一种3D形貌检测系统及方法
专利汇可以提供一种3D形貌检测系统及方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种3D形貌检测系统及方法，系统包括自动载物台、带有纵向色差的光学显微成像系统、一个通道数N≥4的窄带多 光谱 图像 传感器 、控制单元及 图像分析 单元；所述载物台与所述控制单元电相连，所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连，所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连。本发明可以一次曝光获得物体表面XY空间 位置 自然校准而聚焦清晰度不同的多幅窄带光谱图像，使用配套的如 散焦 模糊度 算法 及配套的自动聚焦方法，可以全自动的获得物体表面3D形貌，即任意空间位置XY的深度Z信息；本发明对于先进制造刀具、精密样品或者部件表面形貌快速在线检测具有广泛应用价值。，下面是一种3D形貌检测系统及方法专利的具体信息内容。
1.一种3D形貌检测系统，包括载物台、光学显微成像系统、多光谱图像传感器、控制单元和图像分析单元，其特征在于，所述载物台与所述控制单元电相连，所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连，所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连；
所述光学显微成像系统是带纵向色差的光学显微成像系统，所述光学显微成像系统照明光源为透射光源、与物镜环绕的斜射光源或其它不通过物镜的落射照明光源；
所述多光谱图像传感器包括一个光学滤片和一个黑白图像传感器，所述光学滤片紧贴在所述黑白图像传感器的有效光电转换平面上；所述光学滤片包括若干个阵列周期设置的光学滤镜宏单元；每个所述光学滤镜宏单元包括N个空间位置互不重叠、透过光波段各不相同且彼此不重叠的光学窄带微滤镜单元；并且每个所述光学滤镜宏单元覆盖整数个所述黑白图像传感器的像素；其中，N≥4；
所述载物台为电动载物台，在电控制下沿着至少一个方向运动。
2.根据权利要求1所述的3D形貌检测系统，其特征在于，所述多光谱图像传感器光电转换平面放置在所述光学显微成像系统镜头的成像面上，而且两者同光轴。
3.根据权利要求1所述的3D形貌检测系统，其特征在于，所述光学滤镜宏单元在横向上按周期排列的个数为M1≥10个，在纵向上按周期排列的个数M2≥10个。
4.根据权利要求1所述的3D形貌检测系统，其特征在于，每个所述光学滤镜宏单元包括
4个光学窄带微滤镜单元，分别为：通透带中心波长为λ1、带宽为δλ1的第一波段光学窄带微滤镜单元；通透带中心波长为λ2、带宽为δλ2的第二波段光学窄带微滤镜单元；通透带中心波长为λ3、带宽为δλ3的第三波段光学窄带微滤镜单元；通透带中心波长为λ4、带宽为δλ4的第四波段光学窄带微滤镜单元。
5.根据权利要求4所述的3D形貌检测系统，其特征在于，所述λ1的取值范围为440-470纳米；所述λ2的取值范围为470-540纳米；所述λ3的取值范围为540-610纳米；所述λ4的取值范围为610-680纳米。
6.根据权利要求1所述的3D形貌检测系统，其特征在于，每个所述光学窄带微滤镜单元的通透带透光率高于80％，截止波段低于0.1％；每个所述光学窄带微滤镜单元的透光率从阻止带的低于1％到通透带的高于80％过渡区间带宽小于10纳米；每个所述光学窄带微滤镜单元的透光带互不重叠。
7.根据权利要求1所述的3D形貌检测系统，其特征在于：
所述光学显微成像系统的物镜对不同波段的光波段成像距离不同；按距离物镜的距离由近到远分别是短波段、较短波段、中间波段、较长波段和长波段；
所述光学显微成像系统的物镜对中心波长在绿色波段的成像做优化，不做特殊纵向消色差设计或者处理。
8.一种3D形貌检测方法，其特征在于，基于权利要求1至7中任意一项权利要求所述的
3D形貌检测系统，包括如下步骤：
步骤a，所述控制单元控制所述载物台将载物台上的标本移动到所述光学显微成像系统成像范围内；所述控制单元控制所述多光谱图像传感器曝光获取一副原始图像，所述图像分析单元分析所述多光谱图像传感器每次曝光所获得的图像，将其在线拆分为N≥4幅窄带光谱图像，拆分方法为将所有M1*M2个光学滤镜宏单元中对应于第一波段的光学窄带微滤镜单元所覆盖的像素按序组成第一波段窄带光谱图像；将M1*M2个所述光学滤镜宏单元中对应于第二波段的光学窄带微滤镜单元所覆盖的像素按序组成第二波段窄带光谱图像；
类似地获取第三，第四，…，第N波段窄带光谱图像；
步骤b，计算出每个位置每个窄带光谱图像的散焦模糊度F；所述散焦模糊度F根据能量最大值法、爬山算法、灰度梯度法、点扩散函数半径、基于傅里叶变换的空间频域分析中的一种或者多种方法进行计算；
步骤c，根据上述N个窄带光谱图像散焦模糊度的对比关系，对照不同窄带波段图像的散焦模糊度F与已知表面形貌物体的距离关系，获得图像每一像素所对应位置XY的深度信息Z；所述散焦模糊度F与物体距离关系为：当物体在光学显微成像系统焦面上时，中间波段散焦最小；当物体在远离光学显微成像系统焦面时，长波段散焦最小；当物体在靠近光学显微成像系统焦面时，短波段散焦最小。
9.根据权利要求8所述的3D形貌检测方法，其特征在于，所述方法还包括对已知表面形貌物体进行刻度，包括：
采用一个已知表面形貌的物体作为刻度样本，将物体放置在所述载物台上并对其在绿色波段成像聚焦，所述控制单元控制所述多光谱图像传感器曝光获取一副原始图像，图像处理单元分析所述多光谱图像传感器每次曝光所获得的图像，将其在线拆分为N≥4幅窄带光谱图像，拆分方法为将所有M1*M2个光学滤镜宏单元中对应于第一波段的光学窄带微滤镜单元所覆盖的像素按序组成为第一波段窄带光谱图像；将M1*M2个所述光学滤镜宏单元中对应于第二波段的光学窄带微滤镜单元所覆盖的像素按序组成为第二波段窄带光谱图像；类似地获取第三，第四，…，第N波段窄带光谱图像；
计算出每个位置每个窄带波段图像的散焦模糊度F，所述散焦模糊度F根据能量最大值法、爬山算法、灰度梯度法、点扩散函数半径、基于傅里叶变换的空间频域分析中的一种或者多种方法进行计算；
建立N个光谱图像散焦模糊度F与刻度标本表面已知高度的对应关系；建立方法包括插值法和\或最小二乘法。
10.根据权利要求8所述的3D形貌检测方法，其特征在于，所述步骤c还包括如下实时自动聚焦步骤：
比较N个窄带光谱图像散焦模糊度F；如果中间波段窄带光谱图像聚焦最清晰，停止自动聚焦；如果短波长窄带光谱图像比长波长窄带光谱图像具有更小的散焦模糊度F，将载物台向距离物镜更远的方向运动；如果长波长窄带光谱图像比短波长窄带光谱图像具有更小的散焦模糊度F，将载物台向距物镜更近的位置移动。
一种3D形貌检测系统及方法
技术领域
背景技术
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附图说明
具体实施方式
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