦性高的无机绝缘材料。由于可以通过使用绝缘层266使着色层52的表面平坦化来减少着色层52的厚度的不均匀，因此可以实现显示质量高的触摸面板。
[0159] 当将具有柔性的衬底用于衬底21和衬底31之中的至少一个时，可以实现薄型且轻量的触摸面板。当将具有柔性的衬底用于双方时，可以实现柔性触摸面板。
[0160] 另外，图12A和图12B所示的触摸面板使用滤色片方式。例如，着色层52可以采用R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)三种颜色的像素呈现一个颜色的结构。另外，也可以采用除上述颜色之外还使用W(白色)或Y(黄色)的像素的结构。
[0161] 此外，作为发光元件204所包括的EL层222，优选使用发射白色光的EL层。通过采用这种发光元件204，不需要对各像素分别设置EL层222，由此不仅能够降低成本，并能够更容易地实现高清晰化。另外，通过根据各像素分别改变光学调整层224的厚度，可以取出适合各像素的波长的光，从而能够提高色纯度。注意，可以具有对各像素分别设置EL层222的结构，此时也可以不使用光学调整层224。
[0162] 开口设置在位于与衬底31上的接触部205重叠的区域的各绝缘层等中，并通过配置于该开口中的连接层260使接触部205与FPC41电连接。另外，在位于与衬底21重叠的区域的各绝缘层中设置开口，并通过配置于该开口中的连接层210使接触部253与FPC42电连接。
[0163] 另外，如图13或图14所示，也可以采用FPC41及连接层260不与衬底21及设置在衬底21上的绝缘层等重叠的结构。同样地，图13及图14示出FPC42及连接层210不与衬底31及设置在衬底31上的绝缘层等重叠的结构。
[0164] 在图12A中，接触部205包括通过对同样用于晶体管的源电极及漏电极的导电膜进行加工而形成的导电层。另外，接触部253具有叠层结构，层叠有对同样用于导电层23及导电层24的导电膜进行加工而形成的导电层以及对同样用于导电层25的导电膜进行加工而形成的导电层。如此，通过层叠多个导电层构成接触部，能够降低电阻并提高机械强度，所以是优选的。
[0165] 此外，图12A示出交叉部206的截面结构的一个例子，在该交叉部206中，对同样用于晶体管的栅电极的导电膜进行加工而形成的布线与对同样用于晶体管的源电极及漏电极的导电膜进行加工而形成的布线交叉。
[0166] 作为连接层210或连接层260，可以使用各向异性导电膜(ACF：Anisotropic Conductive Film)、各向异性导电膏(ACP：Anisotropic Conductive Paste)等。
[0167] 绝缘层212及绝缘层262优选使用水或氢等杂质不容易扩散的材料。即，可以将绝缘层212及绝缘层262用作阻挡膜。通过采用这种结构，即便作为衬底21或衬底31使用具有透湿性的材料，也能够有效地抑制杂质从外部扩散到发光元件204或各晶体管中，从而能够实现可靠性高的触摸面板。
[0168] 在此，优选将导电层23和导电层24(或导电层25)中的更靠近显示面板(即，设置有显示元件的衬底一侧)的导电层与比该导电层更靠近显示面板且离该导电层(导电层23和导电层24(或导电层25))最近的导电层之间的距离设定为例如25nm以上且100μm以下，优选为50nm以上且10μm以下，更优选为50nm以上且5μm以下。
[0169] 在图12A所示的例子中，在比位于像素33的区域的导电层24更靠近显示面板的导电层中，离导电层24最近的导电层是发光元件204的第二电极223。此时，以D表示导电层24与第二电极223的距离。距离D越小，越可以使一对衬底间的距离小，而可以使触摸面板的厚度薄。尤其是，通过将具有柔性的衬底用于一对衬底，可以实现具有柔性且弯曲耐性高的触摸面板。
[0170] 注意，比导电层23或导电层24更靠近显示面板的导电层中的离导电层23或导电层24最近的导电层不局限于第二电极223，也有是其他导电层的情况。例如当在导电层23或导电层24与第二电极223之间包括其他导电层时，使导电层23或导电层24与该导电层之间的距离在上述的范围内即可。例如，为了在形成粘合层220时提高润湿性或紧密性，可以在绝缘层266上设置导电层。
[0171] [各构成要素]
[0172] 下面，说明上述的各构成要素。
[0173] 晶体管包括：用作栅电极的导电层；半导体层；用作源电极的导电层；用作漏电极的导电层；以及用作栅极绝缘层的绝缘层。图12A示出采用底栅结构晶体管的情况。
[0174] 注意，对本发明的一个方式的触摸面板中的晶体管的结构没有特别的限制。例如，可以采用交错型晶体管或反交错型晶体管。此外，还可以采用顶栅型或底栅型的晶体管结构。对用于晶体管的半导体材料没有特别的限制，例如可以举出氧化物半导体、硅、锗等。
[0175] 对用于晶体管的半导体材料的结晶性也没有特别的限制，可以使用非晶半导体或具有结晶性的半导体(微晶半导体、多晶半导体、单晶半导体或其一部分具有结晶区域的半导体)。当使用具有结晶性的半导体时可以抑制晶体管的特性劣化，所以是优选的。
[0176] 另外，作为用于晶体管的半导体材料，例如可以将14族元素、化合物半导体或氧化物半导体用于半导体层。典型的是，可以使用包含硅的半导体、包含砷化镓的半导体或包含铟的氧化物半导体等。
[0177] 尤其优选将氧化物半导体用于晶体管的形成有沟道的半导体。尤其优选使用其带隙比硅宽的氧化物半导体。通过使用带隙比硅宽且载流子密度比硅小的半导体材料，可以降低晶体管的关态电流(off-state current)，所以是优选的。
