专利汇可以提供ZWEIACHSIGER ULTRAROBUSTER DREHRATENSENSOR FÜR AUTOMOTIVE ANWENDUNGEN专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer ersten Drehratensensorstruktur zur Detektion einer ersten Drehrate des Drehratensensors um eine Achse im Wesentlichen parallel zu einer parallel zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden ersten Achse und mit mindestens einer zweiten Drehratensensorstruktur zur Detektion einer zweiten Drehrate des Drehratensensors um eine Achse im Wesentlichen parallel zu einer senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden zweiten Achse vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor eine Antriebseinrichtung - sowohl zur Auslenkung mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur der ersten Drehratensensorstruktur und mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur der ersten Drehratensensorstruktur - als auch zur Auslenkung mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen dritten Struktur der zweiten Drehratensensorstruktur und mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der dritten Struktur beweglichen vierten Struktur der zweiten Drehratensensorstruktur derart umfasst, dass die erste, zweite, dritte und vierte Struktur zu einer mechanisch gekoppelten Schwingung anregbar sind.,下面是ZWEIACHSIGER ULTRAROBUSTER DREHRATENSENSOR FÜR AUTOMOTIVE ANWENDUNGEN专利的具体信息内容。
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