专利汇可以提供一种带有自主减振机构的洁净设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种带有自主减振机构的洁净设备,包括机柜,以及设置于机柜内的操作平台,其特征在于:所述操作平台上设有自主减振机构,该自主减振机构包括 支架 、减振 台面 、气囊组件以及PLC 控制器 ,所述操作平台上开设有安装孔,所述气囊组件通过所述安装孔 支撑 所述减振台面,所述气囊组件安装于所述支架上,所述支架底部设置于地面上。本实用新型通过自主减振机构中的气囊组件为减振台面提供平稳的作业平台,实现0.1μm的振动幅度,符合精密设备对稳定度的要求,提高实验、检测 精度 。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是一种带有自主减振机构的洁净设备专利的具体信息内容。
1.一种带有自主减振机构的洁净设备,包括机柜,以及设置于机柜内的操作平台,其特征在于:所述操作平台上设有自主减振机构,该自主减振机构包括支架、减振台面、气囊组件以及PLC控制器,所述操作平台上开设有安装孔,所述气囊组件通过所述安装孔支撑所述减振台面,所述气囊组件安装于所述支架上,所述支架底部设置于地面上。
2.根据权利要求1所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述气囊组件包括若干个气囊、一充气泵、对应每一气囊的压力传感器和气阀,所述压力传感器检测每一个所述气囊压力值,并反馈至所述PLC控制器中,所述PLC控制器控制所述充气泵或所述气阀对每一个所述气囊充气或放气,使所述压力传感器检测的压力值符合设定值。
3.根据权利要求1或2所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述PLC控制器包括内置控制芯片以及外置控制器,所述外置控制器上设有显示屏及若干个控制按键,所述外置控制器通过信号线或无线数据卡与所述内置控制芯片连接。
4.根据权利要求3所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述控制按键包括增压键、减压键及气囊切换键,通过所述气囊切换键选择对应的气囊进行增、减气压。
5.根据权利要求1或2所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述气囊组件包括三个所述气囊,每一所述气囊包括活塞杆、腔体及补气管路,所述活塞杆顶端与所述减振台面底面连接,所述腔体的底部通过底座固定于所述支架上,所述补气管路与充气泵连通。
6.根据权利要求1所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:还包括一水平调节机构,该水平调节机构包括设置于所述支架底部的若干个水平气囊及水平仪,每一所述水平气囊通过补气管路与充气泵连通。
7.根据权利要求6所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述水平气囊的补气管路上设有控制阀,该控制阀的控制信号端与所述PLC控制器连接,所述水平仪为水平传感器,所述水平传感的信号端与所述PLC控制器连接。
8.根据权利要求1所述的带有自主减振机构的洁净设备,其特征在于:所述减振台面高于所述操作平台,且两者之间设有调节空隙。
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