[0178] 例如，上述氧化物半导体优选至少包含铟(In)或锌(Zn)。更优选的是，氧化物半导体包含以In-M-Zn类氧化物(M是Al、Ti、Ga、Ge、Y、Zr、Sn、La、Ce或Hf等金属)表示的氧化物。
[0179] 尤其作为半导体层，优选使用如下氧化物半导体膜：具有多个结晶部，该结晶部的c轴朝向大致垂直于形成有半导体层的表面或半导体层的顶面的方向，并且在相邻的结晶部间不具有晶界。
[0180] 这种氧化物半导体因为不具有晶界，所以抑制使显示面板弯曲时的应力导致裂缝产生在氧化物半导体膜中的情况。因此，可以将这种氧化物半导体适用于将其弯折而使用的柔性触摸面板等。
[0181] 另外，通过作为半导体层使用这种氧化物半导体，可以实现一种电特性变动得到抑制的可靠性高的晶体管。
[0182] 另外，由于其关态电流较低，因此能够长期间保持经过晶体管而储存于电容器中的电荷。通过将这种晶体管用于像素，能够在保持各显示区域所显示的图像的灰度的状态下，停止驱动电路。其结果是，可以实现功耗极小的显示装置。
[0183] 或者，优选将硅用于形成有沟道的半导体。虽然作为硅也可以使用非晶硅，但尤其优选使用具有结晶性的硅。例如，优选使用微晶硅、多晶硅、单晶硅等。尤其是多晶硅与单晶硅相比可以在低温下形成，且与非晶硅相比具有高电子场效应迁移率以及高可靠性。通过将这种多晶半导体用于像素，可以提高像素的开口率。另外，即便在包括分辨率极高的像素的情况下，也能够在与像素相同的衬底上形成栅极驱动电路以及源极驱动电路，从而能够减少构成电子设备的构件数量。
[0184] 作为可用于晶体管的栅极、源极及漏极和构成触摸面板的各种布线及电极等导电层的材料，可以使用铝、钛、铬、镍、铜、钇、锆、钼、银、钽或钨等金属或者以上述金属为主要成分的合金的单层或叠层。例如，可以举出包含硅的铝膜的单层结构、在钛膜上层叠铝膜的两层结构、在钨膜上层叠铝膜的两层结构、在铜-镁-铝合金膜上层叠铜膜的两层结构、在钛膜上层叠铜膜的两层结构、在钨膜上层叠铜膜的两层结构、依次层叠钛膜或氮化钛膜、铝膜或铜膜以及钛膜或氮化钛膜的三层结构、以及依次层叠钼膜或氮化钼膜、铝膜或铜膜以及钼膜或氮化钼膜的三层结构等。另外，也可以使用包含氧化铟、氧化锡或氧化锌的透明导电材料。另外，通过使用包含锰的铜，可以提高蚀刻时的形状的控制性，所以是优选的。
[0185] 另外，作为具有透光性的导电性材料，可以使用氧化铟、铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化锌、添加镓的氧化锌等导电性氧化物或石墨烯。或者，可以使用金、银、铂、镁、镍、钨、铬、钼、铁、钴、铜、钯或钛等金属材料、包含该金属材料的合金材料。或者，还可以使用该金属材料的氮化物(例如，氮化钛)等。另外，当使用金属材料、合金材料(或者它们的氮化物)时，将其形成得足够薄，以具有透光性，即可。此外，可以将上述材料的叠层膜用作导电层。例如，通过使用银和镁的合金与铟锡氧化物的叠层膜等，可以提高导电性，所以是优选的。
[0186] 作为可用于各绝缘层、保护层267、间隔物219等的绝缘材料，例如可以使用丙烯酸树脂或环氧树脂等树脂、具有硅氧烷键的树脂、无机绝缘材料如氧化硅、氧氮化硅、氮氧化硅、氮化硅或氧化铝等。
[0187] 另外，如上所述，发光元件优选设置于一对透水性低的绝缘膜之间。由此，能够抑制水等杂质侵入发光元件，从而能够抑制发光装置的可靠性下降。
[0188] 作为透水性低的绝缘膜，可以举出氮化硅膜、氮氧化硅膜等含有氮及硅的膜以及氮化铝膜等含有氮及铝的膜等。另外，也可以使用氧化硅膜、氧氮化硅膜以及氧化铝膜等。
[0189] 例如，将透水性低的绝缘膜的水蒸气透过量设定为1×10-5[g/(m2·day)]以下，优选为1×10-6[g/(m2·day)]以下，更优选为1×10-7[g/(m2·day)]以下，进一步优选为1×10-8[g/(m2·day)]以下。
[0191] EL层222至少包括发光层。作为发光层以外的层，EL层222也可以还包括包含空穴注入性高的物质、空穴传输性高的物质、空穴阻挡材料、电子传输性高的物质、电子注入性高的物质或双极性的物质(电子传输性及空穴传输性高的物质)等的层。
[0193] 当作为发光元件204使用白色发光的发光元件时，优选使EL层222包含两种以上的发光物质。例如通过以两个以上的发光物质的各发光成为互补色关系的方式选择发光物质，可以获得白色发光。例如，优选包含如下发光物质中的两个以上：各呈现R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)、Y(黄色)、O(橙色)等发光的发光物质及呈现包含R、G、B中的两种以上的颜色的光谱成分的发光的发光物质。另外，优选使用来自发光元件204的发光的光谱在可见光区域的波长(例如350nm至750nm)的范围内具有两个以上的峰值的发光元件。另外，在黄色的波长范围中具有峰值的材料的发射光谱优选是在绿色及红色的波长范围具有光谱成分的材料。
[0194] 更优选的是，EL层222优选采用叠层结构，该叠层为包含发射一种颜色的光的发光材料的发光层与发射其他颜色的发光材料的发光层的叠层。例如，EL层222中的多个发光层既可以互相接触而层叠，又可以隔着分离层层叠。例如，可以在荧光发光层与磷光发光层之间设置分离层。
[0195] 分离层例如可以用来防止能量从在磷光发光层中生成的磷光材料等的激发态到荧光发光层中的荧光材料等的通过Dexter机理的移动(尤其是三重态能量移动)。分离层具有几nm左右的厚度即可。具体而言，为0.1nm以上且20nm以下、1nm以上且10nm以下或1nm以上且5nm以下。分离层包含单体材料(优选为双极性的物质)或多个材料(优选为空穴传输性材料及电子传输性材料)。
[0196] 分离层也可以使用与该分离层接触的发光层所包含的材料来形成。由此，发光元件的制造变得容易，另外，驱动电压被降低。例如，当磷光发光层由主体材料、辅助材料及磷光材料(客体材料)构成时，分离层也可以由该主体材料及辅助材料形成。换言之，在上述结构中，分离层具有不包含磷光材料的区域，磷光发光层具有包含磷光材料的区域。由此，可以根据磷光材料的有无分别蒸镀分离层及磷光发光层。另外，通过采用这种结构，可以在同一处理室中形成分离层及磷光发光层。由此，可以降低制造成本。
[0197] 另外，发光元件204既可以是包括一个EL层的单元件，又可以是隔着电荷产生层层叠有多个EL层的串联元件。
[0198] [制造方法实例]
[0199] 在此，对具有柔性的触摸面板的制造方法进行说明。
[0200] 在此，为了方便起见，将包括像素或电路的结构、包括滤色片等光学构件的结构或包括触摸传感器的结构称为元件层。元件层例如包括显示元件，除了显示元件以外还可以具备与显示元件电连接的布线、用于像素或电路的晶体管等元件。
[0201] 在此，将具备形成有元件层的绝缘表面的支撑体(例如，衬底21或者衬底31)称为基材。
[0202] 作为在具备绝缘表面的柔性基材上形成元件层的方法，可以举出：在基材上直接形成元件层的方法；以及在具有刚性的支撑基材上形成元件层后，将元件层从支撑基材剥离并将元件层转置于基材的方法。
[0203] 当构成基材的材料对元件层的形成工序中的加热具有耐热性时，若在基材上直接形成元件层，工序则被简化，所以是优选的。此时，若在将基材固定于支撑基材的状态下形成元件层，装置内及装置之间的搬运则变得容易，所以是优选的。
[0204] 另外，当采用在将元件层形成在支撑基材上后将其转置于基材的方法时，首先在支撑基材上层叠剥离层和绝缘层，在该绝缘层上形成元件层。接着，将元件层从支撑基材剥离，并将元件层转置于基材。此时，只要选择在支撑基材与剥离层的界面、剥离层与绝缘层的界面或剥离层中产生剥离的材料即可。
[0205] 例如，优选的是，作为剥离层使用包含钨等高熔点的金属材料的层与包含该金属材料的氧化物的层的叠层，并且在剥离层上层叠多个氮化硅层或氧氮化硅层。当使用高熔点的金属材料时，可以提高元件层的形成工序的自由度，所以是优选的。
[0206] 可以通过施加机械力量、对剥离层进行蚀刻或者使液体滴落到剥离界面的一部分并使其渗透整个剥离界面等来进行剥离。或者，也可以利用热膨胀系数的差异对剥离界面进行加热来进行剥离。
[0207] 另外，当能够在支撑基材与绝缘层的界面进行剥离时，可以不设置剥离层。例如，也可以作为支撑基材使用玻璃，作为绝缘层使用聚酰亚胺等有机树脂，使用激光等对有机树脂的一部分局部性地进行加热来形成剥离的起点，由此在玻璃与绝缘层的界面进行剥离。或者，也可以在支撑基材与由有机树脂构成的绝缘层之间设置金属层，通过使电流流过该金属层对该金属层进行加热，由此在该金属层与绝缘层的界面进行剥离。此时，可以将由有机树脂构成的绝缘层用作基材。
[0208] 作为具有柔性的基材，例如可以举出如下材料：聚酯树脂诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等、聚丙烯腈树脂、聚酰亚胺树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚碳酸酯(PC)树脂、聚醚砜(PES)树脂、聚酰胺树脂、环烯烃树脂、聚苯乙烯树脂、聚酰胺酰亚胺树脂或聚氯乙烯树脂等。尤其优选使用热膨胀系数低的材料，例如，可以使用热膨胀系数为30×10-6/K以下的聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰亚胺树脂、PET等。另外，也可以使用将树脂浸渗于纤维体中的衬底(也称为预浸料)或将无机填料混合到有机树脂中来降低热膨胀系数的衬底。
[0209] 当上述材料中含有纤维体时，作为纤维体使用有机化合物或无机化合物的高强度纤维。具体而言，高强度纤维是指拉伸弹性模量或杨氏模量高的纤维。其典型例子为聚乙烯醇类纤维、聚酯类纤维、聚酰胺类纤维、聚乙烯类纤维、芳族聚酰胺类纤维、聚对苯撑苯并双噁唑纤维、玻璃纤维或碳纤维。作为玻璃纤维可以举出使用E玻璃、S玻璃、D玻璃、Q玻璃等的玻璃纤维。将上述纤维体以织布或无纺布的状态使用，并且，也可以使用在该纤维体中浸渗树脂并使该树脂固化而成的结构体作为柔性衬底。通过作为具有柔性的衬底使用由纤维体和树脂构成的结构体，可以提高耐弯曲或局部挤压所引起的破损的可靠性，所以是优选的。
[0211] 例如，在图12A的结构中，在第一支撑基材上依次形成第一剥离层、绝缘层262后，形成在这些层上的结构物。除此之外，在第二支撑基材上依次形成第二剥离层、绝缘层212后，形成在这些层上的结构物。接着，将第一支撑基材与第二支撑基材由粘合层220贴合。然后，在第二剥离层与绝缘层212的界面进行剥离而去除第二支撑基材及第二剥离层，并将绝缘层212与衬底31由粘合层211贴合。另外，在第一剥离层与绝缘层262的界面进行剥离而去除第一支撑基材及第一剥离层，并将绝缘层262与衬底21由粘合层261贴合。注意，剥离及贴合从哪一侧开始都可以。
[0212] 以上是柔性触摸面板的制造方法的说明。
[0213] [截面结构实例2]
[0214] 图15示出其结构的一部分与图12A不同的截面结构实例。另外，下面省略与上述重复的部分的说明，只说明不同之处。
[0215] 图15示出没有设置导电层25的结构的例子。导电层24覆盖绝缘层28的一部分。导电层23与导电层24在一个区域中互相重叠，在该区域形成有电容器11。
[0216] 另外，图15示出连接部272的截面结构，在连接部272中，导电层24通过设置在绝缘层28中的开口与通过对用于形成导电层23的导电膜进行加工而成的布线电连接。
[0217] 另外，图15示出独立地形成各像素中的EL层222的例子。EL层222例如可以包括包含发射一种颜色的光的发光材料的发光层。此外，图15所示的发光元件204不包括图12B所示的光学调整层224。再者，图15示出不包括着色层52的结构。独立地形成各像素中的发光元件204所包括的EL层222，当发光元件204呈现色纯度高的发光时，如上所述可以简化结构，所以是优选的。
[0218] 在此，优选将导电层23和导电层24中的更靠近显示面板的导电层与比该导电层更靠近显示面且离该导电层(导电层23和导电层24)最近的导电层之间的距离设定为例如25nm以上且100μm以下，优选为50nm以上且10μm以下，更优选为50nm以上且5μm以下。
[0219] 在图15所示的例子中，在比导电层24更靠近显示面板的导电层中，离导电层24最近的导电层是发光元件204的第二电极223。此时，导电层24与第二电极223的距离D越小，越可以使一对衬底间的距离小，而可以使触摸面板的厚度薄。尤其是，通过将具有柔性的衬底用于一对衬底，可以实现具有柔性且耐弯曲性高的触摸面板。
[0220] 以上是截面结构实例2的说明。
[0221] 注意，虽然在本实施方式中示出了包括支撑触摸传感器的衬底和支撑显示元件的衬底的两个衬底的结构，但不局限于此。例如，可以采用具有三个衬底的结构，其中由两个衬底夹着显示元件，并将支撑触摸传感器的衬底贴合于其。还可以采用具有四个衬底的结构，其中将由两个衬底夹着的显示元件和由两个衬底夹着的触摸传感器贴合在一起。
[0222] 本实施方式可以与本说明书所记载的其他实施方式适当地组合而实施。
[0223] 实施方式2
[0224] 在本实施方式中，参照附图对本发明的一个方式的触摸面板的驱动方法的例子进行说明。
[0225] [传感器的检测方法的例子]
[0226] 图16A是示出互电容式的触摸传感器的结构的方框图。在图16A中，示出脉冲电压输出电路601、电流检测电路602。另外，在图16A中，以X1至X6的6个布线表示被施加有脉冲电压的电极621，并以Y1至Y6的6个布线表示检测电流的变化的电极622。此外，在图16A中，图示由于使电极621与电极622重叠而形成的电容603。注意，电极621与电极622的功能可以互相调换。
[0227] 脉冲电压输出电路601是用来依次将脉冲施加到X1至X6的布线的电路。通过对X1至X6的布线施加脉冲电压，在形成电容603的电极621与电极622之间产生电场。通过利用因该产生于电极之间的电场被遮蔽等而产生的电容603的互电容变化，可以检测被检测体的接近或接触。
[0228] 电流检测电路602是用来检测电容603的互电容变化所引起Y1至Y6的布线的电流变化的电路。在Y1至Y6的布线中，如果没有被检测体的接近或接触，则所检测的电流值没有变化，另一方面，在由于所检测的被检测体的接近或接触而互电容减少的情况下，检测到电流值减少的变化。另外，通过积分电路等检测电流即可。
[0229] 接着，图16B示出图16A所示的互电容式触摸传感器中的输入/输出波形的时序图。在图16B中，在一个帧期间中进行各行列中的被检测体的检测。另外，在图16B中，示出没有检测出被检测体(未触摸)和检测出被检测体(触摸)的两种情况。此外，关于Y1至Y6的布线，示出对应于所检测出的电流值的电压值的波形。
[0230] 依次对X1至X6的布线施加脉冲电压，Y1至Y6的布线的波形根据该脉冲电压变化。当没有被检测体的接近或接触时，Y1至Y6的波形根据X1至X6的布线的电压变化产生变化。
另一方面，在有被检测体接近或接触的部位电流值减少，因而与其相应的电压值的波形也产生变化。
另一方面，在有被检测体接近或接触的部位电流值减少，因而与其相应的电压值的波形也产生变化。
[0231] 如此，通过检测互电容的变化，可以检测被检测体的接近或接触。
[0232] 另外，脉冲电压输出电路601及电流检测电路602优选以一体化的IC的形态安装在触摸面板中或安装在电子设备的框体内的衬底中。在具有柔性的触摸面板中，弯曲部分的寄生电容增大，有噪声的影响变大的担忧，所以优选使用应用了不容易受噪声的影响的驱动方法的IC。例如优选使用应用了提高信噪比(S/N比)的驱动方法的IC。
[0233] 另外，作为触摸传感器，图16A虽然示出在布线的交叉部只设置电容603的无源矩阵方式触摸传感器的结构，但是也可以采用具备晶体管和电容的有源矩阵方式触摸传感器。图17示出有源矩阵方式触摸传感器所包括的一个传感器电路的例子。
[0234] 传感器电路包括电容603、晶体管611、晶体管612及晶体管613。对晶体管613的栅极施加信号G2，对源极和漏极中的一个施加电压VRES，并且另一个与电容603的一个电极及晶体管611的栅极电连接。晶体管611的源极和漏极中的一个与晶体管612的源极和漏极中的一个电连接，对另一个施加电压VSS。对晶体管612的栅极施加信号G1，源极和漏极中的另一个与布线ML电连接。对电容603的另一个电极施加电压VSS。
[0235] 接着，对传感器电路的工作进行说明。首先，通过作为信号G2施加使晶体管613成为开启状态的电位，与晶体管611的栅极连接的节点n被施加对应于电压VRES的电位。接着，通过作为信号G2施加使晶体管613成为关闭状态的电位，节点n的电位得到保持。
[0236] 接着，由于手指等被检测体的接近或接触，电容603的互电容产生变化，而节点n的电位随其由VRES变化。
[0237] 读出工作对信号G1施加使晶体管612成为开启状态的电位。流过晶体管611的电流，即流过布线ML的电流根据节点n的电位而产生变化。通过检测该电流，可以检测出被检测体的接近或接触。
[0238] 作为晶体管611、晶体管612及晶体管613，优选使用将氧化物半导体用于形成有其沟道的半导体层的晶体管。尤其是通过将这种晶体管用于晶体管613，能够使节点n的电位长期间被保持，由此可以减少对节点n再次供应VRES的工作(刷新工作)频度。
[0239] 本实施方式的至少一部分可以与本说明书所记载的其他实施方式适当地组合而实施。
[0240] 实施方式3
[0241] 在本实施方式中，参照图18A至图18G以及图19A至图19I说明能够使用本发明的一个方式制造的电子设备以及照明装置。
[0242] 本发明的一个方式的触摸面板具有柔性。因此，可以将本发明的一个方式的触摸面板适当地应用于具有柔性的电子设备及照明装置。此外，通过使用本发明的一个方式，可以制造可靠性高且能够承受反复弯曲的电子设备及照明装置。
[0243] 作为电子设备，例如可以举出电视装置(也称为电视或电视接收机)、用于计算机等的显示器、数码相机、数码摄像机、数码相框、移动电话机(也称为移动电话、移动电话装置)、便携式游戏机、便携式信息终端、音频播放装置、弹珠机等大型游戏机等。
[0244] 此外，由于本发明的一个方式的触摸面板具有柔性，因此也可以将该装置沿着房屋及高楼的内壁或外壁、汽车的内部装饰或外部装饰的曲面组装。
[0245] 本发明的一个方式的电子设备也可以包括触摸面板及二次电池。此时，优选的是能够使用非接触电力传输对二次电池充电。
[0246] 作为二次电池，例如可以举出使用凝胶电解质的锂聚合物电池(锂离子聚合物电池)等锂离子二次电池、锂离子电池、镍氢电池、镍镉电池、有机自由基电池、铅蓄电池、空气二次电池、镍锌电池、银锌电池等。
[0247] 本发明的一个方式的电子设备也可以包括触摸面板及天线。通过用天线接收信号，可以在显示部显示图像或信息等。此外，在电子设备包括二次电池时，也可以使用天线进行非接触电力传输。
[0248] 图18A示出移动电话机的一个例子。移动电话机7400除了组装在框体7401的显示部7402之外还具备操作按钮7403、外部连接端口7404、扬声器7405、麦克风7406等。另外，将本发明的一个方式的触摸面板用于显示部7402来制造移动电话机7400。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种具备弯曲的显示部且可靠性高的移动电话机。
[0249] 在图18A所示的移动电话机7400中，通过用手指等触摸显示部7402可以输入信息。此外，通过用手指等触摸显示部7402可以进行打电话或输入文字等所有操作。
[0250] 此外，通过操作按钮7403的操作，可以切换电源的开启及关闭或切换显示在显示部7402的图像的种类。例如，可以将电子邮件的编写画面切换为主菜单画面。
[0252] 便携式信息终端7100可以执行移动电话、电子邮件、文章的阅读及编辑、音乐播放、网络通信、电脑游戏等各种应用程序。
[0253] 显示部7102的显示面是弯曲的，能够沿着弯曲的显示面进行显示。另外，显示部7102具备触摸传感器，可以用手指或触屏笔等触摸画面来进行操作。例如，通过触摸显示于显示部7102的图标7107，可以启动应用程序。
[0254] 操作按钮7105除了时间设定之外还可以具有电源的开启及关闭、无线通信的开启及关闭、静音模式的设定及解除、省电模式的设定及解除等各种功能。例如，通过利用组装在便携式信息终端7100中的操作系统，还可以自由地设定操作按钮7105的功能。
[0255] 另外，便携式信息终端7100可以进行被通信标准化的近距离无线通信。例如，通过与可进行无线通信的耳麦相互通信，可以进行免提通话。
[0256] 另外，便携式信息终端7100具备输入输出端子7106，可以通过连接器直接与其他信息终端进行数据的交换。另外，也可以通过输入输出端子7106进行充电。另外，充电工作也可以利用无线供电进行，而不通过输入输出端子7106。
[0257] 便携式信息终端7100的显示部7102组装有本发明的一个方式的触摸面板。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种具备弯曲的显示部且可靠性高的便携式信息终端。
[0258] 图18C至图18E示出照明装置的一个例子。照明装置7200、照明装置7210及照明装置7220都包括具备操作开关7203的底座7201以及由底座7201支撑的发光部。
[0259] 图18C所示的照明装置7200具备具有波状发光面的发光部7202。因此，其为设计性高的照明装置。
[0260] 图18D所示的照明装置7210所具备的发光部7212采用弯曲为凸状的两个发光部对称地配置的结构。因此，可以以照明装置7210为中心全方位地进行照射。
[0261] 图18E所示的照明装置7220具备弯曲为凹状的发光部7222。因为将来自发光部7222的发光聚集到照明装置7220的前面，所以适用于照亮特定范围的情况。
[0262] 此外，因为照明装置7200、照明装置7210及照明装置7220所具备的各发光部具有柔性，所以也可以采用使用可塑性构件或可动框架等构件固定发光部并按照用途能够随意使发光部的发光面弯曲的结构。
[0263] 虽然在此例示了由底座支撑发光部的照明装置，但是也可以以将具备发光部的框体固定或吊在天花板上的方式使用照明装置。由于能够在使发光面弯曲的状态下使用照明装置，因此能够使发光面以凹状弯曲而照亮特定区域或者使发光面以凸状弯曲而照亮整个房间。
[0264] 在此，在各发光部中组装有本发明的一个方式的触摸面板。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种具备弯曲的发光部且可靠性高的照明装置。
[0265] 图18F示出便携式触摸面板的一个例子。触摸面板7300具备框体7301、显示部7302、操作按钮7303、显示部取出构件7304以及控制部7305。
[0266] 触摸面板7300在筒状的框体7301内具备有卷成卷筒状的柔性显示部7302。
[0267] 此外，触摸面板7300能够由控制部7305接收影像信号，且能够将所接收的影像显示于显示部7302。此外，控制部7305具备电池。此外，也可以采用控制部7305具备连接连接器的端子部而以有线的方式从外部直接供应影像信号或电力的结构。
[0268] 此外，可以由操作按钮7303进行电源的ON、OFF工作或显示的影像的切换等。
[0269] 图18G示出使用显示部取出构件7304取出显示部7302的状态的触摸面板7300。在此状态下，可以在显示部7302上显示影像。另外，通过使用配置于框体7301的表面的操作按钮7303，可以容易地以单手操作。此外，如图18F所示那样，通过将操作按钮7303配置在框体7301的一侧而不是中央，可以容易地以单手操作。
[0270] 另外，可以在显示部7302的侧部设置用来加固的框，以便在取出显示部7302时使该显示部7302的显示面固定为平面状。
[0272] 显示部7302组装有本发明的一个方式的触摸面板。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种轻量且可靠性高的触摸面板。
[0273] 图19A至图19C示出能够折叠的便携式信息终端310。图19A示出展开状态的便携式信息终端310。图19B示出从展开状态和折叠状态中的一个状态变为另一个状态的中途的状态的便携式信息终端310。图19C示出折叠状态的便携式信息终端310。便携式信息终端310在折叠状态下可携带性好，在展开状态下因为具有无缝拼接的较大的显示区域所以显示一览性强。
[0274] 显示面板316由铰链部313所连接的三个框体315来支撑。通过铰链部313使两个框体315之间弯折，可以从便携式信息终端310的展开状态可逆性地变为折叠状态。可以将本发明的一个方式的触摸面板用于显示面板316。例如，可以使用能够以1mm以上且150mm以下的曲率半径弯曲的触摸面板。
[0275] 在本发明的一个方式中，也可以具备检测触摸面板的折叠状态或展开状态且供应检测信息的传感器。触摸面板的控制装置也可以取得表示触摸面板处于折叠状态的信息，停止折叠部分(或者折叠后用户不能看到的部分)的工作。具体而言，也可以停止显示工作。此外，也可以停止用触摸传感器的检测。
[0276] 同样地，检测面板的控制装置也可以取得示出触摸面板处于展开状态的信息且重新开始显示或用检测传感器的检测。
[0277] 图19D和图19E示出能够折叠的便携式信息终端320。图19D示出以使显示部322位于外侧的方式折叠的便携式信息终端320。图19E示出以使显示部322位于内侧的方式折叠的便携式信息终端320。在不使用便携式信息终端320时，通过将非显示部325向外侧折叠，能够抑制显示部322被弄脏或受损伤。可以将本发明的一个方式的触摸面板用于显示部322。
[0278] 图19F是说明便携式信息终端330的外形的透视图。图19G是便携式信息终端330的俯视图。图19H是说明便携式信息终端340的外形的透视图。
[0279] 便携式信息终端330、340例如具有选自电话机、电子笔记本和信息阅读装置等中的一种或多种的功能。具体而言，可以将该便携式信息终端330、340用作智能手机。
[0280] 便携式信息终端330、340可以将文字或图像信息显示在其多个面上。例如，可以将三个操作按钮339显示在一个面上(图19F、图19H)。另外，可以将由虚线矩形表示的信息337显示在另一个面上(图19F、图19G、图19H)。此外，作为信息337的例子，可以举出来自SNS(Social Networking Services：社交网络服务)的通知；提示收到电子邮件或电话等的显示；电子邮件等的标题或发送者姓名；日期；时间；电池余量；以及天线接收强度等。或者，也可以在显示有信息337的位置显示操作按钮339或图标等代替信息337。注意，虽然图19F和图19G示出在上侧显示有信息337的例子，但是本发明的一个方式不局限于此。例如，如图19H所示的便携式信息终端340那样，也可以将信息337显示在横向侧面。
[0281] 例如，便携式信息终端330的用户能够在将便携式信息终端330放在上衣口袋里的状态下确认其显示(这里是信息337)。
[0282] 具体而言，将打来电话的人的电话号码或姓名等显示在能够从便携式信息终端330的上方观看到的位置。用户可以确认到该显示，由此判断是否接电话，而无需从口袋里拿出便携式信息终端330。
[0283] 可以将本发明的一个方式的触摸面板用于便携式信息终端330的框体335及便携式信息终端340的框体336所具有的显示部333。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种具备弯曲的显示部且可靠性高的触摸面板。
[0284] 另外，如图19I所示的便携式信息终端345那样，可以在三个以上的面上显示信息。在此，示出信息355、信息356以及信息357分别显示于不同的面上的例子。
[0285] 可以将本发明的一个方式的触摸面板用于便携式信息终端345的框体354所具有的显示部358。通过本发明的一个方式，能够以高成品率提供一种具备弯曲的显示部且可靠性高的触摸面板。
[0286] 本实施方式的至少一部分可以与本说明书所记载的其他实施方式适当地组合而实施。
[0287] 实施例
[0288] 在本实施例中，制造本发明的一个方式的能够弯曲的触摸面板。另外，在本实施例中，说明对该触摸面板进行时间常数的评价及弯曲试验的评价的结果。
[0289] [触摸面板的制造]
[0290] 在本实施例中，制造in-cell方式的触摸面板，在in-cell方式的触摸面板中将触摸传感器形成在具有柔性的显示面板的对置衬底(显示面一侧的衬底)中。再者，通过将触摸传感器的电极形成为金属网格形状，降低触摸传感器与显示面板之间的负载电容。通过采用这种结构，可以使触摸面板整体的厚度薄，足以被使用者自由地折叠。另外，因为负载电容小，所以显示面板对触摸传感器产生的噪音的影响被抑制，而可以抑制误检测或无法检测等不良现象的发生。
[0291] 作为在本实施例中制造的in-cell方式的触摸面板的驱动方法，采用投影电容式之一的互电容式。
[0292] 在本实施例中，制造具有图12A和图12B所例示的截面结构的触摸面板。另外，作为触摸传感器的网格图案，使用图6所例示的图案。
[0293] 图20示出在本实施例中制造的触摸面板的结构。图20的中央示出触摸面板的示意图，左侧示出触摸面板的截面结构，右侧示出触摸面板的弯曲部分的放大图。触摸面板包括具有柔性的显示部(记作显示器(Display))及FPC。触摸面板具有由粘合层将两个柔性衬底贴合的结构，此外，各柔性衬底的与另一柔性衬底相对的面上设置有钝化层。在一个柔性衬底上的钝化层上形成有FET层(记作FET)及有机EL元件(记作OLED)。在另一个柔性衬底上的钝化层上形成有触摸传感器及滤色片。如图20所示，在本实施例中制造的触摸面板的显示面能够弯曲成凸状及凹状。
[0294] 首先，在玻璃衬底上形成剥离层、钝化层、FET层及有机EL元件。
[0295] 作为FET层所包括的晶体管(晶体管201等)，使用将氧化物半导体用于形成有沟道的半导体的晶体管。在此，在本实施例中，作为氧化物半导体使用c轴在垂直于膜面的方向上取向的结晶氧化物半导体(CAAC-OS：C-Axis Aligned Crystalline-Oxide Semiconductor)。
[0296] CAAC-OS是结晶的c轴在大致垂直于膜面的方向上取向的结晶氧化物半导体。还确认到氧化物半导体除了单晶结构之外还具有多种结晶结构如纳米尺寸的微晶集合体的nano-crystal(nc：纳米晶)结构等。CAAC-OS的结晶性低于单晶结构而高于nc结构。因为CAAC-OS具有观察不到晶界的特征，所以能够大面积地形成稳定且均匀的膜，并且不容易因具有柔性的发光装置弯曲时产生应力而使CAAC-OS膜产生裂缝。
[0297] 在本实施例中，作为氧化物半导体材料使用In-Ga-Zn类氧化物。
[0298] 作为像素电极(第一电极221)，使用包含反射率极高的银的合金。此外，以能够得到微腔效果的方式，根据子像素的结构在像素电极上形成适当的厚度的透明电极层(光学调整层224)。
[0299] 作为有机EL元件，使用顶部发射方式的白色EL元件。该有机EL元件采用层叠有蓝色发光单元与黄色发光单元的串联结构。
[0300] 另外，在与上述玻璃衬底不同的玻璃衬底上形成剥离层、钝化层、遮光层、触摸传感器电极及滤色片。为了抑制触摸传感器电极引起的光的反射，在触摸传感器电极与钝化层之间配置遮光层。
[0301] 接着，由粘合层将两个衬底贴合。将此时的衬底间距离(液晶盒厚)调整为5μm左右。然后，在剥离层与钝化层之间剥离各衬底，并粘贴柔性衬底。作为柔性衬底，使用厚度大约为20μm的塑料衬底。
[0302] 由此制造触摸面板。表1示出显示装置的规格，表2示出触摸传感器的规格。
[0303] [表1]
[0304] 8.67英寸OLED显示器的规格
[0305]
[0306] [表2]
[0307] 8.67英寸触摸传感器的规格
[0308]
[0310] 在触摸传感器中，在显示部的长边方向上形成48个用于发送的电极，在短边方向上形成27个用于接收的电极。此外，各电极间的间隔为4mm。显示部中的40×40的像素相当于触摸传感器的一个单元。
[0311] [触摸面板]
[0312] 图21A至图21C示出所制造的触摸面板的照片。图21A示出将显示面板展开的状态，图21B示出将显示面板折叠成三折的状态，图21C示出在将显示面板折叠的中途进行触摸操作的状态。确认到对触摸面板的表面为平面、凸状及凹状的部分的触摸都可以正常地被检测到。
[0313] 另外，因为将像素配置在触摸传感器电极的网格的开口部分，所以几乎没有发生因追加触摸传感器而导致光提取效率的降低。
[0314] [时间常数的评价]
[0315] 接着，按各频率测定所制造的触摸面板的受信电极与显示面板之间的寄生电容及寄生电阻。测定使用LCR测试仪(安捷伦科技(Agilent Technologies)公司制造，4275A)进行。
[0316] 图22示出测定结果。在图22中，左侧的纵轴表示寄生电容，右侧的纵轴表示寄生电阻，横轴表示频率。测定次数为6。如图22所示，当测定频率为10kHz时，寄生电容大约为910pF，寄生抵抗大约为1.3kΩ。从这些值计算时间常数，其结果为约1.2μs。该值较低，但足以检测出触摸。
[0317] [弯曲试验]
[0318] 接着，说明对制造的触摸面板进行弯曲试验而得到的结果。在曲率半径为5mm及3mm的两个条件下分别以每2秒进行1次伸展动作的方式进行10万次弯曲试验。此外，进行使显示面朝向内侧的弯曲及使显示面朝向外侧的两种伸展动作。确认到即使在10万次的伸展动作后也触摸面板能够进行正常的显示及正常的触摸检测。
[0319] 从上述结果可以确认到本发明的一个方式的触摸面板是实现了高可靠性、高可见度及低功耗的能够折叠的触摸面板。这种触摸面板可以扩大从未有过的新颖的便携式设备的可行性。
[0320] 符号说明
[0321] 10 摸面板模块
[0322] 11 容器
[0323] 20 摸传感器模块
[0324] 21 底
[0325] 22 摸传感器
[0326] 22a 口
[0327] 23 电层
[0328] 23a 开口
[0329] 24 电层
[0330] 24a 开口
[0331] 25 电层
[0332] 26 电层
[0333] 27 口
[0334] 28 缘层
[0335] 29 线
[0336] 30 示面板
[0337] 31 底
[0338] 32 显示部
[0339] 33 像素
[0340] 33B 像素
[0341] 33G 像素
[0342] 33R 像素
[0343] 33Y 子像素
[0344] 34 电路
[0345] 41 PC
[0346] 42 PC
[0347] 51 示元件
[0348] 52 色层
[0349] 52B 色层
[0350] 52G 色层
[0351] 52R 色层
[0352] 53 光层
[0353] 201 体管
[0354] 202 体管
[0355] 203 体管
[0356] 204 光元件
[0357] 205 触部
[0358] 206 叉部
[0359] 210 接层
[0360] 211 合层
[0361] 212 缘层
[0362] 213 缘层
[0363] 214 缘层
[0364] 215 缘层
[0365] 216 缘层
[0366] 217 缘层
[0367] 218 缘层
[0368] 219 隔物
[0369] 220 合层
[0370] 221 极
[0371] 222 L层
[0372] 223 极
[0373] 224 学调整层
[0374] 225 电层
[0375] 226 隔物
[0376] 253 触部
[0377] 260 接层
[0378] 261 合层
[0379] 262 缘层
[0380] 264 缘层
[0381] 266 缘层
[0382] 267 护层
[0383] 272 接部
[0384] 310 携式信息终端
[0385] 313 链
[0386] 315 体
[0387] 316 示面板
[0388] 320 携式信息终端
[0389] 322 示部
[0390] 325 显示部
[0391] 330 携式信息终端
[0392] 333 示部
[0393] 335 体
[0394] 336 体
[0395] 337 息
[0396] 339 作按钮
[0397] 340 携式信息终端
[0398] 345 携式信息终端
[0399] 354 体
[0400] 355 息
[0401] 356 息
[0402] 357 息
[0403] 358 示部
[0404] 601 冲电压输出电路
[0405] 602 流检测电路
[0406] 603 容
[0407] 611 体管
[0408] 612 体管
[0409] 613 体管
[0410] 621 极
[0411] 622 极
[0412] 7100 携式信息终端
[0413] 7101 体
[0414] 7102 示部
[0415] 7103 带
[0416] 7104 表扣
[0417] 7105 操作按钮
[0418] 7106 输入输出端子
[0419] 7107 图标
[0420] 7200 照明装置
[0421] 7201 底座
[0422] 7202 发光部
[0423] 7203 操作开关
[0424] 7210 照明装置
[0425] 7212 发光部
[0426] 7220 照明装置
[0427] 7222 发光部
[0428] 7300 触摸面板
[0429] 7301 框体
[0430] 7302 显示部
[0431] 7303 操作按钮
[0432] 7304 构件
[0433] 7305 控制部
[0434] 7400 移动电话机
[0435] 7401 框体
[0436] 7402 显示部
[0437] 7403 操作按钮
[0438] 7404 外部连接端口
[0439] 7405 扬声器
[0440] 7406 麦克风
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